JPH04278432A - 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置 - Google Patents

光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置

Info

Publication number
JPH04278432A
JPH04278432A JP3448891A JP3448891A JPH04278432A JP H04278432 A JPH04278432 A JP H04278432A JP 3448891 A JP3448891 A JP 3448891A JP 3448891 A JP3448891 A JP 3448891A JP H04278432 A JPH04278432 A JP H04278432A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical waveguide
coupling prism
light wave
coupling
prism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3448891A
Other languages
English (en)
Inventor
Zenmei Chin
陳 善 明
Shoho Ko
黄 勝 邦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Industrial Technology Research Institute ITRI
Original Assignee
Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Industrial Technology Research Institute ITRI filed Critical Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority to JP3448891A priority Critical patent/JPH04278432A/ja
Publication of JPH04278432A publication Critical patent/JPH04278432A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に光導波管の伝
送損失を測定する方法及び装置に係り、特に効果的に光
導波管の伝送損失を測定する方法及び装置に係る。
【0002】光波を伝送する光導波管は通常集積光回路
及び光通信装置で用いられ、光導波管の伝送損失は回路
及び通信装置の性能に直接に関連する。従って、光導波
管の伝送損失を効果的に測定するための技術を有するこ
とが望ましい。
【0003】
【従来の技術】縦形(指向性)ガイドイン/ガイドアウ
ト方法と呼ばれ、光導波管の伝送損失を測定する一つの
従来方法を説明する。これは、光波が導波管を通って伝
搬するよう導波管の良く仕上った端面から光導波管に入
射光波を結合し、次に逆端面から導波管を出る光波を結
合する。入射光波及び出射光波を測定することにより光
波の伝送損失を得ることができる。しかし、光導波管は
非常に薄く、その為光波を導波管の端面に結合すること
は容易ではない。更に、光導波管の端面のカッティング
、ポリッシング及びラッピングの処理は時間のかかる作
業である。光導波管の伝送損失がその全長で測定されう
るだけであり、導波管の異なる位置で伝送損失を測定す
ることは不可能である。
【0004】上記方法の欠点を克服する為に光導波管の
伝送損失を測定する別な方法が提案される。図1に記載
の如く入射光波は、導波管113に結合されるプリズム
115aにより導波管113に結合され、ある距離を伝
搬した後、光波は導波管113に結合された他のプリズ
ム115により導波管113から出る。
【0005】しかし、第2の方法の測定結果はプリズム
と導波管との間の結合係数に依存し、結合係数は、プリ
ズムにより導波管で生じた結合力の関数である。フィル
ムでの伝送損失の測定中、全ての結合力を一定値に保つ
ことは非常にむずかしい。従って、異なる長さの導波管
フィルムの伝送損失は正確には測定されなかった。
【0006】結合係数の悪い影響を緩和する為、ワィ、
エッチ、ウォン、ピー、シー、ジョーサンド及びジィー
、エッチ、チャーチによる、1980年8月1日付で出
願された「アプライド  フィジックス  レターズ3
7(3)」の「光導波管の3プリズム損測定」なる題の
論文で第3の方法は開示された。図2に示す如く、入射
光波はプリズム1により導波管13aに結合され、導波
