JPH04256459A - 硬基板塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
装置に関するものである。

【０００２】

【発明の技術的背景】ガラス基板などの硬基板にフォト
レジストなどの塗布液を薄く均一な厚さに塗布する工程
がある。例えばカラー液晶板の製造においては、透明電
極を予め形成したガラス基板に、フォトレジストの機能
を有する赤のカラ−モザイク液を均一に塗布した後、露
光して赤に対応するカラ−モザイクを硬化させ、余分の
液を除去することにより赤のカラーモザイクを形成して
いる。そしてこれと同様な処理を緑、青などの他の色に
ついて繰り返している。このようにフォトレジストとな
る塗布液を塗布する場合、この液は均一な厚さを厳密に
管理して薄く塗布する必要がある。この塗布の厚さが不
均一であると、光の透過率のむらが生じ、品質の低下を
招くことになるからである。

【０００３】従来はこの塗布のためにスピンコータが用
いられていた。このスピンコータは回転させた基板の回
転中心付近に塗布液を滴下し、この液を遠心力を利用し
て飛散させることにより塗布するものである。しかしこ
のスピンコータを用いる方法では飛散して捨てられる液
の量が塗布される液量に比べて非常に多くなり、特に大
きな基板の場合に問題が大きい。このためコストアップ
になるという問題があった。

【０００４】そこで水平に配設された上下一対のローラ
間に基板を挟んで塗布する装置を用いることが考えられ
ている。この装置は下のローラとなるマイクロロッドバ
ーの下部を塗布液に浸漬し、このマイクロロッドバーと
この上方に位置するニップローラとの間に基板を挟んで
送りながら、マイクロロッドバーにより基板の下面に塗
布するものである。

【０００５】しかしこの場合、塗布した面に基板送り方
向に長いムラが発生し、塗布厚さの不均一による品質低
下を招くという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って本発明は、塗布
装置を用いて塗布液を塗布する場合に、塗布の厚さが不
均一になるのを防止し、塗布厚さを高精度に管理して品
質を向上させることを目的とする。

【０００７】

【発明の構成】本発明によればこの目的は、塗布液槽に
上部を残して水平に浸漬されたマイクロロッドバーと、
このマイクロロッドバーの上方に配設されたニップロー
ラとの間に硬基板を挟持して送ることにより、前記硬基
板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布装置において、
前記マイクロロッドバーの下面に摺接する受台部材と、
前記マイクロロッドバー表面が液面から脱出する側の液
溜め部の液面付近へ塗布液が流入するのを規制する液流
入規制部材とを備えることを特徴とする硬基板塗布装置
により達成される。

【０００８】

【作用】塗布厚さが不均一になる原因は、次のように考
えられる。塗布液槽に浸ったマイクロロッドバーは、そ
の一側の液溜め部すなわちマイクロロッドバーの表面が
液面から脱出する側の液溜め部から液を表面に付着させ
て引揚げる。このためこの一側の液溜め部の液面が下が
り、これに伴ってこの液溜め部へその左右両側から塗布
液が流入する。この液の流入によりこの液溜め部内に長
手方向の液の流れが発生し、この流れがこの液溜め部の
液面に波打ちを発生させ、この液面の波打ちが塗布ムラ
の原因と考えられるものである。

【０００９】この発明によれば、この液溜め部への側方
からの液面付近への液流入を液流入規制部材で規制する
。このため液面の波打ちがなくなり、マイクロロッドバ
ーの表面に塗布液が均一厚さに付着し、塗布ムラが無く
なる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の一実施例の全体配置図、図２
はその塗布装置の平面図、図３はその正面断面図、図４
と図５と図６は図３におけるＩＶ−ＩＶ線端面図とＶ−
Ｖ線端面図とＶＩ−ＶＩ線端面図、図７は流入規制部材
付近の分解斜視図である。

【００１１】図１において符号１０はガラス基板、１２
はローラコンベアであり、ガラス基板１０はその下面の
左右の縁をコンベア１２のローラに載せた状態で図上左
から右へ送られる。コンベア１２の途中には塗布装置１
４が配設されている。この塗布装置１４は小径で断面円
形なマイクロロッドバー１６と、その上方に対向する大
径のニップローラ１８と、マイクロロッドバー１６の上
部を残してほぼ全体が入る塗布液槽２０とを有する。

【００１２】ここにマイクロロッドバー１２は、断面円
形のロッドの表面に細い金属線を密着するように巻き付
けたものであり、金属線間の溝にたまる液を塗布するも
のである。

【００１３】塗布液槽２０は、図２ないし図６に示すよ
うに、基板１０の送り方向に直交する方向に長く浅い液
溜め部２２を持ち、この液溜め部２２には給液パイプ２
４から新しい液が供給される一方、排液口２６から塗布
液が排出される。給液パイプ２４は液溜め部２２の一端
寄りの内壁に設けた凹部２８（図２、５）の上方に臨み
、排液口２６は他端寄りの底に開口する。このため塗布
液が液溜め部２２をその長手方向に流れて液を均質化す
るのに適する。なおこの塗布液の深さは図示しない液面
センサにより監視され、常に一定に管理される。

【００１４】マイクロロッドバー１６はその上部が液か
ら露出するように水平に保持されている。すなわち液溜
め部２２の両端には上方に半円弧状に開いた凹部を有す
る軸受部３０、３２が設けられ、この軸受部３０、３２
とここに上方から被されるキャップ３４、３６との間に
マイクロロッドバー１６を回転自在に保持している。

【００１５】またマイクロロッドバー１６の中間部分は
受台部材３８により下方から支持されている。この受台
部材３８は、摺動性に優れた硬質の合成樹脂で作られ、
その上面に長手方向に沿って形成された半円形の溝がマ
イクロロッドバー１６に下方から当接するものである。 なおこの受台部材３８の高さは、この下方に配列された
多数の調整ねじ４０により取付けられる。

【００１６】マイクロロッドバー１６の一端（図１にお
ける奥側の端）は塗布液槽２０により後方へ突出し、こ
の突出端は着脱自在な継手４２によって電動モータ４４
に接続されている。この電動モータ４４はガラス基板１
０の送り速度がコンベア１２と等速になるようにその回
転が管理されている。　　前記ニップローラ１８の表面
は導電性ゴムで作られ、マイクロロッドバー１６との間
にガラス基板１０を挟んだ状態でガラス基板１０に所定
の挟圧力を付与するように保持されている。

【００１７】次に液流入規制部材５０を説明する。前記
塗布液槽２０の液溜め部２２は、マイクロロッドバー１
６と受台部材３８とで２つの液溜め部２２ａ、２２ｂに
仕切られている。マイクロロッドバー１６の表面が液を
引揚げる側の液溜め部２２ａの左右両側には、液流入規
制部材５０が装着されている。

【００１８】これらの液流入規制部材５０は、図６、７
に示すようにその逆Ｕ字状の溝５０ａがマイクロロッド
バー１６の小径部１６ａに上方から係合し、その下端面
の一部が受台部材３８の端部３８ａに当接する。そして
この状態でこの部材５０の一側面は小径部１６ａと大径
部との間の段部１６ｂに摺接する。この結果図６に示す
ように、部材５０の下端面と端部３８ａとで囲まれた液
流路５２、５４が形成される。

【００１９】次にこの実施例の動作を説明する。ローラ
コンベア１２により図１で左側から右側へ送られるガラ
ス基板１０は、マイクロロッドバー１６とニップローラ
１８との間に進入する。マイクロロッドバー１６の表面
にはその回転により液溜め部２２の塗布液が付着してい
るから、このマイクロロッドバー１６の回転に伴いガラ
ス基板１０の下面にこの塗布液が塗布されて行く。

