JPH04256828A - サンプリング装置 - Google Patents
サンプリング装置Info
- Publication number
- JPH04256828A JPH04256828A JP3018650A JP1865091A JPH04256828A JP H04256828 A JPH04256828 A JP H04256828A JP 3018650 A JP3018650 A JP 3018650A JP 1865091 A JP1865091 A JP 1865091A JP H04256828 A JPH04256828 A JP H04256828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- gas
- introducing pipe
- refrigerant
- quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高温雰囲気の中で発生す
る金属および化合物の蒸気を捕集し、その成分を分析す
るためのサンプリング装置に関するもの。
る金属および化合物の蒸気を捕集し、その成分を分析す
るためのサンプリング装置に関するもの。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すようにインピンジャーと称す
る通気構造を有する容器１０に気体中の目的成分が溶解
もしくは化学反応により吸収される吸収液１４を満たし
、吸引口１１より吸引し、気体を導入口１２およびノズ
ル１３を通じてバブリングさせて目的分析成分を吸収液
中に捕集するための装置が主流であった。
る通気構造を有する容器１０に気体中の目的成分が溶解
もしくは化学反応により吸収される吸収液１４を満たし
、吸引口１１より吸引し、気体を導入口１２およびノズ
ル１３を通じてバブリングさせて目的分析成分を吸収液
中に捕集するための装置が主流であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のイン
ピンジャーによる捕集方法は、室温付近の気体中の成分
を捕集するのに支障はないが、高温の気体には適用が難
しい。すなわち、高温の気体が直接に吸収液に接するこ
とにより吸収液の温度上昇によって、吸収液の蒸発，分
解，吸収効率の低下，等の問題が生じてくる。更に高温
、例えば８００℃以上の炉内の気体に適用するとなると
、突沸の危険性をともなうため直接に気体をインピンジ
ャーに導入することはできない。
ピンジャーによる捕集方法は、室温付近の気体中の成分
を捕集するのに支障はないが、高温の気体には適用が難
しい。すなわち、高温の気体が直接に吸収液に接するこ
とにより吸収液の温度上昇によって、吸収液の蒸発，分
解，吸収効率の低下，等の問題が生じてくる。更に高温
、例えば８００℃以上の炉内の気体に適用するとなると
、突沸の危険性をともなうため直接に気体をインピンジ
ャーに導入することはできない。
【０００４】本発明は上記課題を解決するもので、高温
の気体中に存在する金属蒸気および高沸点化合物の蒸気
を効率よく捕集するサンプリング装置を提供することを
目的としている。
の気体中に存在する金属蒸気および高沸点化合物の蒸気
を効率よく捕集するサンプリング装置を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ガラス，石英またはセラミックスからなる
２重構造の外側と内側の容器の間に冷媒を流すことので
きる容器と、この容器内に気体を導くことのできる取り
外し可能な気体導入管を配してなるものである。
するために、ガラス，石英またはセラミックスからなる
２重構造の外側と内側の容器の間に冷媒を流すことので
きる容器と、この容器内に気体を導くことのできる取り
外し可能な気体導入管を配してなるものである。
【０００６】
【作用】本発明は上記した構成により、導入管から流入
してきた気体が容器内で冷却され、金属蒸気あるいは高
沸点化合物の蒸気が器壁面に凝集して効率的に捕集でき
るものである。
してきた気体が容器内で冷却され、金属蒸気あるいは高
沸点化合物の蒸気が器壁面に凝集して効率的に捕集でき
るものである。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１および
図２を参照しながら説明する。
図２を参照しながら説明する。
【０００８】図１に示すように気体の導入管１は、２重
構造の容器２と摺り合わせ接合部８を通じて接合されて
いる。導入管１の容器内にある先端７は、容器底部９近
くまで達している。導入管１および容器２の材質は、耐
熱性を有し目的とする捕集成分の分析値に影響を与えな
いものであれば何でもよいが、石英ガラスが最も適して
いる。
構造の容器２と摺り合わせ接合部８を通じて接合されて
いる。導入管１の容器内にある先端７は、容器底部９近
くまで達している。導入管１および容器２の材質は、耐
熱性を有し目的とする捕集成分の分析値に影響を与えな
いものであれば何でもよいが、石英ガラスが最も適して
いる。
【０００９】本装置の使用にあたって、容器２は冷媒供
給口３と４の間に冷媒を通す。導入管１の外側先端を測
定しようとする雰囲気内にセットし、吸引口６より吸引
ポンプを用いて適当な流速で吸引する。導入された気体
は容器の内壁面５で冷却され、金属蒸気および高沸点化
合物は凝集し捕捉される。サンプリングが終了したなら
ば、導入管１を通じて酸あるいは水等の適当な溶解液を
注ぎ入れる。特に蒸気圧の低い金属および高沸点化合物
は、空冷された導入管部分に凝集していることがあるの
で、溶解液は導入管の全内面に行きわたるように注ぎ入
れる。導入管１を取り外し、図２に示す容器２の内壁面
５に付着している成分を溶解する。必要ならば冷媒供給
口３から温水を注入し加温して溶解する。
給口３と４の間に冷媒を通す。導入管１の外側先端を測
定しようとする雰囲気内にセットし、吸引口６より吸引
ポンプを用いて適当な流速で吸引する。導入された気体
は容器の内壁面５で冷却され、金属蒸気および高沸点化
合物は凝集し捕捉される。サンプリングが終了したなら
ば、導入管１を通じて酸あるいは水等の適当な溶解液を
注ぎ入れる。特に蒸気圧の低い金属および高沸点化合物
は、空冷された導入管部分に凝集していることがあるの
で、溶解液は導入管の全内面に行きわたるように注ぎ入
れる。導入管１を取り外し、図２に示す容器２の内壁面
５に付着している成分を溶解する。必要ならば冷媒供給
口３から温水を注入し加温して溶解する。
【００１０】この溶解液中の成分を原子吸光法、ＩＣＰ
発光分析法等の適当な方法により測定して気体中の目的
成分濃度を求めることができる。
発光分析法等の適当な方法により測定して気体中の目的
成分濃度を求めることができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明は電子部品，高純度材料の処理工
程の雰囲気ガスの制御や、不純物汚染源調査を目的とす
る気体中の蒸気成分の捕集に適している。気体導入管と
捕集容器が着脱できる構造となっているため、サンプリ
ング後の容器２がそのまま前処理容器として使え、測定
