JPH02141640A - 光導波路の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光導波路の特性評価を高精度に行える光導波
路の測定装置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、光導波路の測定装置において、試料台と、第
１及び第２のプリズムを有すると共に、試料台と第１及
び第２のプリズムとの間に配した試料を夫々対接させる
ためのプリズム押圧手段を有することによって、光導波
路の特性評価を簡便かつ迅速に行えるようにしたもので
ある。

〔従来の技術〕

近年、光導波路を利用した機能デバイスの研究開発が盛
んになっている。従来よりこれら光導波路の特性評価を
高精度に行え且つ使い易い装置の必要性は高かったが、
安定確実な装置は未だ無かった。まして、市販の装置は
皆無であった。

導波路の特性評価には、屈折率ｎ１膜厚り及び光吸収α
等が測定、算出される。

測定は、レーザビームと導波路の結合プリズムを用いた
プリズム結合（プリズムカップラー）法によっている。

プリズム結合法は、第２５図の原理図に示すように、ｘ
ｙｚ微動一回転ステージ（１）上の測定すべき導波路試
料（２）にギャップ（空隙）を介してプリズム即ちカッ
プルインプリズム（３）及びカップルアウトプリズム（
４）を接する方法である。

光ビーム（人力ビーム）（５）はカップルインプリズム
（３）の底面の直角コーナ近くに特定角度θで入射し、
特定の導波モードと光結合が生じて試料（２）に光ビー
ムが導入されるもので、入射角θを調整して任意の導波
モードを励起できる。（８）は偏光子、（９）は集束レ
ンズ、（１０）は試料台である。

導波光が得られたことを確認するためにはカップルアウ
トプリズム（４）から外に取り出した出力ビーム（６）
を受光素子又はスクリーン（７）に投影して検出し確認
する。プリズム（３）及び（４）には例えばルチルプリ
ズム等を使う。プリズム（３）　（４）と試料（２）間
のギャップは波長の１／２以下にしなければ良好な結合
が得られないが、良く調整されたものでは高い結合効率
を得る。プリズム結合法は簡便でかなり良好な結合効率
で選択的にモードを励起できる利点があり導波特性の測
定によく適している。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上述の試料（２）とプリズム（３）　（４）
との間のギャップを微妙に調整し、またこれを安定確実
に固定することは困難で実際には簡便とは言い難く、原
理的な実験だけではなく、定期的、継続かつ頻度の多い
所謂生産性の高い評価装置としては成り難かった。

一方、従来の実験においては、プリズムと試料との互い
の接触を向上させるため定盤上等に互いに強固に押え付
は固定したので、測定用レーザビームのカップルインプ
リズムへの入射角度の可変は、定盤をそのまま回転可能
（第２５図参照）とするか或はレーザ光学系を角度可変
とする等、簡略であった。このため、高精度で繰返し再
現性等の高い回転機構が望まれていた。

また、同時にレーザビームのカップルインプリズムへの
入射角度θの確認は角度目盛等、所謂分度器であった。

したがって読み取り誤差や間違い、また個人差が生じた
り読み取り精度（例えば０，００１゜クラス）不足等は
望むべくもなく、従ってその角度設定の不確かさや、不
具合とともに正確な再現性も無理であった。

レーザビームとカップルインプリズムとの光軸の入射位
置出しくテーブル面に平行なレーザビームとカップルイ
ンプリズムの入射スポットの高さ（又はレベル）位置合
わせのこと）において、初期位置出し設定や、プリズム
サイズの変更、レーザ出射装置系の変更等に対し、スペ
ーサ等によって互いの位置出しくレベル）を合わせるの
は容易ではなかった。それとともに、レーザビームのプ
リズム最適位置の微少調整がむずかしいので、スムーズ
かつレベル測長の出来る最適な位置出しが必要であった
。

