JPH04270973A - ２組又は３組のｘ−ｙユニット用アーム移動制御装置を備えたインサーキットテスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は実装基板の良否の判定に
使用する２組又は３組のＸ−Ｙユニットを設置したイン
サーキットテスタ、特にその各アーム移動制御装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電気部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な測定点に適宜プローブピンを接触
させ、それ等の各部品の電気的測定によって基板の良否
の判定を行っている。特に、被検査基板を載せる測定台
上にＸ−Ｙユニットを設置したものは、そのＸ軸方向に
可動するアームの上に、Ｙ軸方向に可動するＺ軸ユニッ
トを備え、そのＺ軸ユニットでプローブピンをＺ軸方向
に可動可能に支持しているので、そのＸ−Ｙユニットを
制御すると、プローブピンを基板の上方からＸ軸、Ｙ軸
、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定した各測
定点に順次接触できる。なお、アームのＸ軸方向への往
復動とＺ軸ユニットのＹ軸方向への往復動にはそれぞれ
サーボモータを用い、Ｚ軸ユニットにおけるプローブピ
ンのＺ軸方向への往復動にはエアシリンダ、ソレノイド
、サーボモータ等を採用している。

【０００３】尤も、そのためには前もって被検査基板の
各測定点のＸ−Ｙ座標データをそれぞれ検知しておかな
ければならない。そこで、一般にはＸ−Ｙユニットのプ
ローブピンをマニュアル操作するティーチングにより、
又は座標読み取り装置であるデジタイザを用い或いはＣ
ＡＤデータを用いて各測定点のＸ−Ｙ座標データを得て
いる。又、被検査基板１枚当たりの検査時間を短縮する
ように、プローブピンを接触させる各測定点の検査順番
を設定し、更にその順番に従った各測定点間の移動速度
、加速度を設定しなければならない。何故なら、１枚当
たりの部品数が多くなり１０００個程になると、検査時
間の大半がプローブピンの移動に費やされるからである
。

【０００４】そして、測定時には１部品毎に複数個の測
定点を同時に測定しなければならない。例えば、抵抗の
測定を行う場合には高電位側測定点、アース側測定点と
共に、必要に応じてガーディング用測定点を指定する。 それ故、インサーキットテスタには複数のＸ−Ｙユニッ
トを備える必要がある。

【０００５】これ等のＸ−Ｙユニットを制御して、各プ
ローブピンをそれぞれ測定済みの測定点から同時に次の
各測定点に移動する場合、■各アームのＸ軸方向への速
度、加速度と各Ｚ軸ユニットのＹ軸方向への速度、加速
度を等しい一定値に設定して移動させ、各アームの移動
終了後に各Ｚ軸ユニットのみ更に移動させる方法（各プ
ローブピンは直線的に移動しない）、■各プローブピン
が直線的に移動するように各アームのＸ軸方向への速度
、加速度と各Ｚ軸ユニットのＹ軸方向への速度、加速度
を設定する方法（２次元直線補間方式）、■各プローブ
ピンが直線的に移動し、各アームの移動時間が同一とな
るように各アームのＸ軸方向への速度、加速度と各Ｚ軸
ユニットのＹ軸方向への速度、加速度を設定する方法（
ｎ次元直線補間方式）等がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これ等
の移動方法により、例えば移動開始時の各測定点のＸ座
標が同一で、移動終了時の各測定点のＸ座標が同一の平
行移動を考えると、各プローブピンの移動速度、加速度
を大きくすれば、アーム間の追い付きによる衝突が問題
となる。何故なら、各Ｘ軸用モータ、モータドライバに
は応答時定数のばらつきがあり、各アームには重量、摩
擦係数のばらつきによる応答変化や設定した速度、加速
度を算出する際の誤差等がある。このため、速度、加速
度が小さい場合、各アームは上記■、■の方法では通常
理論通りに移動して追突しないが、■の方法ではＸ軸方
向の速度が変わるので追突の恐れがある。

