JPH04270187A - グレーズ面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法 - Google Patents
グレーズ面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法Info
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- JPH04270187A JPH04270187A JP2887791A JP2887791A JPH04270187A JP H04270187 A JPH04270187 A JP H04270187A JP 2887791 A JP2887791 A JP 2887791A JP 2887791 A JP2887791 A JP 2887791A JP H04270187 A JPH04270187 A JP H04270187A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はサーマルヘッド等に用い
るグレーズド基板の製造法に関する。
るグレーズド基板の製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ファクシミリ等のサーマルヘッド
に使用される基板は、アルミナ等のセラミック基板の表
面全体にグレーズ層を均一に施釉し、その上に発熱抵抗
体や電極を形成して作製していた。この基板は、発熱抵
抗体部分の突出高さが低く、感熱紙や熱転写リボンに発
熱抵抗体を強く押しつけることが困難であり、良好な印
字品質が得られなかった。
に使用される基板は、アルミナ等のセラミック基板の表
面全体にグレーズ層を均一に施釉し、その上に発熱抵抗
体や電極を形成して作製していた。この基板は、発熱抵
抗体部分の突出高さが低く、感熱紙や熱転写リボンに発
熱抵抗体を強く押しつけることが困難であり、良好な印
字品質が得られなかった。
【０００３】この印字品質を改善するために、特公昭６
０−４６０３０号公報に示されているように、アルミニ
ウム酸化物基板上にメサ状領域を部分的に有するガラス
グレーズ層をエッチング等で形成して、このメサ状領域
に抵抗性材料層や導電性材料層を形成する方法がある。 従来、アルミナ基板にガラスグレーズを形成する場合に
、該グレーズガラスはアルミナ基板との熱膨張係数の整
合性等を考慮して、酸化カルシウムを多量に含む珪酸塩
系のガラスを使用することが多かった。
０−４６０３０号公報に示されているように、アルミニ
ウム酸化物基板上にメサ状領域を部分的に有するガラス
グレーズ層をエッチング等で形成して、このメサ状領域
に抵抗性材料層や導電性材料層を形成する方法がある。 従来、アルミナ基板にガラスグレーズを形成する場合に
、該グレーズガラスはアルミナ基板との熱膨張係数の整
合性等を考慮して、酸化カルシウムを多量に含む珪酸塩
系のガラスを使用することが多かった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】特公昭６０−４６０３
０号公報に記載されるように、グレーズをエッチングし
て凸状のラインを形成しようとすると、酸化カルシウム
を多く含む珪酸塩系のグレーズでは、突起状の欠陥部分
が多発したり、甚だしく表面が荒れたりするために、平
滑で精密にエッチングされたグレーズド基板を得ること
が困難であった。また、エッチングして得られた凸状の
ラインは、段差部分が急峻なため、サーマルヘッドにす
るために微細配線を施すと断線や短絡が多発した。
０号公報に記載されるように、グレーズをエッチングし
て凸状のラインを形成しようとすると、酸化カルシウム
を多く含む珪酸塩系のグレーズでは、突起状の欠陥部分
が多発したり、甚だしく表面が荒れたりするために、平
滑で精密にエッチングされたグレーズド基板を得ること
が困難であった。また、エッチングして得られた凸状の
ラインは、段差部分が急峻なため、サーマルヘッドにす
るために微細配線を施すと断線や短絡が多発した。
【０００５】本発明はこのような問題点を解消し、セラ
ミック基板上に設けたグレーズをエッチングして所定の
凹凸を形成するに際し、エッチング面が平滑かつ精密で
グレーズ面の凹凸がなだらかであるグレーズド基板の製
造法を提供するものである。
ミック基板上に設けたグレーズをエッチングして所定の
凹凸を形成するに際し、エッチング面が平滑かつ精密で
グレーズ面の凹凸がなだらかであるグレーズド基板の製
造法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、セラミック基
板表面に４モル％未満の酸化カルシウムを含む珪酸塩の
クレーズガラス層を形成した後、該グレーズガラス層を
弗酸を含む酸で部分エッチングし、次いで熱処理するこ
とを特徴とするグレーズ面に凹凸を有するグレーズド基
板の製造法に関する。
板表面に４モル％未満の酸化カルシウムを含む珪酸塩の