カップルインプリズムの入射角度の可変に際し、カップ
リングを常にカップルインプリズムの底面の直角コーナ
部に保つためのカップルインプリズム内の回転中心位置
出しは、単純な移動台ではプリズム形状寸法の変化や測
定試料サイズに対する対応も遅く、不確かで再現性に乏
しいので、高精度な機構で精密な移動測長器付のものが
望まれていた。

従来、プリズムと試料は例えばねじ等で背面から押し付
けて互いの接触を向上させるようになしていたが、プリ
ズム及び試料を保持せずに、単にやみくもに押し付ける
だけでは、プリズムの浮き上がり、漢ずれ、倒れが生じ
、かえって密着性が悪くなり、また、ねじで押し付ける
ほどツイストする等カップリングに大いに支障を来すも
のであった。さらに、測定の信頼性と再現性は低く、あ
らたな確実なプリズムの保持が望まれていた。

プリズム結合法では、試料とプリズムとの間のギャップ
を調整して良好な結合効率を得ねばならないが、従来は
、上述のごとぐプリズムの保持を考慮せずにプリズムと
試料の接触にはただ単にねじで加圧、押し付けていたの
で、最適な接触具合となるように微調整することが難し
く、ギャップ寸法管理も出来なかった。したがって、カ
ップリングを生じさせることだけでも難しく、当然評価
測定の再現性は低かった。また同様に押し付けにスプリ
ング圧を用いたものも接触具合が判らず、良好な結果は
得られなかった。加圧が単にねじ等では、加圧の方向が
プリズムと試料の接触面に垂直になるとは限らず、この
ことがプリズムの浮き上がりや、倒れの原因と考えられ
る。このように従来では接触面に垂直な方向に加圧でき
る機構、手段が無かったとともに、信頼性、再現性の高
いギャップ調整と測長手段がなかった。従って、前述の
不確実なプリズム等の保持と、押し付けと、接触ギャッ
プの微調整の不具合等によって評価測定の成功は手作業
の熟練度とノウハウの蓄積によるもので、作業性、生産
性は著しく悪かった。

本発明は、上述の点に鑑み、光導波路の特性評価を高精
度に且つ簡便、迅速に行えるようにした光導波路の測定
装置を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の光導波路の測定装置は、試料保持台（３１）と
第１及び第２のプリズム（１５）及び（１６）とを有し
、試料保持台（３１）と第１及び第２のプリズム（１５
）及び（１６）との間に配した測定されるべき光導波路
の試料（２６）に夫々プリズム（１５）及び（１６）を
対接させるためのプリズム押圧手段（３２）を有して成
る。

これら、試料保持台（３１）、第１及び第２のプリズー
（１５）　（１６）、プリズム押圧手段（３２）はテー
ブルク４５）上に配され、このテーブル（４５）下に入
射ビーム角度を設定するための回転装置（１７）、回転
中心位置出し調整装置（１８）及びレーザビーム高さに
プリズム（１５）　（１６）位置を合わせるためのレベ
ル調整台（３３）等が設けられる。

そして、両プリズム（１５）及び（１６）間の間隔を可
変とするためにプリズム移動手段（８７）を設けること
が望ましい。又、このプリズム移動手段（８７）による
プリズム移動に追従して試料（２６）を裏面からプリズ
ム（１５）及び（１６）に圧接するための抑圧手段（Ｉ
ＯＩＡ）　（１０１Ｂ）を設けることができる。この場
合、試料保持台（３１）に押圧手段（ＩＯＩＡ）　（Ｉ
ＯＩＢ）が挿通するスリット＜１１５）　　を設ける。

