JPH04259807A - 線状物検査用画像入力装置 - Google Patents
線状物検査用画像入力装置Info
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- JPH04259807A JPH04259807A JP3022058A JP2205891A JPH04259807A JP H04259807 A JPH04259807 A JP H04259807A JP 3022058 A JP3022058 A JP 3022058A JP 2205891 A JP2205891 A JP 2205891A JP H04259807 A JPH04259807 A JP H04259807A
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- linear object
- rotating member
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ボンディングワイヤ等
の線状物を３次元的に外観検査するために用いられる画
像入力装置に関する。
の線状物を３次元的に外観検査するために用いられる画
像入力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】検査対象としてのボンディングワイヤは
、通常、図５（Ａ）に示すような形状であり、リードフ
レーム１０のアイランド１０ａ上に半導体チップ１２が
接合され、半導体チップ１２の表面のパッド１４と、リ
ードフレーム１０のリード１０ｂとの間がボンディング
ワイヤ１６で接続されている。
、通常、図５（Ａ）に示すような形状であり、リードフ
レーム１０のアイランド１０ａ上に半導体チップ１２が
接合され、半導体チップ１２の表面のパッド１４と、リ
ードフレーム１０のリード１０ｂとの間がボンディング
ワイヤ１６で接続されている。
【０００３】しかし、ワイヤボンダのクランパの異常等
により、同図（Ｂ）に示す如く、ボンディングワイヤ１
６が弛んで高くなり過ぎたり、同図（Ｃ）に示す如く、
ボンディングワイヤ１６の中央部が垂れ下がったり、同
図（Ｄ）に示す如く、ボンディングワイヤ１６が張り過
ぎたりすることがある。
により、同図（Ｂ）に示す如く、ボンディングワイヤ１
６が弛んで高くなり過ぎたり、同図（Ｃ）に示す如く、
ボンディングワイヤ１６の中央部が垂れ下がったり、同
図（Ｄ）に示す如く、ボンディングワイヤ１６が張り過
ぎたりすることがある。
【０００４】ボンディングワイヤ１６は直径が２５〜３
０μｍと極細であるので、ワイヤボンディング後に樹脂
モールディングすると、その際にボンディングワイヤ１
６に加わる力により、ボンディングワイヤ１６に異常が
生ずる場合がある。例えば、弛みすぎたボンディングワ
イヤ１６が隣のボンディングワイヤ１６と短絡したり、
垂れ下がったボンディングワイヤ１６がアースされたフ
レームやチップ縁部に形成されたガードリングなどと短
絡したり、張りすぎたボンディングワイヤ１６が切断し
たりすることがある。
０μｍと極細であるので、ワイヤボンディング後に樹脂
モールディングすると、その際にボンディングワイヤ１
６に加わる力により、ボンディングワイヤ１６に異常が
生ずる場合がある。例えば、弛みすぎたボンディングワ
イヤ１６が隣のボンディングワイヤ１６と短絡したり、
垂れ下がったボンディングワイヤ１６がアースされたフ
レームやチップ縁部に形成されたガードリングなどと短
絡したり、張りすぎたボンディングワイヤ１６が切断し
たりすることがある。
【０００５】このような形状欠陥は同一原因により繰り
返し発生する恐れがある。したがって、ボンディング後
モールド前にボンディングワイヤ１６の形状検査を行う
必要がある。
返し発生する恐れがある。したがって、ボンディング後
モールド前にボンディングワイヤ１６の形状検査を行う
必要がある。
【０００６】そこで、従来では、光学顕微鏡を用いて目
視検査を行っていた。しかし、半導体集積回路の大規模
化に伴い、一つの半導体チップ１２に対しボンディング
ワイヤ１６が、例えば約１００μｍ間隔で４００〜５０
０本ボンディングされているものもある。このため、１
度に多数本のボンディングワイヤ１６を短時間で検査し
、しかもこれを繰り返し行わなければならず、疲労が大
きく、欠陥を見逃す虞れがあった。こうした状況から、
ボンディングワイヤ１６の外観検査の自動化が試みられ