管13aを伝搬する光波はプリズム2及びプリズム3に
より導波管13aから夫々出る。即ち、入射光波の一部
を導波管13aから出るよう案内する可動プリズム2は
プリズム1及びプリズム3間に配置される。P2及びP
3をプリズム2及びプリズム3から夫々出る光波の出力
パワーとし;r2及びr3を夫々プリズム2及び3が導
波管13aに結合される際の結合係数とし;I(Z)を
導波管に伝搬される光波の強度とし;αを導波管の減衰
係数とすると、下式が得られる。
【0007】   P2=r2*I(Z2)            
                         
        (1)  P3=r3*〔I(Z2)
−P2〕exp 〔−α(Z3−Z2)〕      
   (2)  r2=0の時、P3=P30となり、
r2≠0の時、  P3=P30−ΔP3となる。
【0008】上記の2つの式(1),(2) を用いて
、r2及びr3を除去でき、下式を得る。   I(Z)=(P2*P30)/ΔP3=(P2*P
30)/(P30−P3)             
                         
                         
      (3)プリズム2及びプリズム3から出る
光波の出力パワーP2,P3だけを用いて導波管に伝搬
する光波の強度を得ることは可能であり、従って、導波
管を伝搬する光波の強度は結合係数r2及びr3に依存
しない。導波管を囲む全ての状態が一定に保たれる場合
、異なる長さでの導波管の伝送損失は可動プリズム2を
単に動かし、それを対応する位置で導波管13aに結合
することにより測定されうる。しかし、3つのプリズム
は上記方法に用いられるべきである。プリズム2から出
る光波を案内するために2つのプリズム2,3を適当な
位置に離間させることが必要であり、従ってプリズム2
を動かすのに残された空間は制限される。更に、上記方
法は結合係数を一定に保つ詳細な機構を開示していない
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の目的は
、正確な測定が得られるよう、一定の結合係数で光導波
管の伝送損失を測定する方法を提供することである。
【0010】本発明の他の目的は、長さの最大範囲まで
光導波管の伝送損失を測定する方法を提供することであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的は、(1) 端
面を有し、光導波管を通って伝搬された光波を光導波管
から出るよう案内する光導波管を台に固定し;(2) 
該第1の結合プリズムを光導波管に結合するよう光導波
管に接触させるよう第1の結合プリズムを駆動し;(3
) 光波が該第1の結合プリズムにより光導波管に入る
よう案内し、光導波管の後端面から出る光波の光パワー
P30を検出し; (4) 該第2の結合プリズムを該第1の結合プリズム
からZ1の距離に光導波管と結合するよう光導波管に接
触させるよう一定の大きさの力で第2の結合プリズムを
駆動し、該第2の結合プリズムから出る光波の光パワー
P2を検出し、 (5) 第1の結合プリズムがZ1の距離で光導波管と
結合する際光導波管の後端面から出る光波の光パワーP
3を検出し、   (6) 式  I(Z1)=(P30*P2)/(
P30−P3)を用いてZ1の距離に光導波管を通過す
る光波の光強度I(Z1)を計算し、 (7) 光導波管から離間して動かすよう第2の結合プ
リズムを駆動し、第1の結合プリズムからZ2の距離で
光導波管と再び結合し、第2の結合プリズムから出る光
波の光パワーP2´を検出し; (8) 第1の結合プリズムがZ2の距離で光導波管と
結合する際光導波管の後端面から出る光波の光パワーP
3´を検出し、   (9) 式  I(Z2)=(P30*P2´)/
(P30−P3´)を用いてZ1の距離に光導波管を通
過する光波の光強度I(Z2)を計算し、   (10)  式  L=10*(LOG  I  
(Z1)/LOG  I  (Z2))を用いて伝送損
失Lを計算することからなる。光導波管の伝送損失を測
定する方法で達成される。
【0012】上記目的は、端面より光導波管を通って光
導波管から出るよう伝搬される光波を案内する端面を有
する光導波管をそれに固定する台と;第1の結合プリズ
ムクランプが固定され、台に固定された光導波管に対し
て変位されうるように、台上に取付けられた第1の結合
プリズムクランプと;光波を光導波管に入るよう案内す
る光導波管に結合するよう第1の結合プリズムクランプ
に固定された第1の結合プリズムと;第2の結合プリズ
ムクランプが固定され、台に固定された光導波管に対し
て変位されうるような方法で台上に取付けられた第2の
結合プリズムクランプと;第2の結合プリズムにより導