【０００７】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、検査時間を短縮化するために、
各アームの移動速度、加速度を大きく設定しても、アー
ム間に追い付きによる衝突が発生しない２組又は３組の
Ｘ−Ｙユニット用アーム移動制御装置を備えたインサー
キットテスタを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段を、以下本発明を明示する図１、２を用いて説明
する。この２組のＸ−Ｙユニット用アーム移動制御装置
を備えたインサーキットテスタはレフトアーム２４を備
えたＸ−Ｙユニット１２とライトアーム４６を備えたＸ
−Ｙユニット１６を設置し、レフトアーム２４のライト
アーム４６を越える移動を防止するアーム移動制限器６
８、７４を備えた上で、上記レフト、ライトの各アーム
２４、４６の速度、加速度を先に設定した基準値より変
える演算定数を設定するアーム速度、加速度可変用演算
定数設定手段９６と、Ｘ軸に沿うレフト、ライトの各ア
ーム２４、４６の移動方向を判定するアーム移動方向判
定手段９８と、レフト、ライトの両アーム２４、４６が
共に左方に移動する場合には演算定数を用いてレフトア
ーム２４の速度、加速度を基準値より増加し或いはライ
トアーム４６の速度、加速度を基準値より減少し、レフ
ト、ライトの両アーム２４、４６が共に右方に移動する
場合には演算定数を用いてレフトアーム２４の速度、加
速度を基準値より減少し或いはライトアーム４６の速度
、加速度を基準値より増加するアーム速度、加速度可変
手段１００と、決定したレフト、ライトの各アーム２４
、４６の速度、加速度に基づいて、それぞれ対応するＸ
軸用モータ２０、３８を制御するモータ制御手段１０２
とからなるアーム移動制御装置１０４を備えるものであ
る。

【０００９】又、３組のＸ−Ｙユニット用アーム移動制
御装置を備えたインサーキットテスタは更にミドルアー
ム４４を備えたＸ−Ｙユニット１４を設置し、レフトア
ーム２４のミドルアーム４４を越える移動を防止すると
共に、ライトアーム４６のミドルアーム４４を越える移
動を防止するアーム移動制限器６８、７０、７２、７４
を備えた上で、上記レフト、ミドル、ライトの各アーム
２４、４４、４６の速度、加速度を先に設定した基準値
より変える演算定数を設定するアーム速度、加速度可変
用演算定数設定手段１０６と、Ｘ軸に沿うレフト、ライ
トの各アーム２４、４６の移動方向を判定するアーム移
動方向判定手段１０８と、レフト、ライトの両アーム２
４、４６が共に左方に移動する場合には演算定数を用い
てレフトアーム２４の速度、加速度を基準値より増加す
ると共に、ライトアーム４６の速度、加速度を基準値よ
り減少し、レフトアーム２４が左方に移動し、ライトア
ーム４６が右方に移動する場合には演算定数を用いてレ
フト、ライトの各アーム２４、４６の速度、加速度をそ
れぞれ基準値より増加し、レフト、ライトの両アーム２
４、４６が共に右方に移動する場合には演算定数を用い
てレフトアーム２４の速度、加速度を基準値より減少す
ると共に、ライトアーム４６の速度、加速度を基準値よ
り増加し、レフトアーム２４が右方に移動し、ライトア
ーム４６が左方に移動する場合には演算定数を用いてミ
ドルアーム４４の速度、加速度を基準値より増加するア
ーム速度、加速度可変手段１１０と、決定したレフト、
ミドル、ライトの各アーム２４、４４、４６の速度、加
速度に基づいて、それぞれ対応するＸ軸用モータ２０、
３６、３８を制御するモータ制御手段１１２とからなる
アーム移動制御装置１１４を備えるものである。

【００１０】

【作用】上記のように構成し、レフト、ライトの各アー
ム２４、４６の速度、加速度を先に基準値として大きく
設定する。そして、演算定数を用いて基準値に対し加減
乗除を行うことにより、両アーム２４、４６が左方又は
右方の同一方向に移動する場合には前側になるべきレフ
トアーム２４又はライトアーム４６の速度、加速度を基
準値より増加し、或いは後側になるべきライトアーム４
６又はレフトアーム２４の速度、加速度を基準値より減
少するので、同時に移動を開始しても、前側アーム２４
又は４６に後側アーム４６又は２４が追い付いて衝突す
ることがない。

