JPH04276724A - 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 - Google Patents
半導体微粒子分散ガラスの製造方法Info
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- JPH04276724A JPH04276724A JP3063970A JP6397091A JPH04276724A JP H04276724 A JPH04276724 A JP H04276724A JP 3063970 A JP3063970 A JP 3063970A JP 6397091 A JP6397091 A JP 6397091A JP H04276724 A JPH04276724 A JP H04276724A
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- glass
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- cds
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は非線形光学効果を利用し
た光デバイス等の基礎をなす半導体微粒子分散ガラスの
製造方法に関するものである。
た光デバイス等の基礎をなす半導体微粒子分散ガラスの
製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、非線形光学材料は高速光スイッチ
、高調波発生素子などの光デバイスとしての用途が考え
られている。特にその中核をなす半導体微粒子や非線形
光学特性を有する有機化合物を用いた非線形光学材料に
ついては、より高性能な材料の開発あるいはより改良さ
れた材料の製造方法が注目されている。
、高調波発生素子などの光デバイスとしての用途が考え
られている。特にその中核をなす半導体微粒子や非線形
光学特性を有する有機化合物を用いた非線形光学材料に
ついては、より高性能な材料の開発あるいはより改良さ
れた材料の製造方法が注目されている。
【0003】この分野における従来の技術としては、例
えばジャ−ナル オブ ノンクリスタライン ソ
リッド第122巻101ペ−ジ(J.Non−Crys
t.Solids,Vol.122,1990)に記載
されているようなゾル−ゲル法によるCdS 含有シリ
カガラスの作成法がある。
えばジャ−ナル オブ ノンクリスタライン ソ
リッド第122巻101ペ−ジ(J.Non−Crys
t.Solids,Vol.122,1990)に記載
されているようなゾル−ゲル法によるCdS 含有シリ
カガラスの作成法がある。
【0004】この方法はシリコンのアルコキシド(Si
(OC2 H5 )4 )を加水分解した後、メタノ−
ルに溶解させたCd(CH3 COO)2 ・2H2
Oを加えて撹拌する。その後、水、エタノ−ル、アンモ
ニア水の混合溶液を加えて撹拌を続け、この溶液をシャ
−レに移行しゲル板を作成する。このゲル板を硫化水素
(H2 S)ガスを含んだ雰囲気中に置き、硫化反応に
よってCdS 含有ガラスを作成するものである。
(OC2 H5 )4 )を加水分解した後、メタノ−
ルに溶解させたCd(CH3 COO)2 ・2H2
Oを加えて撹拌する。その後、水、エタノ−ル、アンモ
ニア水の混合溶液を加えて撹拌を続け、この溶液をシャ
−レに移行しゲル板を作成する。このゲル板を硫化水素
(H2 S)ガスを含んだ雰囲気中に置き、硫化反応に
よってCdS 含有ガラスを作成するものである。
【0005】また、ジャ−ナル オブ オプティカ
ル ソサエティ オブ アメリカ第73巻647
ペ−ジ(J.Opt.Soc.Am.,Vol.73,
1983)に記載されているように、CdSX Se1
−X をホウケイ酸ガラスに分散したカットオフフィル
タ−ガラスを非線形光学材料に用いるものがある。この
カットオフフィルタ−ガラスはCdSXSe1−X と
をホウケイ酸ガラス材料を白金ルツボに入れ1000℃
程度の温度で溶融し作製している。
ル ソサエティ オブ アメリカ第73巻647
ペ−ジ(J.Opt.Soc.Am.,Vol.73,
1983)に記載されているように、CdSX Se1
−X をホウケイ酸ガラスに分散したカットオフフィル
タ−ガラスを非線形光学材料に用いるものがある。この
カットオフフィルタ−ガラスはCdSXSe1−X と
をホウケイ酸ガラス材料を白金ルツボに入れ1000℃
程度の温度で溶融し作製している。
【0006】さらに、ジャ−ナル オブ アプライ
ド フィジックス 第63巻957ペ−ジ(J.A
ppl.Phys. 63(3),957 1988)
に開示されているCdS 微粒子ド−プ薄膜ガラスがあ
る。
ド フィジックス 第63巻957ペ−ジ(J.A
ppl.Phys. 63(3),957 1988)
に開示されているCdS 微粒子ド−プ薄膜ガラスがあ
る。
【0007】この薄膜ガラスはタ−ゲットにコ−ニング
社製“7095ガラス”(Ba含有のホウケイ酸系ガラ
ス)とCdS とをタ−ゲットに用い高周波マグネトロ
ンスパッタリング法により、“7095ガラス”中にC
dS を2 〜4 重量%分散させたものである。
社製“7095ガラス”(Ba含有のホウケイ酸系ガラ
ス)とCdS とをタ−ゲットに用い高周波マグネトロ
ンスパッタリング法により、“7095ガラス”中にC
dS を2 〜4 重量%分散させたものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記方法の半導体微粒
子分散ガラスの製造方法では、次のような課題がある。
子分散ガラスの製造方法では、次のような課題がある。
【0009】イ)ゾルゲル法の場合: ゲル体を硫化
水素雰囲気中に置き硫化反応によってCdS 含有ガラ
スを作成するため、ゲル体が厚い場合にはゲル体内部に
まで均一にCdS を分散させることが困難であり、表
面と内部とでCdS の粒径が異なり十分な粒径の制御
ができない。
水素雰囲気中に置き硫化反応によってCdS 含有ガラ
スを作成するため、ゲル体が厚い場合にはゲル体内部に
まで均一にCdS を分散させることが困難であり、表
面と内部とでCdS の粒径が異なり十分な粒径の制御
ができない。
【0010】ロ)カットオフフィルタ−ガラスの場合:
CdSX Se1−X をホウケイ酸ガラスに2−
4wt%以上均一に分散させることが困難であり、また
1000℃以上の高温で溶融しなければ作製できないた
め構成成分の一部が蒸発してしまい目的とする半導体の
組成が変化する等の問題がありガラス組成、半導体組成
の制御も極めて困難なものとなる。
CdSX Se1−X をホウケイ酸ガラスに2−
4wt%以上均一に分散させることが困難であり、また
1000℃以上の高温で溶融しなければ作製できないた
め構成成分の一部が蒸発してしまい目的とする半導体の
