JPH04258575A - 真空用磁気シール装置 - Google Patents
真空用磁気シール装置Info
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- JPH04258575A JPH04258575A JP3020862A JP2086291A JPH04258575A JP H04258575 A JPH04258575 A JP H04258575A JP 3020862 A JP3020862 A JP 3020862A JP 2086291 A JP2086291 A JP 2086291A JP H04258575 A JPH04258575 A JP H04258575A
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- JP
- Japan
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- vacuum
- magnetic fluid
- vacuum chamber
- seal
- magnetic
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- Granted
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空用磁気シールの方法
及びそのための装置に関するもので、特に磁性流体を使
用した方法及び装置に関する。
及びそのための装置に関するもので、特に磁性流体を使
用した方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空室内で回転を伴う各種駆動装置を稼
働させる場合、従来大気中に設置してある駆動源で回転
を発生させ、この回転力を軸により真空室の壁面を貫通
して真空室内に伝達する場合、真空室の壁面には磁性流
体シールを使用して真空室内の真空保持を行うことが一
般に実施されている。
働させる場合、従来大気中に設置してある駆動源で回転
を発生させ、この回転力を軸により真空室の壁面を貫通
して真空室内に伝達する場合、真空室の壁面には磁性流
体シールを使用して真空室内の真空保持を行うことが一
般に実施されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、磁性流体シー
ルはコロイド溶媒を用いているため油分の蒸発により、
実用上使用出来る磁性流体シールの圧力は１０−８Ｔｏ
ｒｒ以上であり、これ以下の超高真空の場合には使用出
来ない。
ルはコロイド溶媒を用いているため油分の蒸発により、
実用上使用出来る磁性流体シールの圧力は１０−８Ｔｏ
ｒｒ以上であり、これ以下の超高真空の場合には使用出
来ない。
【０００４】従って、１０−１０ Ｔｏｒｒの超高真空
室内において各種駆動装置を稼働させたい場合に使用出
来る磁性流体シールはなかった。
室内において各種駆動装置を稼働させたい場合に使用出
来る磁性流体シールはなかった。
【０００５】又、真空室内に腐食性のガスが導入される
場合や高温雰囲気、プラズマ反応等がある環境下では、
磁性流体シールの磁気シール材がこれらにより分解・変
質され、例え１０−８Ｔｏｒｒ以上の真空の場合でも使
用し難いという問題がある。
場合や高温雰囲気、プラズマ反応等がある環境下では、
磁性流体シールの磁気シール材がこれらにより分解・変
質され、例え１０−８Ｔｏｒｒ以上の真空の場合でも使
用し難いという問題がある。
【０００６】本発明は上述の問題を解決して、超高真空
の場合や、腐食性のガスを使用する真空室の場合でも安
定して使用可能な磁気シール方法及びその装置を提供す
ることを課題とする。
の場合や、腐食性のガスを使用する真空室の場合でも安
定して使用可能な磁気シール方法及びその装置を提供す
ることを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、真空室内に回転動力を伝達するために軸の周囲を
磁性流体を用いてシールする方法において、磁性流体に
よるシール部分と真空室内との間に前記真空室内より比
較的圧力の高い真空キャビティーを設け、この真空キャ
ビティーと前記磁性流体によるシール部分との従属構造
として二段階シールする真空用磁気シール方法を使用す
るものである。
めに、真空室内に回転動力を伝達するために軸の周囲を
磁性流体を用いてシールする方法において、磁性流体に
よるシール部分と真空室内との間に前記真空室内より比
較的圧力の高い真空キャビティーを設け、この真空キャ
ビティーと前記磁性流体によるシール部分との従属構造
として二段階シールする真空用磁気シール方法を使用す
るものである。
【０００８】このための装置として、真空室１内に回転
動力を伝達するために軸３の周囲を磁性流体を用いてシ
ールするシール装置において、前記軸３が前記真空室１
の壁面１ａを貫通する軸受部分の円筒形のホルダー２の
両端部分に設けられた内側及び外側ベアリング６、８の
間に設けられたシール手段５により形成される真空キャ
ビティー１０と、この真空キャビティー１０と外側ベア
リング８の間に設けられた磁性流体シール４とよりなる
ものである。
動力を伝達するために軸３の周囲を磁性流体を用いてシ
ールするシール装置において、前記軸３が前記真空室１
の壁面１ａを貫通する軸受部分の円筒形のホルダー２の
両端部分に設けられた内側及び外側ベアリング６、８の
間に設けられたシール手段５により形成される真空キャ
ビティー１０と、この真空キャビティー１０と外側ベア
リング８の間に設けられた磁性流体シール４とよりなる
ものである。
【０００９】又、前記ホルダー２の両端部分に設けられ
た内側及び外側ベアリング６、８のうち、前記内側ベア
リング６より前記真空室１側に設けられたシール手段５
により前記内側ベアリング６を内蔵して形成された真空
キャビティー１０と、この真空キャビティー１０と前記
外側ベアリング８の間に設けられた磁性流体シール４と
よりなるものもある。
た内側及び外側ベアリング６、８のうち、前記内側ベア
リング６より前記真空室１側に設けられたシール手段５
により前記内側ベアリング６を内蔵して形成された真空
キャビティー１０と、この真空キャビティー１０と前記
外側ベアリング８の間に設けられた磁性流体シール４と
よりなるものもある。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例の断面図である。真
空室１の壁面１ａにこれを貫通する状態で円筒形のホル
ダー２が壁面１ａとの間にＯリング９等で真空封止状態
を保持するようにボルト７等で固定されている。
空室１の壁面１ａにこれを貫通する状態で円筒形のホル
ダー２が壁面１ａとの間にＯリング９等で真空封止状態
を保持するようにボルト７等で固定されている。
【００１１】このホルダー２の内部の軸方向で真空室１
側及び外側の両端部分に内側ベアリング６及び外側ベア
リング８が設けられており、この内側及び外側ベアリン
グ６、８で保持されて軸３が真空室１の壁面１ａを貫通
して設けられている。
側及び外側の両端部分に内側ベアリング６及び外側ベア
リング８が設けられており、この内側及び外側ベアリン
グ６、８で保持されて軸３が真空室１の壁面１ａを貫通
して設けられている。
【００１２】上記ホルダー２内の内側及び外側ベアリン
グ６、８で構成されている空間で、内側ベアリング６側
にはシール手段５が設けられており、このシール手段５
と外側ベアリング８との間には磁性流体シール４が設け
られている。これらのシール手段５と磁性流体シール４
との間で真空キャビティー１０が形成されている。
グ６、８で構成されている空間で、内側ベアリング６側
にはシール手段５が設けられており、このシール手段５
と外側ベアリング８との間には磁性流体シール４が設け
られている。これらのシール手段５と磁性流体シール４
との間で真空キャビティー１０が形成されている。
【００１３】上述のシール手段５の一例として、図３に
示すような構造のものがある。この例はホルダー２内に
挿入された環状のシール材５ｂが軸３と接触する接触部
５ａの厚みを薄くして、軸３に接する圧力を小さくし、
軸３との間に微小なコンダクタンスを設けてある。
示すような構造のものがある。この例はホルダー２内に
挿入された環状のシール材５ｂが軸３と接触する接触部
５ａの厚みを薄くして、軸３に接する圧力を小さくし、
軸３との間に微小なコンダクタンスを設けてある。
【００１４】この結果、真空キャビティー１０内の圧力
は真空室１内の圧力より比較的高い真空圧となり、磁性
流体シール４が使用出来る真空圧となっている。
は真空室１内の圧力より比較的高い真空圧となり、磁性
流体シール４が使用出来る真空圧となっている。
【００１５】又、シール手段５の接触部５ａと軸３との
間に微小なコンダクタンスが設けられているので、真空
室１内に導入された腐食性ガスは僅かしか磁性流体シー
ル４に到達せず、磁性流体シール４の耐蝕性に問題が起
こらない。
間に微小なコンダクタンスが設けられているので、真空
室１内に導入された腐食性ガスは僅かしか磁性流体シー
ル４に到達せず、磁性流体シール４の耐蝕性に問題が起
こらない。
【００１６】図２は本発明の他の実施例の断面図である
。この実施例の場合は、シール手段５が内側ベアリング
６より更に真空室側に設けられたものである。従って、
シール手段５と磁性流体シール４との間の真空キャビテ
ィー１０には内側ベアリング６が内蔵された構造である
。
。この実施例の場合は、シール手段５が内側ベアリング
６より更に真空室側に設けられたものである。従って、
シール手段５と磁性流体シール４との間の真空キャビテ
ィー１０には内側ベアリング６が内蔵された構造である
。
【００１７】その他の構造は前記実施例と同じであるの
で、説明は省略する。
で、説明は省略する。
【００１８】
【発明の効果】上述ように磁性流体シールの真空側に真
空室より比較的圧力の高い真空キャビティーを設けたの
で、従来の磁性流体シールでは実用上使用出来ない低い
圧力の真空室にも使用できる。即ち、シール手段５を磁
性流体シール４の真空側に取付け、シール手段５と磁性
流体シール４との間に真空室１内より比較的圧力の高い
真空キャビティー１０を設けたもので、磁性流体シール
４が使用出来ない超高真空室でも使用出来る。
空室より比較的圧力の高い真空キャビティーを設けたの
で、従来の磁性流体シールでは実用上使用出来ない低い
圧力の真空室にも使用できる。即ち、シール手段５を磁
性流体シール４の真空側に取付け、シール手段５と磁性
流体シール４との間に真空室１内より比較的圧力の高い
真空キャビティー１０を設けたもので、磁性流体シール
４が使用出来ない超高真空室でも使用出来る。
【００１９】又、腐食性のガスが真空室１内に導入され
る場合、磁性流体シール４の真空側に微少なコンダクタ
ンスを持つシール手段５を設けたので、このシール手段
５を通して磁性流体シール４に到達する腐食性ガスの量
は微少となり、磁性流体シール４の耐蝕性の向上が図ら
れる。
る場合、磁性流体シール４の真空側に微少なコンダクタ
ンスを持つシール手段５を設けたので、このシール手段
５を通して磁性流体シール４に到達する腐食性ガスの量
は微少となり、磁性流体シール４の耐蝕性の向上が図ら
れる。
【図１】本発明の一実施例の真空用磁気シール装置の断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の他の実施例の真空用磁気シール装置の
断面図である。
断面図である。
【図３】シール手段の一例の断面図である。
１ 真空室
１ａ 壁面
２ ホルダー
３ 軸
４ 磁性流体シール
５ シール手段
５ａ 接触部
６ 内側ベアリング
７ ボルト
８ 外側ベアリング
９ Ｏリング
１０ 真空キャビティー
Claims (3)
- 【請求項１】 真空室内に回転動力を伝達するために
軸の周囲を磁性流体を用いてシールする方法において、
磁性流体によるシール部分と真空室内との間に前記真空
室内より比較的圧力の高い真空キャビティーを設け、こ
の真空キャビティーと前記磁性流体によるシール部分と
の従属構造として二段階シールすることを特徴とする真
空用磁気シール方法。 - 【請求項２】 真空室内に回転動力を伝達するために
軸の周囲を磁性流体を用いてシールするシール装置にお
いて、前記軸が前記真空室の壁面を貫通する軸受部分の
円筒形のホルダーの両端部分に設けられた内側及び外側
ベアリングの間に設けられたシール手段により形成され
る真空キャビティーと、この真空キャビティーと外側ベ
アリングの間に設けられた磁性流体シールとよりなるこ
とを特徴とする真空用磁気シール装置。 - 【請求項３】 前記ホルダーの両端部分に設けられた
内側及び外側ベアリングのうち、前記内側ベアリングよ
り前記真空室側に設けられたシール手段により前記内側
ベアリングを内蔵して形成された真空キャビティーと、
この真空キャビティーと前記外側ベアリングの間に設け
られた磁性流体シールとよりなることを特徴とする真空
用磁気シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020862A JP2989904B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 真空用磁気シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020862A JP2989904B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 真空用磁気シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04258575A true JPH04258575A (ja) | 1992-09-14 |
| JP2989904B2 JP2989904B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=12038946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3020862A Expired - Fee Related JP2989904B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 真空用磁気シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989904B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760447A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 気密状態下溶接装置 |
| JP2008064315A (ja) * | 2007-10-29 | 2008-03-21 | Nabtesco Corp | シール |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101908094B1 (ko) * | 2016-11-14 | 2018-10-15 | 박용호 | 자성 유체 씰 |
| CN111336338B (zh) * | 2018-12-18 | 2022-03-29 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 真空腔室用旋转伸缩密封结构 |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP3020862A patent/JP2989904B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760447A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 気密状態下溶接装置 |
| JP2008064315A (ja) * | 2007-10-29 | 2008-03-21 | Nabtesco Corp | シール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989904B2 (ja) | 1999-12-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |