JPH04259571A - サーマルヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリやプリン
タの記録部に用いられる感熱記録装置または熱転写記録
装置に係り、特に、サーマルヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のサーマルヘッドは、絶縁性基板上
に、グレーズ層，電極，抵抗体，保護膜を積層した構造
をしており、それぞれの膜の形成プロセスの違いから、
印刷と焼成により成膜する厚膜タイプのものと蒸着やス
パッタリングやＣＶＤにより成膜する薄膜タイプのもの
に二分される。厚膜タイプのサーマルヘッドでは、電極
材料にはＡｕが、抵抗体材料にはＲｕＯ２　が、保護膜
材料にはＳｉＯ２・ＰｂＯ（ホウケイ酸鉛系のガラス）
が、それぞれ、一般に良く用いられている。一方、薄膜
タイプのサーマルヘッドでは、電極材料にはＡｌが、抵
抗体材料には金属化合物や金属酸化物が、保護膜材料に
は、Ｔａ２Ｏ５やＳｉ３Ｎ４が一般に良く用いられてい
る。

【０００３】サーマルヘッドを用いた感熱記録または熱
転写記録では、前述の電極を用いて抵抗体に所定の電圧
を印加し、それにより発生したジュール熱が抵抗体上の
保護膜を伝わって感熱記録紙または熱転写用インクフィ
ルムに達し、化学反応による発色または熱によるインク
の溶融または昇華によるインクのフィルムから被転写紙
への転写により、印字または印画が行われる。従って熱
伝導率の大きい材料からなる保護膜を用いている場合に
は、抵抗体で発生した熱エネルギは、短い時間に保護膜
の表面に伝わり、かつ、保護膜の表面の温度分布は、抵
抗体上での温度分布に近いものになる。一方、熱伝導率
の小さい材料からなる保護膜を用いている場合には、抵
抗体で発生した熱エネルギが保護膜の表面に伝わるまで
の時間が前述の熱伝導率の大きい材料からなる保護膜を
用いている場合に比べて長く、かつ、保護膜の表面での
温度分布は、抵抗体上での温度分布とは異なり、保護膜
中を熱エネルギが伝搬する過程で、発熱領域がかなり縮
小している。

【０００４】保護膜に用いている材料の熱伝導率が小さ
いことによる保護膜表面での発熱領域の縮小は、感熱記
録や熱転写記録における抵抗体−素子に対応する印字画
素の面積を小さくし、本来連続すべき隣接した二つの印
字や印画の画素の間に、感熱記録の場合の未発色領域を
、また熱転写記録の場合は未転写領域を発生させる。 このような隣接した二つの印字や印画の画素間の未発色
領域や未転写領域は、ファクシミリやプリンタで出力さ
れる印字や印画の中では白い筋となって表れ、印字品質
や印画品質を著しく低下させる。このような画質の低下
は、感熱記録よりもビデオプリンタ等の高画質プリンタ
の出力用として良く用いられる昇華型インクを用いた熱
転写記録方式でより顕著にあらわれる。

【０００５】また、サーマルヘッドの種類から言うと、
保護膜の熱伝導率が、Ｔａ２Ｏ５やＳｉ３Ｎ４と比較し
てＳｉＯ２、ＰｂＯの方が小さいため、厚膜タイプのサ
ーマルヘッドでより顕著にあらわれる。