ている。
視検査を行っていた。しかし、半導体集積回路の大規模
化に伴い、一つの半導体チップ１２に対しボンディング
ワイヤ１６が、例えば約１００μｍ間隔で４００〜５０
０本ボンディングされているものもある。このため、１
度に多数本のボンディングワイヤ１６を短時間で検査し
、しかもこれを繰り返し行わなければならず、疲労が大
きく、欠陥を見逃す虞れがあった。こうした状況から、
ボンディングワイヤ１６の外観検査の自動化が試みられ
ている。
【０００７】図６は、立体両眼視法を適用した線状物検
査用画像入力装置を示す。この方法は、検査対象に一対
のカメラ１８１及び１８２を対向配置し、カメラ１８１
及び１８２の出力画像と、カメラ１８１とカメラ１８２
の視差とから、ボンディングワイヤ１６の立体形状を計
測するものである。
査用画像入力装置を示す。この方法は、検査対象に一対
のカメラ１８１及び１８２を対向配置し、カメラ１８１
及び１８２の出力画像と、カメラ１８１とカメラ１８２
の視差とから、ボンディングワイヤ１６の立体形状を計
測するものである。
【０００８】図７は、スリット光投光法を適用した線状
物検査用画像入力装置の光学系を示す。この方法は、ボ
ンディングワイヤ１６に対し、スリット光投光器２０で
ボンディングワイヤ１６を切断する方向にスリット光を
照射し、ボンディングワイヤ１６上の光点をカメラ１８
で撮像して、三角測量法によりボンディングワイヤ１６
の立体形状を計測するものである。
物検査用画像入力装置の光学系を示す。この方法は、ボ
ンディングワイヤ１６に対し、スリット光投光器２０で
ボンディングワイヤ１６を切断する方向にスリット光を
照射し、ボンディングワイヤ１６上の光点をカメラ１８
で撮像して、三角測量法によりボンディングワイヤ１６
の立体形状を計測するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一試料
の全てのボンディングワイヤ１６を検査するためには、
図６に示すカメラ１８１及び１８２を多数組備え、又は
、検査対象を一つずつＸＹθステージ上に載置して検査
対象を移動させなければならず、装置が複雑になるとい
う問題点があった。図７に示す線状物検査用画像入力装
置についても同様である。
の全てのボンディングワイヤ１６を検査するためには、
図６に示すカメラ１８１及び１８２を多数組備え、又は
、検査対象を一つずつＸＹθステージ上に載置して検査
対象を移動させなければならず、装置が複雑になるとい
う問題点があった。図７に示す線状物検査用画像入力装
置についても同様である。
【００１０】本発明の目的は、このような問題点に鑑み
、一試料の全線状物の立体形状を検出するのに必要な画
像データを得ることができる簡単な構成の線状物検査用
画像入力装置を提供することにある。
、一試料の全線状物の立体形状を検出するのに必要な画
像データを得ることができる簡単な構成の線状物検査用
画像入力装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段及びその作用】この目的を
達成する為に、第１の発明に係る線状物検査用画像入力
装置では、回転部材と、該回転部材を回転させるモータ
と、該回転部材に取付けられ、線状物を互いに異なる方
向から撮像して画像データを出力する１対のカメラとを
備えている。
達成する為に、第１の発明に係る線状物検査用画像入力
装置では、回転部材と、該回転部材を回転させるモータ
と、該回転部材に取付けられ、線状物を互いに異なる方
向から撮像して画像データを出力する１対のカメラとを
備えている。
【００１２】モータをオンにすると、回転部材が回転し
、カメラによる撮像は、回転部材が例えば３０度回転す
る毎に行われる。カメラを例えば２対備えれば、回転部
材を１８０°回転させると、立体両眼視法により一試料
の全ての線状物の立体形状を計測するのに充分な画像デ
ータが得られる。したがって、この場合、一試料毎に回
転部材を１８０゜回転させればよく、線状物検査用画像
入力装置の動作は単純であり、高速動作が可能となる。
、カメラによる撮像は、回転部材が例えば３０度回転す
る毎に行われる。カメラを例えば２対備えれば、回転部
材を１８０°回転させると、立体両眼視法により一試料
の全ての線状物の立体形状を計測するのに充分な画像デ
ータが得られる。したがって、この場合、一試料毎に回
転部材を１８０゜回転させればよく、線状物検査用画像
入力装置の動作は単純であり、高速動作が可能となる。
