JPH04274013A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スタート時及びストッ
プ時にスライダが磁気ディスクに接触しないように駆動
される非ＣＳＳ方式の浮上型の磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、浮上型磁気ヘッドは、例えば特公
昭５８ー２１３２９号、特公昭５８ー２８６５０号各公
報等に開示される如く、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ　（以下ア
ルティックと称する）などのセラミック構造体でなるス
ライダの空気流入端に、磁気変換素子を有する構造とな
っていて、磁気ディスクに接触した状態でスタートし、
ストップするＣＳＳ方式によって駆動するのが一般的で
あったが、最近、ヘッドリフターを備え、スタート及び
ストップ時に磁気ディスクに接触しないように駆動され
る非ＣＳＳ方式の磁気ヘッドが提案されている。

【０００３】非ＣＳＳ方式の磁気ヘッドも、ＣＳＳ方式
の場合と同様に、磁気ディスクとの間に微小な空気ベア
リングによる間隙を保ちながら追従できるように、スラ
イダが第１軸に関してピッチ運動を行ない、第２軸に関
してロール運動を行ない、更に偏揺れを防止するように
、ヘッド支持装置に取付けられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
非ＣＳＳ方式の磁気ヘッドは、スライダとして、ＣＳＳ
方式の磁気ヘッドと同様に、アルティックなどのセラミ
ック構造体を用いていたため、次のような問題点があっ
た。 （Ａ）アルティックは極めて硬く、加工難度が高い。こ
のため、加工工程に多大の時間及び労力を必要とし、コ
スト高になるという問題点があった。 （Ｂ）スライダの重量は、アルティックの比重によって
定まる重量以下に軽量化することができない。このため
、ヘッド支持装置の重量負担軽減及びヘッド支持装置を
駆動する位置決め装置の消費電力軽減に限界を生じる。 この種の磁気ヘッドは、ラップトップパソコン、ノート
ブックパソコンもしくはパームトップパソコン等と称さ
れるパソコンの磁気ディスク装置として用いられている
。これらのパソコンでは駆動源として電池を用いており
、電力消費を極力低減しなければならない。 （Ｃ）この種の磁気ヘッドは読み書き回路を備えること
が必須である。従来は、読み書き回路は磁気ヘッドから
独立してその外部に設けられており、両者間をリード線
によって接続する構成であった。このため、リード線に
よるリードインダクタンス分が大きくなり、高周波応答
性が悪くなると共に、外部からノイズが入り易くなると
いう問題点があった。

【０００５】そこで、本発明の課題は、上述する従来の
問題点を解決し、高速アクセスが可能でアクセス駆動電
力消費が少なくて済むと共に、加工が容易であり、しか
も高周波応答性に優れノイズの入りにくい読み書き回路
を形成し得る非ＣＳＳ方式の磁気ヘッドを提供すること
である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述する課題解決のため
、本発明は、スライダに磁気変換素子を備え、スタート
時及びストップ時に前記スライダが磁気ディスクに接触
しないように駆動される浮上型の磁気ヘッドであって、
前記スライダは、シリコンでなることを特徴とする。

【０００７】

【作用】スライダはシリコンでなるから、従来のアルテ
ィック等でなるスライダと比較して加工が容易である。 このため、加工に要する時間及び労力が軽減され、コス
トが安価になる。

【０００８】また、シリコンは、アルティック等に比較
して軽量であるから、ヘッド支持装置に対する重量負担
が軽減される。このため、ヘッド支持装置及び磁気ヘッ
ドを含めた磁気ヘッド装置の高速アクセスが可能になる
と共に、磁気ヘッド装置を駆動するための電力消費が低
減される。

【０００９】更に、スライダはシリコンでなるから、読
み書き回路を、スライダを構成するシリコンを利用して
集積できる。磁気変換素子を薄膜集積構造とした磁気ヘ
ッドにおいては、磁気変換素子及び読み書き回路の両者
を周知のＩＣ製造テクノロジによって製造できるのであ
る。このため、スライダをより一層小型化できるように
なると共に、磁気変換素子から読み書き回路に至るリー
ドインダクタンスがきわめて小さく、高周波応答性に優
れ、ノイズの入りにくい非ＣＳＳ方式磁気ヘッドが得ら
れる。

【００１０】シリコンはアルティックよりも耐摩耗性が
低いが、本発明に係る磁気ヘッドは、スタート時及びス
トップ時に前記スライダが磁気ディスクに接触しないよ
うに駆動される非ＣＳＳ方式の浮上型の磁気ヘッドであ
るので、充分に実用に耐え得る。