【０００６】このような保護膜の熱伝導率が小さいこと
による画質の低下を防ぐ方法として、従来は、特開平２
−１１１５６３　号公報に開示されているように、保護
膜の内部に金属膜をはさみこむ構造が提案されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが保護膜の内部
に金属膜をはさみ込むという従来の構造には、以下に述
べるような欠点がある。すなわち、保護膜の内部に金属
膜をはさみ込むには、まず、抵抗体の形成後に保護膜を
印刷と焼成により形成し、その上に金属膜を同様な方法
で形成し、最後に、前述の保護膜や金属膜の上を覆うよ
うに保護膜を印刷と焼成により形成する必要がある。と
ころがこのようなプロセスを実際に行うと金属膜の形成
後に保護膜を印刷して焼成する時に、先に形成した金属
膜の中にクラックが発生することがある。金属膜中にこ
のようなクラックが発生すると、保護膜の表面での温度
分布が大きく乱されるため画質が著しく劣化する。この
クラックの原因は、最初に形成したガラスよりなる保護
膜上の金属膜のこのガラス膜に対する付着力が充分強く
なく、かつ、金属膜上に更に保護膜を焼成する時に、金
属膜上の保護膜の材料であるガラスが低粘度化する。そ
の結果、金属膜は、上下にガラスよりなる保護膜にはさ
まれてはいるものの、前述の焼成の最中はこれらガラス
膜からの拘束力が弱くなり、金属膜のもつ収縮し易いと
いう性質のため、自己収縮を起こし膜強度の弱い所でク
ラックが発生するためと考えられる。このようなクラッ
クの発生は、そのメカニズムから考えても、保護膜に用
いているガラス材料の焼成中の粘度が低いものほど顕著
にあらわれる。焼成中のガラス材料の粘度は、焼成後に
形成される保護膜の表面の平滑性と強い相関関係を持ち
、焼成中のガラス粘度が低いもの程、焼成後に形成され
る保護膜の表面の平滑性が良く、焼成中のガラス粘度が
高いものほど、焼成後に形成される保護膜の表面の平滑
性は悪くなる。保護膜の表面の平滑性はファクシミリ等
に用いられる感熱記録では、画質への影響は小さいが、
ビデオプリンタ等の高画質プリンタに用いられる昇華型
インクを用いた熱転写記録では、保護膜の表面の平滑性
が悪いとそれに応じた濃度むらが発生し、印画品質を低
下させるため、保護膜の表面の平滑性の良いガラス材料
を用いる必要がある。このように、ビデオプリンタに用
いることができるような高画質の得られるサーマルヘッ
ドを得るには、保護膜材料として表面の平滑性の良いガ
ラス材料を用いる必要があるが、そのためには、焼成中
のガラス粘度が低い材料を用いる必要があり、そのよう
な材料を用いた場合には、前述した金属膜のクラックが
特に発生し易くなる。従って、本来、画質を向上させる
ために保護膜の内部にはさみ込んだ金属膜が、クラック
の発生によりむしろ画質を劣化させることになっていた
。

【０００８】このようなクラックの発生を防ぐための方
法の一つとして保護膜の内部にはさみ込む金属膜の膜厚
を十分に厚くし、金属膜の自己収縮を押さえる方法が考
えられる。しかし、金属膜をあまり厚くすると、抵抗体
で発生した熱エネルギの多くが、熱伝導率の小さいガラ
スからなる保護膜中を伝搬して保護膜の表面に達するよ
りも、熱伝導率の高い金属膜中を伝搬して主走査方向に
逃げてしまい、一素子の抵抗体に対応する印字画素の濃
度がうすくぼけてしまったり、隣接する二つの印字画素
が金属膜によって相互に干渉してしまい、解像感や輪郭
のシャープさが非常に悪い出力画像になってしまうとい
う大きな欠点があり、実際に適用することはできなかっ
た。

【０００９】本発明の目的は、表面平滑性が良く焼成中
の粘度の低いガラス材料を保護膜として用い、かつ、保
護膜中に出力画像の解像感の劣化を起こさない程度の膜
厚の薄い金属膜をはさみ込むことを可能とし、それによ
り、ビデオプリンタのような高画質プリンタにも適用で
きる高画質対応のサーマルヘッドを提供することにある
。

【００１０】

【課題を解決するための手段】保護膜の内部に金属膜を
はさみ込むことによって画質を向上させる方法は、表面
平滑性の良い焼成中の粘度の低いガラス材料を保護膜と
して用いる場合には、保護膜の焼成中に金属膜にクラッ
クを発生させるという問題があった。また、この問題を
回避するために金属膜の膜厚を厚くすると、金属膜のク
ラック発生は押さえることができるものの、出力画像の
解像感が失われるという欠点があった。もちろん、保護
膜材料として焼成中の粘度が高いガラスを用いれば、金
属膜のクラックは押さえられるが、この場合には、保護
膜の焼成後の表面の平滑性が悪く、表面の凹凸に起因す
る濃度むらが出力画像に表れるという欠点があった。こ
のように、従来の技術では、表面平滑性が良く焼成中の
粘度の低いガラス材料を保護膜として用い、かつ、保護
膜中に解像感の劣化を起こさない程度の膜厚の薄い金属
膜をはさみこむことは困難であった。