【００１１】更に、ミドルアーム４４を追加したものも
ほぼ同様に動作し、レフト、ライトの両アーム２４、４
６が左方又は右方の同一方向に移動する場合には前側に
なるべきレフトアーム２４又はライトアーム４６の速度
、加速度を基準値より増加すると共に、後側になるべき
ライトアーム４６又はレフトアーム２４の速度、加速度
を基準値より減少するので、同時に各アーム２４、４４
、４６の移動を開始しても、前側アーム２４又は４６に
ミドルアーム４４が追い付き或いはミドルアーム４４に
後側アーム４６又は２４が追い付いて衝突することがな
い。又、レフトアーム２４が左方に移動し、ライトアー
ム４６が右方に移動する場合にはレフト、ライトの各ア
ーム２４、４６の速度、加速度をそれぞれ基準値より増
加するので、ミドルアーム４４がレフトアーム２４又は
ライトアーム４６に追い付いて衝突することがない。 更に、レフトアーム２４が右方に移動し、ライトアーム
４６が左方に移動する場合にはミドルアーム４４の速度
、加速度を基準値より増加するので、ミドルアーム４４
にレフトアーム２４又はライトアーム４６が追い付いて
衝突することがない。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図３は本発明を適用した３組のＸ−Ｙユニ
ットを有するインサーキットテスタの被検査基板を設置
した測定台上の配置関係を示す平面図である。図中、１
０はインサーキットテスタの測定台、１２、１４、１６
はその上部に設置した３組のＸ−Ｙユニット、又１８は
中央に設置した被検査基板である。

【００１３】このＸ−Ｙユニット１２は測定台１０に据
え付けたＸ軸用サーボモータ２０、そのモータ２０によ
り回動するボールねじ２２、そのボールねじ２２の回動
によりＸ軸方向に動くアーム２４、そのアーム２４に据
え付けたＹ軸用サーボモータ２６、そのモータ２６によ
り回動するボールねじ２８、そのボールねじ２８の回動
によりＹ軸方向に動くＺ軸ユニット３０からなり、その
Ｚ軸ユニット３０にはＺ軸用サーボモータ３２によって
Ｚ軸方向に動くプローブピン３４を備える。他のＸ−Ｙ
ユニット１４、１６もそれぞれ同様の構造を有し、Ｘ軸
用サーボモータ３６、３８、ボールねじ４０、４２、ア
ーム４４、４６、Ｙ軸用サーボモータ４８、５０、ボー
ルねじ５２、５４、Ｚ軸ユニット５６、５８、Ｚ軸用サ
ーボモータ６０、６２、及びプローブピン６４、６６等
からなる。なお、Ｘ軸用サーボモータ２０、３６、３８
とボールねじ２２、４０、４２はそれぞれ別個のもので
あるが、図面上では同一のものとして表現した。

【００１４】そして、レフト、ミドルの各アーム２４、
４４には光スイッチとして１対のホトカプラ６８と光遮
断片７０をそれぞれ設置し、ミドル、ライトの各アーム
４４、４６にも同様のホトカプラ７２と光遮断片７４を
それぞれ設置する。このため、それ等の各光スイッチを
アーム移動制限器として用いると、レフトアーム２４の
ミドルアーム４４を越える移動を防止することができる
と共に、ライトアーム４６のミドルアーム４４を越える
移動を防止することもできる。

【００１５】図４はこのような３組のＸ−Ｙユニットを
有するインサーキットテスタの構成を示すブロック図で
ある。図中、７６はインサーキットテスタ、７８はその
操作部、８０はＸ−Ｙ−Ｚ制御部、８２は測定部、８４
はコントローラである。この操作部７８にはキーボード
、表示装置、プリンタ、フロッピーディスクドライバ等
の入出力機器を備える。Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部８０は３組の
Ｘ−Ｙユニット１２、１４、１６にそれぞれ備えたサー
ボモータ２０、２６、３２等を駆動し、各プローブピン
３４、６４、６６を測定台１０上でＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方
向にそれぞれ適宜移動する。測定部８２は適宜の電圧、
電流信号を切換器を介して各プローブピン３４、６４、
６６に与えて各部品の測定を行なう。

【００１６】これ等の操作部７８、Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部８
０、測定部８２はＣＰＵを備えたコントローラ８４によ
ってそれぞれ制御する。コントローラ８４は例えば図５
に示すようなマイクロコンピュータであり、ＣＰＵ（中
央処理装置）８６、ＲＯＭ（読み出し専用メモリ）８８
、ＲＡＭ（読み出し書き込み可能メモリ）９０、入出力
ポート９２、バスライン９４等から構成されている。 ＣＰＵ８６はマイクロコンピュータの中心となる頭脳部
に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する制御
を実行すると共に、算術、論理演算を行ない、その結果
も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御
を行なっている。ＲＯＭ８８にはインサーキットテスタ
全体を制御するための制御プログラム等が格納されてい
る。又、ＲＡＭ９０は外部から入力したデータ、各プロ
ーブピン３４、６４、６６を用いて測定したデータ、そ
れ等のデータからＣＰＵ８６で演算したデータ等の各種
データを記憶する。その際、被検査基板１８上に存在す
る各測定点のＸ−Ｙ座標データは各プローブピン３４、
６４、６６をマニュアル操作してティーチングにより直
接読み込み、或いはデジタイザを用いてフロッピーディ
スクに格納する等した後に外部から入力する。しかも、
各部品毎に対応する３測定点を１ステップとしてそれぞ
れグループ化し、それ等に順次番号を付けて記憶する。 更に、アーム移動制御処理プログラム等も外部から入力
する。入出力ポート９２には操作部７８、Ｘ−Ｙ−Ｚ制
御部８０、測定部８２等が接続する。バスライン９４は
それ等を接続するためのアドレスバスライン、データバ
スライン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも適宜
結合している。

【００１７】図６は３組のＸ−Ｙユニットを有するイン
サーキットテスタのアーム移動制御処理プログラムによ
る動作を示すフローチャートであり、Ｐ１〜Ｐ９の各処
理により実行される。先ず、Ｐ１でキー操作により、レ
フト、ミドル、ライトの各アーム２４、４４、４６の速
度、加速度を先に設定した基準値より変える演算定数を
例えば＋Ｃ％又は−Ｃ％のように設定する。なお、レフ
ト、ミドル、ライトの各アーム２４、４４、４６の速度
、加速度は先に大きく設定しておく。次にＰ２へ行き、
レフトアーム２４を左方に移動するか判定する。ＹＥＳ
の場合にはＰ３へ行く。Ｐ３ではライトアーム４６を左
方に移動するか判定する。ＹＥＳの場合はＰ４へ行く。

【００１８】Ｐ４では演算定数を用いて基準値に対し適
宜加減乗除を行なうことにより、レフトアーム２４の速
度、加速度を基準値より増加すると共に、ライトアーム
４６の速度、加速度を基準値より減少する。なお、図７
はこのようなアームの移動速度ｖ、移動加速度θ、移動
時間ｔの関係を基準値Ａ、速度、加速度を増加した場合
Ｂ、速度、加速度を減少した場合Ｃについてそれぞれ示
したものである。そして、ミドルアーム４４の速度、加
速度は基準値のままで変わらない。このため、同時に各
アーム２４、４４、４６の移動を開始しても、レフトア
ーム２４にミドルアーム４４が追い付き或いはミドルア
ーム４４にライトアーム４６が追い付いて衝突すること
がない。

【００１９】Ｐ３でＮＯと判定された場合にはＰ５へ行
く。Ｐ５では演算定数を用いてレフト、ライトの各アー
ム２４、４６の速度、加速度をそれぞれ基準値より増加
する。そして、ミドルアーム４４の速度、加速度は基準
値のままで変えない。このため、ミドルアーム４４がレ
フトアーム２４又はライトアーム４６に追い付いて衝突
することがない。

【００２０】Ｐ２でＮＯと判定された場合にはＰ６へ行
く。Ｐ６ではライトアーム４６が左方に移動するか判定
する。ＹＥＳの場合にはＰ７へ行く。Ｐ７では演算定数
を用いてミドルアーム４４の速度、加速度を基準値より
増加する。そして、レフト、ライトの各アーム２４、４
６の速度、加速度は基準値のままで変えない。このため
、ミドルアーム４４にレフトアーム２４又はライトアー
ム４６が追い付いて衝突することがない。

【００２１】Ｐ６でＮＯと判定された場合にはＰ８へ行
く。Ｐ８では演算定数を用いてレフトアーム２４の速度
、加速度を基準値より減少すると共に、ライトアーム４
６の速度、加速度を基準値より増加する。そして、ミド
ルアーム４４の速度、加速度は基準値のままで変えない
。このため、レフトアーム２４がミドルアーム４４に追
い付き或いはミドルアーム４４がライトアーム４６に追
い付いて衝突することがない。