【００１３】また、線状物検査用画像入力装置の構成も
簡単であり、安価な線状物検査用画像入力装置を提供す
ることができる。
簡単であり、安価な線状物検査用画像入力装置を提供す
ることができる。
【００１４】第２の発明に係る線状物検査用画像入力装
置では、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ、線状物を切断する方向に該
線状物にスリット光を投光する投光器と、該回転部材に
取付けられ、投光された該線状物を撮像して画像データ
を出力するカメラとを備えている。
置では、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ、線状物を切断する方向に該
線状物にスリット光を投光する投光器と、該回転部材に
取付けられ、投光された該線状物を撮像して画像データ
を出力するカメラとを備えている。
【００１５】この線状物検査用画像入力装置の作用も上
記第１の線状物検査用画像入力装置と同様である。但し
、この線状物検査用画像入力装置を用いた場合には、カ
メラの出力画像に対し三角測量法を適用して線状物の立
体形状を計測する。
記第１の線状物検査用画像入力装置と同様である。但し
、この線状物検査用画像入力装置を用いた場合には、カ
メラの出力画像に対し三角測量法を適用して線状物の立
体形状を計測する。
【００１６】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１７】（１）第１実施例
図１は、第１実施例の線状物検査用画像入力装置を示す
。この線状物検査用画像入力装置は、立体両眼視法を適
用したものであり、同一構成の画像入力装置を２組備え
ている。
。この線状物検査用画像入力装置は、立体両眼視法を適
用したものであり、同一構成の画像入力装置を２組備え
ている。
【００１８】回転ディスク２２上には、一対の両眼視鏡
筒２４及び３４が固着されている。両眼視鏡筒２４の上
部には、一対のカメラ２６１及び２６２が、共に光軸を
回転ディスク２２に垂直にして配置されている。また、
両眼視鏡筒２４の下部には、アパーチャ板２８が配置さ
れ、アパーチャ板２８には、カメラ２６１及び２６２に
対応して円孔２８ａ及び２８ｂが形成されている。アパ
ーチャ板２８の下方には、図２に示す、カメラ２６１及
び２６２に共通の拡大視用対物レンズ３０が配置されて
いる。なお、カメラ２６１用の対物レンズとカメラ２６
２用の対物レンズとを別々に備えればアパーチャ板２８
が不要になるが、カメラ２６１と２６２との間隔を広げ
る必要があるため、装置が大型化することになるので、
本実施例のように構成した方が好ましい。
筒２４及び３４が固着されている。両眼視鏡筒２４の上
部には、一対のカメラ２６１及び２６２が、共に光軸を
回転ディスク２２に垂直にして配置されている。また、
両眼視鏡筒２４の下部には、アパーチャ板２８が配置さ
れ、アパーチャ板２８には、カメラ２６１及び２６２に
対応して円孔２８ａ及び２８ｂが形成されている。アパ
ーチャ板２８の下方には、図２に示す、カメラ２６１及
び２６２に共通の拡大視用対物レンズ３０が配置されて
いる。なお、カメラ２６１用の対物レンズとカメラ２６
２用の対物レンズとを別々に備えればアパーチャ板２８
が不要になるが、カメラ２６１と２６２との間隔を広げ
る必要があるため、装置が大型化することになるので、
本実施例のように構成した方が好ましい。
【００１９】両眼視鏡筒３４側も、両眼視鏡筒２４側と
同一構成になっており、図中、３６１及び３６２はカメ
ラ、３８はアパーチャ板、３８ａは円孔である。
同一構成になっており、図中、３６１及び３６２はカメ
ラ、３８はアパーチャ板、３８ａは円孔である。
【００２０】回転ディスク２２の中心部には、回転軸４
２の下端が回転ディスク２２に垂直に固着されている。 回転軸４２の上端部は、アーム４４の支軸片４４ａ、プ
ーリ４５及びアーム４４の支軸片４４ｂに通され、プー
リ４５が回転軸４２に固定されて、回転軸４２がアーム
４４に回転自在に支持されている。このプーリ４５と、
パルスモータ４６の出力軸に固着されたプーリ４６ａと
に、ベルト４８が巻き掛けられている。アーム４４及び
パルスモータ４６は、不図示の固定部材に固着されてい
る。
２の下端が回転ディスク２２に垂直に固着されている。 回転軸４２の上端部は、アーム４４の支軸片４４ａ、プ
ーリ４５及びアーム４４の支軸片４４ｂに通され、プー
リ４５が回転軸４２に固定されて、回転軸４２がアーム