波管を通って光導波管から出るよう伝搬する光波の一部
を案内するよう光導波管に結合するよう第2の結合プリ
ズムクランプに固定された第2の結合プリズムと;第2
の結合プリズムを光導波管に結合し、光導波管と結合し
ないよう第2の結合プリズムを光導波管から離れて動か
すよう一定の力の大きさで台に固定された光導波管と接
触するよう第2の結合プリズムを駆動する手段と;該第
1の結合プリズムと第2の結合プリズム間の距離を調整
する手段と;第2の結合プリズムから出る光波の光パワ
ーを検出する第1のセンサと;光導波管の端面から出る
光波の光パワーを検出する第2のセンサとからなる、光
導波管の伝送損失を測定する装置で達成される。
【0013】
【実施例】本発明は、下記の説明及び添付図面を参照し
てより充分に理解されうる。
【0014】図3に示す如く、光波から出る光波は導波
管13の後端面で光波の出力パワーP30を測定するよ
う第1の結合プリズム11により導波管13に結合され
る。先ず、第2の結合プリズム15は導波管13に結合
されないことに注意すべきである。次に、第2の結合プ
リズム15は第2の結合プリズム15により導波管13
からの光波の一部を結合するよう導波管13に結合する
よう駆動される。この後、第2の結合プリズム15から
出る光波のパワーP2及び導波管13の後端面から出る
光波のパワーP3が測定される。P2及びP3を式(3
)に代入すると、下記が得られる。
【0015】 I(Z)=(P30*P2)/(P30−P3)ここで
、I(Z)は導波管13でのビームの強度であり、Zは
導波管13に結合する第1の結合プリズム11と第2の
結合プリズム15との間の距離である。
【0016】各測定で結合係数を一定に保つため、結合
力は各結合動作で一定に保たれるべきである。このため
に、マイクロメータ122,162は、測定動作中結合
力を一定にするよう導波管13上の結合プリズム11,
15を動かすのに用いられる。
【0017】図4に示す如く、導波管での伝送損失を測
定する装置は、台8と、台8上に固定された第1の結合
プリズムクランプ12と、台8上に固定された第2の結
合プリズムクランプ16と、横マイクロメータ21とか
らなる。動作中、He−Neレーザ又はIR半導体レー
ザである光波源4からなる入射ビームは、光波を2つの
素子ビームに分割するビームスプリッタ5を通る。一つ
は、基準光波パワーPrを検波するセンサ6に直接案内
され、他は偏向され、集束レンズ7を通過し、次に台8
上に取付けられた第1の結合プリズムクランプ12によ
り導波管13に結合される第1の結合プリズム11に入
る。
【0018】台8は並進段9と回転段10とからなるプ
ラットホーム上に取付けられる。回転段10の角位置を
調整し、並進段9のX−,Y−,Z−軸をその正確な位
置に変位させた後、プリズム11と導波管13との間で
誘起された結合圧は、入射光波が導波管13に結合され
うるよう第1の結合プリズムクランプ12により調整さ
れうる。導波管13を通って伝搬した後、入射光波は導
波管13の後端面から出て、導波管13の後端面から出
る光波のパワーP30は導波管13の後端面近くに配置
されたセンサ14により検出される。この後、第2の結
合プリズム15を導波管13を結合するよう導き、その
間に誘起された結合圧を調整し、これにより導波管13
を通って伝搬する光波の一部は、第2の結合プリズム1
5から入来する光波のパワーP2を検出するセンサ18
に届くよう第2の結合プリズム15及び集束レンズ17
を貫通するよう案内されうる。しかし、光波の一部はセ
ンサ14に届くよう導波管13を通って更に伝搬し、導
波管13の後端面からの入来光波のパワーはP30から
P3に減少される。全てのセンサ6,14及び18は、
センサ6,14及び18により検出されたデータを計算
し、記録するコンピュータ20に結合されたパワー計1
9に結合される。台8上に取付けられたマイクロメータ
21は、第1の結合プリズム11と第2の結合プリズム
15との間の距離を変えるよう第2の結合プリズムクラ
ンプ16を変位させるのに用いられる。第1の結合プリ
ズム11と第2の結合プリズム15との間の距離を単に
変えることにより上記動作を繰り返した場合、下式を用
いることにより同じ導波管13の異なる光路長を伝搬し
た後光パワーの損失(L)を得る。
【0019】 L=10*(LOG(I1)/LOG(I2))ここで
、I1,I2は夫々第1の結合プリズム11からの距離
Z1,Z2での光強度である。
【0020】図5に示す如く、台8は回転段10に係合
される並進段9上に取付けられ;並進段9と回転段10
はニューポートコーポレーション(米国カンパニー)に
より販売されており、ここではそれらの詳細な構造に関
しては説明はしない。並進段9と回転段10を調整する