又、第１０図に示すように各々のプリズム（１５）（１
６）とプリズム押圧手段（３２）の背（１１６）　　が
面一となるように形成することもできる。

また、プリズム押圧手段（３２）とプリズム（１５）（
１６）との間にフレキシブル部材（８１）又は（８３）
を介装することができる。

またプリズム押圧手段（３２）のプリズム（１５）　（
１６）の背面に接する球状部（１２１）　を設けること
もできる。

〔作用〕

試料保持台（３１）に試料（２６）が保持され、プリズ
ム（１５）及び（１６）がプリズム押圧手段（３２）を
介して試料（２６）の面に対接する。このとき、プリズ
ム抑圧手段（３２）により試料面とプリズムとの間のギ
ャップ調整がなされ、また常にプリズム（１５）　（１
６）が試料面に垂直に加圧押し付けられることによって
、良好な光結合効率が再現性よく得られる。

またプリズム移動手段（８７）が設けられることによっ
て両プリズム（１５）及び（１６）間の間隔を任意に変
えられるので、光吸収の測定を可能にする。

また、プリズム押圧手段（３２）と共働して試料（２６
）の背面からも押圧手段（ＩＯＩＡ）及び（１０１Ｂ）
を介して押圧することにより、プリズムを押し付けただ
けでは良好な接触が得られないような例えば試料面の小
さなうねりに対しても良好な接触状態が得られ、確実は
光結合が可能となり、更に光結合効率も高まる。

また各々のプリズム（１５）　（１６）とプリズム押圧
手段〈３２）の背（１１６）　　が面一となるように形
成することにより、プリズム（１５）及び（１６）間の
間隔を０から所定間隔距離まで可変させることができる
。

さらに、プリズム押圧手段（３２）とプリズム（１５）
（１６）との間にフレキシブル部材（８１）又は（８３
）を介装することにより、試料（２６）の厚さ方向の両
面が非平行のとき、試料保持台（３１）に対してプリズ
ム押圧手段（３２）或はプリズム（１５）　（１６）の
試料への接触面が非平行のときにも、試料（２６）にプ
リズム（１５）　（１６）が良くなじみ、接触状態が良
好となって光結合効率が向上する。

またプリズム押圧手段（３２）に球状部（１２１）　　
を設けて、この球状部（１２１）　　でプリズム（１５
）　（１６）の背面のほぼ中心を押圧することにより、
更に安定、確実、最適な光結合が可能となる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明による光導波路の測定装置
の実施例を説明する。

第１図は、本実施例の光導波路の測定装置の概略的構成
を示すもので、測定装置本体（１１）、レーザビーム出
射装置（１２）、光学系（１３）及び光検出器（１４）
を備え、全体が水平定盤上に配置されて成る。

測定装置本体（１１）は第２図以下で詳述するが、カッ
プルインプリズム（１５）及びカップルアウトプリズム
（１６）　、カップルインプリズム（１５）への入射ビ
ーム角度を設定するための回転装置（１７）、回転中心
位置出し調整装置（１８）等を備えて成る。カップルイ
ンプリズム（１５）及びカップルアウトプリズム（１６
）としては例えばルチルプリズムを用いる。

レーザビーム出射装置（１２）は、測定に必要な複数の
レーザ照射手段、例えば波長１．５２μｍのＨｅＮｅ　
レーザ（１２Ａ）　、波長１．１５２　μｍのＨｅ−Ｎ
ｅレーザ（１２Ｂ）　及び可視光の波長０．６３２８　
μｍの）ｔｅ−Ｎｅ　レーザ（１２Ｃ）　　が設けられ
る。