組成が変化する等の問題がありガラス組成、半導体組成
の制御も極めて困難なものとなる。
【0011】ハ)スパッタリング法を用いた場合:
装置が高価であるとともにガラス薄膜の形成に時間かか
り、(特にスパッタリング速度の小さなSiO2 ガラ
スの形成の場合など、1μmの厚みにするのに4−5時
間かかる。)厚膜を形成するのが困難である。
装置が高価であるとともにガラス薄膜の形成に時間かか
り、(特にスパッタリング速度の小さなSiO2 ガラ
スの形成の場合など、1μmの厚みにするのに4−5時
間かかる。)厚膜を形成するのが困難である。
【0012】本発明は、半導体微粒子を均一な細孔径と
大きな比表面積を有する多孔質ガラスに担持することに
より、簡便な方法でより容易に半導体微粒子を均一な粒
子径に分散することができ、より大きな3次の非線形光
学特性を有する半導体微粒子分散ガラスの製造方法を提
供することを目的とする。
大きな比表面積を有する多孔質ガラスに担持することに
より、簡便な方法でより容易に半導体微粒子を均一な粒
子径に分散することができ、より大きな3次の非線形光
学特性を有する半導体微粒子分散ガラスの製造方法を提
供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は次ぎの構成を有する。
に本発明は次ぎの構成を有する。
【0014】(1)半導体または反応して半導体を形成
し得る化合物と、ガラス質となるゾルと、界面活性剤と
の混合溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラス
の細孔内に前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに
保持したゾルをゲル化させ、熱処理することにより、前
記多孔質ガラスに前記半導体微粒子を分散担持させるこ
とを特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
し得る化合物と、ガラス質となるゾルと、界面活性剤と
の混合溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラス
の細孔内に前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに
保持したゾルをゲル化させ、熱処理することにより、前
記多孔質ガラスに前記半導体微粒子を分散担持させるこ
とを特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
【0015】(2)カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解
させたガラス質となるゾルと界面活性剤との混合溶液に
多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの細孔内に前
記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保持したゾル
をゲル化させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガス
と反応させることによりCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分
散担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガラス
の製造方法。
させたガラス質となるゾルと界面活性剤との混合溶液に
多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの細孔内に前
記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保持したゾル
をゲル化させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガス
と反応させることによりCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分
散担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガラス
の製造方法。
【0016】(3)カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解
させた溶液と界面活性剤との混合溶液に多孔質ガラスを
浸漬し、前記多孔質ガラスに前記金属および/またはそ
の酸化物を担持し、さらに硫化水素あるいは硫化セレン
ガスと反応させることによりCdS、CdSe,ZnS
、ZnSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラス
に分散担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガ
ラスの製造方法。
させた溶液と界面活性剤との混合溶液に多孔質ガラスを
浸漬し、前記多孔質ガラスに前記金属および/またはそ
の酸化物を担持し、さらに硫化水素あるいは硫化セレン
ガスと反応させることによりCdS、CdSe,ZnS
、ZnSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラス
に分散担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガ
ラスの製造方法。
【0017】(4)多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下である前記(1)、(2)または(3)のいずれ
かに記載の半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
m以下である前記(1)、(2)または(3)のいずれ
かに記載の半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
【0018】
【作用】本発明の第1の発明の半導体微粒子分散ガラス
の製造方法では、半導体または反応して半導体を形成し
得る化合物と、ガラス質となるゾルと、界面活性剤との
混合溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの
細孔内に前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保
持したゾルをゲル化させ、熱処理することにより、前記
多孔質ガラスの細孔内に前記混合溶液が容易に浸透し、
迅速に高濃度に、均一にそして強固に半導体微粒子を分
散担持させることが可能となる。また、半導体微粒子の
周囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体し
て粒子が粗大化するのをより防止しやすい。