ことにより、台8の姿勢は光波の入射角に整合するよう
調整されうる。
【0021】図6乃至図8は、夫々本発明による導波管
13での伝送損失を測定する装置の正面図、平面図及び
背面図を示す。詳細に構造を説明するため、伝送損失を
測定する装置は図9乃至図14に夫々示される幾つかの
主要部分に分割される。図7に示す如く、第1の結合プ
リズムクランプ12及び第2の結合プリズムクランプ1
6は夫々フレーム121,161と、マイクロメータ1
22,162とプリズム保持器123,163とからな
る。台8(図8参照)上に形成された一対の案内レール
81はフレーム121,161の摺動動作を案内するフ
レーム121,161の溝122a,162aと係合さ
れる。2つのフレーム121,161を台8に一時的に
固定する2つの止めねじ124,164が設けられる。 プリズム保持器123,163の下部に夫々形成された
2つの凹部125,165は2つのプリズム11,15
を収容するよう設けられ、2つのねじ126,166は
2つのプリズム11,15をプリズム保持器123,1
63に固定するよう設けられる。2つのプリズム保持器
123,163は、2つのフレーム121,161内に
収容されたばね121a,161aを付勢することによ
りマイクロメータ122,162により上向き又は下向
きに動くよう駆動される。従って、2つのプリズム11
,15は導波管13に結合するよう駆動されうる。
【0022】図10(A)及び(B)に示す如く、マイ
クロメータ21は止めねじ212及び案内レール81上
に設けられたブロック211により台8の案内レール8
1の一つに固定される。ばね213は、ブロック211
及び第2の結合プリズムクランプ16を互いに離れるよ
う動かすべく付勢するようブロック211と第2の結合
プリズムクランプ16との間に保持される。従って、第
1の結合プリズムクランプ12と第2の結合プリズムク
ランプ16との間の距離はマイクロメータ21を調整す
ることにより調整されうる。
【0023】図11は図4に示されたセンサ18を固定
する固定フレーム181を示す斜視図である。図11に
示す如く、固定フレーム181は2つの止めねじ182
により第2の結合プリズム保持器163に固定され、セ
ンサ18は2つの止めねじ183により固定フレーム1
81に固定される。図12は図3に示された集束レンズ
17を固定する固定フレーム171を示す斜視図である
。図12に示す如く、固定フレーム181の下に配置さ
れた固定フレーム171は固定フレーム181と同様の
構造を有するので、固定フレーム171の構造の説明を
ここでは省く。この配置によりプリズム15からの入来
光波は容易にセンサ18に案内されうる。
【0024】図13は図4に示されたセンサ14を固定
する固定フレーム141を示す斜視図である。センサ1
4はねじ145により固定フレーム141のリング14
4の中央開口に固定され、固定フレーム141は止めね
じ142により台8の案内レール81に固定される。
【0025】図14はセンサ14を固定する別な固定フ
レーム141aを示す斜視図である。図14に示す如く
マイクロメータ143は、センサ14の高さが測定さる
べき異なる厚さのフィルムに整合するよう調整されうる
よう、固定フレーム141aの上、下動作を駆動する固
定フレーム141上に設けられる。
【0026】上記の如くマイクロメータ122,162
は、測定動作中結合力を一定に保つよう導波管13に結
合プリズム11,15を付勢するよう用いられ、これに
より正確な測定が得られる。
【0027】又、3つのプリズムを用いる代わりに、2
つのプリズムは光導波管での伝送損失を測定するのに用
いられ、これにより伝送損失の測定はその最大範囲まで
なされうる。
【0028】本発明を最も実際的で、望ましい実施例で
あると最近に考えられる用語で説明したが、本発明が上
記実施例に限定される必要がないことが理解さるべきで
ある。逆に請求項の精神及び範囲内に含まれる種々の変
更及び同様な配置を含むものであり、その範囲は全ての
かかる変更及び同様な構造を含むよう最も広い解釈が許
されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】光導波管の伝送損失を測定する従来の方法を示
す概略図である。
【図2】光導波管の伝送損失を測定する別な従来の方法
を示す概略図である。
【図3】本発明による光導波管の伝送損失を測定する方
法を示す概略図である。
【図4】本発明による光導波管の伝送損失を測定する装
置の構造を示す概略図である。
【図5】本発明による並進段及び回転段に係合される光
導波管の伝送損失を測定する装置を示す概略図である。
【図6】本発明による光導波管の伝送損失を測定する装
置の正面図である。