【００１１】

【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図であ
る。１はスライダ、２は磁気変換素子、３、４は取出電
極である。

【００１２】スライダ１は、従来多用されているアルテ
ィックなどのセラミック構造体に代えて、シリコンで構
成してある。スライダ１はシリコンでなるから、従来の
アルティック等でなるスライダと比較して加工が容易で
ある。このため、加工に要する時間及び労力が軽減され
、コストが安価になる。また、シリコンはアルティック
等に比較して軽量であるから、ヘッド支持装置に対する
重量負担が軽減される。このため、ヘッド支持装置及び
磁気ヘッドを含めた磁気ヘッド装置の高速アクセスが可
能になると共に、磁気ヘッド装置を駆動するための電力
消費が低減される。磁気ヘッドとヘッド支持装置との組
合せ構造例については、後で説明する。

【００１３】スライダ１は、媒体対向面１１１がレール
部及びテーパ面を持つ通常タイプでもよいし、レール部
及びテーパ面を持たない平面状のものでもよい。実施例
では、媒体対向面１１１がレール部及びテーパ面を持た
ない平面状となっていて、この面１１１の全体をＡＢＳ
面として作用させるようにした構造のもを示してある。 かかる構成の磁気ヘッドは、スライダ１の媒体対向面１
１１がレール部のない単純な平面状となっているため、
小形化が容易である。具体例として、空気流出方向にと
った長さＬが０．５〜２ｍｍ、幅Ｗが０．５〜１．７ｍ
ｍ、厚みｄが０．５ｍｍ以下となる形状まで、小型化で
きる。

【００１４】磁気変換素子２は、磁気ディスク等の磁気
ディスクとの組合せにおいて、空気流出端部側となる端
面１１３に付着させてある。実施例において、磁気変換
素子２は１個であり、幅方向の略中間部に配置されてい
る。媒体対向面１１１にレール部を有するタイプのもの
では、磁気変換素子２はレール毎に２個備えられる。

【００１５】磁気変換素子２の取出電極３、４は、スラ
イダ１の媒体対向面１１１とは反対側の面１１２に導出
されている。磁気変換素子２の取出電極３、４を、媒体
対向面１１１とは反対側の面１１２に導出した場合、取
出電極３、４を磁気変換素子２の付着されている端面１
１３に設ける従来技術と異なって、磁気変換素子２を付
着させる端面１１３の面積を小さくし、磁気ヘッド全体
を小型化できる。取出電極３、４は、全体を半田で構成
するか、または取出電極３、４は銅等によって構成し、
その表面に半田メッキ等の手段によって半田層を設ける
ことによって形成できる。半田３０、４０が保護膜とし
て機能し、取出電極３、４の酸化による劣化、損傷等が
防止され、信頼性が向上する。

【００１６】本実施例においては、取出電極３、４を導
出した面１１２は、通常、ヘッド支持装置の取付面と一
致するので、取出電極３、４に対するリード導体のボン
ディグ作業が容易になる。また、取出電極３、４へのリ
ード導体の半田付けに当って、リード導体の曲げなど不
要になるので、リード導体から薄膜磁気ヘッドに対して
加わる外力が小さくなる。

【００１７】実施例において、磁気変換素子２はＩＣ製
造テクノロジと同様のプロセスにしたがって形成された
薄膜素子である。図２にその構造例を示す。図において
、スライダ１はシリコン基体１１０の表面にアルミナ、
酸化シリコン等の絶縁膜１２０を設け、この絶縁膜１２
０の上に磁気変換素子を形成してある。２１は下部磁性
膜、２２はアルミナ、酸化シリコン等でなるギャップ膜
、２３は上部磁性膜、２４はコイル膜、２５１〜２５３
はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、２
６は保護膜である。

【００１８】下部磁性膜２１及び上部磁性膜２３の先端
部は、微小厚みのギャップ膜２２を隔てて対向するポー
ル部２１１、２３１となっており、ポール部２１１、２
３１に形成された変換ギャップおいて読み書きを行なう
。２１２、２３２はヨーク部であり、ポール部２１１、
２３１とは反対側にあるバックギャップで互いに結合さ
れて、磁気回路を完成している。コイル膜２４は、絶縁
膜２５１、２５２の上にヨーク部２１２、２３２の結合
部のまわりを渦巻状にまわるように形成されている。

【００１９】図３は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施
例を示す斜視図である。この実施例では、シリコンでな
るスライダ１の上に、読み書き回路５を集積してある。 磁気変換素子２は薄膜素子として形成する。スライダ１
はシリコンでなるから、読み書き回路５は、スライダ１
を構成するシリコンを利用して集積できる。かかる構造
の磁気ヘッドヘッドは、磁気変換素子２及び読み書き回
路５の両者を周知のＩＣ製造テクノロジによって製造で
きる。このため、スライダ１をより一層小型化できるよ
うになると共に、磁気変換素子２から読み書き回路５に
至るリードインダクタンスがきわめて小さくなり、高周
波応答性に優れ、ノイズの入りにくい非ＣＳＳ方式の磁
気ヘッドが得られる。

【００２０】図４は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施
例を示す図である。スライダ１は、媒体対向面１１１と
は反対側の面１１２に、幅方向の中間部において長さ方
向に沿う条状の凹溝６１を有している。凹溝６１は、円
弧状溝または角状溝として、スライダ１の全長にわたっ
て形成する。このような凹溝６１があると、凹溝６１を
利用してヘッド支持装置を位置決めできる。このため、
小形化した場合でもヘッド支持装置の取付けが容易にな
る。

【００２１】図５は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施
例を示している。スライダ１の媒体対向面１１１とは反
対側の面１１２に、取出電極３、４の位置において、長
さ方向に沿う条状の凹溝６１、６２が設けられている。

【００２２】図６は本発明に係る磁気ヘッドの更に別の
実施例における斜視図を示している。取出電極３、４は
、導出方向を互いに逆向きにし、スライダ１の相対向す
る両側端面１１４、１１５にそれぞれ導出してある。 スライダ１の両側端面１１４、１１５には取出電極３、
４の位置において、長さ方向に沿う条状の凹溝６３、６
４が設けられている。また、媒体対向面１１１と対向す
る面１１２にはその幅方向の中間部に凹溝６１が設けら
れている。凹溝６３、６４は後で説明するように、リー
ド導体を装着する際に利用される。

【００２３】図４〜図６の実施例の場合も、取出電極面
積による制限をあまり受けることなく小型化でき、しか
も、小型化した場合でも、リード導体接続作業を簡単、
かつ、確実に行ない得る磁気ヘッドが得られる。

【００２４】次に、上記磁気ヘッドとヘッド支持装置と
を組合せた磁気ヘッド装置の具体例について、図７〜図
１４を参照して説明する。

【００２５】図７は図１に示した磁気ヘッドを用いた磁
気ヘッド装置の斜視図、図８はその正面図である。７は
ヘッド支持装置である。ヘッド支持装置７は、可撓体７
１、ヘッド支持腕７２、７３、ヘッド押え腕７４及び取
付片７５等を含んでいる。

【００２６】可撓体７１は、絶縁材料である高分子樹脂
によって板状に形成してあり、その内部には外部の読み
書き回路に導かれるリード導体７６、７７が埋設されて
いる。可撓体７１を構成する高分子樹脂としては、繰返
し曲げ性に耐え得る機械的強度を有し、適度のバネ性、
ひねり及び伸びを示す高分子材料、例えばポリイミド樹
脂等が適している。

【００２７】可撓体７１は、ポリイミド樹脂等の高分子
樹脂で構成されているので、従来のステンレス等の弾性
金属板に比較して、バネ性が弱く、ひねり、伸びの自由
度の高い可撓体７１が得られる。従って、磁気ヘッド７
を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の高密度化を
図った場合にも、スライダ１に発生する揚力動圧と可撓
体７１のバネ性とのバランスをとり、安定した姿勢制御
作用が得られるようになる。また、可撓体７１を高分子
樹脂で構成したので、加工が容易になる。

【００２８】ヘッド支持腕７２、７３は、可撓体７１か
ら連続して形成されている。ヘッド支持腕７２、７３に
は、リード導体７６、７７が埋設されていて、リード導
体７６、７７の端部はヘッド支持腕７２、７３の先端か
ら外部に導出されている。

【００２９】取付片７５は、金属等の剛性部材でなり、
可撓体７１の他端部側に接着等の手段によって一体的に
取付けられている。ヘッド押え腕７４は、この取付片７
５から可撓体７１の上を通って磁気ヘッド５の面１１２
上まで延びている。

【００３０】磁気ヘッドとヘッド支持装置７との組合せ
に当っては、スライダ１の面１１２にヘッド支持腕７２
、７３を接着等の手段によって取付けると共に、ヘッド
支持腕７２、７３の先端部から突出するリード導体７６
、７７を取出電極３、４に半田付けし、スライダ１の面
１１２にヘッド押え腕７４の先端部７４１を配置する。 ヘッド押え腕７４の先端部７４１はスライダ１にバネ接
触し、磁気ヘッドはヘッド押え腕７４から下向きの荷重
を受けている。

【００３１】ここで、取出電極３、４に対するリード導
体７６、７７のボンディグを、ヘッド支持装置７の取付
け面となる面１１２上で行なうことができるので、その
作業が容易になる。しかも、取出電極３、４へのリード
導体７６、７７のボンディグに当って、リード導体７６
、７７の曲げなど不要になるので、リード導体７６、７
７から磁気ヘッドに対して加わる外力が小さくなる。

【００３２】図９は図４に示した磁気ヘッドを用いた磁
気ヘッド装置の斜視図、図１０は同じくその正面図であ
る。ヘッド押え片７４の先端部７４１は、面１１２に形
成された凹溝６１内に位置決めされている。この実施例
の場合は、凹溝６１を利用してヘッド支持装置７を位置
決めできるので、小形化した場合でも、ヘッド支持装置
７の取付け接続が容易になるという利点が得られる。

【００３３】図１１は図５に示した磁気ヘッドを用いた
磁気ヘッド装置の斜視図、図１２は同じくその正面図で
ある。可撓体６１から平行に引出されたリード導体７６
、７７を、磁気ヘッドの凹溝６３、６４に接着等の手段
によって接続固定すると共に、リード導体７６、７７の
端部を取出電極３、４に半田付けしてある。

【００３４】図１３は図７に示した磁気ヘッドを用いた
磁気ヘッド装置の斜視図、図１４はその部分断面図であ
る。磁気ヘッドは、可撓体７１の先端領域に形成された
窓部７８内に配置され、リード導体７６、７７を支持腕
として支持されている。リード導体７６、７７は取出電
極３、４に半田付けされている。

【００３５】上記各実施例では、面内記録再生用の磁気
ヘッドを示したが、垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドに
も、本発明は適用できる。更に、実施例に示す２端子型
の磁気ヘッドに限らず、センタータップを有する３端子
型の磁気ヘッドにも、本発明は適用できる。

【００３６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）スライダはシリコンでなるから、加工時間及び加
工労力が少なくて済み、コストの安価な非ＣＳＳ式磁気
ヘッドを提供できる。 （ｂ）スライダはシリコンでなるから、ヘッド支持装置
の重量負担が軽くて済み、高速アクセスが可能で、駆動
電力消費の小さな非ＣＳＳ方式の磁気ヘッド及び磁気ヘ
ッドを提供できる。 （ｃ）スライダはシリコンでなるから、読み書き回路を
、スライダを構成するシリコンを利用して集積し、特に
薄膜磁気変換素子を用いた磁気ヘッドにおいて、スライ
ダをより一層小型化すると共に、磁気変換素子から読み
書き回路に至るリードインダクタンスをきわめて小さく
し、高周波応答性に優れ、ノイズが入りにくい非ＣＳＳ
方式の磁気ヘッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】本発明に係る磁気ヘッドの磁気変換素子部分の
拡大部分断面図である。

【図３】本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における
斜視図である。

【図４】本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における
斜視図である。

【図５】本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における
斜視図である。

【図６】本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における
斜視図である。

【図７】図１に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド装
置の斜視図である。

【図８】図１に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド装
置の正面図である。

【図９】図４に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド装
置の斜視図である。

【図１０】図４に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド
装置の正面図である。

【図１１】図５に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド
装置の斜視図である。

【図１２】図５に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド
装置の正面図である。

【図１３】図６に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド
装置の斜視図である。

【図１４】図１に示した磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド
装置の正面図である。

【符号の説明】

１　　　　　　スライダ ２　　　　　　磁気変換素子

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　スライダに磁気変換素子を備え、スタ
   ート時及びストップ時に前記スライダが磁気ディスクに
   接触しないように駆動される浮上型の磁気ヘッドであっ
   て、前記スライダは、シリコンでなることを特徴とする
   磁気ヘッド。
2. 【請求項２】　　前記スライダは、空気流出方向にとっ
   た長さが０．５〜２ｍｍ、幅が０．５〜１．７ｍｍ、厚
   みが０．５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に
   記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】　　前記シリコンを利用して集積された読
   み書き回路を有することを特徴とする請求項１または２
   に記載の磁気ヘッド。