クレーズガラス層を形成した後、該グレーズガラス層を
弗酸を含む酸で部分エッチングし、次いで熱処理するこ
とを特徴とするグレーズ面に凹凸を有するグレーズド基
板の製造法に関する。
【０００７】本発明で用いられるセラミック基板は、ア
ルミナ基板、アルミナに焼結助剤を加えた基板、Ａ１Ｎ
基板、部分安定化ジルコニア基板等であるが、アルミナ
系のものが廉価に製造できるので好ましい。また、本発
明でグレーズをセラミック基板に形成する方法は、印刷
法、シート積層法、沈降法等が用いられる。印刷法の場
合は、セラミック基板の片面全面、片面の一部、端縁等
にグレーズガラスフリット、有機結合剤及び溶剤を混合
したグレーズペーストを印刷し、そのグレーズペースト
を焼付けてグレーズ層を形成する。
ルミナ基板、アルミナに焼結助剤を加えた基板、Ａ１Ｎ
基板、部分安定化ジルコニア基板等であるが、アルミナ
系のものが廉価に製造できるので好ましい。また、本発
明でグレーズをセラミック基板に形成する方法は、印刷
法、シート積層法、沈降法等が用いられる。印刷法の場
合は、セラミック基板の片面全面、片面の一部、端縁等
にグレーズガラスフリット、有機結合剤及び溶剤を混合
したグレーズペーストを印刷し、そのグレーズペースト
を焼付けてグレーズ層を形成する。
【０００８】このグレーズド基板の所定部分をエッチン
グで取り除いてグレーズ面に凹凸を形成するのであるが
、エッチングで取り除くグレーズは厚み方向の一部であ
り、少なくとも５μｍの厚みにグレーズを残して被エッ
チング部分のセラミックを露出させないようにする。 グレーズをエッチングするときに、グレーズのエッチン
グしない部分及びセラミック基板面が当初から露出して
いる部分は、エッチングされないようにエッチングレジ
ストを設ける。レジストの設け方はスクリーン印刷法、
転写法、フォトリソグラフィ法等による。
グで取り除いてグレーズ面に凹凸を形成するのであるが
、エッチングで取り除くグレーズは厚み方向の一部であ
り、少なくとも５μｍの厚みにグレーズを残して被エッ
チング部分のセラミックを露出させないようにする。 グレーズをエッチングするときに、グレーズのエッチン
グしない部分及びセラミック基板面が当初から露出して
いる部分は、エッチングされないようにエッチングレジ
ストを設ける。レジストの設け方はスクリーン印刷法、
転写法、フォトリソグラフィ法等による。
【０００９】グレーズガラスは、セラミック基板にグレ
ーズ可能なように珪酸塩系のものが用いられる。グレー
ズガラスに含まれる酸化カルシウムの含有率は、グレー
ズガラス組成の４モル％未満とされる。４モル％以上で
あると、グレーズ焼付け中にグレーズ層全体又は部分的
にガラスの分相等が起こるので、グレーズのエッチング
が均一に進まなくなり、被エッチング面に欠陥が生じた
り、被エッチング面の表面粗さが増大したりする問題が
生ずる。グレーズガラスの珪酸及び酸化カルシウム以外
の成分としては、グレーズガラスとして必要な熱膨張係
数、耐熱性、熱伝導率等を付与するために、Ａｌ２Ｏ３
、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、ＰｂＯ、Ｎａ２Ｏ
、Ｋ２Ｏ、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｂｉ２Ｏ３、ＣｕＯ
等が用いられる。ＰｂＯ、ＺｎＯ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ及
びＢｉ２Ｏ３が多いとグレーズガラスの耐熱性が低下し
て、感熱ヘッドにしたときの寿命が低下したり、回路欠
陥が多発したりするので、ＰｂＯ、ＺｎＯ及びＢｉ２Ｏ
３は１０モル％以下、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏは２モル％以
下であることが好ましい。
ーズ可能なように珪酸塩系のものが用いられる。グレー
ズガラスに含まれる酸化カルシウムの含有率は、グレー
ズガラス組成の４モル％未満とされる。４モル％以上で
あると、グレーズ焼付け中にグレーズ層全体又は部分的
にガラスの分相等が起こるので、グレーズのエッチング
が均一に進まなくなり、被エッチング面に欠陥が生じた
り、被エッチング面の表面粗さが増大したりする問題が
生ずる。グレーズガラスの珪酸及び酸化カルシウム以外
の成分としては、グレーズガラスとして必要な熱膨張係
数、耐熱性、熱伝導率等を付与するために、Ａｌ２Ｏ３
、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、ＰｂＯ、Ｎａ２Ｏ
、Ｋ２Ｏ、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｂｉ２Ｏ３、ＣｕＯ
等が用いられる。ＰｂＯ、ＺｎＯ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ及
びＢｉ２Ｏ３が多いとグレーズガラスの耐熱性が低下し