４４に回転自在に支持されている。このプーリ４５と、
パルスモータ４６の出力軸に固着されたプーリ４６ａと
に、ベルト４８が巻き掛けられている。アーム４４及び
パルスモータ４６は、不図示の固定部材に固着されてい
る。
【００２１】このような簡単な構成の線状物検査用画像
入力装置は、一定間隔で搭載された試料を間欠送りする
搬送装置の上方に配置され、回転ディスク２２の下方で
、ボンディングワイヤ外観検査のために試料が一時停止
される。
入力装置は、一定間隔で搭載された試料を間欠送りする
搬送装置の上方に配置され、回転ディスク２２の下方で
、ボンディングワイヤ外観検査のために試料が一時停止
される。
【００２２】上記構成において、パルスモータ４６をオ
ンにすると、回転ディスク２２が回転し、カメラ２６１
、２６２、３６１及び３６２による撮像は、例えば回転
ディスク２２が３０゜回転する毎に行われる。回転ディ
スク２２を１８０°回転すれば、全てのボンディングワ
イヤ１６の立体形状を計測するのに充分な画像データが
得られる。したがって、一試料毎に回転ディスク２２を
１８０゜回転させればよく、線状物検査用画像入力装置
の動作は単純である。
ンにすると、回転ディスク２２が回転し、カメラ２６１
、２６２、３６１及び３６２による撮像は、例えば回転
ディスク２２が３０゜回転する毎に行われる。回転ディ
スク２２を１８０°回転すれば、全てのボンディングワ
イヤ１６の立体形状を計測するのに充分な画像データが
得られる。したがって、一試料毎に回転ディスク２２を
１８０゜回転させればよく、線状物検査用画像入力装置
の動作は単純である。
【００２３】図２は、上記構成の画像入力装置が適用さ
れた線状物検査装置を示す。
れた線状物検査装置を示す。
【００２４】パルスモータ４６の回転は、モータコント
ローラ５０によりドライバ５２を介して制御される。カ
メラ２６１及び２６２から出力された画像データは、画
像入力回路５４１及び５４２に供給されて、デジタル値
に変換され、かつ、モータコントローラ５０からの回転
角信号及びカメラ２６１、２６２からの同期信号に基づ
いて書込みアドレスが生成され、それぞれマイクロコン
ピュータ５６の画像記憶部５６ａ及び５６ｂに書込まれ
る。
ローラ５０によりドライバ５２を介して制御される。カ
メラ２６１及び２６２から出力された画像データは、画
像入力回路５４１及び５４２に供給されて、デジタル値
に変換され、かつ、モータコントローラ５０からの回転
角信号及びカメラ２６１、２６２からの同期信号に基づ
いて書込みアドレスが生成され、それぞれマイクロコン
ピュータ５６の画像記憶部５６ａ及び５６ｂに書込まれ
る。
【００２５】マイクロコンピュータ５６のハードウエア
は周知の構成であり、図２ではそのソフトウエア構成を
機能ブロック５６ａ〜５６ｆで示す。
は周知の構成であり、図２ではそのソフトウエア構成を
機能ブロック５６ａ〜５６ｆで示す。
【００２６】ウインド記憶部５６ｃには、検査対象の設
計データに基づいて、各ボンディングワイヤ１６に対す
るウインドの形状及び位置が予め格納されている。ワイ
ヤ形状計測部５６ｄは、このウインドを参照して、画像
記憶部５６ａ及び５６ｂから各ボンディングワイヤ１６
の画像を切り出し、立体両眼視法に基づいて、各ボンデ
ィングワイヤ１６の形状を計測する。一方、許容範囲記
憶部５６ｅには、ボンディングワイヤ１６の形状の許容
範囲が格納されている。良否判定部５６ｆは、ワイヤ形
状計測部５６ｄで計測されたボンディングワイヤ１６形
状がこの許容範囲内にあるかどうかを調べて良否判定を
行い、欠陥があると判定した場合には、警報信号及びボ
ンディングワイヤ１６を識別するデータを出力する。こ
のデータは、例えば、不図示の表示器に表示され、かつ
、レコーダに記録される。
計データに基づいて、各ボンディングワイヤ１６に対す
るウインドの形状及び位置が予め格納されている。ワイ
ヤ形状計測部５６ｄは、このウインドを参照して、画像
記憶部５６ａ及び５６ｂから各ボンディングワイヤ１６
の画像を切り出し、立体両眼視法に基づいて、各ボンデ
ィングワイヤ１６の形状を計測する。一方、許容範囲記
憶部５６ｅには、ボンディングワイヤ１６の形状の許容
範囲が格納されている。良否判定部５６ｆは、ワイヤ形
状計測部５６ｄで計測されたボンディングワイヤ１６形
状がこの許容範囲内にあるかどうかを調べて良否判定を
行い、欠陥があると判定した場合には、警報信号及びボ
ンディングワイヤ１６を識別するデータを出力する。こ
