JPH0427109Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0427109Y2 JPH0427109Y2 JP1983092963U JP9296383U JPH0427109Y2 JP H0427109 Y2 JPH0427109 Y2 JP H0427109Y2 JP 1983092963 U JP1983092963 U JP 1983092963U JP 9296383 U JP9296383 U JP 9296383U JP H0427109 Y2 JPH0427109 Y2 JP H0427109Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric field
- dielectric substrate
- field device
- ion source
- planar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Electrostatic Separation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、オゾナイザや粉体荷電装置等のイ
オン源として使用する沿面放電発生電界装置に関
する。更にのべれば、誘電体で形成した基板の表
面と内部に夫々電界形成用電極を設け、それらの
間に高周波高圧電源を接続して使用するイオン源
用電界装置に関するものである。この種の電界装
置の誘電体基板を放電に対する強度上フアインセ
ラミツク誘電体で形成すると、そのフアインセラ
ミツク誘電体の性質上、その表面付近の層内に湿
気が吸収され、又その表面に水分、塵埃などが付
着し易く、それによつて導電性が生じ、その表面
に沿面放電が発生しなくなり、イオンの生成が減
少し、また放電による誘電体の劣化が発生し、絶
縁破壊強度も低下するなどイオン源用電界装置と
しての性能が低下するおそれがある。
オン源として使用する沿面放電発生電界装置に関
する。更にのべれば、誘電体で形成した基板の表
面と内部に夫々電界形成用電極を設け、それらの
間に高周波高圧電源を接続して使用するイオン源
用電界装置に関するものである。この種の電界装
置の誘電体基板を放電に対する強度上フアインセ
ラミツク誘電体で形成すると、そのフアインセラ
ミツク誘電体の性質上、その表面付近の層内に湿
気が吸収され、又その表面に水分、塵埃などが付
着し易く、それによつて導電性が生じ、その表面
に沿面放電が発生しなくなり、イオンの生成が減
少し、また放電による誘電体の劣化が発生し、絶
縁破壊強度も低下するなどイオン源用電界装置と
しての性能が低下するおそれがある。
この考案の目的は、このおそれ即ち、沿面放電
に対する強度を得るために面状誘電体基板をフア
インセラミツク誘電体で形成した場合その表面近
くの層内に湿気が入つたり、或は表面に水分や塵
埃などが付着して、その性能を低下したりするこ
とのないイオン源用電界装置を得ることである。
に対する強度を得るために面状誘電体基板をフア
インセラミツク誘電体で形成した場合その表面近
くの層内に湿気が入つたり、或は表面に水分や塵
埃などが付着して、その性能を低下したりするこ
とのないイオン源用電界装置を得ることである。
この考案は、面状誘電体基板に面状誘導電極を
埋設し、該誘電体基板の表面に前記誘導電極の表
面と対向する線状放電極を設けたイオン源用電界
装置において、前記面状誘電体基板をフアインセ
ラミツクで形成するとともに、該誘電体基板に前
記誘導電極の裏面側と対向するヒーターを設けた
ことを特徴とするイオン源用電界装置である。
埋設し、該誘電体基板の表面に前記誘導電極の表
面と対向する線状放電極を設けたイオン源用電界
装置において、前記面状誘電体基板をフアインセ
ラミツクで形成するとともに、該誘電体基板に前
記誘導電極の裏面側と対向するヒーターを設けた
ことを特徴とするイオン源用電界装置である。
この実施例のイオン源電界装置を製造する際に
は先ずアルミナ粉末のようなフアインセラミツク
原料に、バインダー、例えば塩ビ、醋ビの共重合
物を添加し、混練後シート状に加熱圧延して上層
グリーンシート１ａを形成する。
は先ずアルミナ粉末のようなフアインセラミツク
原料に、バインダー、例えば塩ビ、醋ビの共重合
物を添加し、混練後シート状に加熱圧延して上層
グリーンシート１ａを形成する。
この上層グリーンシート１ａの表面に導電材を
含むペーストをスクリーン印刷して、第２図に示
すように端子２ａ付き線状電極２を形成すると共
にその上層グリーンシート１ａの裏面に同様のス
クリーン印刷を行つて第３図に示すように、面状
誘導電極３を形成し、その面に上層グリーンシー
ト１ａと同様にして得られる第４図の中層グリー
ンシート１ｃを重ね合わせ、該中層グリーンシー
ト１ｃの裏面に、その全面に亙つて第５図に示す
如く端子４ａ付きのヒーター４を配置し、その裏
面に第６図及び第７図に示す下層グリーンシート
１ｂを重ね合わせて、前述の各上層グリーンシー
ト１ａ、中層グリーンシート１ｃ、及び下層グリ
ーンシート１ｂを一体的に加熱圧着した後、それ
を焼成して前述の面状誘電体基板１、各電極２，
３及びヒーター配線４とからなる第１図に示す様
なイオン源用電界装置を得るものである。
含むペーストをスクリーン印刷して、第２図に示
すように端子２ａ付き線状電極２を形成すると共
にその上層グリーンシート１ａの裏面に同様のス
クリーン印刷を行つて第３図に示すように、面状
誘導電極３を形成し、その面に上層グリーンシー
ト１ａと同様にして得られる第４図の中層グリー
ンシート１ｃを重ね合わせ、該中層グリーンシー
ト１ｃの裏面に、その全面に亙つて第５図に示す
如く端子４ａ付きのヒーター４を配置し、その裏
面に第６図及び第７図に示す下層グリーンシート
１ｂを重ね合わせて、前述の各上層グリーンシー
ト１ａ、中層グリーンシート１ｃ、及び下層グリ
ーンシート１ｂを一体的に加熱圧着した後、それ
を焼成して前述の面状誘電体基板１、各電極２，
３及びヒーター配線４とからなる第１図に示す様
なイオン源用電界装置を得るものである。
本案のイオン源用電界装置を使用する際はこの
面状誘電体基板１の表面に配置されている前記線
状電極２と、前記面状誘導電極３との間に沿面放
電発生用電源５を接続する。又この配線の放電発
生用電源５と、線状電極２の間を接地８する。さ
らにヒーター４の両端間にはヒーター用電源６を
接続する。
面状誘電体基板１の表面に配置されている前記線
状電極２と、前記面状誘導電極３との間に沿面放
電発生用電源５を接続する。又この配線の放電発
生用電源５と、線状電極２の間を接地８する。さ
らにヒーター４の両端間にはヒーター用電源６を
接続する。
本考案は上述の通りであるので、線状電極と面
状誘導電極の間及びヒーターの両端間に夫々前述
の放電発生用電源５及びヒーター用電源６を接続
して電圧を印加し、面状誘電体基板の温度を50°
〜100°に保つときはその基板の表面に滲透した湿
気及びそこに付着した水分は蒸発して消滅し、更
に該基板の温度を300℃〜500℃に保つときはその
基板の表面に付着した塵埃を焼却し、飛散させる
ことができる。
状誘導電極の間及びヒーターの両端間に夫々前述
の放電発生用電源５及びヒーター用電源６を接続
して電圧を印加し、面状誘電体基板の温度を50°
〜100°に保つときはその基板の表面に滲透した湿
気及びそこに付着した水分は蒸発して消滅し、更
に該基板の温度を300℃〜500℃に保つときはその
基板の表面に付着した塵埃を焼却し、飛散させる
ことができる。
従つて、この考案は、従来の装置のように面状
誘電体の表面が滲透したり、塵埃などが付着して
沿面放電の発生を妨げるおそれがないので、イオ
ン源としてイオンを充分に発生し、又放電による
誘電体の劣化もなく、耐久性も伸び、絶縁破壊強
度を十分に保持し、イオン源用電界装置としての
性能の低下を来すことなく、その寿命を著しく延
ばすことができる。
誘電体の表面が滲透したり、塵埃などが付着して
沿面放電の発生を妨げるおそれがないので、イオ
ン源としてイオンを充分に発生し、又放電による
誘電体の劣化もなく、耐久性も伸び、絶縁破壊強
度を十分に保持し、イオン源用電界装置としての
性能の低下を来すことなく、その寿命を著しく延
ばすことができる。
第１図は本案の実施例を示す縦断面図、第２〜
第７図は第１図のイオン源用電界装置の製造工程
を示す斜面図であり、その第２図は上層グリーン
シートの上面側の斜面図、第３図は第２図の上層
グリーンシートの下面側の斜面図、第４図は中層
グリーンシートの上面側の斜面図、第５図は中層
グリーンシートの下面側の斜面図、第６図は下層
グリーンシートの上面側の斜面図、第７図は下層
グリーンシートの下面側の斜面図である。 １……面状誘電体基板、２……線状電極、３…
…面状誘導電極、４……ヒーター、５……電界形
成用電源、６……ヒーター用電源。
第７図は第１図のイオン源用電界装置の製造工程
を示す斜面図であり、その第２図は上層グリーン
シートの上面側の斜面図、第３図は第２図の上層
グリーンシートの下面側の斜面図、第４図は中層
グリーンシートの上面側の斜面図、第５図は中層
グリーンシートの下面側の斜面図、第６図は下層
グリーンシートの上面側の斜面図、第７図は下層
グリーンシートの下面側の斜面図である。 １……面状誘電体基板、２……線状電極、３…
…面状誘導電極、４……ヒーター、５……電界形
成用電源、６……ヒーター用電源。
Claims (1)
- 面状誘電体基板に面状誘導電極を埋設し、該誘
電体基板の表面に前記誘導電極の表面と対向する
線状放電極を設けたイオン源用電界装置におい
て、前記面状誘電体基板をフアインセラミツクで
形成するとともに、該誘電体基板に前記誘導電極
の裏面側と対向するヒーターを設けたことを特徴
とするイオン源用電界装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9296383U JPS601437U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9296383U JPS601437U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601437U JPS601437U (ja) | 1985-01-08 |
| JPH0427109Y2 true JPH0427109Y2 (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=30223459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9296383U Granted JPS601437U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601437U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2511953Y2 (ja) * | 1991-02-16 | 1996-09-25 | 日本特殊陶業株式会社 | イオン源用電界装置 |
| JP5983529B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2016-08-31 | 株式会社村田製作所 | 放電素子 |
| US9293254B2 (en) * | 2014-05-28 | 2016-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Heated capacitor and method of forming the heated capacitor |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122659A (en) * | 1974-08-19 | 1976-02-23 | Sumitomo Light Metal Ind | Kinzokuno chokusetsuoshidashihoho |
| JPS54164322U (ja) * | 1978-05-10 | 1979-11-17 | ||
| JPS5749917Y2 (ja) * | 1979-04-18 | 1982-11-01 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP9296383U patent/JPS601437U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS601437U (ja) | 1985-01-08 |
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