JPH04257689A - 湿潤金属の乾燥方法 - Google Patents
湿潤金属の乾燥方法Info
- Publication number
- JPH04257689A JPH04257689A JP3035034A JP3503491A JPH04257689A JP H04257689 A JPH04257689 A JP H04257689A JP 3035034 A JP3035034 A JP 3035034A JP 3503491 A JP3503491 A JP 3503491A JP H04257689 A JPH04257689 A JP H04257689A
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- JP
- Japan
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- drying
- drying box
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- semi
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- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水洗後の金属素材表面
やめっき面の乾燥に関する。
やめっき面の乾燥に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体実装用として用いられる部材にリ
ードフレームやＴＡＢがある。リードフレームは、鉄系
合金あるいは銅系合金を素材とし、これをプレス加工し
、前処理をした後、めっきして製造され、又、ＴＡＢは
絶縁性フィルムの片面、あるいは両面に導電性被膜を設
けられた基板を素材とし、これをエッチングすることに
より製造されている。
ードフレームやＴＡＢがある。リードフレームは、鉄系
合金あるいは銅系合金を素材とし、これをプレス加工し
、前処理をした後、めっきして製造され、又、ＴＡＢは
絶縁性フィルムの片面、あるいは両面に導電性被膜を設
けられた基板を素材とし、これをエッチングすることに
より製造されている。
【０００３】それぞれの製造工程に於いて、めっき前処
理後、あるいはめっき後に素材を水洗し、乾燥する工程
が設けられている。この乾燥は、熱風ボックスと、乾燥
ボックスと、該乾燥ボックスと前記熱風ボックスとを結
ぶダクトからなる装置を用い、熱風ボックス内に遠赤外
線ヒーターを設置し、送風機を用いてエアフィルターを
介して熱風ボックス内に外気を吹込み、熱風を発生させ
、該熱風をダクトを介して前記乾燥ボックス内に吹込み
、乾燥ボックス内を通過する水洗後の濡れた素材を乾燥
させることにより行っている。
理後、あるいはめっき後に素材を水洗し、乾燥する工程
が設けられている。この乾燥は、熱風ボックスと、乾燥
ボックスと、該乾燥ボックスと前記熱風ボックスとを結
ぶダクトからなる装置を用い、熱風ボックス内に遠赤外
線ヒーターを設置し、送風機を用いてエアフィルターを
介して熱風ボックス内に外気を吹込み、熱風を発生させ
、該熱風をダクトを介して前記乾燥ボックス内に吹込み
、乾燥ボックス内を通過する水洗後の濡れた素材を乾燥
させることにより行っている。
【０００４】しかし、上記方法は、例えば素材がリード
フレームの場合には、発生させる熱風の温度は１７０℃
前後となり、かつ乾燥ボックス内が高温、高湿度になる
ため、これらの装置はステンレス等の耐蝕性の高い材料
で作成しなければならず、高価なものとならざるを得な
い。又、耐蝕性の高い材料を用いても、乾燥ボックス内
面に露出する金属部は腐食しやすく、サビが発生しやす
い。サビが発生すると、このサビは飛散して素材表面に
付着し、不良品の多発を招くという欠点がある。又、上
記方法では、乾燥ボックス内での温度分布が不均一とな
り、乾燥速度が不均一となりシミやサビ付着や変色やヤ
ケの発生を防止できないという欠点がある。この温度分
布の不均一さによる乾燥速度の差をなくすべく熱風温度
を高くすると、めっき面や絶縁性フィルムに悪影響が生
じるという欠点がある。さらに、エアフィルターにより
除去される事なく乾燥ボックス内に吹込まれた外気中の
極微細なゴミや腐食性のガス等は素材表面に付着し、サ
ビ、異物、変色等の不良原因となるという欠点があり、
装置全体をクリーンルームに設けたり、局所排気設備を
強化したりすることが必要とされる。
フレームの場合には、発生させる熱風の温度は１７０℃
前後となり、かつ乾燥ボックス内が高温、高湿度になる