【００２２】各Ｐ４、Ｐ５、Ｐ７、Ｐ８の処理後にはＰ
９へ行く。Ｐ９では決定したレフト、ミドル、ライトの
各アーム２４、４４、４６の速度、加速度に基づいて、
それぞれ対応するＸ軸用モータ２０、３６、３８を制御
する。なお、それ等のモータ２０、３６、３８にはそれ
ぞれ駆動用ドライバを経て信号が入る。

【００２３】又、各Ｙ軸用モータ２６、４８、５０をそ
れぞれ制御し、各プローブピン３４、６４、６６をそれ
ぞれ対応する各測定点上に移動する。そして、各Ｚ軸用
モータ３２、６０、６２をそれぞれ制御し、各プローブ
ピン３４、６４、６６をそれぞれ測定点に接触する。そ
こで、各プローブピン３４、６４、６６を経て部品に測
定電流を流し或いは測定電圧を印加して、抵抗値、静電
容量値、インダクタンス値等を測定する。このようにし
て、各プローブピン３４、６４、６６を移動しながら各
部品の測定を繰り返して行なうと、被検査基板１８の良
否が判定できる。

【００２４】図８は２組のＸ−Ｙユニットを有するイン
サーキットテスタのアーム移動制御処理プログラムによ
る動作を示すフローチャートであり、Ｐ１１〜Ｐ１９の
各処理により実行される。この場合は上記実施例におけ
るミドルアーム４４を備えたＸ−Ｙユニット１４に相当
するものがないので、レフトアーム２４を備えたＸ−Ｙ
ユニット１２とライトアーム４６を備えたＸ−Ｙユニッ
ト１６の動作のみを考慮すればよい。なお、レフトアー
ム２４に備えたホトカプラ６８とライトアーム４６に備
えた光遮断片７４からなる光スイッチはレフトアーム２
４のライトアーム４６を越える移動を防止するアーム移
動制限器として働く。そこで、Ｐ１１ではレフト、ライ
トの各アーム２４、４６の速度、加速度を先に設定した
基準値より変える演算定数を設定する。そして、Ｐ１２
、Ｐ１３、Ｐ１６ではレフト、ライトの各アーム２４、
４６の移動方向の判定処理を同様に行なう。

【００２５】しかし、Ｐ１４では演算定数を用いてレフ
トアーム２４の速度、加速度を基準値より増加し、或い
はライトアーム４６の速度、加速度を基準値より減少す
る。このため、各アーム２４、４６の移動を同時に開始
しても、レフトアーム２４にライトアーム４６が追い付
いて衝突することがない。

【００２６】Ｐ１５及びＰ１７ではレフト、ライトの各
アーム２４、４６の速度、加速度を基準値のまま変えな
い。なお、Ｐ１５ではレフト、ライトの各アーム２４、
４６が反対方向に移動しても、全く衝突の恐れがないの
で、それ等の速度、加速度を基準値よりそれぞれ増加す
ることもできる。

【００２７】Ｐ１８では演算定数を用いてレフトアーム
２４の速度、加速度を基準値より減少し、或いはライト
アーム４６の速度、加速度を基準値より増加する。この
ため、ライトアーム４６にレフトアーム２４が追い付い
て衝突することがない。

【００２８】各Ｐ１４、Ｐ１５、Ｐ１７、Ｐ１８の処理
後にはＰ１９へ行く。Ｐ１９では決定したレフト、ライ
トの各アーム２４、４６の速度、加速度に基づいて、そ
れぞれ対応するＸ軸用モータ２０、３８を制御する。

【００２９】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、各アーム
の速度、加速度を大きく設定して基準値とするため、検
査時間を短縮することができる。そして、同一方向に移
動する前側になるべきアームの速度、加速度を基準値よ
り増加し、或いは後側になるべきアームの速度、加速度
を基準値より減少するため、追突が発生しなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による２組のＸ−Ｙユニット用アーム移
動制御装置を備えたインサーキットテスタを示す図であ
る。

【図２】本発明による３組のＸ−Ｙユニット用アーム移
動制御装置を備えたインサーキットテスタを示す図であ
る。

【図３】本発明を適用した３組のＸ−Ｙユニットを有す
るインサーキットテスタの被検査基板を設置する測定台
上の配置関係を示す平面図である。

【図４】同インサーキットテスタの構成を示すブロック
図である。

【図５】同インサーキットテスタのコントローラを示す
ブロック図である。

【図６】同インサーキットテスタのアーム移動制御処理
プログラムによる動作を示すフローチャートである。

【図７】同インサーキットテスタのアーム移動の速度、
加速度、時間関係を示す図である。

【図８】２組のＸ−Ｙユニットを有するインサーキット
テスタのアーム移動制御処理プログラムによる動作を示
すフローチャートである。

【符号の説明】

１０…測定台　　１２、１４、１６…Ｘ−Ｙユニット　
　１８…被検査基板　　２０、３６、３８…Ｘ軸用モー
タ　　２２、２８、４０、４２、５２、５４…ボールね
じ２４、４４、４６…レフト、ミドル、ライトアーム　
　２６、４８、５０…Ｙ軸用モータ　　３０、５６、５
８…Ｚ軸ユニット　　３２、６０、６２…Ｚ軸用モータ
　　３４、６４、６６…プローブピン　　６８、７０、
７２、７４…アーム移動制限器７６…インサーキットテ
スタ　　７８…操作部　　８０…Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部８２
…測定部　　８４…コントローラ　　９６、１０６…ア
ーム速度、加速度可変用演算定数設定手段　　９８、１
０８…アーム移動方向判定手段　　１００、１１０…ア
ーム速度、加速度可変手段　　１０２、１１２…モータ
制御手段　　１０４、１１４…アーム移動制御装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　レフトアームを備えたＸ−Ｙユニット
   とライトアームを備えたＸ−Ｙユニットを設置し、レフ
   トアームのライトアームを越える移動を防止するアーム
   移動制限器を備えたインサーキットテスタにおいて、上
   記レフト、ライトの各アームの速度、加速度を先に設定
   した基準値より変える演算定数を設定するアーム速度、
   加速度可変用演算定数設定手段と、Ｘ軸に沿うレフト、
   ライトの各アームの移動方向を判定するアーム移動方向
   判定手段と、レフト、ライトの両アームが共に左方に移
   動する場合には演算定数を用いてレフトアームの速度、
   加速度を基準値より増加し或いはライトアームの速度、
   加速度を基準値より減少し、レフト、ライトの両アーム
   が共に右方に移動する場合には演算定数を用いてレフト
   アームの速度、加速度を基準値より減少し或いはライト
   アームの速度、加速度を基準値より増加するアーム速度
   、加速度可変手段と、決定したレフト、ライトの各アー
   ムの速度、加速度に基づいて、それぞれ対応するＸ軸用
   モータを制御するモータ制御手段とからなるアーム移動
   制御装置を備えることを特徴とする２組のＸ−Ｙユニッ
   ト用アーム移動制御装置を備えたインサーキットテスタ
   。
2. 【請求項２】　　レフトアームを備えたＸ−Ｙユニット
   とミドルアームを備えたＸ−Ｙユニットとライトアーム
   を備えたＸ−Ｙユニットを設置し、レフトアームのミド
   ルアームを越える移動を防止すると共に、ライトアーム
   のミドルアームを越える移動を防止するアーム移動制限
   器を備えたインサーキットテスタにおいて、上記レフト
   、ミドル、ライトの各アームの速度、加速度を先に設定
   した基準値より変える演算定数を設定するアーム速度、
   加速度可変用演算定数設定手段と、Ｘ軸に沿うレフト、
   ライトの各アームの移動方向を判定するアーム移動方向
   判定手段と、レフト、ライトの両アームが共に左方に移
   動する場合には演算定数を用いてレフトアームの速度、
   加速度を基準値より増加すると共に、ライトアームの速
   度、加速度を基準値より減少し、レフトアームが左方に
   移動し、ライトアームが右方に移動する場合には演算定
   数を用いてレフト、ライトの各アームの速度、加速度を
   それぞれ基準値より増加し、レフト、ライトの両アーム
   が共に右方に移動する場合には演算定数を用いてレフト
   アームの速度、加速度を基準値より減少すると共に、ラ
   イトアームの速度、加速度を基準値より増加し、レフト
   アームが右方に移動し、ライトアームが左方に移動する
   場合には演算定数を用いてミドルアームの速度、加速度
   を基準値より増加するアーム速度、加速度可変手段と、
   決定したレフト、ミドル、ライトの各アームの速度、加
   速度に基づいて、それぞれ対応するＸ軸用モータを制御
   するモータ制御手段とからなるアーム移動制御装置を備
   えることを特徴とする３組のＸ−Ｙユニット用アーム移
   動制御装置を備えたインサーキットテスタ。