の製造方法では、半導体または反応して半導体を形成し
得る化合物と、ガラス質となるゾルと、界面活性剤との
混合溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの
細孔内に前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保
持したゾルをゲル化させ、熱処理することにより、前記
多孔質ガラスの細孔内に前記混合溶液が容易に浸透し、
迅速に高濃度に、均一にそして強固に半導体微粒子を分
散担持させることが可能となる。また、半導体微粒子の
周囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体し
て粒子が粗大化するのをより防止しやすい。
【0019】本発明の第2の発明の半導体微粒子分散ガ
ラスの製造方法では、カドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させたガラス質となるゾルと界面活性剤との混合溶液
に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの細孔内に
前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保持したゾ
ルをゲル化させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガ
スと反応させることにより、前記多孔質ガラスの細孔内
に前記混合溶液が容易に浸透し、迅速に高濃度に、均一
にそして強固にCdS、CdSe,ZnS、ZnSe、
PbSまたはPbSeからなる半導体微粒子を分散担持
させることが可能となる。また、析出する半導体微粒子
の周囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体
して粒子が粗大化するのをより防止しやすい。
ラスの製造方法では、カドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させたガラス質となるゾルと界面活性剤との混合溶液
に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの細孔内に
前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保持したゾ
ルをゲル化させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガ
スと反応させることにより、前記多孔質ガラスの細孔内
に前記混合溶液が容易に浸透し、迅速に高濃度に、均一
にそして強固にCdS、CdSe,ZnS、ZnSe、
PbSまたはPbSeからなる半導体微粒子を分散担持
させることが可能となる。また、析出する半導体微粒子
の周囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体
して粒子が粗大化するのをより防止しやすい。
【0020】本発明の第3の発明の半導体微粒子分散ガ
ラスの製造方法では、カドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させた溶液と界面活性剤との混合溶液に多孔質ガラス
を浸漬し、前記多孔質ガラスに前記金属および/または
その酸化物を担持し、さらに硫化水素あるいは硫化セレ
ンガスと反応させる方法を採用するので、前記混合溶液
に前記多孔質ガラスを浸漬する際に、前記多孔質ガラス
の細孔内に前記混合溶液が容易に浸透し、迅速に高濃度
に、均一にそして強固にCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeからなる半導体微粒子を
分散担持させることが可能となる。
ラスの製造方法では、カドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させた溶液と界面活性剤との混合溶液に多孔質ガラス
を浸漬し、前記多孔質ガラスに前記金属および/または
その酸化物を担持し、さらに硫化水素あるいは硫化セレ
ンガスと反応させる方法を採用するので、前記混合溶液
に前記多孔質ガラスを浸漬する際に、前記多孔質ガラス
の細孔内に前記混合溶液が容易に浸透し、迅速に高濃度
に、均一にそして強固にCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeからなる半導体微粒子を
分散担持させることが可能となる。
【0021】更に、多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れ
る程度に小さくコントロールする事がより容易になり、
優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分散ガラス
の製造方法が提供できる。
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れ
る程度に小さくコントロールする事がより容易になり、
優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分散ガラス
の製造方法が提供できる。
【0022】
【実施例】本発明で担体として用いる多孔質ガラスは、
化学的に安定でありかつ光学的に広い波長範囲で透明な
SiO2 ガラスが好ましい。
化学的に安定でありかつ光学的に広い波長範囲で透明な
SiO2 ガラスが好ましい。
【0023】多孔質ガラスの平均細孔径は半導体微粒子
の量子サイズ効果が見られる10nm以下が好ましい。 平均細孔径10nm以下の多孔質ガラスを用いることに
より、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れる
程度に小さくコントロールする事がより容易になり、好
ましい。
の量子サイズ効果が見られる10nm以下が好ましい。 平均細孔径10nm以下の多孔質ガラスを用いることに
より、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れる
程度に小さくコントロールする事がより容易になり、好
ましい。
【0024】多孔質ガラスの平均細孔径の下限について
は特に制限するものではないが、析出させる半導体のボ
ーア半径以上であることが好ましく、通常0.5nm程
度である。
は特に制限するものではないが、析出させる半導体のボ
ーア半径以上であることが好ましく、通常0.5nm程
度である。
【0025】本発明において半導体を用いる場合には、
分散させる半導体微粒子としては、非線形光学特性を発
揮し得る半導体を用いることが好ましく、例えば、Cu
Cl、CuBr、PbI2 、BiI3 などの金属ハ
ロゲン化物、CdS、CdSe、CdO、ZnS、Zn
Se、ZnOなどのII−VI族化合物半導体、GaA
s、InPなどのIII −V族化合物半導体、PbS
、PbSe等のIV−VI族化合物半導体などが好まし
い例としてあげられる。
分散させる半導体微粒子としては、非線形光学特性を発
揮し得る半導体を用いることが好ましく、例えば、Cu
Cl、CuBr、PbI2 、BiI3 などの金属ハ
ロゲン化物、CdS、CdSe、CdO、ZnS、Zn
Se、ZnOなどのII−VI族化合物半導体、GaA
s、InPなどのIII −V族化合物半導体、PbS
、PbSe等のIV−VI族化合物半導体などが好まし
い例としてあげられる。
【0026】この様に半導体自体を用いる場合には、ガ
ラス質となるゾルと混合溶液を形成するためには、半導
体を溶液にして用いる。これらの半導体を溶液にするに
は、半導体を溶解できる溶媒を用いるが、この溶媒は、
ゾルを完全に加水分解するようなものは、ゲル化が困難
となるので、半導体は溶解できるが、ゾルを完全に加水
分解しないような溶媒を選んで用いれば良く、通常比較
的稀薄な塩酸水溶液などが適用できる。
ラス質となるゾルと混合溶液を形成するためには、半導
体を溶液にして用いる。これらの半導体を溶液にするに
は、半導体を溶解できる溶媒を用いるが、この溶媒は、
ゾルを完全に加水分解するようなものは、ゲル化が困難
となるので、半導体は溶解できるが、ゾルを完全に加水
分解しないような溶媒を選んで用いれば良く、通常比較
的稀薄な塩酸水溶液などが適用できる。
【0027】また、本発明において反応して半導体を形
成する化合物とは、上述したような半導体を構成するカ
チオン成分を含有する化合物とアニオン成分を含有する
化合物との組合わせなどで、これらが反応して半導体化
合物を形成できるものであれば良く、本発明においては
、通常これらと界面活性剤とをゾル溶液中に添加するこ
とにより、ゾル溶液中でこれらのカチオン成分とアニオ
ン成分が反応して半導体化合物を形成するものである。 通常これらの各成分は、それぞれアルコール溶液や、水
溶液の形にして用いられる。
成する化合物とは、上述したような半導体を構成するカ
チオン成分を含有する化合物とアニオン成分を含有する
化合物との組合わせなどで、これらが反応して半導体化
合物を形成できるものであれば良く、本発明においては
、通常これらと界面活性剤とをゾル溶液中に添加するこ
とにより、ゾル溶液中でこれらのカチオン成分とアニオ
ン成分が反応して半導体化合物を形成するものである。 通常これらの各成分は、それぞれアルコール溶液や、水
溶液の形にして用いられる。
【0028】上述の反応して半導体を形成する化合物に
ついてより具体的に説明すると、例えば、代表的にCd
S 、ZnS 、PbS などの例について説明すると
、カチオン成分を含有する化合物としてはカドミウム化
合物として、例えばCdCl2 、CdCO3 、Cd
(NO3 )2 、Cd(CH3 COO)2 、Cd
(HCOO)2 等、亜鉛化合物としては、例えばZn
Cl2 、Zn(CH3 COO)2 等、また鉛化合
物としては、例えばPbCl2 、PbCO3 、Pb
(NO3 )2 、Pb(CH3 COO)2 等をア
ルコ−ルに溶解させて調整する。
ついてより具体的に説明すると、例えば、代表的にCd
S 、ZnS 、PbS などの例について説明すると
、カチオン成分を含有する化合物としてはカドミウム化
合物として、例えばCdCl2 、CdCO3 、Cd
(NO3 )2 、Cd(CH3 COO)2 、Cd
(HCOO)2 等、亜鉛化合物としては、例えばZn
Cl2 、Zn(CH3 COO)2 等、また鉛化合
物としては、例えばPbCl2 、PbCO3 、Pb
(NO3 )2 、Pb(CH3 COO)2 等をア
ルコ−ルに溶解させて調整する。
【0029】さらにアニオン成分となるイオウを含有し
た化合物としては、例えばNaSH、(NH4 )2
S、SC(NH2 )2 等をアルコ−ルに溶解させて
調整することができる。
た化合物としては、例えばNaSH、(NH4 )2
S、SC(NH2 )2 等をアルコ−ルに溶解させて
調整することができる。
【0030】また、本発明においてカドミウム、亜鉛、
または鉛を溶解させた溶液とは、溶液中にカドミウム、
亜鉛、または鉛のイオンが存在する溶液であればよく、
かかる溶液の成分として用いられるカドミウム化合物の
具体例としては、例えばCdCl2 、CdCO3 、
Cd(NO3 )2 、Cd(CH3 COO)2 、
Cd(HCOO)2 等があげられ、また、亜鉛化合物
の具体例としては、例えばZnCl2 、Zn(CH3
COO)2 等が、また鉛化合物の具体例としては、
例えばPbCl2 、PbCO3 、Pb(NO3 )
2 、Pb(CH3 COO)2 等があげられ、通常
これらの化合物を水あるいはアルコ−ルに溶解させて溶
液を調整する。
または鉛を溶解させた溶液とは、溶液中にカドミウム、
亜鉛、または鉛のイオンが存在する溶液であればよく、
かかる溶液の成分として用いられるカドミウム化合物の
具体例としては、例えばCdCl2 、CdCO3 、
Cd(NO3 )2 、Cd(CH3 COO)2 、
Cd(HCOO)2 等があげられ、また、亜鉛化合物
の具体例としては、例えばZnCl2 、Zn(CH3
COO)2 等が、また鉛化合物の具体例としては、
例えばPbCl2 、PbCO3 、Pb(NO3 )
2 、Pb(CH3 COO)2 等があげられ、通常
これらの化合物を水あるいはアルコ−ルに溶解させて溶
液を調整する。
【0031】アルコールとしては低級アルコールが好ま
しく、メタノール、エタノール等が好ましい。
しく、メタノール、エタノール等が好ましい。
【0032】この溶液を用いる場合は、第3の発明に示
したように、界面活性剤との混合溶液として調整したり
、あるいは、第2の発明に示したように、界面活性剤並
びに前述のガラス質となるゾル溶液と混合溶液の形にし
て用いられる。
したように、界面活性剤との混合溶液として調整したり
、あるいは、第2の発明に示したように、界面活性剤並
びに前述のガラス質となるゾル溶液と混合溶液の形にし
て用いられる。
【0033】また、ゾルとなる溶液としてはゲル化して
ガラス質となる溶液であり、特に好ましくはSiO2
となるような溶液を用いることが好ましく、代表的な例
を挙げると、Si(OC2 H5 )4 などのシリコ
ンのアルコキシド類をC2 H5 OHなどの低級アル
コール類、H2 OおよびHClの混合溶液に加えて、
部分的に加水分解したものが用いられ、これに前述した
半導体の溶液または反応して半導体を形成し得る化合物
の溶液並びに界面活性剤、あるいは、本発明の第2の発
明の場合には、カドミウム、亜鉛、または鉛の化合物の
アルコール溶液などと界面活性剤とを添加して調整する
ことができる。
ガラス質となる溶液であり、特に好ましくはSiO2
となるような溶液を用いることが好ましく、代表的な例
を挙げると、Si(OC2 H5 )4 などのシリコ
ンのアルコキシド類をC2 H5 OHなどの低級アル
コール類、H2 OおよびHClの混合溶液に加えて、
部分的に加水分解したものが用いられ、これに前述した
半導体の溶液または反応して半導体を形成し得る化合物
の溶液並びに界面活性剤、あるいは、本発明の第2の発
明の場合には、カドミウム、亜鉛、または鉛の化合物の
アルコール溶液などと界面活性剤とを添加して調整する
ことができる。
【0034】これらのゾルのゲル化は、前記ゾルを多孔
質ガラスの細孔内に導入した後ゲル化させるが、ゲル化
は真空乾燥で行ってもよいし、室温下で放置して水分を
蒸発させた後、例えば60〜80℃で長時間放置するな
どの方法などが採用できる。
質ガラスの細孔内に導入した後ゲル化させるが、ゲル化
は真空乾燥で行ってもよいし、室温下で放置して水分を
蒸発させた後、例えば60〜80℃で長時間放置するな
どの方法などが採用できる。
【0035】本発明の第1の発明における上記ゲル化後
に行われる熱処理は、通常60〜500℃で1分〜10
時間程度である。
に行われる熱処理は、通常60〜500℃で1分〜10
時間程度である。
【0036】また、本発明の第2の発明において、前述
のようにして調整したカドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させたゾルと界面活性剤との混合溶液を保持させた多
孔質ガラスは、用いたカドミウム、亜鉛、または鉛化合
物の種類によっても異なるが、通常300〜600℃で
10分〜10時間程度加熱処理することによって、多孔
質ガラスの細孔内に前記金属および/またはその酸化物
を担持した形になる。本発明の第3の発明の如くゾルを
用いない場合でも、同様な加熱処理条件が採用できる。
のようにして調整したカドミウム、亜鉛、または鉛を溶
解させたゾルと界面活性剤との混合溶液を保持させた多
孔質ガラスは、用いたカドミウム、亜鉛、または鉛化合
物の種類によっても異なるが、通常300〜600℃で
10分〜10時間程度加熱処理することによって、多孔
質ガラスの細孔内に前記金属および/またはその酸化物
を担持した形になる。本発明の第3の発明の如くゾルを
用いない場合でも、同様な加熱処理条件が採用できる。
【0037】次いでこれらに更に硫化水素あるいは硫化
セレンガスを反応させてCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに析
出させ担持させるが、この反応は前記ガスの雰囲気中で
、通常、室温〜500℃で1分〜2時間程度反応させる
方法が採用できる。
セレンガスを反応させてCdS、CdSe,ZnS、Z
nSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに析
出させ担持させるが、この反応は前記ガスの雰囲気中で
、通常、室温〜500℃で1分〜2時間程度反応させる
方法が採用できる。
【0038】本発明で用いる界面活性剤としては、前記
混合溶液の他の成分に悪影響を与えず、多孔質ガラスの
細孔内に前記混合溶液が浸透する作用を促進できるもの
であれば特に制限はない。
混合溶液の他の成分に悪影響を与えず、多孔質ガラスの
細孔内に前記混合溶液が浸透する作用を促進できるもの
であれば特に制限はない。
【0039】ポリオキシエチレンアルキルエ−テル等の
非イオン界面活性剤やアルキルトリメチルアミノ酢酸等
の両性界面活性剤が特に好ましく、濃度は1wt%以下
が好ましい。界面活性剤の濃度の下限については特に制
限するものではないが通常0.05wt以上である。
非イオン界面活性剤やアルキルトリメチルアミノ酢酸等
の両性界面活性剤が特に好ましく、濃度は1wt%以下
が好ましい。界面活性剤の濃度の下限については特に制
限するものではないが通常0.05wt以上である。
【0040】以下本発明の具体的実施例について説明す
る。
る。
【0041】実施例1
厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)(以下多孔質ガラスをPV
Gと略称する。)に以下に示す方法によりCdS 微粒
子を分散担持させた。
比表面積200m2 /g)(以下多孔質ガラスをPV
Gと略称する。)に以下に示す方法によりCdS 微粒
子を分散担持させた。
【0042】1.0mol%Cd(NO3 )2 とS
C(NH2 )2 と0.3wt%ポリオキシエチレン
アルキルエ−テルとを溶解した表1に示した組成のCd
化合物ととS化合物とを分散したSiO2 となるゾル
を調製した。
C(NH2 )2 と0.3wt%ポリオキシエチレン
アルキルエ−テルとを溶解した表1に示した組成のCd
化合物ととS化合物とを分散したSiO2 となるゾル
を調製した。
【0043】このゾルに多孔質ガラスを室温で30分間
浸漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度で1時間加
熱してCdS を担持する(CdS/PVG) 。得ら
れたCdS/PVG のCdS の粒径は3 〜3.5
nm 、CdS の担持量は9wt%であった。
浸漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度で1時間加
熱してCdS を担持する(CdS/PVG) 。得ら
れたCdS/PVG のCdS の粒径は3 〜3.5
nm 、CdS の担持量は9wt%であった。
【0044】このCdS/PVG の吸収スペクトルか
ら求めたバンドギャップはバルクCdS のバンドギャ
ップと比べ0.85eVブルーシフトが見られCdS
が量子ドットとなっていることが示唆される。
ら求めたバンドギャップはバルクCdS のバンドギャ
ップと比べ0.85eVブルーシフトが見られCdS
が量子ドットとなっていることが示唆される。
【0045】(比較例)実施例1においてポリオキシエ
チレンアルキルエ−テルを用いず30分間室温で多孔質
ガラスにCdS を担持した試料は、試料によってばら
つきが見られ、ブル−シフト量にも試料によって0.3
5〜0.8eV とばらつきが見られた。
チレンアルキルエ−テルを用いず30分間室温で多孔質
ガラスにCdS を担持した試料は、試料によってばら
つきが見られ、ブル−シフト量にも試料によって0.3
5〜0.8eV とばらつきが見られた。
【0046】これは、界面活性剤が存在しないと、30
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
【0047】
【表1】
実施例2
厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりC
dS 微粒子を分散担持させた。
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりC
dS 微粒子を分散担持させた。
【0048】1)1.0mol%Cd(NO3 )2
と0.2wt%のポリオキシエチレンアルキルエ−テル
とを溶解した実施例1の表1に示した組成のCd化合物
を分散したSiO2 となるゾルを調製した。このゾル
に多孔質ガラスを室温で30分間浸漬、真空乾燥後、空
気中400 ℃の温度で1時間加熱してCdおよびその
酸化物を担持する。
と0.2wt%のポリオキシエチレンアルキルエ−テル
とを溶解した実施例1の表1に示した組成のCd化合物
を分散したSiO2 となるゾルを調製した。このゾル
に多孔質ガラスを室温で30分間浸漬、真空乾燥後、空
気中400 ℃の温度で1時間加熱してCdおよびその
酸化物を担持する。
【0049】2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中
150 ℃で10分間反応させ、CdS を担持した多
孔質ガラス(CdS/PVG) を作製する。得られた
CdS/PVG 中のCdS の粒径は3 〜3.5n
m 、CdS の担持量は9wt%であった。このCd
S/PVG の吸収スペクトルから求めたバンドギャッ
プはバルクCdS のバンドギャップと比べ0.85e
Vブルーシフトが見られCdSが量子ドットとなってい
ることが示唆される。
150 ℃で10分間反応させ、CdS を担持した多
孔質ガラス(CdS/PVG) を作製する。得られた
CdS/PVG 中のCdS の粒径は3 〜3.5n
m 、CdS の担持量は9wt%であった。このCd
S/PVG の吸収スペクトルから求めたバンドギャッ
プはバルクCdS のバンドギャップと比べ0.85e
Vブルーシフトが見られCdSが量子ドットとなってい
ることが示唆される。
【0050】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0051】(比較例)実施例2においてポリオキシエ
チレンアルキルエ−テルを用いず30分間大気圧下室温
で多孔質ガラスにCdを担持したものは試料によっては
十分内部にまでCdが担持することができないものも見
られ、硫化水素雰囲気中150 ℃で10分間反応させ
ても、試料によってCdS の担持が不均一になり、ブ
ル−シフト量も試料によって0.30〜0.8eV と
ばらつきが見られた。
チレンアルキルエ−テルを用いず30分間大気圧下室温
で多孔質ガラスにCdを担持したものは試料によっては
十分内部にまでCdが担持することができないものも見
られ、硫化水素雰囲気中150 ℃で10分間反応させ
ても、試料によってCdS の担持が不均一になり、ブ
ル−シフト量も試料によって0.30〜0.8eV と
ばらつきが見られた。
【0052】これは、界面活性剤が存在しないと、30
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
【0053】実施例3
厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりC
dS 微粒子を分散担持させた。
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりC
dS 微粒子を分散担持させた。
【0054】1)1.0mol%Cd(NO3 )2
と0.2wt%のアルキルトリメチルアミノ酢酸とを溶
解した水溶液に多孔質ガラスを室温で30分間浸漬、真
空乾燥後、空気中400℃の温度で1時間加熱してCd
およびその酸化物を担持する。
と0.2wt%のアルキルトリメチルアミノ酢酸とを溶
解した水溶液に多孔質ガラスを室温で30分間浸漬、真
空乾燥後、空気中400℃の温度で1時間加熱してCd
およびその酸化物を担持する。
【0055】2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中
150 ℃で10分間反応させ、CdS を担持した多
孔質ガラス(CdS/PVG) を作製する。得られた
CdS/PVG のCdS の粒径は3〜4nm 、C
dS の担持量は9wt%であった。このCdS/PV
G の吸収スペクトルから求めたバンドギャップはバル
クCdS のバンドギャップと比べ0.85eVブルー
シフトが見られCdS が量子ドットとなっていること
が示唆される。
150 ℃で10分間反応させ、CdS を担持した多
孔質ガラス(CdS/PVG) を作製する。得られた
CdS/PVG のCdS の粒径は3〜4nm 、C
dS の担持量は9wt%であった。このCdS/PV
G の吸収スペクトルから求めたバンドギャップはバル
クCdS のバンドギャップと比べ0.85eVブルー
シフトが見られCdS が量子ドットとなっていること
が示唆される。
【0056】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0057】(比較例)実施例3においてアルキルトリ
メチルアミノ酢酸を用いず30分間大気圧下室温で多孔
質ガラスにCdを担持したものは試料によっては十分内
部にまでCdが担持することができないものも見られ、
硫化水素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、
試料によってCdS の担持が不均一になり、ブル−シ
フト量も試料によって0.30〜0.8eV とばらつ
きが見られた。
メチルアミノ酢酸を用いず30分間大気圧下室温で多孔
質ガラスにCdを担持したものは試料によっては十分内
部にまでCdが担持することができないものも見られ、
硫化水素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、
試料によってCdS の担持が不均一になり、ブル−シ
フト量も試料によって0.30〜0.8eV とばらつ
きが見られた。
【0058】これは、界面活性剤が存在しないと、30
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、CdS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
【0059】実施例4
厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりZ
nS 微粒子を分散担持させた。
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりZ
nS 微粒子を分散担持させた。
【0060】1)1.0mol%Zn(CH3 COO
)2 と0.2wt%のアルキルトリメチルアミノ酢酸
とを溶解した水溶液に多孔質ガラスを室温で30分間浸
漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度で1時間加熱
してZnおよびその酸化物を担持する。
)2 と0.2wt%のアルキルトリメチルアミノ酢酸
とを溶解した水溶液に多孔質ガラスを室温で30分間浸
漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度で1時間加熱
してZnおよびその酸化物を担持する。
【0061】2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中
150 ℃で10分間反応させ、ZnS を担持した多
孔質ガラス(ZnS/PVG) を作製する。得られた
ZnS/PVG 中のZnS の粒径は3 〜4nm
、ZnS の担持量は9wt%であった。このZnS/
PVG の吸収スペクトルから求めたバンドギャップは
バルクZnS のバンドギャップと比べ0.85eVブ
ルーシフトが見られZnS が量子ドットとなっている
ことが示唆される。
150 ℃で10分間反応させ、ZnS を担持した多
孔質ガラス(ZnS/PVG) を作製する。得られた
ZnS/PVG 中のZnS の粒径は3 〜4nm
、ZnS の担持量は9wt%であった。このZnS/
PVG の吸収スペクトルから求めたバンドギャップは
バルクZnS のバンドギャップと比べ0.85eVブ
ルーシフトが見られZnS が量子ドットとなっている
ことが示唆される。
【0062】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとZnSe/PVGが合成できこの試
料においてもZnSeの量子サイズ効果が確認できた。
ン化水素を用いるとZnSe/PVGが合成できこの試
料においてもZnSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0063】(比較例)実施例4においてアルキルトリ
メチルアミノ酢酸を用いず30分間室温で多孔質ガラス
にZnを担持したものは、試料によっては十分内部にま
でZnが担持することができないものも見られ、硫化水
素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、試料に
よってZnS の担持が不均一になり、ブル−シフト量
も試料によって0.30〜0.8eVとばらつきが見ら
れた。
メチルアミノ酢酸を用いず30分間室温で多孔質ガラス
にZnを担持したものは、試料によっては十分内部にま
でZnが担持することができないものも見られ、硫化水
素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、試料に
よってZnS の担持が不均一になり、ブル−シフト量
も試料によって0.30〜0.8eVとばらつきが見ら
れた。
【0064】これは、界面活性剤が存在しないと、30
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、ZnS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、ZnS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
【0065】実施例5
厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりP
bS 微粒子を分散担持させた。1)1.0mol%P
b(NO3 )2 と0.2wt%のアルキルトリメチ
ルアミノ酢酸とを溶解した水溶液に多孔質ガラスを室温
で30分間浸漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度
で1時間加熱してPbおよびその酸化物を担持する。
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりP
bS 微粒子を分散担持させた。1)1.0mol%P
b(NO3 )2 と0.2wt%のアルキルトリメチ
ルアミノ酢酸とを溶解した水溶液に多孔質ガラスを室温
で30分間浸漬、真空乾燥後、空気中400 ℃の温度
で1時間加熱してPbおよびその酸化物を担持する。
【0066】2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中
150 ℃で10分間反応させ、ZnS を担持した多
孔質ガラス(PbS/PVG) を作製する。
150 ℃で10分間反応させ、ZnS を担持した多
孔質ガラス(PbS/PVG) を作製する。
【0067】得られたPbS/PVG 中のPbS の
粒径は3 〜4nm 、PbS の担持量は9wt%で
あった。このPbS/PVG の吸収スペクトルから求
めたバンドギャップはバルクPbS のバンドギャップ
と比べ0.8eV ブルーシフトが見られPbS が量
子ドットとなっていることが示唆される。
粒径は3 〜4nm 、PbS の担持量は9wt%で
あった。このPbS/PVG の吸収スペクトルから求
めたバンドギャップはバルクPbS のバンドギャップ
と比べ0.8eV ブルーシフトが見られPbS が量
子ドットとなっていることが示唆される。
【0068】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとPbSe/PVGが合成できこの試
料においてもPbSeの量子サイズ効果が確認できた。
ン化水素を用いるとPbSe/PVGが合成できこの試
料においてもPbSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0069】(比較例)実施例5においてアルキルトリ
メチルアミノ酢酸を用いず30分間室温で多孔質ガラス
にPbを担持したものは、試料によっては十分内部にま
でPbが担持することができないものも見られ、硫化水
素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、試料に
よってPbS の担持が不均一になり、ブル−シフト量
も試料によって0.30〜0.8eVとばらつきが見ら
れた。
メチルアミノ酢酸を用いず30分間室温で多孔質ガラス
にPbを担持したものは、試料によっては十分内部にま
でPbが担持することができないものも見られ、硫化水
素雰囲気中150 ℃で10分間反応させても、試料に
よってPbS の担持が不均一になり、ブル−シフト量
も試料によって0.30〜0.8eVとばらつきが見ら
れた。
【0070】これは、界面活性剤が存在しないと、30
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、PbS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
分間の浸漬時間では、多孔質ガラスの細孔内部まで十分
に溶液が浸透しないものもあり、PbS の担持が不均
一になる試料も含まれるためと推定され、より長時間の
浸漬時間が必要になる。
【0071】実施例6
実施例1に示した薄膜を用いて光双安定素子を作製した
。
。
【0072】この素子に波長380nm のレ−ザ光を
スポット径5μmで入射し、入射光の強度と出射光の強
度の関係を室温(25℃)にて測定したところ双安定特