ため、これらの装置はステンレス等の耐蝕性の高い材料
で作成しなければならず、高価なものとならざるを得な
い。又、耐蝕性の高い材料を用いても、乾燥ボックス内
面に露出する金属部は腐食しやすく、サビが発生しやす
い。サビが発生すると、このサビは飛散して素材表面に
付着し、不良品の多発を招くという欠点がある。又、上
記方法では、乾燥ボックス内での温度分布が不均一とな
り、乾燥速度が不均一となりシミやサビ付着や変色やヤ
ケの発生を防止できないという欠点がある。この温度分
布の不均一さによる乾燥速度の差をなくすべく熱風温度
を高くすると、めっき面や絶縁性フィルムに悪影響が生
じるという欠点がある。さらに、エアフィルターにより
除去される事なく乾燥ボックス内に吹込まれた外気中の
極微細なゴミや腐食性のガス等は素材表面に付着し、サ
ビ、異物、変色等の不良原因となるという欠点があり、
装置全体をクリーンルームに設けたり、局所排気設備を
強化したりすることが必要とされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、水洗
後の金属表面を乾燥させるに際し、上記欠点のない乾燥
を可能とする乾燥方法とそれに用いる装置の提供にある
。
後の金属表面を乾燥させるに際し、上記欠点のない乾燥
を可能とする乾燥方法とそれに用いる装置の提供にある
。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の方法は、水洗後の金属素材表面やメッキ面を乾燥す
るに際して、室温より露天の低い空気を用いて素材を乾
燥するものであり、好ましくは露点が−４０〜−８０℃
の空気を用いるものであり、本発明の乾燥装置は、コン
プレッサーと、空気浄化装置と、除湿機と、半密閉式乾
燥ボックスとから構成され、コンプレッサーの昇圧空気
排出側に空気浄化装置を配管を介して設置し、該空気浄
化装置出口側に除湿機を配管を介して設置し、該除湿機
の出口と半密閉式乾燥ボックスとを配管で結合したもの
である。
明の方法は、水洗後の金属素材表面やメッキ面を乾燥す
るに際して、室温より露天の低い空気を用いて素材を乾
燥するものであり、好ましくは露点が−４０〜−８０℃
の空気を用いるものであり、本発明の乾燥装置は、コン
プレッサーと、空気浄化装置と、除湿機と、半密閉式乾
燥ボックスとから構成され、コンプレッサーの昇圧空気
排出側に空気浄化装置を配管を介して設置し、該空気浄
化装置出口側に除湿機を配管を介して設置し、該除湿機
の出口と半密閉式乾燥ボックスとを配管で結合したもの
である。
【０００７】
【作用】本発明の方法は、外気の影響を排除できる半密
閉式乾燥ボックスに素材を導入し、該半密閉式乾燥ボッ
クス内で室温より露点の低い空気を用いて乾燥するもの
である。以下実施例を用いて本発明を説明する。
閉式乾燥ボックスに素材を導入し、該半密閉式乾燥ボッ
クス内で室温より露点の低い空気を用いて乾燥するもの
である。以下実施例を用いて本発明を説明する。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の装置の構成の１例をブロック
ダイヤグラムを用いて示したものであり、コンプレッサ
ーと、空気浄化装置と、除湿機と、半密閉式乾燥ボック
スとから構成され、空気浄化装置はエアフィルターとミ
クロフィルターとから構成されている。
ダイヤグラムを用いて示したものであり、コンプレッサ
ーと、空気浄化装置と、除湿機と、半密閉式乾燥ボック
スとから構成され、空気浄化装置はエアフィルターとミ
クロフィルターとから構成されている。
【０００９】
【図１】
【００１０】本例に於いて、コンプレッサーで昇圧され
た空気はエアフィルターを通過することにより凝縮水と
ダストとが除去される。次いで、ミクロフィルターによ
り微細なダストやオイルミストが除去され、除湿機に送
られる。除湿機で除湿され、露点が室温より低くされた
空気は乾燥用空気として半密閉式乾燥ボックスに送られ
る。又、昇圧された空気中の腐食性ガス等は一部は凝縮
水と共に除去され、一部は除湿機で除去される。
た空気はエアフィルターを通過することにより凝縮水と
ダストとが除去される。次いで、ミクロフィルターによ
り微細なダストやオイルミストが除去され、除湿機に送
られる。除湿機で除湿され、露点が室温より低くされた
空気は乾燥用空気として半密閉式乾燥ボックスに送られ
る。又、昇圧された空気中の腐食性ガス等は一部は凝縮
水と共に除去され、一部は除湿機で除去される。
【００１１】本発明に於いて用いることのできるコンプ
レッサーは市販のものでよく、特に限定するものではな
い。また、ミクロフィルターは０．０１以上のゴミの除
去を可能とするものであれば良い。さらに、除湿機は露
点が室温より低くできるもの、好ましくは露点が−４０
〜−８０℃とすることができるものであれば良く、特に
こだわるものではない。
レッサーは市販のものでよく、特に限定するものではな
い。また、ミクロフィルターは０．０１以上のゴミの除
去を可能とするものであれば良い。さらに、除湿機は露
点が室温より低くできるもの、好ましくは露点が−４０
〜−８０℃とすることができるものであれば良く、特に
こだわるものではない。
【００１２】図２は本発明に使用する半密閉式乾燥ボッ
クスの１例を示したものであり、ａは正面図であり、ｂ
は左側面図であり、ｃは右側面図である。図中、１〜１
’’’はそれぞれ乾燥用空気の吹込み口であり、２、２
’は素材の挿入、排出口である。吹込み口より半密閉式
乾燥ボックス内に吹込まれた乾燥用空気は素材の挿入口
と排出口とから半密閉式乾燥ボックス外に排出される。 このため、外部からの半密閉式乾燥ボックス内への腐食
性ガスノ混入は防止される。本例では、ボックス本体が
円筒状になっているが、この形状には特にこだわるもの
ではない。又、吹込み口の最適取付位置については、乾
燥用空気の吹込み量やボックス本体の形状や挿入口や排
出口の大きさにより異なるため、装置全体を考慮して決
めなければならない。又、用いる乾燥用空気は室温でよ
く、加熱する必要が無いため、半密閉式乾燥ボックスを
塩化ビニール等の安価な材料で作成することができる。 加えて、透明アクリルを用いて乾燥ボックスを作成すれ
ば、乾燥状況が外部より観察できるため特に好ましい。
クスの１例を示したものであり、ａは正面図であり、ｂ
は左側面図であり、ｃは右側面図である。図中、１〜１
’’’はそれぞれ乾燥用空気の吹込み口であり、２、２
’は素材の挿入、排出口である。吹込み口より半密閉式
乾燥ボックス内に吹込まれた乾燥用空気は素材の挿入口
と排出口とから半密閉式乾燥ボックス外に排出される。 このため、外部からの半密閉式乾燥ボックス内への腐食
性ガスノ混入は防止される。本例では、ボックス本体が
円筒状になっているが、この形状には特にこだわるもの
ではない。又、吹込み口の最適取付位置については、乾
燥用空気の吹込み量やボックス本体の形状や挿入口や排
出口の大きさにより異なるため、装置全体を考慮して決
めなければならない。又、用いる乾燥用空気は室温でよ
く、加熱する必要が無いため、半密閉式乾燥ボックスを
塩化ビニール等の安価な材料で作成することができる。 加えて、透明アクリルを用いて乾燥ボックスを作成すれ
ば、乾燥状況が外部より観察できるため特に好ましい。
【００１３】
【図２】
【００１４】図３は、日立製作所製コンプレッサーＯＳ
Ｐ−３７Ｕ６ＷＩを用いて７．０Ｋｇｆ／ｃｍ２ の空
気を得、該空気を日立製作所製エァフィルターＨＡＦ−
１３を通し、次いで圧を５．５Ｋｇｆ／ｃｍ２ に調節
し、日立製作所製ミクロフィルターＨＭＦ−１３を通し
、次いで協和化工株式会社製マッキンタイアーコンパク
ト・エアドライヤー ＣＴＫ−Ａ−１０３００ を用い
て露点−７０℃の乾燥用空気を得、該乾燥用空気をメッ
キ前処理後の乾燥工程と、メッキ後の乾燥工程とに設け
られた図２に示した直径１００ｍｍ、長さ７００ｍｍの
パイレックスガラス製の半密閉式乾燥ボックス内へ、吹
込み量と吹込み口からの吹込み速度とを変えて吹込み、
リードフレームを乾燥して得た結果を示した図である。 ○は良好な結果が得られたことを示し、△は従来と同程
度の結果であった事を示し、×は良好な結果が得られな
かったことを示す。
Ｐ−３７Ｕ６ＷＩを用いて７．０Ｋｇｆ／ｃｍ２ の空
気を得、該空気を日立製作所製エァフィルターＨＡＦ−
１３を通し、次いで圧を５．５Ｋｇｆ／ｃｍ２ に調節
し、日立製作所製ミクロフィルターＨＭＦ−１３を通し
、次いで協和化工株式会社製マッキンタイアーコンパク
ト・エアドライヤー ＣＴＫ−Ａ−１０３００ を用い
て露点−７０℃の乾燥用空気を得、該乾燥用空気をメッ
キ前処理後の乾燥工程と、メッキ後の乾燥工程とに設け
られた図２に示した直径１００ｍｍ、長さ７００ｍｍの
パイレックスガラス製の半密閉式乾燥ボックス内へ、吹
込み量と吹込み口からの吹込み速度とを変えて吹込み、
リードフレームを乾燥して得た結果を示した図である。 ○は良好な結果が得られたことを示し、△は従来と同程
度の結果であった事を示し、×は良好な結果が得られな
かったことを示す。
【００１５】
【図３】
【００１６】図３より、吹込み速度と吹込み量が一定の
関係を満たさなければ良好な結果が得られないことがわ
かる。しかし、この関係は用いる半密閉式乾燥ボックス
や乾燥用空気の露点により異なるため、予め求めておく
事が望ましい。
関係を満たさなければ良好な結果が得られないことがわ
かる。しかし、この関係は用いる半密閉式乾燥ボックス
や乾燥用空気の露点により異なるため、予め求めておく
事が望ましい。
【００１７】（実施例１）幅２７〜６０ｍｍ、厚さ０．
１５〜０．２５ｍｍの銅材で、長さ５４０ｍを１Ｌｏｔ
とするリードフレームの製造工程のめっき前処理後の乾
燥工程と、めっき終了後の乾燥工程とに上記乾燥試験に
用いた装置を組込、操業試験を行った。試験Ｌｏｔ数は
６Ｌｏｔであり、１Ｌｏｔ中のリードフレームは約４３
００個であり、全数検査を行った。得られた結果は、合
格率９７．５〜９９．１％、平均合格率９８．４％と極
めて高いものであった。不合格を原因別に見ると、サビ
によるものが０．０５％、シミによるものが０．５７％
、異物によるものが０．３４％、その他０．６４％とな
っていた。
１５〜０．２５ｍｍの銅材で、長さ５４０ｍを１Ｌｏｔ
とするリードフレームの製造工程のめっき前処理後の乾
燥工程と、めっき終了後の乾燥工程とに上記乾燥試験に
用いた装置を組込、操業試験を行った。試験Ｌｏｔ数は
６Ｌｏｔであり、１Ｌｏｔ中のリードフレームは約４３
００個であり、全数検査を行った。得られた結果は、合
格率９７．５〜９９．１％、平均合格率９８．４％と極
めて高いものであった。不合格を原因別に見ると、サビ
によるものが０．０５％、シミによるものが０．５７％
、異物によるものが０．３４％、その他０．６４％とな
っていた。
【００１８】この値は、従来の合格率８５〜９０％、平
均合格率８８％、サビによる不合格率０．４％、シミに
よる不合格率１０％、異物による不合格率１．２％、そ
の他の原因による不合格率０．４％よりはるかに良好な
ものである。
均合格率８８％、サビによる不合格率０．４％、シミに
よる不合格率１０％、異物による不合格率１．２％、そ
の他の原因による不合格率０．４％よりはるかに良好な
ものである。
【００１９】以上に示したように、本発明の方法と装置
を用いれば乾燥による不良率の発生を著しく減少できる
が、これはフィルターにより除塵した空気を除湿するこ
とにより室温の乾燥用空気を用いたためである。
を用いれば乾燥による不良率の発生を著しく減少できる
が、これはフィルターにより除塵した空気を除湿するこ
とにより室温の乾燥用空気を用いたためである。
【００２０】
【発明の効果】本発明の方法と装置を用いれば乾燥によ
る不良率の発生を著しく減少できるばかりでなく、加熱
空気を用いないために、素材に悪影響を及ぼさない。 又、半密閉式乾燥ボックスを用いるため、装置全体をク
リーン度の高いクリーンルームに設ける必要がない。さ
らに、乾燥ボックスを透明にする事により作業の簡略化
、能率化ができる事等から、本発明の方法と装置は工業
的に極めて有用である。
る不良率の発生を著しく減少できるばかりでなく、加熱
空気を用いないために、素材に悪影響を及ぼさない。 又、半密閉式乾燥ボックスを用いるため、装置全体をク
リーン度の高いクリーンルームに設ける必要がない。さ
らに、乾燥ボックスを透明にする事により作業の簡略化
、能率化ができる事等から、本発明の方法と装置は工業
的に極めて有用である。
【図１】 本発明の装置の構成の１例をブロックダイ
ヤグラムを用いて示した図である。
ヤグラムを用いて示した図である。
【図２】 本発明に使用する乾燥ボックスの１例を示
した図であり、ａは正面図、ｂは左側面図、ｃは右側面
図である。
した図であり、ａは正面図、ｂは左側面図、ｃは右側面
図である。
【図３】 乾燥ボックス内への乾燥用空気の吹込み量
と吹込み口からの吹込み速度が乾燥後の素材表面に与え
る効果を示した本発明の実施例の結果である。
と吹込み口からの吹込み速度が乾燥後の素材表面に与え
る効果を示した本発明の実施例の結果である。
１、１’、１’’、１’’’−−−吹込み口２−−−−
−−−−−−−−挿入口 ２’ −−−−−−−−−−−排出口
−−−−−−−−挿入口 ２’ −−−−−−−−−−−排出口
Claims (2)
- 【請求項１】 水洗後の金属素材表面やメッキ面
を半密閉式の乾燥ボックスを用いて乾燥するに際して、
乾燥ボックス内に室温より露天の低い空気を吹込むこと
を特徴とする乾燥方法。 - 【請求項２】 コンプレッサーと、該コンプレッ
サーの昇圧空気排出側に設けられた空気浄化装置と、該
空気浄化装置の出口側に設けられた除湿機と、該除湿機
の出口側に設けられた半密閉式乾燥ボックスとからなる
ことを特徴とする乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3035034A JPH04257689A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 湿潤金属の乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3035034A JPH04257689A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 湿潤金属の乾燥方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04257689A true JPH04257689A (ja) | 1992-09-11 |
Family
ID=12430774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3035034A Pending JPH04257689A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 湿潤金属の乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04257689A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0725923U (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-16 | シーケーディ株式会社 | 除湿装置 |
| JP2002239332A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Orion Mach Co Ltd | 圧縮空気供給システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS531938A (en) * | 1976-06-29 | 1978-01-10 | Sanko Co Inc | Method of muddy water backkfilling construction in method of muddy water shield construction |
| JPS57208013A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-21 | Fujikura Ltd | Method of removing remaining liquid of interior of twisted wire |
| JPS5953831B2 (ja) * | 1982-10-28 | 1984-12-27 | 工業技術院長 | 新規プラスミドを保有する新規微生物 |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3035034A patent/JPH04257689A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS531938A (en) * | 1976-06-29 | 1978-01-10 | Sanko Co Inc | Method of muddy water backkfilling construction in method of muddy water shield construction |
| JPS57208013A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-21 | Fujikura Ltd | Method of removing remaining liquid of interior of twisted wire |
| JPS5953831B2 (ja) * | 1982-10-28 | 1984-12-27 | 工業技術院長 | 新規プラスミドを保有する新規微生物 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0725923U (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-16 | シーケーディ株式会社 | 除湿装置 |
| JP2002239332A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Orion Mach Co Ltd | 圧縮空気供給システム |
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