のデータは、例えば、不図示の表示器に表示され、かつ
、レコーダに記録される。
【００２７】図１に示すカメラ３６１及び３６２の出力
画像についても、上記と同一の処理が行われる。
画像についても、上記と同一の処理が行われる。
【００２８】このようにして、一つの半導体チップ１２
に対する全てのボンディングワイヤ１６が自動的に検査
され、これが繰返し行われる。
に対する全てのボンディングワイヤ１６が自動的に検査
され、これが繰返し行われる。
【００２９】（２）第２実施例
図３は、第２実施例の線状物検査用画像入力装置を示す
。この線状物検査用画像入力装置は、スリット光投光法
を適用したものであり、同一構成の画像入力装置を２組
備えている。
。この線状物検査用画像入力装置は、スリット光投光法
を適用したものであり、同一構成の画像入力装置を２組
備えている。
【００３０】固定配置されたベースプレート６０上の円
孔部には、回転ディスク６２が回転自在に支持されてい
る。また、ベースプレート６０上にパルスモータ４６が
固定されている。回転ディスク６２と、パルスモータ４
６の出力軸に取り付けられたプリーとには、ベルト６４
が巻き掛けられている。回転ディスク６２には、ベース
プレート６０の下方に配置された試料を覗くための一対
の覗き孔６２ａ及び６２ｂが形成されている。覗き孔６
２ａに対応して、一対のカメラ１８１及びスリット光投
光器２０１が回転ディスク６２に固定され、覗き孔６２
ｂに対応して、一対のカメラ１８２及びスリット光投光
器２０２が回転ディスク６２に固定されている。カメラ
１８１とカメラ１８２の光軸は、ベースプレート６０に
垂直になっており、これらの光軸に対し、スリット光投
光器２０１及び２０２の光軸は傾斜している。
孔部には、回転ディスク６２が回転自在に支持されてい
る。また、ベースプレート６０上にパルスモータ４６が
固定されている。回転ディスク６２と、パルスモータ４
６の出力軸に取り付けられたプリーとには、ベルト６４
が巻き掛けられている。回転ディスク６２には、ベース
プレート６０の下方に配置された試料を覗くための一対
の覗き孔６２ａ及び６２ｂが形成されている。覗き孔６
２ａに対応して、一対のカメラ１８１及びスリット光投
光器２０１が回転ディスク６２に固定され、覗き孔６２
ｂに対応して、一対のカメラ１８２及びスリット光投光
器２０２が回転ディスク６２に固定されている。カメラ
１８１とカメラ１８２の光軸は、ベースプレート６０に
垂直になっており、これらの光軸に対し、スリット光投
光器２０１及び２０２の光軸は傾斜している。
【００３１】このような簡単な構成の線状物検査用画像
入力装置は、一定間隔で搭載された試料を間欠送りする
搬送装置の上方に配置され、回転ディスク６２の下方で
、ボンディングワイヤ外観検査のために試料が一時停止
される。
入力装置は、一定間隔で搭載された試料を間欠送りする
搬送装置の上方に配置され、回転ディスク６２の下方で
、ボンディングワイヤ外観検査のために試料が一時停止
される。
【００３２】上記構成において、パルスモータ４６をオ
ンにすると、回転ディスク６２が回転し、カメラ１８１
及び１８２による撮像は、例えば回転ディスク６２が３
０゜回転する毎に行われる。回転ディスク６２を１８０
°回転すれば、全てのボンディングワイヤ１６の立体形
状を計測するのに充分な画像データが得られる。したが
って、一試料毎に回転ディスク６２を１８０度回転させ
ればよく、線状物検査用画像入力装置光学系の動作は単
純である。
ンにすると、回転ディスク６２が回転し、カメラ１８１
及び１８２による撮像は、例えば回転ディスク６２が３
０゜回転する毎に行われる。回転ディスク６２を１８０
°回転すれば、全てのボンディングワイヤ１６の立体形
状を計測するのに充分な画像データが得られる。したが
って、一試料毎に回転ディスク６２を１８０度回転させ
ればよく、線状物検査用画像入力装置光学系の動作は単
純である。
【００３３】図４は、上記構成の画像入力装置が適用さ
れた線状物検査装置を示す。
れた線状物検査装置を示す。
【００３４】スリット光投光器２０１は、レーザ２０ａ
、集光レンズ２０ｂ、シリンドカル凹レンズ２０ｃ及び
回折格子２０ｄを備えている。レーザ２０ａから放射さ
れた光ビームは、集光レンズ２０ｂでシリンドカル凹レ
ンズ２０ｃ上に集光され、シリンドカル凹レンズ２０ｃ
からの０次、１次及び−１次の回折光が回折格子２０ｄ
を通ってスリット光にされる。これらスリット光により
