JPH0426328U - - Google Patents

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JPH0426328U
JPH0426328U JP6695290U JP6695290U JPH0426328U JP H0426328 U JPH0426328 U JP H0426328U JP 6695290 U JP6695290 U JP 6695290U JP 6695290 U JP6695290 U JP 6695290U JP H0426328 U JPH0426328 U JP H0426328U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は本考案に係る多連分光器の
自動光学微調整装置の一実施例に係り、第１図は
自動光学微調整装置を備えた多連分光器の構成図
、第２図は制御装置による自動光学微調整手順を
示すフローチヤート、第３図は光学微調整時の光
検出器の出力と回折格子又は結像鏡の微小回転順
を示す線図である。 図中、１０は光源、１１は試料、１２は第１分
光器、１３は分散像反転光学系、１４は第２分光
器、１５は第３分光器、１６は光検出器、１７は
光検出進退駆動装置、１８はＡ／Ｄ変換器、１９
は制御装置、１２１，１２８，１４１，１５１，
１５８は可変スリツト、１２２，１４２，１５２
は回折格子、１２３，１４３，１５３はコリメー
ト鏡、１２４，１３４，１４４，１５４は結像鏡
、１２５，１２９，１４５，１５５，１５９は開
口幅切換駆動装置、１２６は波数走査装置、１３
６，１４６，１５６は微少回転駆動装置、１３２
，１３３，１３７，１３８，１４７，１５７Ａ，
１５７Ｂは平面鏡。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数の分光器１２，１４，１５が直列接続さ
    れた多連分光器の分散用回折格子１２２，１４２
    ，１５２を連動して回転駆動する波数走査装置１
    ２６と、 該多連分光器の結像鏡１３４，１４４，１５４
    を微少回転させる微少回転駆動装置１３６，１４
    ６，１５６と、 該多連分光器のスリツト１２１，１２８，１４
    １，１５１，１５８の開口幅を切換駆動する開口
    幅切換駆動装置１２５，１２９，１４５，１５５
    ，１５９と、 最終段の該分光器１５からの出射光強度を検出
    する光検出器１６と、 第１ステツプでは初段の該分光器１２の該スリ
    ツト１２１，１２８の開口幅を狭くさせ他の全て
    の該スリツト１４１，１５１，１５８の開口幅を
    広くさせた状態で該回折格子を微少回転させて該
    光検出器の出力を最大にさせ、第２ステツプでは
    次段の該スリツトの開口を狭くさせ該スリツト側
    に集光させる該結像鏡を微少回転させて該光検出
    器の出力を最大にさせ、該第２ステツプを最終段
    まで繰返す制御装置１９と、 を有することを特徴とする、多連分光器の自動光
    学微調整装置。 ２ 前記光検出器１６は光学微調整専用であり、 該光学微調整の際に該光検出器を光路内外へ進
    退させる駆動装置１７を備えたことを特徴とする
    請求項１記載の装置。 ３ 前記微少回転は、一方向に角度θｍ回転させ
    Ａ、他方向に角度２θｍ回転させながら前記光検
    出器１６の出力が最大となる回転角θｏを見つけ
    Ｂ、該一方向に角度２θｍ回転させＣ、さらに該
    他方向に角度θｏ回転させるＤことを特徴とする
    請求項１又は２記載の装置。
JP6695290U 1990-06-25 1990-06-25 多連分光器の自動光学微調整装置 Expired - Lifetime JPH0710266Y2 (ja)

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JP6695290U JPH0710266Y2 (ja) 1990-06-25 1990-06-25 多連分光器の自動光学微調整装置

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JP6695290U JPH0710266Y2 (ja) 1990-06-25 1990-06-25 多連分光器の自動光学微調整装置

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Publication Number Publication Date
JPH0426328U true JPH0426328U (ja) 1992-03-02
JPH0710266Y2 JPH0710266Y2 (ja) 1995-03-08

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JP6695290U Expired - Lifetime JPH0710266Y2 (ja) 1990-06-25 1990-06-25 多連分光器の自動光学微調整装置

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JPH0710266Y2 (ja) 1995-03-08

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