JPH04259385A - 磁気特性変化を利用した信号パターンの形成方法 - Google Patents

磁気特性変化を利用した信号パターンの形成方法

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JPH04259385A
JPH04259385A JP2231991A JP2231991A JPH04259385A JP H04259385 A JPH04259385 A JP H04259385A JP 2231991 A JP2231991 A JP 2231991A JP 2231991 A JP2231991 A JP 2231991A JP H04259385 A JPH04259385 A JP H04259385A
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彰生 佐藤
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松縄 朗
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、位置や速度を検出する
非接触型センサーなどに使用される、金属表面に磁気特
性の異なる信号パターン(磁気目盛りなど)を形成する
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】金属表面へのレーザ光照射による再溶融
凝固で金属材料の磁気特性を変えることを利用して信号
パターン(磁気目盛り)を形成することできる。その一
例として、18%Cr−7%Niの不安定オーステナイ
ト鋼の部材を冷間引抜と矯正して加工誘起マルテンサイ
ト組織にし、レーザ照射によって表面を溶融凝固させる
とその部分はオーステナイト(非磁性体)化する。再溶
融部と非溶融部を交互に繰り返したパターンを形成する
ことによって、非磁性・強磁性パターンを形成する。こ
のような表面を磁気検出器で走査すると、パターンに応
じたパルス信号が得られ、この信号をカウントすれば、
部材の変位や速度を検出することができる(例えば、住
友金属、Vol. 42−3 (1990), pp.
21−26参照)。
【0003】また、金属基体の上に急冷凝固により非晶
質化する合金を結晶質の肉盛溶着層を形成し、これにレ
ーザ(高密度エネルギー)照射で急速溶解・急速凝固さ
せて非晶質層パターンを形成する。結晶質部分と非晶質
部分との交互パターンを磁気検出器で走査すれば、同様
に変位や速度を検出することができる。この技術に関連
した発明を本出願人も特願平1−324163号、2−
93926号、2−93930号などにて提案した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来例の前者の場合に
は、マルテンサイト化のためには特定組成のオーステナ
イト鋼を用意しなければならず、冷間引抜や矯正の強加
工工程が必要でありかつその加工度の制御も必要であり
、さらに適用部材の形状が限定されてしまう。また、後
者の場合には、非晶質化する合金を特別に用意する必要
があり、また非晶質化(アモルファス化)のために極め
て大きな冷却速度を必要とする。
【0005】本発明の目的は、従来よりも組成範囲を広
くしたステンレス鋼を利用して、強加工工程を経ること
なく、レーザ光照射による再溶融凝固で金属組織を変え
て磁気特性をも変えることで信号パターン(磁気目盛り
)を形成する方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述の目的が、部品の表
面に、添付図面のシェフラー状態図に示すように点A(
15.2%Cr当量、8.0%Ni当量)、B(21.
2%Cr当量、3.2%Ni当量)、C(40.0%C
r当量、13.0%Ni当量)、D(37.0%Cr当
量、30.0%Ni当量)で囲まれる範囲内のオーステ
ナイトとフェライトの共存組織を有するステンレス鋼層
を配置し、該部品表面を所定寸法に機械加工し、前記ス
テンレス鋼の表面にレーザなどの高密度エネルギーを所
定信号パターン形状に印加して局部的に再溶融急冷凝固
させて、該高密度エネルギーを印加しない前記ステンレ
ス鋼部分の組織とは磁気特性を異なるようにし、そして
、必要に応じて仕上げ表面加工を施すことを特徴とする
磁気特性変化を利用した信号パターンの形成方法によっ
て達成される。
【0007】上述の組成範囲の内で、点E(17.8%
Cr当量、7.5%Ni当量)、F(21.0%Cr当
量、5.0%Ni当量)、G(38.0%Cr当量、1
6.8%Ni当量)、H(36.0%Cr当量、27.