、ボンディングワイヤ１６上に光点Ｐ１、Ｐ２及びＰ３
が形成される。光点Ｐ１、Ｐ２及びＰ３はカメラ１８１
で撮像される。
、集光レンズ２０ｂ、シリンドカル凹レンズ２０ｃ及び
回折格子２０ｄを備えている。レーザ２０ａから放射さ
れた光ビームは、集光レンズ２０ｂでシリンドカル凹レ
ンズ２０ｃ上に集光され、シリンドカル凹レンズ２０ｃ
からの０次、１次及び−１次の回折光が回折格子２０ｄ
を通ってスリット光にされる。これらスリット光により
、ボンディングワイヤ１６上に光点Ｐ１、Ｐ２及びＰ３
が形成される。光点Ｐ１、Ｐ２及びＰ３はカメラ１８１
で撮像される。
【００３５】第１実施例と同様に、パルスモータ４６の
回転は、モータコントローラ５０によりドライバ５２を
介して制御される。カメラ１８１から出力された画像デ
ータは、画像入力回路５４に供給されて、デジタル値に
変換され、かつ、モータコントローラ５０からの回転角
信号及びカメラ１８１からの同期信号に基づいて書込み
アドレスが生成され、マイクロコンピュータ６６の画像
記憶部６６ａに書込まれる。
回転は、モータコントローラ５０によりドライバ５２を
介して制御される。カメラ１８１から出力された画像デ
ータは、画像入力回路５４に供給されて、デジタル値に
変換され、かつ、モータコントローラ５０からの回転角
信号及びカメラ１８１からの同期信号に基づいて書込み
アドレスが生成され、マイクロコンピュータ６６の画像
記憶部６６ａに書込まれる。
【００３６】マイクロコンピュータ６６のハードウエア
は周知の構成であり、図４ではそのソフトウエア構成を
機能ブロック６６ａ〜６６ｆで示す。
は周知の構成であり、図４ではそのソフトウエア構成を
機能ブロック６６ａ〜６６ｆで示す。
【００３７】ウインド記憶部６６ｃには、検査対象の設
計データに基づいて、各ボンディングワイヤ１６に対す
るウインドの形状及び位置が予め格納されている。ワイ
ヤ形状計測部６６ｄは、このウインドを参照して、画像
記憶部６６ａから各ボンディングワイヤ１６の画像を切
り出し、３角測量法に基づいて、各ボンディングワイヤ
１６の形状を計測する。一方、許容範囲記憶部６６ｅに
は、ボンディングワイヤ１６の形状の許容範囲が格納さ
れている。良否判定部６６ｆは、ワイヤ形状計測部６６
ｄで計測されたボンディングワイヤ１６の形状がこの許
容範囲内にあるかどうかを調べて良否判定を行い、欠陥
があると判定した場合には、警報信号及びボンディング
ワイヤ１６を識別するデータを出力する。このデータは
、例えば、不図示の表示器に表示され、かつ、レコーダ
に記録される。
計データに基づいて、各ボンディングワイヤ１６に対す
るウインドの形状及び位置が予め格納されている。ワイ
ヤ形状計測部６６ｄは、このウインドを参照して、画像
記憶部６６ａから各ボンディングワイヤ１６の画像を切
り出し、３角測量法に基づいて、各ボンディングワイヤ
１６の形状を計測する。一方、許容範囲記憶部６６ｅに
は、ボンディングワイヤ１６の形状の許容範囲が格納さ
れている。良否判定部６６ｆは、ワイヤ形状計測部６６
ｄで計測されたボンディングワイヤ１６の形状がこの許
容範囲内にあるかどうかを調べて良否判定を行い、欠陥
があると判定した場合には、警報信号及びボンディング
ワイヤ１６を識別するデータを出力する。このデータは
、例えば、不図示の表示器に表示され、かつ、レコーダ
に記録される。
【００３８】図３に示すカメラ１８２の出力画像につい
ても、上記と同一の処理が行われる。
ても、上記と同一の処理が行われる。
【００３９】このようにして、一つの半導体チップ１２
に対する全てのボンディングワイヤ１６が自動的に検査
され、これが繰返し行われる。
に対する全てのボンディングワイヤ１６が自動的に検査
され、これが繰返し行われる。
【００４０】
【発明の効果】第１の発明に係る線状物検査用画像入力
装置は、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ線状物を互いに異なる方向か
ら撮像して画像データを出力する１対のカメラとを備え
た構成であり、第２の発明に係る線状物検査用画像入力
装置は、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ線状物を切断する方向に該線
状物にスリット光を投光する投光器と、該回転部材に取
付けられ投光された該線状物を撮像して画像データを出
力するカメラとを備えた構成であり、簡単な構成で、一
試料の全線状物の立体形状を検出するのに必要な画像デ