【００１１】本発明は、この問題を解決し、前記目的を
達成するために、保護膜中にはさみ込む金属膜を形成す
るための金属ペーストの中に、無機微粒子を添加した。 もちろん、保護膜中にはさみ込む金属膜は、熱伝導率が
保護膜材料として用いられるガラスより大きいものであ
れば何でも良く、また、熱伝導率が保護膜材料として用
いられているガラスよりも大きいものであれば、金属膜
に限らず金属酸化物の膜でも良い。また、無機微粒子の
添加量は、形成される金属膜の表面の平滑性を劣化させ
ないため０ｗｔ％から４０ｗｔ％の間にするのが適当で
ある。また同様な理由から添加する無機微粒子の平均粒
径は１μｍ以下にするのが適当である。

【００１２】

【作用】保護膜中にはさみ込む金属膜を形成するための
金属ペースト中に無機微粒子を添加すると、このペース
トを用いて形成された金属膜の中には、無機微粒子が分
散しており、これが金属膜そのものの補強剤のような役
割をするため、金属膜の破断強度が向上し、かつ金属膜
のもつ収縮し易いという性質も押さえられる。

【００１３】従って、保護膜の中にはさみ込む金属膜と
して、無機微粒子が添加された金属ペーストの印刷・焼
成により形成される本発明の金属膜を用いれば、たとえ
、表面平滑性の良い焼成中の粘度の低いガラス材料を保
護膜として用いていても、保護膜焼成中での金属膜の収
縮やそれに伴う金属膜中のクラックの発生は回避できる
。もちろん、本発明のように金属膜中に無機微粒子が添
加されていれば、金属膜の破断強度が向上するので、金
属膜のクラック防止のため金属膜の膜厚を厚くする必要
もない。従って金属膜の膜厚に関しては、画質優先で設
計することができ、前述したような金属膜の膜厚増に伴
う解像感の劣化も回避できる。

【００１４】このように、表面平滑性の良い焼成中の粘
度の低いガラスよりなる保護膜中にはさみこむ金属膜と
して、無機微粒子を添加した金属膜を用いることにより
、クラックがなく解像感の劣化のない薄い金属膜を保護
膜中に形成することができ、昇華熱転写方式によるビデ
オプリンタのような高画質プリンタに適用できる高画質
対応のサーマルヘッドを得ることができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を用いて説明
する。図１において、アルミナ基板６の上にグレーズ層
５が形成されている。そして、グレーズ層５の上にはメ
タルオーガニックＡｕ材料よりなる膜厚０．６μｍ　の
Ａｕ電極膜が印刷と焼成により形成され、更にＡｕ電極
膜上には、ＲｕＯ２　よりなる膜厚３〜１０μｍの抵抗
体が印刷と焼成により形成される。その後で、ホウケイ
酸鉛系ガラス材料よりなる保護膜１を、抵抗体３や電極
４を覆うように印刷と焼成により膜厚３μｍ程度に形成
する。このようにまず保護膜１を３μｍ程度形成した後
で、図１，図２に示したように、抵抗体３のほぼ真上に
相当する位置に、保護膜より熱伝導率が大きい材料とし
てＡｕペーストにＡｌ２Ｏ３の微粒子を添加したものを
印刷し、７００〜９００℃の範囲で焼成することにより
膜厚１μｍ程度の膜を成膜する。この材料は、Ａｕペー
ストにＡｌ２Ｏ３の微粒子を２０ｗｔ％程度添加したも
のが、保護膜１よりも高い熱伝導率をもち、Ａｕペース
トにＡｌ２Ｏ３微粒子を添加したペーストを焼成した膜
上に更に保護膜１を３μｍ程度形成しても、Ａｕペース
トにＡｌ２Ｏ３微粒子を添加したペーストを焼成して形
成した膜には、クラック７が発生せず適当である。この
ＡｕペーストにＡｌ２Ｏ３微粒子を添加したペーストを
焼成することにより保護膜よりも熱伝導率の良い膜を形
成し、更に膜上を含む全体に保護膜１を３μｍ程度印刷
、焼成することにより、本実施例のサーマルヘッドを得
る。

【００１６】図２には、膜２の材料として従来の技術で
記載されているＡｕペーストを用いた場合に、膜内に発
生したクラック７を示している。サーマルヘッドは、図
１に示した実施例の場合と同様に、アルミナ基板上にグ
レーズ層を形成し、その上にメタルオーガニックＡｕよ
りなる電極、ＲｕＯ２　よりなる抵抗体、ガラスよりな
る保護膜を順次形成し、その後、抵抗体のほぼ真上に相
当する位置に、１μｍ程度のＡｕ膜を形成し、最後に全
体を覆うように保護膜を形成することにより作られる。 このように保護膜の内部にある熱伝導率の良い材料とし
てＡｕを用いると、Ａｕ膜の形成後、全体を覆うように
印刷された保護膜を焼成する時にクラック７が発生する
ことが非常に多い。

【００１７】このようなクラックを防止するための一つ
の方法として、焼成時の粘度があまり低下しないガラス
を保護膜材料として用いる方法も考えられる。図３には
、焼成温度Ｔｏ　での粘度がη１，η２，η３　になる
三種類のガラス８，９，１０について、温度と粘度の関
係を示してある。ガラス１０は、焼成温度Ｔｏ　での粘
度η３が非常に低く、従ってクラック７を発生させ易い
。ところが、焼成温度Ｔｏ　での粘度η１　が非常に高
いガラス８を保護膜材料として用いると、クラック７を
発生させずにすむ。しかし、この場合には、図４で説明
する別の問題が発生する。すなわち、図４には、ガラス
の焼成温度での粘度と、焼成後のガラス膜の表面粗さの
関係を示している。ガラス１０は、焼成温度Ｔｏ　での
粘度η３が低く、焼成後の表面粗さＲ３　が非常に小さ
い。従ってガラス１０を保護膜として用いたサーマルヘ
ッドを例えば、ビデオプリンタのような高画質プリンタ
に用いた場合に表面粗さに起因する濃度むらはほとんど
見られない。ところが、ガラス８を保護膜として用いた
サーマルヘッドを同じような高画質用プリンタに用いる
と、焼成温度Ｔｏ　での粘度η１　が高く、クラック７
は発生しないものの、焼成後の表面粗さＲ１　が非常に
大きくなり、表面粗さに起因する濃度むらが目立ってし
まうことになる。

【００１８】本実施例では、保護膜内に設け保護膜より
も熱伝導率の良い膜の材料として、ＡｕペーストにＡｌ
２Ｏ３微粒子を２０ｗｔ％程度添加したペーストを用い
、ペーストを７００〜９００℃で焼成して、１μｍ程度
の熱伝導率の良い膜を保護膜内に形成することにより、
熱伝導率の良い膜にはクラックがなく、かつ、焼成後の
表面粗さの小さいガラス１０を保護膜材料として用いる
ことができるので、表面粗さに起因する濃度むらのない
サーマルヘッドを作ることができる。Ａｕペーストに添
加されたＡｌ２Ｏ３微粒子は、Ａｕ膜の強度を向上させ
、クラックの発生を起こり難くするという作用があると
考えられる。

【００１９】ＡｕペーストにＡｌ２Ｏ３微粒子を添加し
たペーストを保護膜内に設けられる保護膜よりも熱伝導
率の良い膜の材料として用いる場合、その膜厚は２μｍ
以下にいるのが好ましい。その理由について図５で説明
する。図５には保護膜中に設けた熱伝導率の良い膜の膜
厚と解像感の関係を示している。解像感は主観で評価し
、最も解像感の良いものを１０、最も解像感の悪いもの
を０としている。図５より明らかなように、印画時の解
像感は保護膜の中に設けられる熱伝導率の良い膜の膜厚
を２μｍより厚くしていくと、急激に劣化していく。こ
れは、熱伝導率の良い膜の膜厚が厚くなりすぎると、保
護膜表面での発熱領域が拡大して隣接する二つの印画や
印字の画素が重なりあうようになるためである。

