JPH0425667A - 大型真空容器の真空シール構造 - Google Patents
大型真空容器の真空シール構造Info
- Publication number
- JPH0425667A JPH0425667A JP12908590A JP12908590A JPH0425667A JP H0425667 A JPH0425667 A JP H0425667A JP 12908590 A JP12908590 A JP 12908590A JP 12908590 A JP12908590 A JP 12908590A JP H0425667 A JPH0425667 A JP H0425667A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- flange
- container
- seal structure
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空容器に係り、特に高真空の大型真空容器の
真空シール構造に関するものである。
真空シール構造に関するものである。
従来の構造は％０リング等のパブキンをフランジ面間に
はさみ込み、それを絞めろことによって真空フランジ構
造としての性能を発揮するが、７ランジが大型になると
、７ランジ自身が自重でたわみ、また、変形も大き４出
てしまい、かつ、大型のため加工精度の確保が難しい状
況にあった。
はさみ込み、それを絞めろことによって真空フランジ構
造としての性能を発揮するが、７ランジが大型になると
、７ランジ自身が自重でたわみ、また、変形も大き４出
てしまい、かつ、大型のため加工精度の確保が難しい状
況にあった。
従来の大型真空容器は上記のようにＯリングを２重に配
列して真空シールするのが一般的であった。
列して真空シールするのが一般的であった。
なお真空シール構造としてはＪＩＳ規格のＢ２２９０に
おいて論じられている。また、この檻の装置として関連
するものには、例えば特開平１−３１２２７１号が挙げ
られる。
おいて論じられている。また、この檻の装置として関連
するものには、例えば特開平１−３１２２７１号が挙げ
られる。
〔発明が解決しようとするｆｉｌｌ）
上記従来技術は、真空排気前に内・外いずれかのＯす／
グを相手フランジを密着させる必要がめるが、フランジ
が大型になった場合、７ランジ自身の自重によるたわみ
、変形およびフランジ面の加工精度の良し悪しにより、
７リング全周にわたり、０りングと相手側７ランジの密
着が困難になるという欠点があった。
グを相手フランジを密着させる必要がめるが、フランジ
が大型になった場合、７ランジ自身の自重によるたわみ
、変形およびフランジ面の加工精度の良し悪しにより、
７リング全周にわたり、０りングと相手側７ランジの密
着が困難になるという欠点があった。
本発明の目的は、真空排気時の外圧力を利用して大型真
空容器の７リング部を容易に密着できる大型真空容器の
真空シール構造を提供することにある。
空容器の７リング部を容易に密着できる大型真空容器の
真空シール構造を提供することにある。
上記目的を達成するために、パツキンを２重に配列し内
側のパツキンは真空シールを目的とし、外側のパブキン
は内側のパブキンに比較して突起高さが大きく、内部に
流体圧を作用させることにより、突起高さが容易に９度
できるものを使用する。すなわち、本体のフランジ面の
変形が大きく加工精度が悪くとも、外側のパツキンに流
体圧を作用させ、突起を高鳴することにより、相手側フ
ランジになじんで密着し、外側パツキンの気体の洩れ量
より真空排気装置の排気能力が勝れば、外圧によって強
力にシール部材が７リング部に密着し、目的が達成され
る・ 二二で、真空容器内の圧力なＰ、内径なりとし、真空に
より吸引される力Ｆとの関係は、Ｆ＝！−Ｄ２Ｐ となる。
側のパツキンは真空シールを目的とし、外側のパブキン
は内側のパブキンに比較して突起高さが大きく、内部に
流体圧を作用させることにより、突起高さが容易に９度
できるものを使用する。すなわち、本体のフランジ面の
変形が大きく加工精度が悪くとも、外側のパツキンに流
体圧を作用させ、突起を高鳴することにより、相手側フ
ランジになじんで密着し、外側パツキンの気体の洩れ量
より真空排気装置の排気能力が勝れば、外圧によって強
力にシール部材が７リング部に密着し、目的が達成され
る・ 二二で、真空容器内の圧力なＰ、内径なりとし、真空に
より吸引される力Ｆとの関係は、Ｆ＝！−Ｄ２Ｐ となる。
また、フランジ面間に設けたシール材の必要締付力Ｗは
、シール材喝Ｂ、シール材必要面圧Ｐ、。
、シール材喝Ｂ、シール材必要面圧Ｐ、。
シール材径Ｄ８とすれば。
Ｗ＝π・Ｂ−Ｄ、・Ｐｓ
となる。
ここでシール材が有効に作用するためには、Ｗ＜Ｆ
である必要がある。
である必要がある。
従って、フランジの変形度、加工精度との関係から適当
なＰｓＯ値を持つパツキンを選定する必要があるが、内
部に流体圧を加えるパ呼キンを用いることで容易にＰ、