ータを得ることができるという効果を奏し、線状物検査
装置の安価化に寄与するところが大きい。
装置は、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ線状物を互いに異なる方向か
ら撮像して画像データを出力する１対のカメラとを備え
た構成であり、第２の発明に係る線状物検査用画像入力
装置は、回転部材と、該回転部材を回転させるモータと
、該回転部材に取付けられ線状物を切断する方向に該線
状物にスリット光を投光する投光器と、該回転部材に取
付けられ投光された該線状物を撮像して画像データを出
力するカメラとを備えた構成であり、簡単な構成で、一
試料の全線状物の立体形状を検出するのに必要な画像デ
ータを得ることができるという効果を奏し、線状物検査
装置の安価化に寄与するところが大きい。
【００４１】しかも、動作は単純な回転動作であり、高
速処理が可能となるという効果を奏する。
速処理が可能となるという効果を奏する。
【図１】図１は本発明の第１実施例の線状物検査用画像
入力装置を示す斜視図である。
入力装置を示す斜視図である。
【図２】図１の画像入力装置が適用された線状物検査装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図３】図３は本発明の第２実施例の線状物検査用画像
入力装置を示す斜視図である。
入力装置を示す斜視図である。
【図４】図３の画像入力装置が適用された線状物検査装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図５】ボンディングワイヤの各種形状を示す図である
。
。
【図６】従来の線状物検査用画像入力装置を示す斜視図
である。
である。
【図７】従来の線状物検査用画像入力装置を示す斜視図
である。
である。
１０ リードフレーム
１０ａ アイランド
１０ｂ リード
１２ 半導体チップ
１４ パッド
１６ ボンディングワイヤ
１８、１８１、１８２、２６１、２６２、３６１、３６
２ カメラ ２０、２０１、２０２ スリット光投光器２０ａ
レーザ ２０ｂ 集光レンズ ２０ｃ シリンドカル凹レンズ ２０ｄ 回折格子 ２２、６２ 回転ディスク ２４、３４ 両眼視鏡筒 ２８、３８ アパーチャ板 ２８ａ、２８ｂ、３８ａ 円孔 ３０ 対物レンズ ４２ 回転軸 ４４ アーム ４５、４６ａ プーリ ４６ パルスモータ ４８、６４ ベルト ６０ ベースプレート ６２ａ、６２ｂ 覗き孔
２ カメラ ２０、２０１、２０２ スリット光投光器２０ａ
レーザ ２０ｂ 集光レンズ ２０ｃ シリンドカル凹レンズ ２０ｄ 回折格子 ２２、６２ 回転ディスク ２４、３４ 両眼視鏡筒 ２８、３８ アパーチャ板 ２８ａ、２８ｂ、３８ａ 円孔 ３０ 対物レンズ ４２ 回転軸 ４４ アーム ４５、４６ａ プーリ ４６ パルスモータ ４８、６４ ベルト ６０ ベースプレート ６２ａ、６２ｂ 覗き孔
Claims (2)
- 【請求項１】 回転部材（２２）と、該回転部材を回
転させるモータ（４６）と、該回転部材に取付けられ、
線状物（１６）を互いに異なる方向から撮像して画像デ
ータを出力する１対のカメラ（２６１、２６２、３６１
、３６２）と、を有することを特徴とする線状物検査用
画像入力装置。 - 【請求項２】 回転部材（６２）と、該回転部材を回
転させるモータ（４６）と、該回転部材に取付けられ、
線状物（１６）を切断する方向に該線状物にスリット光
を投光する投光器（２０１、２０２）と、該回転部材に
取付けられ、投光された該線状物を撮像して画像データ
を出力するカメラ（１８１、１８２）と、を有すること
を特徴とする線状物検査用画像入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022058A JPH04259807A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 線状物検査用画像入力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022058A JPH04259807A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 線状物検査用画像入力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259807A true