て、感熱ヘッドにしたときの寿命が低下したり、回路欠
陥が多発したりするので、ＰｂＯ、ＺｎＯ及びＢｉ２Ｏ
３は１０モル％以下、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏは２モル％以
下であることが好ましい。
【００１０】グレーズのエッチングに用いる酸は、弗酸
又は弗酸を含む混酸である。弗酸を含まない酸ではエッ
チング速度が遅く、実用上支障がある。弗酸を含む混酸
は、弗酸と塩酸との混酸、弗酸と硝酸との混酸、弗酸と
硫酸との混酸等が用いられ、表面粗さが小さい被エッチ
ング面を得るには、弗酸と硫酸との混酸を用いるのが好
ましく、弗酸の濃度が１２Ｎ以下で、硫酸の濃度が３Ｎ
〜１６Ｎであれば、エッチング深さを深くしても被エッ
チング面の表面粗さが０．１μｍＲａ（ＪＩＳＢ０６０
１記載の中心線平均粗さ）以下になるのでより好ましく
、弗酸の濃度が１０Ｎ以下であり、硫酸の濃度が４Ｎ〜
１２Ｎであれば、エッチング深さを深くしても被エッチ
ング面の表面粗さが０．０５μｍＲａ以下になるので最
も好ましい。部分エッチングの方法としては、例えば前
記酸化カルシウム４モル％以下のグレーズを設けたグレ
ーズド基板の、エッチングを不要とする部分をレジスト
で被覆し、前記弗酸を含む混酸からなるエッチング液に
所定時間浸漬した後、水洗、超音波洗浄を行ってエッチ
ング残渣を取り除き、レジストを剥離し、グレーズド基
板のグレーズをエッチングする工程が用いられる。
又は弗酸を含む混酸である。弗酸を含まない酸ではエッ
チング速度が遅く、実用上支障がある。弗酸を含む混酸
は、弗酸と塩酸との混酸、弗酸と硝酸との混酸、弗酸と
硫酸との混酸等が用いられ、表面粗さが小さい被エッチ
ング面を得るには、弗酸と硫酸との混酸を用いるのが好
ましく、弗酸の濃度が１２Ｎ以下で、硫酸の濃度が３Ｎ
〜１６Ｎであれば、エッチング深さを深くしても被エッ
チング面の表面粗さが０．１μｍＲａ（ＪＩＳＢ０６０
１記載の中心線平均粗さ）以下になるのでより好ましく
、弗酸の濃度が１０Ｎ以下であり、硫酸の濃度が４Ｎ〜
１２Ｎであれば、エッチング深さを深くしても被エッチ
ング面の表面粗さが０．０５μｍＲａ以下になるので最
も好ましい。部分エッチングの方法としては、例えば前
記酸化カルシウム４モル％以下のグレーズを設けたグレ
ーズド基板の、エッチングを不要とする部分をレジスト
で被覆し、前記弗酸を含む混酸からなるエッチング液に
所定時間浸漬した後、水洗、超音波洗浄を行ってエッチ
ング残渣を取り除き、レジストを剥離し、グレーズド基
板のグレーズをエッチングする工程が用いられる。
【００１１】本発明のグレーズ面に凹凸を有するグレー
ズド基板は、部分エッチングで形成した凹凸の形状をな
だらかにするために、部分エッチングをした後で熱処理
される。熱処理はグレーズの屈服点以上の温度で行う。 グレーズの屈服点未満では凹凸形状が変化しない。また
、熱処理の温度はグレーズの軟化点以上であることが好
ましく、短時間で所望のなだらかな凹凸形状に調整でき
る。
ズド基板は、部分エッチングで形成した凹凸の形状をな
だらかにするために、部分エッチングをした後で熱処理
される。熱処理はグレーズの屈服点以上の温度で行う。 グレーズの屈服点未満では凹凸形状が変化しない。また
、熱処理の温度はグレーズの軟化点以上であることが好
ましく、短時間で所望のなだらかな凹凸形状に調整でき
る。
【００１２】
【実施例】次に本発明の実施例を説明する。
【００１３】実施例１
ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＢａＯ、ＣａＯ及びＺｎＯから
なり、ＣａＯを０．２モル％含有するグレーズ材質を無
機フィラー成分として含むガラスペーストを、焼成後の
グレーズ厚みが８０μｍになるようにアルミナ基板に厚
膜印刷した後、焼成炉で１２００〜１３００℃、１時間
焼付けて、図１（ａ）に示すように厚さ１．０６ｍｍ×
幅２３０ｍｍ×長さ４００ｍｍのアルミナ基板２の片側
全面にグレーズ層１を設けたグレーズド基板を得た。こ
のグレーズド基板にレジスト材料の（株）アサヒ化学研
究所製ＥＦ−５００を厚膜印刷した後、１００℃で２０
分間乾燥し図１（ｂ）に示すレジスト３を形成したグレ
ーズド基板を得た。なお、グレーズ上に形成したレジス
トの幅は１ｍｍ及び厚みは１５μｍである。グレーズが
無く、アルミナ基板が露出している部分には１５μｍ厚
みのレジストを全面に形成した。このレジストを形成し
たグレーズド基板を（１）８Ｎ弗酸と１２Ｎ硫酸との混
酸、（２）１０Ｎ弗酸と１５Ｎ硫酸との混酸（酸はいず
れも和光純薬工業製の試薬特級を純水で薄めたものを用
いた）でそれぞれ５０μｍ及び３０μｍの深さにエッチ
ングした後、水洗−超音波洗浄（アセトンによる超音波
洗浄）−レジスト剥離を行い、図１（ｃ）に示すように
被エッチング面４によって凸状部分３ａがより明瞭にな
ったグレーズド基板を得た。
なり、ＣａＯを０．２モル％含有するグレーズ材質を無
機フィラー成分として含むガラスペーストを、焼成後の
グレーズ厚みが８０μｍになるようにアルミナ基板に厚
膜印刷した後、焼成炉で１２００〜１３００℃、１時間
焼付けて、図１（ａ）に示すように厚さ１．０６ｍｍ×
幅２３０ｍｍ×長さ４００ｍｍのアルミナ基板２の片側
全面にグレーズ層１を設けたグレーズド基板を得た。こ
のグレーズド基板にレジスト材料の（株）アサヒ化学研
究所製ＥＦ−５００を厚膜印刷した後、１００℃で２０
分間乾燥し図１（ｂ）に示すレジスト３を形成したグレ
ーズド基板を得た。なお、グレーズ上に形成したレジス
トの幅は１ｍｍ及び厚みは１５μｍである。グレーズが
無く、アルミナ基板が露出している部分には１５μｍ厚
みのレジストを全面に形成した。このレジストを形成し
たグレーズド基板を（１）８Ｎ弗酸と１２Ｎ硫酸との混
酸、（２）１０Ｎ弗酸と１５Ｎ硫酸との混酸（酸はいず
れも和光純薬工業製の試薬特級を純水で薄めたものを用
いた）でそれぞれ５０μｍ及び３０μｍの深さにエッチ
ングした後、水洗−超音波洗浄（アセトンによる超音波
洗浄）−レジスト剥離を行い、図１（ｃ）に示すように
被エッチング面４によって凸状部分３ａがより明瞭にな
ったグレーズド基板を得た。
【００１４】実施例２
実施例１におけるグレーズ材質をＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３
、ＢａＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢ２Ｏ３からなり、Ｃａ
Ｏを３．５モル％含有するものとした以外は実施例１と
全く同様にしてグレーズド基板を得た。
、ＢａＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢ２Ｏ３からなり、Ｃａ
Ｏを３．５モル％含有するものとした以外は実施例１と
全く同様にしてグレーズド基板を得た。
【００１５】比較例１
実施例１におけるグレーズ材質をＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３
、ＢａＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯ及びＢ２Ｏ３からな
り、ＣａＯを６モル％含有するものとした以外は実施例
１と全く同様にしてグレーズド基板を得た。
、ＢａＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＭｇＯ及びＢ２Ｏ３からな
り、ＣａＯを６モル％含有するものとした以外は実施例
１と全く同様にしてグレーズド基板を得た。
【００１６】比較例２
実施例１におけるグレーズ材質をＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３
、ＢａＯ、ＣａＯ及びＳｒＯからなり、ＣａＯを１３モ
ル％含有するものとした以外は実施例１と全く同様にし
てグレーズド基板を得た。
、ＢａＯ、ＣａＯ及びＳｒＯからなり、ＣａＯを１３モ
ル％含有するものとした以外は実施例１と全く同様にし
てグレーズド基板を得た。
【００１７】実施例及び比較例で得られた凸状部分を有
するグレーズド基板について、その被エッチング面の外
観を観察した。また表面粗さを測定して表１に示した。
するグレーズド基板について、その被エッチング面の外
観を観察した。また表面粗さを測定して表１に示した。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１から、比較例のものは被エッチング面
の外観が不均一で表面粗さも粗いのに対し、実施例のも
のはエッチングで取り除くグレーズの厚さが３０μｍ及
び５０μｍのいずれの場合も被エッチング面の外観が均
一であり、表面粗さも良好であることがわかる。
の外観が不均一で表面粗さも粗いのに対し、実施例のも
のはエッチングで取り除くグレーズの厚さが３０μｍ及
び５０μｍのいずれの場合も被エッチング面の外観が均
一であり、表面粗さも良好であることがわかる。
【００２０】前記実施例及び比較例で得られた凸状部分
を有するグレーズド基板を、それぞれのグレーズの軟化
点よりも１００℃高い温度で１０分間熱処理を行った。 その結果熱処理した後のグレーズ面凹凸形状は図１（ｄ
）に示したようになだらかになっている。また、図２に
グレーズ面の断面の凹凸形状を表面粗さ計（東京精密製
、サーフコーム１０００Ｃ）で測定した結果の拡大図を
示した。図２の（ａ）は熱処理前及び（ｂ）は熱処理後
のグレーズ面の断面の凹凸形状である。図２から熱処理
によってエッチング段差は滑らかになっており、サーマ
ルヘッド用のグレーズド基板として好適な形状になった
。
を有するグレーズド基板を、それぞれのグレーズの軟化
点よりも１００℃高い温度で１０分間熱処理を行った。 その結果熱処理した後のグレーズ面凹凸形状は図１（ｄ
）に示したようになだらかになっている。また、図２に
グレーズ面の断面の凹凸形状を表面粗さ計（東京精密製
、サーフコーム１０００Ｃ）で測定した結果の拡大図を
示した。図２の（ａ）は熱処理前及び（ｂ）は熱処理後
のグレーズ面の断面の凹凸形状である。図２から熱処理
によってエッチング段差は滑らかになっており、サーマ
ルヘッド用のグレーズド基板として好適な形状になった
。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、グレーズの被エッチン
グ面の外観が均一で、表面粗さも良好なグレーズド基板
が得られ、更に、熱処理によってエッチング段差は滑ら
かになり、サーマルヘッド用のグレーズド基板として好
適な形状の凹凸をグレーズ面にもつグレーズド基板が得
られる。
グ面の外観が均一で、表面粗さも良好なグレーズド基板
が得られ、更に、熱処理によってエッチング段差は滑ら
かになり、サーマルヘッド用のグレーズド基板として好
適な形状の凹凸をグレーズ面にもつグレーズド基板が得
られる。
【図１】本発明の実施例におけるグレーズド基板の表面
状態の経緯を示す略図であり、（ａ）はグレーズガラス
層形成後、（ｂ）はレジスト形成後、（ｃ）は部分エッ
チング後及び（ｄ）は熱処理後のものである。
状態の経緯を示す略図であり、（ａ）はグレーズガラス
層形成後、（ｂ）はレジスト形成後、（ｃ）は部分エッ
チング後及び（ｄ）は熱処理後のものである。
【図２】本発明の実施例におけるグレーズド基板のグレ
ーズ面の断面の凹凸形状を示す拡大図で、（ａ）は熱処
理前及び（ｂ）は熱処理後のものである。
ーズ面の断面の凹凸形状を示す拡大図で、（ａ）は熱処
理前及び（ｂ）は熱処理後のものである。
１ グレーズ層
２ アルミナ基板 ３ レジスト
４ 被エッチング面
２ アルミナ基板 ３ レジスト
４ 被エッチング面
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミック基板表面に４モル％未満の
酸化カルシウムを含む珪酸塩のグレーズガラス層を形成
した後、該グレーズガラス層を弗酸を含む酸で部分エッ
チングし、次いで熱処理することを特徴とするグレーズ
面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2887791A JPH04270187A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | グレーズ面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2887791A JPH04270187A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | グレーズ面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04270187A true JPH04270187A (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12260617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2887791A Pending JPH04270187A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | グレーズ面に凹凸を有するグレーズド基板の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04270187A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181360B1 (en) * | 1997-10-03 | 2001-01-30 | Alps Electric Co., Ltd. | Thermal head |
| JP2009226765A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nikko Co | サーマルヘッド用部分凸型グレーズ基板の製造方法 |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP2887791A patent/JPH04270187A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181360B1 (en) * | 1997-10-03 | 2001-01-30 | Alps Electric Co., Ltd. | Thermal head |
| JP2009226765A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nikko Co | サーマルヘッド用部分凸型グレーズ基板の製造方法 |
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