【図7】図6の装置の平面図である。
【図8】図6の装置の背面図である。
【図9】本発明による光導波管の伝送損失を測定する装
置の主要部分の構造を示す斜視図である。
【図10】(A),(B)は夫々マイクロメータの平面
図及び正面図である。
【図11】図4のセンサ18を固定する固定フレームの
斜視図である。
【図12】図3の集束レンズを固定する固定フレームの
斜視図である。
【図13】図4のセンサ14を固定する固定フレームの
斜視図である。
【図14】図4のセンサ14を固定する固定フレームの
他の例の斜視図である。
【符号の説明】
1,2,3,115,115´  プリズム4  光波
源 5  ビームスプリッタ 6,14,18  センサ 7,17  集束レンズ 8  台 9  並進段 10  回転段 11,15  結合プリズム 12,16  結合プリズムクランプ 13,13a,113  導波管 19  パワー計 20  コンピュータ 21,122,143,162  マイクロメータ81
  案内レール 121,141,161,171,181  フレーム
121a,161a,213  ばね 122a,162a  溝 123,163  プリズム保持器 124,126,145,164,166  ねじ12
5,165  凹部 142,172,173,182,183,212  
止めねじ 144  リング 211  ブロック

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  端面より光導波管を通って光導波管か
    ら出るよう伝搬される光波を案内する端面を有する光導
    波管をそれに固定する台と;該第1の結合プリズムクラ
    ンプが固定され、該台に固定された光導波管に対して変
    位されうるような方法で、該台上に取付けられた第1の
    結合プリズムクランプと;該第1の結合プリズムクラン
    プに固定され光波を光導波管に入るよう案内する光導波
    管に結合する第1の結合プリズムと;該第2の結合プリ
    ズムクランプが固定され、該台に固定された光導波管に
    対して変位されうるような方法で該台上に取付けられた
    第2の結合プリズムクランプと;該第2の結合プリズム
    クランプに固定され該第2の結合プリズムにより導波管
    を通って光導波管から出るよう伝搬する光波の一部を案
    内するよう光導波管に結合する第2の結合プリズムと;
    該第2の結合プリズムを光導波管に結合するようよう一
    定の力の大きさで該台に固定された光導波管と接触し、
    光導波管と結合しないよう該第2の結合プリズムを光導
    波管から離れて動かすべく該第2の結合プリズムを駆動
    する手段と;該第1の結合プリズムと該第2の結合プリ
    ズム間の距離を調整する手段と;該第2の結合プリズム
    から出る光波の光パワーを検出する第1のセンサと;光
    導波管の端面から出る光波の光パワーを検出する第2の
    センサとからなる、光導波管の伝送損失を測定する装置
  2. 【請求項2】  該調整手段は、該台上に形成された一
    対の案内レールと;該第1の結合プリズムクランプに形
    成され、該台に対して変位するべく該第1の結合プリズ
    ムクランプを案内するよう該一対の案内レールと整合す
    る第1の案内手段と;該第2の結合プリズムクランプに
    形成され、該台に対して変位するべく該第2の結合プリ
    ズムクランプを案内するよう該一対の案内レールと整合
    する第2の案内手段とからなる請求項1の光導波管の伝
    送損失を測定する装置。
  3. 【請求項3】  該台に固定され、該台に対して変位す
    るべく、該第1の結合プリズムクランプを駆動し、その
    変位した距離を計算する第1の駆動手段と;該台に固定
    され、該台に対して変位するべく該第2の結合プリズム
    クランプを駆動し、その変位した距離を計算する第2の
    駆動手段とを更に有する光導波管の伝送損失を測定する
    装置。
  4. 【請求項4】  該第1の結合プリズムを光導波管に結
    合し、光導波管と結合しないよう第1の結合プリズムを
    光導波管から離れて動かすよう一定の大きさの力で該台
    に固定された光導波管と接触するよう該第2の結合プリ
    ズムを駆動する第3の手段を更に有する請求項3の光導
    波管の伝送損失を測定する装置。
  5. 【請求項5】  該第1のセンサと該第2の結合プリズ
    ム間に配置され、該第2の結合プリズムから出る光波を
    集束する第1の集束レンズを更に有する請求項4の光導
    波管の伝送損失を測定する装置。
  6. 【請求項6】  該付勢手段はマイクロメータである請