JPH04259807A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=12072314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3022058A Withdrawn JPH04259807A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 線状物検査用画像入力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04259807A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06168319A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Nec Corp | 指紋読取装置 |
| JP2019124588A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | ダイハツ工業株式会社 | 外観検査装置 |
| KR102182341B1 (ko) * | 2020-05-11 | 2020-11-24 | (주)스페이스 | 항공촬영 영상이미지를 업그레이드한 공간영상도화 시스템 |
| KR102206006B1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 수치지도 제작에 용이한 수치지도 관리시스템 |
| KR102206007B1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 지리정보를 활용한 실시간 수치지도 갱신 시스템 |
| KR102206012B1 (ko) * | 2020-05-11 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 지형지물의 영상을 수치도화하는 공간영상도화 시스템 |
| KR102245324B1 (ko) * | 2020-05-07 | 2021-04-28 | (주)스페이스 | Gps와 ins를 이용한 수치지도 제작 시스템 |
| JP2024058314A (ja) * | 2022-10-14 | 2024-04-25 | オークマ株式会社 | 三次元形状測定システム |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP3022058A patent/JPH04259807A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06168319A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Nec Corp | 指紋読取装置 |
| JP2019124588A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | ダイハツ工業株式会社 | 外観検査装置 |
| KR102245324B1 (ko) * | 2020-05-07 | 2021-04-28 | (주)스페이스 | Gps와 ins를 이용한 수치지도 제작 시스템 |
| KR102206006B1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 수치지도 제작에 용이한 수치지도 관리시스템 |
| KR102206007B1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 지리정보를 활용한 실시간 수치지도 갱신 시스템 |
| KR102182341B1 (ko) * | 2020-05-11 | 2020-11-24 | (주)스페이스 | 항공촬영 영상이미지를 업그레이드한 공간영상도화 시스템 |
| KR102206012B1 (ko) * | 2020-05-11 | 2021-01-21 | (주)스페이스 | 지형지물의 영상을 수치도화하는 공간영상도화 시스템 |
| JP2024058314A (ja) * | 2022-10-14 | 2024-04-25 | オークマ株式会社 | 三次元形状測定システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |