JPH04269163A - 極薄金属板の超仕上研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属箔状の極薄金属板
を回転研磨工具により鏡面状に超仕上研磨する際に、所
定の張力を加えてこの極薄金属板を研磨台に載置するこ
とにより、その研磨を可能にした超仕上研磨時における
極薄金属板の固定方法、及びその装置に関するものであ
る。ここで「超仕上研磨」とは、その仕上面の最大粗さ
が０．０３μｍ以下であって、研磨条痕の認められない
写像性の高い仕上面が得られる程度の研磨をいう。また
、「極薄金属板」とは、厚さが０．１ｍｍ　程度のステ
ンレス薄板などのことをいう。

【０００２】

【従来の技術】通常の厚さを有する金属板を仕上研磨す
るには、図８に示されるようにして行っている。即ち、
金属板Ｗ’の一方の端末部のみを挟着具４１で挟着して
、回転研磨工具４２を矢印で示される方向（研磨工具４
２の回転抵抗によって金属板Ｗ’に張力が生ずる方向）
に移動させて、その研磨を行っている。

【０００３】一方、半導体部品などは、僅かの塵埃類の
存在も許されないス−パ−クリ−ンル−ムにおいて製造
されており、このス−パ−クリ−ンル−ムに設置される
ロボットのハンドなどの可動部は、これに付着している
ゴミ類が室内に落下しないように蛇腹で覆う必要がある
と共に、この蛇腹自体の内外周面にゴミ類が付着するの
を防ぎたい場合がある。このような場合には、蛇腹を金
属箔状の極薄金属板で構成すると同時に、この極薄金属
板の表裏両面を鏡面状に研磨仕上げすると、上記したこ
とを実現できる。しかし、板厚が０．１ｍｍ　程度の金
属箔状の極薄金属板を上記した方法によって研磨すると
、研磨工具４２の圧着時に生ずる回転抵抗が極薄金属板
に対して大き過ぎるため、研磨中にこの極薄金属板に「
シワ」或いは「ヤブレ」が生じて、研磨できない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、研磨
台に対する金属箔状の極薄金属板の固定方法の工夫によ
って、「シワ」又は「ヤブレ」が生ずることなく、極薄
金属板の超仕上研磨を高精度で、しかも高能率で行える
ようにすることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の採用した手段は、研磨台に載置された極薄金
属板を回転研磨工具により超仕上研磨する際に、この極
薄金属板を研磨台に固定する装置を、少なくとも一方が
前記研磨台の長手方向にスライド可能なように、この研
磨台の長手方向の両端部に配置されて、この研磨台に載
置された極薄金属板の両端末部を着脱可能に挟着するた
めの一対の挟着装置と、スライド可能な前記挟着装置に
引張力を作用させて、両端末部が前記一対の挟着装置で
挟着されている極薄金属板に張力を付与するための張力
付与装置とで構成して、この極薄金属板に回転研磨工具
の回転抵抗よりも大きな張力を全幅にわたって加えるこ
とである。

【０００６】

【発明の作用】研磨台の長手方向の両端部に配置された
一対の挟着装置によって、極薄金属板の両端末部が挟着
した後に、張力付与装置によってスライド可能な挟着装
置に引張力を作用させると、極薄金属板にその全幅にわ
たって所定の張力が加えられる。このため、研磨工具を
圧着させても、極薄金属板に加えられている張力が研磨
工具の回転抵抗に勝り、「シワ」などが全く生ずること
なく極薄金属板を高精度で、しかも高能率で研磨できる
。また、研磨台に対する極薄金属板のセッティングは、
この極薄金属板の両端末部をそれぞれ挟着装置で挟着し
た後に、張力付与装置によってスライド可能な挟着装置
に引張力を作用させるのみでよいので、このセッティン
グを短時間で行える。

【０００７】

【実施例】図１ないし図３に、本発明に係る極薄金属板
の固定装置が示されている。この固定装置は、ベッド１
の中央部に設置された研磨台２と、この研磨台２の長手
方向Ｑの両端部分にそれぞれ設置される一対の挟着装置
Ａ１，Ａ２　と、スライド可能に設置された挟着装置Ａ
１　に引張力を作用させて、両挟着装置Ａ１，Ａ２　で
その両端末部が挟着されている極薄金属板Ｗに所定の張
力を付与せしめるための張力付与装置Ｂとで構成される
。研磨台２の長手方向Ｑの両端部はわん曲していて、そ
の上面には、ウレタンゴムなどから成る弾性板３が取付
けられている。研磨台２の長手方向Ｑの両端部に設置さ
れた一対の挟着装置Ａ１，Ａ２　のうち一方の装置Ａ１
　は、研磨台２の長手方向Ｑに沿ってスライド可能にベ
ッド１に設置され、他方の装置Ａ２　は、ベッド１に固
定して設置されているが、両装置Ａ１，Ａ２　の構成は
同一である。

【０００８】図１ないし図５に詳細に示されるように、
挟着装置Ａ１　は、ベッド１に一対のガイド体４を介し
て研磨台２の長手方向Ｑにスライド可能に設置された基
板５と、この基板５の上に配置される挟着板６とで構成
される。基板５の先端部の上面には、傾斜した挟着面５
ａが形成されており、挟着板６の先端部の下面には、前
記挟着面５ａに対応する挟着面６ａが傾斜して形成され
ている。基板５における挟着板６の先端部であって、し
かもその両側の部分には、それぞれ支持体７が取付けら
れている。挟着板６の先端部であって、しかもその両端
の部分が枢着ピン８を介してそれぞれ前記支持体７に枢
着されている。また、挟着板６の後端部分は、斜上方に
立上がった立上り部６ｂが形成され、この立上り部６ｂ
の上端には水平部６ｃが後方に向かって形成され、この
水平部６ｃの両端部と、前記基板５との間の空間部に、
それぞれ圧縮スプリング９が弾装されている。よって、
挟着板６は、圧縮スプリング９の復元力により一対の枢
着ピン８を中心に回動して、その挟着面６ａが基板５の
挟着面５ａに対して圧着する方向に付勢されている。こ
のため、挟着板６の水平部６ｃに力Ｐを作用させると、
図４で二点鎖線で示されるように、挟着板６が枢着ピン
８を中心にして時計方向に回動し、これにより基板５の
挟着面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間に所定の隙
間が形成されて、この隙間に極薄金属板Ｗの端末部を挿
入し、その後に前記力Ｐを解除すると、圧縮スプリング
９の復元力によって、挟着板６が枢着ピン８を中心にし
て反時計方向に回動するように付勢されて、基板５の挟
着面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間で極薄金属板
Ｗの端末部が挟着される。挟着板６を回動させるための
枢着ピン８は、挟着面６ａに近い部分に設けられている
ので、圧縮スプリング９の復元力は拡大されて、挟着面
６ａの部分に作用する。この結果、極薄金属板Ｗの端末
部を挟着する力が大きくなる。挟着板６の幅は、挟着す
る極薄金属板Ｗの幅よりも広くする必要がある。他方の
挟着装置Ａ２　は、固定ピン１１を介してベッド１に固
定されている点を除き、上記挟着装置Ａ１　と同一構成
である。

【０００９】次に、張力付与装置Ｂについて説明する。 挟着装置Ａ１　を構成している基板５の後端部の中央に
ブロック体１２が固着され、このブロック体１２にねじ
棒１３の先端部が固着されて、このねじ棒１３は、ベッ
ド１の側板１ａを貫通して外部に水平に突出しており、
側板１ａの外側に設けられた軸受１４によりねじ棒１３
は支持されている。ねじ棒１３のベッド１の側板１ａか
ら突出した部分に雄ねじ部１３ａが設けられ、ハンドル
１５に固設された雌ねじ体１６と、ねじ棒１３の雄ねじ
部１３ａとが螺合され、この雌ねじ体１６と前記軸受１
４との間に圧縮スプリング１７が弾装されている。この
ため、ハンドル１５を所定方向に回転させて、圧縮スプ
リング１７を更に圧縮させると、スライド可能な挟着装
置Ａ１　に引張力が作用して、両端末部が一対の挟着装
置Ａ１，Ａ２　で挟着されている極薄金属板Ｗに所定の
張力が全幅にわたって加えられる。また、ハンドル１５
の回転量を調整して、圧縮スプリング１７の圧縮量を調
整すると、極薄金属板Ｗに加えられる張力の調整を行え
る。

【００１０】研磨作業に先立って研磨台２に極薄金属板
Ｗをセッティングするには、図４に示されるように、挟
着板６の水平部６ｃに力Ｐを加えて、この挟着板６の挟
着面６ａを基板５の挟着面５ａから離し、両挟着面５ａ
，６ａの間に形成される隙間に極薄金属板Ｗの端末部を
挿入し、その後に力Ｐを解除すると、圧縮スプリング９
の復元力により、両挟着面５ａ，６ａの間で極薄金属板
Ｗの端末部が挟着される。極薄金属板Ｗの他方の端末部
も、全く同様にして挟着すると、その両端末部が一対の
挟着装置Ａ１，Ａ２　で挟着される。次に、ハンドル１
５を回転させて、張力付与装置Ｂの圧縮スプリング１７
の圧縮量を増すと、スライド可能な挟着装置Ａ１　に引
張力が作用して、一対の挟着装置Ａ１，Ａ２　で挟着さ
れている極薄金属板Ｗの両端末部が斜め下方に引張られ
て、この極薄金属板Ｗに所定の張力が加えられると共に
、この張力により極薄金属板Ｗが、研磨台２に取付けら
れた弾性板３に密着する。極薄金属板Ｗに加えられる張
力は、回転研磨工具を極薄金属板Ｗに圧着させて研磨す
る際に生ずる回転抵抗よりも大きくする必要がある。

【００１１】張力付与装置Ｂによって張力が加えられて
いる極薄金属板Ｗを回転研磨工具１８により研磨すると
、極薄金属板Ｗに回転研磨工具１８の回転抵抗よりも大
きな張力が全幅にわたって加えられているために、「シ
ワ」，「ヤブレ」などが全く生じることなく、極薄金属
板Ｗを支障なく研磨できる。研磨方向は、張力方向の場
合（図６参照）と、張力と直交する方向の場合（図７参
照）とがあり、いずれの場合でも研磨可能である。 また、極薄金属板Ｗを両面研磨する場合には、一面の研
磨後において極薄金属板Ｗを反転させて、セッティング
し直して他面を研磨すればよい。

【００１２】また、一対の挟着装置の双方を研磨台の長
手方向にスライド可能な構成にしてもよく、挟着装置及
び張力付与装置の構成も上記実施例のものに限定されな
い。

【００１３】

【発明の効果】本発明は、極薄金属板に回転研磨工具の
回転抵抗よりも大きな張力を全幅にわたって加えた状態
で、この極薄金属板を研磨台に固定して研磨作業を行う
ので、「シワ」，「ヤブレ」などが全く生じることなく
、極薄金属板を高精度で、しかも高能率で研磨できる。 また、本発明の極薄金属板の固定装置によれば、極薄金
属板の両端末部の着脱操作をワンタッチで行えるので、
研磨台に対する極薄金属板のセッティングを迅速に行え
て、研磨作業の能率が高まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る極薄金属板の固定装置の平面図で
ある。

【図２】本発明に係る極薄金属板の固定装置の中央断面
側面図である。

【図３】本発明に係る極薄金属板の固定装置の正面図で
ある。

【図４】挟着装置Ａ１　の拡大断面図である。

【図５】挟着装置Ａ１，Ａ２　を構成している基板５と
挟着板６とを分離させた図である。

【図６】本発明の方法により固定した極薄金属板Ｗの研
磨方向を示す図である。

【図７】本発明の方法により固定した極薄金属板Ｗの他
の研磨方向を示す図である。

【図８】通常の厚さの金属板Ｗ’を従来方法により固定
して研磨している状態の図である。

【符号の説明】

Ａ１，Ａ２　：挟着装置 Ｂ：張力付与装置 Ｑ：研磨台の長手方向 Ｗ：極薄金属板 １：ベッド ２：研磨台 ５：挟着装置の基板 ５ａ：基板の挟着面 ６：挟着装置の挟着板 ６ａ：挟着板の挟着面 ９：挟着装置の圧縮スプリング １３：張力付与装置のねじ棒 １５：張力付与装置のハンドル １７：張力付与装置の圧縮スプリング

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　研磨台に載置された極薄金属板を回転
   研磨工具により超仕上研磨する際に、この極薄金属板を
   研磨台に固定する方法であって、この極薄金属板の両端
   末部を挟着して、この極薄金属板に前記回転研磨工具の
   回転抵抗より大きな張力を全幅にわたって加えることを
   特徴とする超仕上研磨時における極薄金属板の固定方法
   。
2. 【請求項２】　　研磨台に載置された極薄金属板を回転
   研磨工具により超仕上研磨する際に、この極薄金属板を
   研磨台に固定する装置であって、少なくとも一方が前記
   研磨台の長手方向にスライド可能なように、この研磨台
   の長手方向の両端部に配置されて、この研磨台に載置さ
   れた極薄金属板の両端末部を着脱可能に挟着するための
   一対の挟着装置と、スライド可能な前記挟着装置に引張
   力を作用させて、両端末部が前記一対の挟着装置で挟着
   されている極薄金属板に張力を付与するための張力付与
   装置と、で構成されることを特徴とする超仕上研磨時に
   おける極薄金属板の固定装置。
3. 【請求項３】　　前記挟着装置は、先端部の上面が傾斜
   した挟着面に形成されていて、ベッドの上に設置される
   基板と、先端部の下面にこの基板の挟着面と対応する挟
   着面が形成されて、前記基板の上方に設置される挟着板
   とから成り、圧縮スプリングの復元力により基板と挟着
   板の各挟着面が圧着するように、基板に対して挟着板が
   回動可能に枢着されていることを特徴とする請求項２に
   記載の超仕上研磨時における極薄金属板の固定装置。
4. 【請求項４】　　前記張力付与装置は、研磨台の長手方
   向にスライド可能な挟着装置を構成している基板に先端
   部が固設されて、軸受を介して水平に支持されているね
   じ棒と、このねじ棒の雄ねじ部に螺合される雌ねじ部を
   備えたハンドルと、このハンドルと前記軸受との間に弾
   装される圧縮スプリングとから成り、ハンドルの回転に
   より前記圧縮スプリングの圧縮量を増して、スライド可
   能な挟着装置に引張力を作用させるように構成されてい
   ることを特徴とする請求項２に記載の超仕上研磨時にお
   ける極薄金属板の固定装置。