【００２０】液溜め部２２の液面のレベルと、ニップロ
ーラ１８による挟圧力とは一定に管理されている。また
液溜め部２２ａの液はマイクロロッドバー１６の表面に
付着して引揚げられて基板１０に塗布されるから、この
液溜め部２２ａの液面は下がる。この時マイクロロッド
バー１６と受台部材３８との間から、マイクロロッドバ
ー１６の表面に付着して液溜め部２２ｂの液が液溜め部
２２ａに送られる。このようにして液溜め部２２ａ、２
２ｂの液面が下がると、その左右両側の液流入規制部材
５０、５０の下方の液流路５２、５４から各液溜め部２
２ａ、２２ｂに塗布液が流入する。この液流入路５２、
５４は液溜め部２２ａ、２２ｂの底に位置するから、液
溜め部２２ａ、２２ｂ内の液面に波打ちを発生させるこ
とがない。従ってマイクロロッドバー１６表面に液は均
一に付着し、基板１０に不均一な塗布状態が発生しない
。

【００２１】この実施例では、マイクロッドバー１６を
挾む各液溜め部２２ａ、２２ｂにそれぞれ液流入規制す
る部材５０により液面付近への流入を規制している。し
かし本発明はマイクロロッドバー１６が液を引揚げる側
の液溜め部２２ａにだけ液流入規制部材を設けてもよい
。

【００２２】図８はそのような実施例を示す図３におけ
るＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線端面図である。すなわち液溜め
部２２ａの両側の上部を塞ぐように液溜め部２２ａ内壁
をマイクロロッドバー１６との間に液流入規制部材５０
Ａを挿入したものである。この場合液溜め部２２ａには
この部材５０Ａの下方に開口する液流路５６から液が流
入する。なお図８に示すように液溜め部２２ａを深くす
ることによりその容量を増大することにより液面の変動
を小さくするのが望ましい。

【００２３】また以上の実施例では、塗布液槽２０には
、その一側の給液パイプ２４から液を供給し、他側の排
液口２６から排出するようにしている。しかし液流入規
制部材５０、５０Ａの両外側の液溜め部２２ｃ、２２ｄ
（図２、３参照）にそれぞれ独立に液を供給し、それぞ
れ一定液面に保つようにしてもよい。この場合には液溜
め部２２ａ、２２ｂには両側から均等に液が流入し、本
発明の効果は一層大きくなる。

【００２４】

【発明の効果】本発明は以上のように、マイクロロッド
バーが液を引揚げる側の液溜め部の液面付近の流入を流
入規制部材により規制するものであるから、この液溜め
部表面に波打ちが発生しなくなる。このためマイクロロ
ッドバー表面にも均一厚さに液が付着して基板に塗布さ
れることになり、塗布ムラが発生しなくなる。従って塗
布厚さの精度が均一になり製品の品質向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体配置図

【図２】その塗
布装置の平面図

【図３】その正面図

【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ線端面図

【図５】図３
におけるＶ−Ｖ線端面図

【図６】図３におけるＶＩ−ＶＩ線端面図

【図７】要部
分解斜視図

【図８】他の実施例を示す図３におけるＶＩＩＩ−ＶＩ
ＩＩ線端面図

【符号の説明】

１０　　ガラス基板 １４　　塗布装置 １６　　マイクロロッドバー １８　　ニップローラ ５２、５４、５６　　液流路 ２０　　塗布液槽 ２２、２２ａ〜２２ｄ　　液溜め部 ５０、５０Ａ　　液流入規制部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　塗布液槽に上部を残して水平に浸漬さ
   れたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの
   上方に配設されたニップローラとの間に硬基板を挟持し
   て送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布す
   る硬基板塗布装置において、前記マイクロロッドバーの
   下面に摺接する受台部材と、前記マイクロロッドバー表
   面が液面から脱出する側の液溜め部の液面付近へ塗布液
   が流入するのを規制する液流入規制部材とを備えること
   を特徴とする硬基板塗布装置。