0%Ni当量)で囲まれる範囲内のステンレス鋼である
ことは、後述する検出信号強度が大きいので、好ましい
。部品(すなわち、基体)がオーステナイト系ステンレ
ス鋼などの非磁性金属から造られていることは磁気特性
検出の際に有利である。
【0008】ステンレス鋼層を103 ℃/秒以下の冷
却速度で肉盛溶着して部品の表面上に形成することでシ
ェフラー状態図に示された金属組織とすることができる
。 あるいは、シェフラー状態図に示された金属組織を有す
る材料を溶接などの手法によって部品表面に接合する。 再溶融急冷凝固の時の冷却速度が2×103 〜107
 ℃/秒であることが好ましく、後述するようにシェフ
ラー状態図での0%フェライト量ライン(a)および1
00%フェライト量ライン(b)の間が狭まるようにな
って、肉盛溶着の金属(ステンレス鋼)層とは異なるオ
ーステナイト量とフェライト量との比でかつ異なる金属
組織(微細な棒状共晶凝固組織ないしマッシブ凝固(パ
ーティションレス凝固)組織が得られる(中尾、西本:
ステンレス鋼のレーザグレージング」、生産と技術、V
ol.42, No.3夏号、(社)生産技術振興協会
(1990)、 39−44参照)。
【0009】高密度エネルギーがYAGレーザ光である
ことは好ましく、電子ビーム、アーク放電などであって
も良い。
【0010】
【作用】本発明では、シェフラー状態図に示すように、
冷却速度103 ℃/秒以下の急冷条件下で形成したと
きに、オーステナイトとフェライトとの共存する領域の
ステンレス鋼を用い、このステンレス鋼をパルスレーザ
光照射で短時間に溶融し、すぐに急冷凝固(冷却速度:
2×103 〜107 ℃/秒で)させると、溶融凝固
部分はオーステナイト量とフェライト量との比および金
属組織が母材(レーザ照射されないステンレス鋼部分)
に対して変化し、磁気的性質も変化する。
【0011】ステンレス鋼を含む鋼の溶着(溶接、肉盛
など)の金属組織を表すシェフラー状態図では、図1に
示すように、横軸をクロム(Cr)当量(フェライト安
定化元素Crと、Crと同様の効果のある他の元素との
合計)とし、縦軸をニッケル(Ni)当量(オーステナ
イト安定化元素Niと、Niと同様の効果のある他の元
素との合計)としてある。基本的には、Ni当量が大き
くかつCr当量が小さい領域での金属組織はオーステナ
イトとなり、Ni当量が小さくかつCr当量が大きい領
域ではフェライトとなり、Ni当量とCr当量とが適当
な割合で存在する領域ではフェライト、オーステナイト
、マルテンサイトが共存している。
【0012】フェライト・オーステナイト共存組織とな
る領域は、Ni当量を変数Yn、Cr当量を変数Xcと
すると下記の1式:     1.101Xc−8.139≧Yn≧0.32
5Xc−3.953(Xc≧0、Yn≧0)  …… 
 1式 で表され、線(a)が0%フェライト(100%オース
テナイト)量の境界ラインであり、線(b)が100%
フェライト(0%オーステナイト)量の境界ラインであ
る。
【0013】   なお、Yn≦−0.801Xc+25.52(Xc
≧0、Yn≧0)……  2式で表される領域(線(c
)より下側)ではマルテンサイトが混在する。シェフラ
ー状態図は溶着金属が103 ℃/秒程度以下の冷却速
度で凝固した場合の組織図であり、冷却速度がより速く
なると、1式で示されるフェライト・オーステナイト共
存組織が狭くなるように、線(a)および(b)が下記
の3式:     Yn=0.87Xc−8.67(Xc≧0、Y
n≧0)……  3式の線(d)に近づく。このことは
上述した参考文献の第41頁、図4に開示されている。 また、冷却速度を速くすることで得られる金属組織(微
細な棒状共晶凝固組織ないしマッシブ凝固組織)の状態
図が同じ第41頁、図3に開示されている。
【0014】そのために、1式で表される領域では冷却
速度を速める(変える)ことによってフェライト量とオ
ーステナイト量を変えることができる。その領域のうち
    1.101Xc−8.139≧Yn≧0.87
Xc−8.67(Xc≧0、Yn≧0)……  4式 で表される領域(線(a)および(d)で挟まれた領域
)では、フェライト量が減少し(即ち、オーステナイト
領域が拡大し)、一方、     0.87Xc−8.67≧Yn≧0.325X