性を示した。
スポット径5μmで入射し、入射光の強度と出射光の強
度の関係を室温(25℃)にて測定したところ双安定特
性を示した。
【0073】
【発明の効果】本発明の半導体微粒子分散ガラスの製造
方法によれば、多孔質ガラスの細孔内に前記混合溶液が
容易に浸透し、迅速に高濃度に、均一にそして強固に半
導体微粒子を分散担持させることが可能となる。また、
ガラス質となるゾルを用いた場合には半導体微粒子の周
囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体して
粒子が粗大化するのをより防止しやすい半導体微粒子分
散ガラスの製造方法が提供できる。
方法によれば、多孔質ガラスの細孔内に前記混合溶液が
容易に浸透し、迅速に高濃度に、均一にそして強固に半
導体微粒子を分散担持させることが可能となる。また、
ガラス質となるゾルを用いた場合には半導体微粒子の周
囲にゲルが介在するので、半導体微粒子同士が合体して
粒子が粗大化するのをより防止しやすい半導体微粒子分
散ガラスの製造方法が提供できる。
【0074】更に、多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れ
る程度に小さくコントロールする事がより容易になり、
優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分散ガラス
の製造方法が提供できる。
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れ
る程度に小さくコントロールする事がより容易になり、
優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分散ガラス
の製造方法が提供できる。
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体または反応して半導体を形成し
得る化合物と、ガラス質となるゾルと、界面活性剤との
混合溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの
細孔内に前記混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保
持したゾルをゲル化させ、熱処理することにより、前記
多孔質ガラスに前記半導体微粒子を分散担持させること
を特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方法。 - 【請求項2】 カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解さ
せたガラス質となるゾルと界面活性剤との混合溶液に多
孔質ガラスを浸漬し、前記多孔質ガラスの細孔内に前記
混合溶液を保持し、前記多孔質ガラスに保持したゾルを
ゲル化させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと
反応させることによりCdS、CdSe,ZnS、Zn
Se、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分散
担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガラスの
製造方法。 - 【請求項3】 カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解さ
せた溶液と界面活性剤との混合溶液に多孔質ガラスを浸
漬し、前記多孔質ガラスに前記金属および/またはその
酸化物を担持し、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガ
スと反応させることによりCdS、CdSe,ZnS、
ZnSe、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに
分散担持させることを特徴とする半導体微粒子分散ガラ
スの製造方法。 - 【請求項4】 多孔質ガラスの平均細孔径が10nm
以下である請求項1、2または3のいずれかに記載の半
導体微粒子分散ガラスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3063970A JPH04276724A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3063970A JPH04276724A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276724A true JPH04276724A (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=13244661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3063970A Pending JPH04276724A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04276724A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013525243A (ja) * | 2010-04-22 | 2013-06-20 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | 量子ドット・ガラス複合発光材料及びその製造方法 |
| WO2013099382A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社村田製作所 | 機能性材料の製造方法および電子部品 |
-
1991
- 1991-03-04 JP JP3063970A patent/JPH04276724A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013525243A (ja) * | 2010-04-22 | 2013-06-20 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | 量子ドット・ガラス複合発光材料及びその製造方法 |
| WO2013099382A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社村田製作所 | 機能性材料の製造方法および電子部品 |
| JPWO2013099382A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-04-30 | 株式会社村田製作所 | 機能性材料の製造方法および電子部品 |
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