【００２０】また、Ａｕペースト中に添加するＡｌ２Ｏ
３微粒子の添加量は、０ｗｔ％よりも多く、かつ、４０
％よりも少なくするのが好ましい。その理由について図
６及び図７を用いて説明する。図６には、Ａｕペースト
に添加するＡｌ２Ｏ３微粒子の添加量と、ペーストを保
護膜内に形成した時に発生するクラックの数の関係を示
している。この図より明らかなように、Ａｌ２Ｏ３微粒
子をまったく添加していないＡｕペーストを用いると、
九ヶ所のクラックの発生をみるが、２０ｗｔ％添加した
Ａｕペーストでは、クラックの発生を完全に押さえるこ
とができている。このように、クラックの発性を押さえ
るためには、０ｗｔ％より多くのＡｌ２Ｏ３微粒子を添
加すれば良い。一方、図７には、Ａｕペーストに添加す
るＡｌ２Ｏ３微粒子の添加量とペーストを印刷、焼成し
た時の表面粗さの関係を示している。この図より明らか
なように、Ａｕペースト内に添加するＡｌ２Ｏ３微粒子
の添加量を増やしていくと、ペーストを印刷、焼成した
時の表面粗さが大きくなっていき、特に、Ａｌ２Ｏ３微
粒子の添加量が４０ｗｔ％以上になると、表面粗さが急
速に大きくなってしまうことがわかる。このように保護
膜内に設けられるＡｌ２Ｏ３微粒子を添加したＡｕペー
ストに添加するＡｌ２Ｏ３微粒子の添加量は、４０％よ
り小さくしておけば表面粗さの劣化もそれ程大きくはな
く、表面凹凸に起因する濃度むらも十分小さいことがわ
かる。このように、Ａｕペーストに添加するＡｌ２Ｏ３
微粒子の添加量は、クラックの発生防止及び表面粗さの
低減の二点より０ｗｔ％より大きく４０ｗｔ％よりも小
さくするのが好ましいことがわかる。

【００２１】本実施例では、保護膜内に設ける熱伝導率
の良い膜の材料として、ＡｕペーストにＡｌ２Ｏ３微粒
子を添加したものを用いているが、もちろんこの材料に
限ったものではなく、ＡｕペーストのかわりにＡｇペー
スト、Ｃｕペースト、Ａｌペースト、ＲｕＯ２　ペース
ト等を用いても良い。また、添加する微粒子もＡｌ２Ｏ
３微粒子に限ったものではなくＺｒＯ２　，ＳｉＣ，Ｔ
ｉＣ，ＢＣ，Ｓｉ３Ｎ４，ＢＮ等の無機微粒子であれば
何を用いても良い。

【００２２】また、本実施例では、材料や膜の形成法に
ついては厚膜法を用いているが、これに限定するもので
はなく、蒸着やスパッタリングやＣＶＤを用いた薄膜法
を用いても良い。

【００２３】本発明の別の実施例を図８を用いて説明す
る。抵抗体３までは、実施例１で説明したのと同様な方
法で形成し、その後で、第一層保護膜１０を、抵抗体や
電極を覆うように３μｍ程度形成する。第一層保護膜の
材料は、ホウケイ酸鉛系のガラス材料で、軟化点が比較
的高く７００℃程度あるものを用いる。これは、第一層
保護膜１ｂを形成した後で、ＡｕペーストにＡｌ２Ｏ３
微粒子を添加した材料よりなる熱伝導率の良い膜２や、
第二層保護膜１ａを焼成する際に第一層保護膜が流動す
るのを防止するためである。第一層保護膜形成後、Ａｌ
２Ｏ３が添加されたＡｕペーストを、抵抗体３のほぼ真
上に相当する位置に印刷し７００〜９００℃の範囲で焼
成する。最後に、Ａｌ２Ｏ３微粒子を含んだＡｕ膜や、
第一層保護膜を覆うように、やはりホウケイ酸鉛系のガ
ラス材料で、第一層保護膜とは異なる材料を印刷し焼成
することにより、第二層保護膜１ａを形成する。第二層
保護膜材料は、軟化点の比較的低い材料またはＡｌ２Ｏ
３微粒子の添加がない材料または添加があってもごく少
量の添加がなされている材料が選ばれる。これは、表面
の平滑性の向上に効果がある。また、印画時の静電気発
生を押さえるため第二層保護膜の材料であるガラスペー
ストに、導電性の微粒子を添加しても良い。このように
して作られたサーマルヘッドは、第一層保護膜１６と第
二層保護膜１ａにはさまれたＡｌ２Ｏ３微粒子添加Ａｕ
膜にクラックを生じさせることがなく、ヘッド表面の平
滑性もきわめて良好なため、ビデオプリンタ等の高画質
プリンタに最適なサーマルヘッドになっている。実施例
１と同様に、Ａｕペーストのかわりに、Ａｇ，Ｃｕ，Ａ
ｌ，ＲｕＯ２　などのペーストを用いてももちろん良い
。また添加する微粒子もＡｌ２Ｏ３微粒子に限定する必
要はなく、ＺｒＯ２，ＳｉＣ，ＴｉＣ，ＢＣ，Ｓｉ３Ｎ
４，ＢＮなどの無機微粒子であればなんでも良い。また
成膜方法も厚膜法に限ったものではなく薄膜法でも良い
。