の値を１Ｉ１１ｉでき、初期の目的が達成されるもので
ある。
なＰｓＯ値を持つパツキンを選定する必要があるが、内
部に流体圧を加えるパ呼キンを用いることで容易にＰ、
の値を１Ｉ１１ｉでき、初期の目的が達成されるもので
ある。
２重に配列した外側の中空パツキンの中３２部に流体圧
を加え、突起を高（することにより、真空７ランジの変
形、加工精度を吸収して、パツキンと真空フランジとが
密着し、容器内を仮に真空引きすることにより、外圧が
作用、外圧力により真空シールを目的とする内側のパツ
キンと真空フランジとを密着させることができる。
を加え、突起を高（することにより、真空７ランジの変
形、加工精度を吸収して、パツキンと真空フランジとが
密着し、容器内を仮に真空引きすることにより、外圧が
作用、外圧力により真空シールを目的とする内側のパツ
キンと真空フランジとを密着させることができる。
この場合、真空による吸引力と真空フランジのボルト締
付力を併用することもできる。
付力を併用することもできる。
以下、本発明の一実施例を第１図から′Ｍ４図により跣
明する。
明する。
図において、第１図は本発明を適用した大型真空容器を
示す。真空客ｔｉｔにカバー２が固定され容器内で真空
に保持されるものである。第１図の本体フランジ部の詳
細な′！Ｊ２図に示す。真空容器ｌ側に本体７ランジ３
を設け、カバー２側にはカバーフランジ４を設けている
。本体７ランジ３とカバーフランジ４との間に真空シー
ル用のＯリング５が設けられ、二のＯリングを本体７ラ
ンジとカバー７ランジ４との間で密着させて使用するも
のである。
示す。真空客ｔｉｔにカバー２が固定され容器内で真空
に保持されるものである。第１図の本体フランジ部の詳
細な′！Ｊ２図に示す。真空容器ｌ側に本体７ランジ３
を設け、カバー２側にはカバーフランジ４を設けている
。本体７ランジ３とカバーフランジ４との間に真空シー
ル用のＯリング５が設けられ、二のＯリングを本体７ラ
ンジとカバー７ランジ４との間で密着させて使用するも
のである。
ここで小径の容器であれば、ボルト８等により０リング
を密着させることができるが、大径の容器になると本体
７ランジ３や、カバーフランジ４のパブキン面が自重等
により変形を起こしたり、大径ゆえに自重が重く、取扱
いが非常に１バパヅキン面にすきまがおいてしまう。そ
の状態を示したのが第４図である。二〇状聾ですきまを
無くすためにボルト８で絞めつけるには、ボルト８が非
常に多く必要で、かつ、本体フラノン３およびカバー７
ランジ４の変形をボルト８で矯正するには、美大な締付
力が必要となり、大変難しい二とになる。
を密着させることができるが、大径の容器になると本体
７ランジ３や、カバーフランジ４のパブキン面が自重等
により変形を起こしたり、大径ゆえに自重が重く、取扱
いが非常に１バパヅキン面にすきまがおいてしまう。そ
の状態を示したのが第４図である。二〇状聾ですきまを
無くすためにボルト８で絞めつけるには、ボルト８が非
常に多く必要で、かつ、本体フラノン３およびカバー７
ランジ４の変形をボルト８で矯正するには、美大な締付
力が必要となり、大変難しい二とになる。
ここで、この課題を解決するために、シール部材として
突起高さを流体圧により＃整できる中空パツキン６を入
れると、本体７ランジ３とカバーフランジ４のすきまが
大きくＯリング５とカバー７ランジ４が密着していない
状態であっても、中空パツキン６とカバーフランジ４と
は容易に密着させる二とができる。この状態で真空容器
４内を徐々に真空引きして行くと、中空パツキン６の部
分から空気が多少真空容器１内に洩れ込んでも、気体の
洩れ量よりも真空排気装置の排気能力が勝るため、真空
容器ｌ内の圧力が徐々に低下していくため、カバーフラ
ンジ４側に外圧が作用し、徐々にカバ−７ランジ４全体
が本体フランジ３側へ密着するように動いてゆく。そし
て最後には０リング５を押しつぶして真空シールを完了
する。その状態を第３図に示す。
突起高さを流体圧により＃整できる中空パツキン６を入
れると、本体７ランジ３とカバーフランジ４のすきまが
大きくＯリング５とカバー７ランジ４が密着していない
状態であっても、中空パツキン６とカバーフランジ４と
は容易に密着させる二とができる。この状態で真空容器
４内を徐々に真空引きして行くと、中空パツキン６の部
分から空気が多少真空容器１内に洩れ込んでも、気体の
洩れ量よりも真空排気装置の排気能力が勝るため、真空
容器ｌ内の圧力が徐々に低下していくため、カバーフラ
ンジ４側に外圧が作用し、徐々にカバ−７ランジ４全体
が本体フランジ３側へ密着するように動いてゆく。そし
て最後には０リング５を押しつぶして真空シールを完了
する。その状態を第３図に示す。
本実施例によれば、大型真空容器において、フランジ部
が自重等で変形やたわみを生じていても。
が自重等で変形やたわみを生じていても。
７ランジ部が密着できるので、ボルト等を多数設けて締
め付ける必要がなく、安全かつ確実に７ランジ部が容易
にａ！Ｉ看できる。さらに、フランジ部を剛体に形成す
る必要がないために、より安価に真空シール構造を構成