    求項1の光導波管の伝送損失を測定する装置。
  7. 【請求項7】  該第3の駆動手段はマイクロメータで
    ある請求項4の光導波管の伝送損失を測定する装置。
  8. 【請求項8】  (1) 端面を有し、光導波管を通っ
    て伝搬された光波を光導波管から出るよう案内する光導
    波管を台に固定し; (2) 該第1の結合プリズムを光導波管に結合するよ
    う光導波管に接触させるよう第1の結合プリズムを駆動
    し;(3) 光波が該第1の結合プリズムにより光導波
    管に入るよう案内し、光導波管の端面から出る光波の光
    パワーP30を検出し; (4) 該第2の結合プリズムを該第1の結合プリズム
    からZ1の距離に光導波管と結合するよう光導波管に接
    触させるよう第2の結合プリズムを駆動し、該第2の結
    合プリズムから出る光波の光パワーP2を検出し、(5
    ) 該第1の結合プリズムが光導波管と結合する際光導
    波管の端面から出る光波の光パワーP3を検出し、  
    (6) 式  I(Z1)=(P30*P2)/(P3
    0−P3)を用いてZ1の距離に光導波管を通過する光
    波の光強度I(Z1)を計算することからなる光導波管
    の所定の長さを通って伝搬する光波の強度を測定する方
    法。
  9. 【請求項9】  (1) 端面を有し、光導波管を通っ
    て伝搬された光波を光導波管から端面より出るよう案内
    する光導波管を台に固定し; (2) 該第1の結合プリズムを光導波管に結合するよ
    う光導波管に接触する第1の結合プリズムを駆動し;(
    3) 光波が該第1の結合プリズムにより光導波管に入
    るよう案内し、光導波管の後端面から出る光波の光パワ
    ーP30を検出し; (4) 該第2の結合プリズムを該第1の結合プリズム
    からZ1の距離に光導波管と結合するよう光導波管に接
    触させるよう一定の大きさの力で第2の結合プリズムを
    駆動し、該第2の結合プリズムから出る光波の光パワー
    P2を検出し、 (5) 該第1の結合プリズムがZ1の距離で光導波管
    と結合する際光導波管の後端面から出る光波の光パワー
    P3を検出し、   (6) 式  I(Z1)=(P30*P2)/(
    P30−P3)を用いてZ1の距離に光導波管を通過す
    る光波の光強度I(Z1)を計算し、 (7) 光導波管から離れて動かすよう該第2の結合プ
    リズムを駆動し、該第1の結合プリズムからZ2の距離
    で光導波管と再び結合し、該第2の結合プリズムから出
    る光波の光パワーP2´を検出し、 (8) 該第1の結合プリズムがZ2の距離で光導波管
    と結合する際光導波管の後端面から出る光波の光パワー
    P3´を検出し、   (9) 式  I(Z2)=(P30*P2´)/
    (P30−P3´)を用いてZ1の距離で光導波管を通
    過する光波の光強度I(Z2)を計算し、   (10)  式  L=10*(LOG  I  
    (Z1)/LOG  I  (Z2))を用いて伝送損
    失Lを計算することからなる、光導波管の伝送損失を測
    定する方法。
JP3448891A 1991-02-28 1991-02-28 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置 Pending JPH04278432A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3448891A JPH04278432A (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3448891A JPH04278432A (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04278432A true JPH04278432A (ja) 1992-10-05

Family

ID=12415627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3448891A Pending JPH04278432A (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04278432A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100459998B1 (ko) * 2002-12-05 2004-12-04 전자부품연구원 광 도파로의 손실 및 모드패턴 측정시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01219534A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Fujitsu Ltd 光導波路損失測定方法及び装置
JPH02141640A (ja) * 1988-11-24 1990-05-31 Sony Corp 光導波路の測定装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01219534A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Fujitsu Ltd 光導波路損失測定方法及び装置
JPH02141640A (ja) * 1988-11-24 1990-05-31 Sony Corp 光導波路の測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100459998B1 (ko) * 2002-12-05 2004-12-04 전자부품연구원 광 도파로의 손실 및 모드패턴 측정시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101141014B1 (ko) 웨이퍼-레벨 광-전자 테스트 장치 및 방법
US6330063B1 (en) Low coherence interferometer apparatus
ATE108272T1 (de) Interferometer.
SG50599A1 (en) Optical gap measuring apparatus and method
Peters et al. Integrated optics based on silicon oxynitride thin films deposited on silicon substrates for sensor applications
CN111551114A (zh) 一种直线导轨六自由度几何误差测量装置及方法
KR101733298B1 (ko) 대형 유리기판의 물리적 두께 프로파일 및 굴절률 분포 측정을 위한 광간섭계 시스템
JPH04278432A (ja) 光導波管の伝送損失を測定する方法及び装置
JP2607687Y2 (ja) 偏光保存溶融カプラの製作装置
US7388675B2 (en) Interferometers for the measurement of large diameter thin wafers
US5133597A (en) Method and device for measuring the transmission loss and optical waveguide
US7551267B2 (en) Systems and methods for measuring ultra-short light pulses
TW392062B (en) A method and an aparatus for measuring the flying height with sub-nanometer resolution
US7502121B1 (en) Temperature insensitive low coherence based optical metrology for nondestructive characterization of physical characteristics of materials
JP4637454B2 (ja) 偏光消光比等測定装置ならびにその測定装置に用い得る偏光消光比等の測定方法
JPH04351905A (ja) レーザ測長装置を備えたxyステージ
EP0823638A2 (en) Optical current measurement
KR102124764B1 (ko) 일체형 분광편광 측정장치 및 이를 포함하는 분광편광 측정 시스템
JPH11344313A (ja) 媒質の測定装置および測定方法
JP2685591B2 (ja) 磁気ヘツドスライダの浮上量測定装置
US6347005B1 (en) Electro-optic sampling probe
McIntier et al. Prism coupler mount for thin‐film optical measurements
US11885609B2 (en) Wafer thickness, topography, and layer thickness metrology system
CN1016274B (zh) 无接触高分辨率扫描式激光轮廓仪
KR200281273Y1 (ko) 광섬유의 잔여응력 측정장치