【００２４】

【発明の効果】本発明によれば、保護膜内に、保護膜よ
り熱伝導率の良い膜として、金属または金属酸化物と無
機微粒子との混合物よりなる膜を設けることにより、高
熱伝導率膜にクラックがなく、かつ保護膜の表面粗さも
小さい高画質プリンタに特に好適なサーマルヘッドを作
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】保護膜内に無機微粒子を添加した金属膜を有す
るサーマルヘッドの断面図。

【図２】保護膜内金属膜のクラックを示す上面図。

【図３】ガラスの温度と粘度の関係を示す特性図。

【図４】ガラスの焼成中粘度と焼成後の表面粗さの関係
を示す特性図。

【図５】保護膜中金属膜の膜厚と出力画像の解像感との
関係を示す特性図。

【図６】Ａｌ２Ｏ３添加Ａｕ膜のクラック発生数を示す
特性図。

【図７】Ａｌ２Ｏ３添加Ａｕ膜の表面粗さを示す特性図
。

【図８】二層化した保護膜内に無機微粒子を添加した金
属膜をもつサーマルヘッドの断面図。

【符号の説明】

１…保護膜、２…Ａｌ２Ｏ３微粒子を添加したＡｕ膜、
３…抵抗体、４…電極、５…グレーズ層、６…アルミナ
基板。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電気絶縁性をもつ基板上に、グレーズ層，
   電極，発熱抵抗体，保護膜を積層してなるサーマルヘッ
   ドにおいて、前記保護膜の内部に熱伝導率が保護膜より
   も大きい材料よりなる膜を設け、前記膜が、金属または
   金属酸化物と、無機微粒子との混合物よりなることを特
   徴とするサーマルヘッド。
2. 【請求項２】電気絶縁性をもつ基板上に、グレーズ層，
   電極，発熱抵抗体，保護膜を積層してなるサーマルヘッ
   ドにおいて、前記保護膜を多層に構成し、前記保護膜の
   層間に前記保護膜よりも熱伝導率が大きい材料よりなる
   膜を設け、前記膜が、金属または金属酸化物と無機微粒
   子との混合物よりなることを特徴とするサーマルヘッド
   。
3. 【請求項３】請求項１に記載の前記金属または前記金属
   酸化物として、Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌ，ＲｕＯ２　の中から
   選択された一つまたは複数の材料を用いたサーマルヘッ
   ド。
4. 【請求項４】請求項１に記載の前記無機微粒子として、
   Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２，ＳｉＣ，ＴｉＣ，ＢＣ，Ｓｉ３
   Ｎ４，ＢＮの中から選択された一つまたは複数の無機微
   粒子を用いたサーマルヘッド。
5. 【請求項５】請求項１に記載の前記保護膜内に設けた熱
   伝導率が前記保護膜よりも大きい材料よりなる膜として
   、金属または金属酸化物と無機微粒子との混合物を用い
   、前記無機微粒子の混合量を４０ｗｔ％以下としたサー
   マルヘッド。
6. 【請求項６】請求項１に記載の前記保護膜内に設けた熱
   伝導率が前記保護膜よりも大きい材料よりなる前記膜の
   厚さを２μｍ以下にしたサーマルヘッド。
7. 【請求項７】請求項２に記載の前記無機微粒子として、
   Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２，ＳｉＣ，ＴｉＣ，ＢＣ，Ｓｉ３
   Ｎ４，ＢＮの中から選択された一つまたは複数の無機微
   粒子を用いたサーマルヘッド。
8. 【請求項８】請求項２に記載の多層化された複数の前記
   保護膜の層間に設けた熱伝導率が前記保護膜よりも大き
   い材料よりなる膜として、金属または金属酸化物と無機
   微粒子との混合物を用い、前記無機微粒子の混合量を４
   ０ｗｔ％以下としたサーマルヘッド。
9. 【請求項９】請求項２に記載の多層化された複数の前記
   保護膜の層間に設けた熱伝導率が前記保護膜よりも大き
   い材料からなる膜の厚さを２μｍ以下にしたサーマルヘ
   ッド。
10. 【請求項１０】請求項１ないし９に記載の前記サーマル
    ヘッドを記録部に用いた感熱ファクシミリ。