操作が容易で使い勝手のよいサンプリングができる。
程の雰囲気ガスの制御や、不純物汚染源調査を目的とす
る気体中の蒸気成分の捕集に適している。気体導入管と
捕集容器が着脱できる構造となっているため、サンプリ
ング後の容器２がそのまま前処理容器として使え、測定
操作が容易で使い勝手のよいサンプリングができる。
【図１】本発明の一実施例のサンプリング装置の側面図
【図２】導入管を取り外した容器の側面図
【図３】従来
の気体中の成分捕集用サンプリング装置；インピンジャ
ーの側面図
の気体中の成分捕集用サンプリング装置；インピンジャ
ーの側面図
１ 導入管
２ 容器
３ 冷媒供給口
４ 冷媒排出口
５ 容器内壁面
６ 吸引口
７ 導入管先端
８ 摺り合わせ接合部
９ 容器底部
１０ インピンジャー容器
１１ 吸引口
１２ 導入口
１３ ノズル
１４ 吸収液
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス，石英またはセラミックスからなる
２重構造の外側と内側の容器の間に冷媒を通すことので
きる容器と前記容器に取り外し可能な気体導入管を有す
るサンプリング装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3018650A JPH04256828A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | サンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3018650A JPH04256828A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | サンプリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256828A true JPH04256828A (ja) | 1992-09-11 |
Family
ID=11977493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3018650A Pending JPH04256828A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | サンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04256828A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101000288B (zh) | 2006-12-20 | 2011-02-02 | 南京大学 | 大气水汽梯度取样装置及其应用方法 |
| JP2011504235A (ja) * | 2007-11-21 | 2011-02-03 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | 呼気凝縮器 |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP3018650A patent/JPH04256828A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101000288B (zh) | 2006-12-20 | 2011-02-02 | 南京大学 | 大气水汽梯度取样装置及其应用方法 |
| JP2011504235A (ja) * | 2007-11-21 | 2011-02-03 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | 呼気凝縮器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4023929A (en) | Process for determining traces of mercury in liquids | |
| CN105008897B (zh) | 汞监控器 | |
| US6937691B2 (en) | X-ray fluorescence spectrometric system and a program for use therein | |
| CN102478466A (zh) | 一种气溶胶采样进样装置 | |
| JP2001511257A (ja) | 総合粒子収集気化化学モニタリング | |
| EP0132300B1 (en) | Plasma spectroscopic analysis of organometallic compound | |
| WO2013099724A1 (ja) | ミスト含有ガス分析装置 | |
| CN107402252A (zh) | 高温难熔矿物激光‑BrF5法氧同位素组成分析系统和方法 | |
| JP3672267B2 (ja) | 微量金属分析用標準ガス、標準ガスの調製装置および標準ガスの調製方法 | |
| CN206523423U (zh) | 一种烟气中二氧化硫含量测量的光谱装置 | |
| Bertenyi et al. | Analysis of trimethylgallium with inductively coupled plasma spectrometry | |
| CN207457129U (zh) | 高温难熔矿物激光-BrF5法氧同位素组成分析系统 | |
| TW201033603A (en) | Apparatus and method for analyzing out-gassing of molecular contaminants from a sample | |
| US5328663A (en) | Apparatus for the trapping of reaction products | |
| JP3608183B2 (ja) | 珪素化合物ガス中のシロキサンの分析方法とその装置 | |
| KR102541889B1 (ko) | 할로실란을 샘플링하기 위한 시스템 및 방법 | |
| JPH10104133A (ja) | ガス試料採取装置 | |
| KR100187448B1 (ko) | 반도체용 케미칼 농축방법 및 장치 | |
| JPH10339691A (ja) | 表面不純物測定方法 | |
| JP2001141721A (ja) | 微量金属不純物の分析方法 | |
| JPS626523Y2 (ja) | ||
| US12270795B2 (en) | Semi-online analytical apparatus for measuring atmospheric trace nitrogen-containing organic components | |
| JP2002340751A (ja) | 試料水の水質評価方法および試料水中の不純物採取装置 | |
| JP2000221185A (ja) | 鉄鋼中のほう素分析方法および装置 | |
| JPH05326665A (ja) | 汚染物質捕集装置 |