できる効果がある。
め付ける必要がなく、安全かつ確実に７ランジ部が容易
にａ！Ｉ看できる。さらに、フランジ部を剛体に形成す
る必要がないために、より安価に真空シール構造を構成
できる効果がある。
本発明によれば、大型真空容器において、７ランジ部が
、自重等で変形やたわみｔ生じていても安全かつ確実に
フランクが容易に密着できる大型真空容器の真空シール
構成が形成できる効果がある。
、自重等で変形やたわみｔ生じていても安全かつ確実に
フランクが容易に密着できる大型真空容器の真空シール
構成が形成できる効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の大型真空容器の正面図、
ＩＪ２図は、第１図の７ランジ部の詳動図で、本体７ラ
ンジにパツキンを装着した状態の説明図、第３図は同じ
く第１図の７ランジ部の詳細図で、外圧が作用しパツキ
ンが押しつぶされた状態の説明図、第４図は第１図の１
−１線断面図である。 ｌ・・・・・・真空容器、２・・・・・・カバー ３・
・・・・・本体フランジ、４・・・・・・カバー７ラン
ジ、５・・・・・・０リング、６・・・・・・中空パツ
キン、７・・・・・・加圧配管、８・曲・ボルト 代理人 弁理士 小 川 勝 男 第 図
ＩＪ２図は、第１図の７ランジ部の詳動図で、本体７ラ
ンジにパツキンを装着した状態の説明図、第３図は同じ
く第１図の７ランジ部の詳細図で、外圧が作用しパツキ
ンが押しつぶされた状態の説明図、第４図は第１図の１
−１線断面図である。 ｌ・・・・・・真空容器、２・・・・・・カバー ３・
・・・・・本体フランジ、４・・・・・・カバー７ラン
ジ、５・・・・・・０リング、６・・・・・・中空パツ
キン、７・・・・・・加圧配管、８・曲・ボルト 代理人 弁理士 小 川 勝 男 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、相対するフランジ面間にＯリング等のシール部材を
設けて成る大型真空容器の真空シール構造において、 前記フランジ間に前記シール部材の他に柔軟性のあるシ
ール材を設け、該柔軟性のあるシール材がフランジ部の
変形や傾きに対して追従し、かつ真空引きによりフラン
ジ面間に密着し、前記Ｏリング等のシール部で真空シー
ルさせるように構成したことを特徴とする大型真空容器
の真空シール構造。 ２、前記柔軟性のあるシール材は、中空部材で形成し、
該中空部材の内部へ流体を供給する構成としたことを特
徴とする請求項第１項記載の大型真空容器の真空シール
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12908590A JPH0425667A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12908590A JPH0425667A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425667A true JPH0425667A (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=15000710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12908590A Pending JPH0425667A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 大型真空容器の真空シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425667A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7004879B2 (en) * | 2004-01-12 | 2006-02-28 | American Axle & Manufacturing, Inc. | Axle differential with stamped carrier cover pan |
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
-
1990
- 1990-05-21 JP JP12908590A patent/JPH0425667A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7004879B2 (en) * | 2004-01-12 | 2006-02-28 | American Axle & Manufacturing, Inc. | Axle differential with stamped carrier cover pan |
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
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