c−3.953(Xc≧0、Yn≧0)  ……  5
式 で表される領域(線(d)および(b)で挟まれた領域
)では、フェライト量が増加する(即ち、フェライト領
域が拡大する)。
【0015】フェライトは強磁性であり、オーステナイ
トは非磁性であるので、シェフラー状態図での1式で表
されるフェライト・オーステナイト共存領域では、基本
的に冷却速度を速めることによって、金属組織のオース
テナイト量とフェライト量との比がそして金属組織自体
も変化し、磁気的性質も変化する。そして、磁気的特性
の変化(検出器(共振コイル)からの信号強度差)をス
テンレス鋼組成との関係で調べると、図1での閉領域(
点A、B、C、Dで囲まれた領域)アの範囲内であれば
、磁気的特性変化を評価することができる。さらに、図
1での閉領域(点E、F、G、Hで囲まれた領域)イの
範囲内であれば、よりはっきりとした磁気的特性変化が
得られる。また、Ni当量およびCr当量が多すぎると
、加工しにくくなり、さらに原料費のコストアップにな
るので、上記範囲に限定する。
【0016】ステンレス鋼の金属組織での磁気特性変化
は変化しない部分と変化した部分との比較で検出でき、
そのためには、センシングコイル、ホール素子、MR素
子などの磁気/電気特性検出器を用いることができる。 したがって、本願発明に係る組成を有するステンレス鋼
をシェフラー状態図でのフェライト・オーステナイト共
存組織にした母材(層)の表面に信号パターン形状に応
じてレーザ光照射で再溶融し高速冷却凝固させて磁気特
性を変化させた部分を形成することで、信号パターン(
磁気目盛りなど)を形成することができる。
【0017】この再溶融急冷凝固処理の前および後に、
ステンレス鋼層の表面を研削、研磨を含めた機械加工す
ることは、信号パターンの精度を高めるだけでなく、検
出器のプローブがステンレス鋼層の表面と接触する場合
には、検出器のプローブとの摺動を滑らかにしたり、プ
ローブとの間隙を小さくかつプローブを傷つけないなど
の効果がある。
【0018】そして、信号パターン(再溶融急冷凝固領
域・部分)を特定方向に周期的に繰り返すように形成す
れば、異なる磁気特性値が交互に繰り返される信号(磁
気目盛り信号)が得られ、あるいは、特定方向に連続的
に幅を減少または増加させるように形成すれは、磁気特
性値が徐々に低下または増大する信号を得られる。これ
ら信号によって、部材の位置や速度を特定・算定するこ
とができる。
【0019】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施態
様例および比較例によって本発明を詳細に説明する。図
2に示すリングロータを次のようにして製作した。先ず
、オーステナイト鋼のSUS304(非磁性金属)の円
筒リング1を用意し、その形状は外径が37.7mm、
内径が30.0mm、および幅が8.0mmであった。 このリング1の外周中央に幅が4.0mmで、深さ0.
5mmの溝を機械加工で形成した。表1に示す組成のス
テンレス鋼の合金粉末No.1〜23(試料)を用意し
た。
【0020】
【表1】
【0021】そして、これらの合金粉末No.1〜23
をシェフラー状態図に記入すると、図4のようになる。 リング1の溝に用意した合金粉末を連続的に供給し、下
記条件のCO2 レーザを合金粉末に照射して、リング
1の回転によってこの粉末を連続的に溶解し、レーザか
ら外れた溶融体は直ちに凝固して、肉盛層2となった。
【0022】CO2 レーザビーム:集光レンズにて直
径2mmの大きさに集光したレーザビームを幅5mmと
なるようにビームオシレータにて走査した。 CO2 レーザ出力:  2.5Kw レーザ走査速度:    200mm/分この肉盛溶接
によってシェフラー状態図に対応した組織のステンレス
肉盛層2をリング1の全周に形成し、研削加工で外径を
37.5mmにして、幅4mmで深さ0.3mmの帯状
レーザ肉盛層2とした。
【0023】レーザ肉盛層2に、図2に示すように、パ
ルスYAGレーザ光3を集光レンズ4にて微小スポット
に集光して、スケール(目盛り)間隔W(2.25mm
)で幅d(1.125mm)のスポット処理部5となる
ように再溶融急冷処理(スポット処理)を行った。この
レーザスポット処理条件は次の通りであった。YAGレ
ーザビーム:  集光レンズにて直径0.2mmのサイ
ズに集光。
【0024】 レーザ用Xeランプ放電電圧:  440Vレーザパル
ス幅:  0.5msec パルスレート:  50pps  溶融スポット直径:  0.28mm 溶融スポットの中心間の間隔:  縦・横ともに0.2
mm冷却速度:  105 〜107 ℃/秒このYA
Gレーザよる再溶融後の冷却凝固では、その冷却速度が
シェフラー状態図の場合よりも速く、得られる処理部で
はその組織(オーステナイト量とフェライト量との比あ
るいは金属組織自体)が非処理部(レーザ照射されない
部分)と異なる。
【0025】そして、リングの外周を研磨加工してリン
グロータを製造した。製造したリングロータの肉盛層2
の極近くに図3に示すブロックダイヤグラムの検出器の
共振コイルを配置し、リングロータを回転させて検出器
からの信号強度を調べた。検出器からはスポット処理部
5の間隔(ピッチ)に応じたパルス状の波形が、YAG
レーザ処理部5と非処理部(肉盛層2のまま)とでの磁
気特性の差に対応した強度差(波形のピークtoピーク
の値)で得られ、その結果を表1に信号出力として併記
する。
【0026】表1の信号出力の値と図4での試料番号位
置を検討すると、閉領域(点A、B、C、Dで囲まれた
領域)アの範囲内で信号出力がある程度得られ、さらに
、図1での閉領域(点E、F、G、Hで囲まれた領域)
イの範囲内で大きな信号出力が得られる。上述の実施例
ではリング形状であったが、板(さらには棒)を基体と
して、その上に肉盛層を形成し、その一部を本発明にし
たがって再溶融急冷処理して信号パターンを形成するこ
ともできる。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る信号
パターンの形成方法では、従来よりも広い組成範囲での
ステンレス鋼を用いて、先にシェフラー状態図でのフェ
ライト・オーステナイト共存組織にしておいてからその
一部をもっと早い冷却速度となる再溶融急冷処理で組織
を即ち磁気特性を変化させ、その変化を信号検出に利用
している。そこで、本願発明では、従来方法でのマルテ
ンサイト化のための強加工は必要ないし、非晶質化のた
めに必要とされる特定の組成合金の用意と相当速い冷却
速度といった限定が緩やかな条件で済む。さらに、マル
テンサイト組織に比較してフェライト・オーステナイト
共存(混合)組織では耐食性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】ステンレス鋼を含む鋼のシェフラー状態図であ
る。
【図2】リングロータの肉盛層にYAGレーザによる再
溶融急冷処理を施している斜視図である。
【図3】磁気特性の検出器のブロックダイヤグラムであ
る。
【図4】試料No.1〜23を記入したステンレス鋼を
含む鋼のシェフラー状態図である。
【符号の説明】
1…リング 2…肉盛層 3…YAGレーザ 4…集光レンズ 5…スポット処理部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  部品の表面に、添付図面のシェフラー
    状態図に示すように点A(15.2%Cr当量、8.0
    %Ni当量)、B(21.2%Cr当量、3.2%Ni
    当量)、C(40.0%Cr当量、13.0%Ni当量
    )、D(37.0%Cr当量、30.0%Ni当量)で
    囲まれる範囲内のオーステナイトとフェライトの共存組
    織を有するステンレス鋼層を配置し、該部品表面を所定
    寸法に機械加工し、そして、前記ステンレス鋼の表面に
    レーザなどの高密度エネルギーを所定信号パターン形状
    に印加して局部的に再溶融急冷凝固させて、該高密度エ
    ネルギーを印加しない前記ステンレス鋼部分の組織とは
    磁気特性を異なるようにすることを特徴とする磁気特性
    変化を利用した信号パターンの形成方法。
  2. 【請求項2】  高密度エネルギーによる再溶融急冷凝
    固処理の後に、前記部品に仕上げ表面加工を施すことを
    特徴とする請求項1記載の形成方法。
  3. 【請求項3】  前記部品が非磁性金属で作られている
    ことを特徴とする請求項1記載の形成方法。
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