光学系（１３）としては、レーザパワーが５ｍＷ以下と
小さいので、損失の少ないようにＡｕ　ミラー（１９）
及び波長分離ミラー（２０＞　（２１）を用いる。第１
の波長分離ミラー（２０）は波長１．５２μｍのレーザ
光の透過率が９８．５％、波長１．１５２μｍのレーザ
光の反射率が９９％であるダイクロイックミラーで構成
され、第２の波長分離ミラー（２１）は波長１．１５２
μｍ及び波長１．５２μｍのレーザ光の透過率が９８％
、波長０．６３２８μｍのレーザ光の反射率が９９％で
あるダイクロイックミラーで構成される。各レーザ照射
手段（１２Ａ）　（１２Ｂ＞　（１２Ｃ）　　からのレ
ーザビーム（２２Ａ）（２２Ｂ）　（２２Ｃ）は、夫々
対応するＡｕ　　ミラー（１９）、波長分離ミラー（２
０）　（２１＞を介し、グラントソンプリズム（２３）
、ピンホール（２４）を通って平凸レンズ（２５）で収
束させて測定装置本体（１１）のカップルインプリズム
を通して測定すべき光導波路の試料（２６）に入射され
る。ここで平凸レンズ（２５）としては１ｍｍ〜２ｍｍ
径になったレーザビームを試Ｉｔ（２６）に数１００μ
ｍのスポット径で入射させるためにｆ＝　２５０ｍｍ０
平凸レンズが用いられる。そしてカップルアウトプリズ
ム（１６）より取り出された出力光ビームは光検出器（
１４）、例えばＣＣＤラインセンサで検出するようにな
される。なお１．５２μｍの光の場合は光検出器として
ゲルマニウム・フォトダイオードが用いられる。

第２図乃至第４図は測定装置本体（１１）の−例を示す
。本例においては、測定すべき光導波路の試料（２６）
を支持する試料保持台（３１）、試料（２６）に対接す
る１対のプリズム即ちカップルインプリズム（１５）及
びカップルアウトプリズム（１６）　、プリズム（１５
）　（１６）及び試料（２６）間のギャップを調整する
ギャップ調整装置（３２）　〔（３２Ａ）（３２Ｂ））
　、レベル調整台（３３）、水平面内を回転する回転袋
ｆｆ１（１７）、回転中心位置出し調整装置（１８）等
を備えて成る。

即ち、水平定盤（３４）上に装置本体上部を支えるレベ
ル調整台り３３）が設けられる。このレベル調整台（３
３）は、定盤（３４）の他部に固定されたレーザビーム
出射装置（１２）及び光学系（１３）によって決まるレ
ーザビーム高さに対応して、該レーザビーム（２２Ａ）
　〜（２２Ｃ）　がカップインプリズム（１５）の最適
な位置に容易に入射するようにカップインプリズム（１
５）を昇降微調できる機能を有するもので、水平定盤（
３４）に固定されたガイド付きの支柱（３５）と、支柱
（３５）にガイドされて昇降可能に配したスライダー（
３６）と、スライダー（３６）を昇降させるためのマイ
クロメータヘッド（３７）を有して構成される。

支柱（３５）とスライダー（３６）間のガイド機構は例
えばあり溝又はＶ溝にコロやボールを入れた種々の所謂
リニアガイド等で構成される。このリニアガイドによっ
てガタが少なく高精度で滑らかなスライダー（３６）の
昇降が可能となされ、またマイクロメータヘッド（３７
）の目盛によって昇降調整の高さを確認しながら、マイ
クロメータヘッド（３７）によってスライダー従ってプ
リズム（１５）　（１６）の微少調整が出来るようにな
される。

かかるレベル調整台（３３）のスライダー（３６）の上
部にレーザビームの入射角度を設定するための回転装置
（１７）が設けられる。この回転装置（１７）は軸受部
側筒（３８）に回転基板（３９）の軸（図示せず）をダ
ブルのアンギュラコンタクトボールベアリングで支持し
て構成することによって、ガタの少ない高精度な回転を
可能としている。回転基板（３９）の外周部には目盛（
４０）が付されカップルインプリズム（１５）へのレー
ザビーム入射角度設定あるいは入射角度読み取りのおお
よその目安としているが、更に正確かつ簡便のために、
回転装置（１７）内にロータリーエンコーダ（例えば光
学式）を組み込み、外部にデジタル表示装置を接続して
角度の読み取り間違いや、誤差等を排除し、高精度（０
，００１６クラス）の読み取り、設定が再現性よくでき
るように構成するを可とする。

ところで、カップルインプリズム（１５）の入射ビーム
位置については、第５図へに示すように入射レーザビー
ム（２２）が常にブ、リズム（１５）の底面直角コーナ
Ｃ近傍に来ることがカップリング効率を良くするために
重要である。したがって、入射ビームの任意の角度設定
を得るためにカップルインプリズム（１５）を試料（２
６）と接したまま回転したときも入射ビームが常にプリ
ズム（１５）の底面直角コーナＣ近傍に来るための回転
中心は、次のようになる。

プリズム（１５）に任意の角度α２で入射し、屈折する
レーザビームのコーナＣの入る角度α１　は、プリズム
（１５）の屈折率をｎ２　とすれば、ｎ、ｓｉｎ　α、
＝ｎ２ｓｉ口α２であり、夫々任意の角度α、による数
１００μｍのスポット径のレーザって、ルチルプリズム
では波長λ＝１．１５２μｍの時、屈折率ｎ　２＝２．
７３２１であり、また５ｍｍｍｍリプリズム用している
ので、第５図Ｂに示すように＝１．２９の円の中心を回
転中心０とする。この値はプリズム（１５）の寸法、材
質及び光の波長によって変わる屈折率によって変化する
。従って、本例では諸条件により決定されたカップルイ
ンプリズムの最適ポイントを精密かつ容易に回転中心を
合わせ込むために、回転装置（１７）上に回転中心位置
出し調整装置（１８）が設けられる。

回転中点位置出し調整装置（１８）は、Ｙ方向（プリズ
ム（１５）　（１６）と試料（２６）間のギャップ方向
）に移動可能なＹ移動台（４１）と、この上に配され、
Ｙ方向と直交するＸ方向（試料（２６）の長平方向）に
移動可能なＸ移動台（４２）とを有し、マイクロメータ
ヘッド（４３）及び（４４）により夫々のＹ移動台（４
１）及びＸ移動台（４２）の駆動及び測長がなされるよ
うに構成される。

Ｙ移動台（４１）及びＸ移動台（４２）では、スムーズ
に微小移動でき、動作にガタが生じない所謂リニアガイ
ド機構が採用されている。またマイクロメータヘッド（
４３）及び（４４）によって、回転中心を読み取るため
のＲｉ調、微小測長が高い再現性をもって行うことが可
能となる。

試料保持台（３１）は、回転中心位置出し調整装置（１
８）のＸ移動台（４２）に一体に取付けたテーブル（４
５）上に設けられる。試料保持台（３１）は第６図に示
すようにカップルインプリズム（１・５〉及びカップル
アウトプリズム（１６）を垂直かつ適当な高さに支持す
る段部（４６）の形成された垂直面（３１ａ）　　を有
する。この垂直面（３１ａ）　　はプリズム（１５）　
（１６）により試料（２６）が加圧された時、試料（２
６，）を背面より支え試料（２６）に曲がりや歪みが生
じないように、また加圧接触を確実にするために剛性を
もって形成される。

試料保持台（３１）には予め、板バネによるクランプ（
４７）が取付けられ、保持台（３１）の段！（４６）に
試料（２６）を載せたときに、このクランプ（４７）に
よって試Ｉ＝ｌ（２６）が保持されるように構成される
。また試料（２６）の形状等により、必要に応じてさら
に上端より弾性クリップ（７８）を嵌着して試料（２６
）の保持を行うように構成される。

カップルインプリズム（１５）及びカップルアウトプリ
ズム（１６）は、夫々直角三角形をなし、その試料接触
面（４６）と反対側の頂部が試料接触面（４６）と平行
に切除され平面（４７）とされた形状に形成される。

カップルインプリズム（１５）及びカップルアウトプリ
ズム（１６）は、テーブル（４５）上において支持器（
４８）に取り付けられる。

支持器（４８）は、プリズム（１５）　（１６）を背面
で支えて押す平面（４８ａ）　　と、試料（２６）との
接触時にプリズム（１５）　（１６）の浮き上がりや倒
れを防ぐためのプリズム上下面を与える支え面（４８ｂ
）　（４８ｃ）、プリズム（１５）　（１６）の横ずれ
を防ぐためにプリズム側面及び斜面を囲む面（４８ｄ）
　（４８ｅ）を有してなる。即ち、プリズム（１５）　
（１６）は丁度試料（２６）との接触面（４６）を除い
て支持器（４８）に埋め込まれる。さらに支持器（４８
）の上面より止めねじ（４９）にてプリズム（１５）（
１６）を押圧してさらにプリズム保持を確実にし、再現
性を高くする。

なお、プリズム（１５）　（１６）全体を囲む支持器（
４８）には光ビームの入射、出射させるための例えば幅
３ｍｍのスリット（５０）が設けられる。また、支持器
（４８）のプリズムと接する面は有害な反射光、散乱光
を抑えるために黒艶消し色が施されている。

各プリズム（１５）及び（１６）に対応する支持器（４
８）に夫々関連してプリズム押圧手段即ちギャップ調整
装置（３２）が設けられる。ギャップ調整装置（３２）
は、テーブル（４５）上に試料保持台（３１）に対して
垂直に固定配置したガイド部（５２）と、このガイド部
（５２）に移動可能に係合され、支持器（４８）と一体
に構成されたスライダー（５３）と、スライダー（５３
）に設けた精密ナツト（５４）に螺合し、マイクロメー
タヘッドと同等の９．５ｍｍピッチのリードスクリュ−
（５５）とを有して構成される。更に微小な送りには差
動ねじを使うを可とする。ガイド部（５２）とスライダ
（５３）の係合には高精度かつ滑らかでガタを最小に調
整したあり溝構造が採用される。リードスクリュー（５
５）はガイド部（５２）上に植立するホルダー　（５６
）と鍔付ベアリング（５７）にて支えられ、つまみ（５
８）及びスナップリング（５９）が取り付けられる。

つまみ（５８）とホルダー（５６）には目盛とバーニア
が付され、微小送り量の読み取りが可能となされている
。また、更に微小な測長としてマグネスケール等とデジ
タル表示の組合せも有効である。尚、ギャップ調整のう
ちプリズムと試料との当り具合を加圧レベルで判断する
には、それぞれ試料保持台（３１）またはスライダー（
５３）とガイド側に圧力センサー等を設けて再現性を考
慮する。カップルインプリズム（１５）のギャップ調整
装置（３２）とカップルアウトプリズム（１６）のギャ
ップ調整装置（３２）は夫々左右対称となるようにテー
ブル（４５）上の取付台（６０）及び（６１）に取付け
られる。ここでカップルアウトプリズム（１６）側の取
付台（６１）はテーブル（４５）に対して、長穴（６２
）及び締付ねじ（６３）を介して試料（２６）の長手方
向に可変できるように取付けられる。これは光吸収αを
測定するためにカップルインプリズム（１５）及びカッ
プルアウトプリズム（１６）間の間隔を変えることを可
能にしている。

一方、テーブル（４５）上にはカップルアウトプリズム
（１６）からの出射ビームを検出するを検出器（１４）
例えばＣＣＤラインセンサ、或はホトダイオードが配さ
れる。即ち出射ビームの出射角範囲へに対応する位置に
光検出器（１４）例えばホトダイオード（図示の場合）
を取付けた基板（６５）或はＣＣＤラインセンサを取付
けた基板が測定に応じて選択的に支持体（６４）に挟持
的に取付けられる。

支持体（６４）は高さ方向、Ｘ方向及びＹ方向に夫々移
動調整する移動調整台に支持される。即ち（６９）はガ
イド部（６６）とスライダー（６７）とリードスクリュ
ー（６８）からなる高さ方向の調整手段、（７０〉は例
えばラック、ピニオン機構によるガイド部（７１）とス
ライダ（７２）からなるＸ方向の調整手段、（７３）は
ガイド部（７４）及びスライダー（７５）からなるＹ方
向の調整手段である。尚、（７６）はＣＣＤラインセン
サを配したときに不必要な方向からの光を遮えぎるスリ
７）　（７７）が設けられた遮蔽部で、ホトダイオード
のときには取り除かれる。

かかる構成の光導波路の測定装置においては、測定すべ
き光導波路の試料（２６）は、試料保持台（３１）の段
部（４６）上に垂直面（４８）に接して配置される。こ
のときクランプ（４７）にて仮固定される。また試料（
２６）の形状によっては、第６図に示すように弾性クリ
ップ（７８）にて仮固定される。

そして、夫々のギャップ調整装置（３２）を駆動してカ
ップルインプリズム（１５）及びカップルアウトプリズ
ム（１６）を試料（２６）に対接させる。一方、レベル
調整台（３３）のマイクロメータヘッド（３７）を操作
することにより、プリズム（１５）　（１６）の高さが
レーザビーム高さに合わされる。また、回転中心位置出
し調整装置（１８）のＹ移動台（４１）及びＸ移動台（
４２）を駆動することにより、回転中心の位置出しがな
され、回転装置（１７）の回転基板（３９）を回転する
ことによってカップルインプリズム（１５）へのレーザ
ビームの入射角が設定される。

上述の光導波路の測定装置によれば、次のような利点を
有する。

レベル調整台（３３）によりプリズム（１５）　（１６
＞とレーザビーム位置のレベル（高さ）合せが簡便に行
え、カップルインプリズム（１５）への最適入射スポッ
トの位置出しが微調整出来る。また測長も可能となる。

回転装置（１７）を高精度な軸と軸受を組合せて構成す
ることにより、機能的で安定且つ高精度な測定が可能と
なる。

回転角度読み取りにロータリーエンコーダとデジタル表
示を組み合わせることにより測定ビームの入射角度の読
み間違いや誤差をなくすことができ、高精度な入射角の
読みを可能とし、その再現性を向上することができる。

回転中心位置出し調整装置（１８）においてはリニアガ
イド機構とマイクロメータヘッドにより、回転中心位置
の微調、測長をガタなくスムーズに且つ確実に行うこと
ができる。従って、この微調、測長とによって、入射ビ
ームをカップルインプリズム（１５）の底面直角コーナ
Ｃに常に一定に保つ回転中心を正確に設定することがで
き、光結合効率を良好にすることができる。

プリズム（１５）　（１Ｇ）は夫々支持器（４８）によ
り背面側全体がしっかり固定されているので、試料（２
６）との接触においてプリズム（１５）　（１６）の浮
き上がり、倒れ、横ずれ、ツイスト等が防止され、接触
精度とその再現性と結合効率が向上する。

ギャップ調整装置（３２）により常にプリズム（１５）
（１６）を夫々試料（２６）の面に垂直に加圧押し付け
ているので、良好な結合効率と再現性が可能となる。

目盛付つまみによりギャップ調整の再現性が向上する。

従って、本装置によって光導波路を利用した機能デバイ
スの開発に必要な光導波路の高精度な特性（屈折率、厚
み、伝搬損等）の評価が行える。

第８図乃至第１３図は本発明の他の実施例を示す。

なお、第２図乃至第７図と対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。前述の第２図乃至第４図の
測定装置では、レーザビームと試料（２６）即ち導波路
の結合効率を高める目的から、試料（２６）と接触する
プリズム（１５）　（１６）が試料（２６）と平行で且
つ浮き上がり、倒れ、横ずれ、ツイスト等を起こさない
で確実な結合と高い再現性を保証するために、プリズム
（１５）　（１６）の夫々をプリズム前面（試料との接
触面）以外を包むような支持器（４８）に堅固に支持す
るようになしている。即ち、支持器（４８）のプリズム
背面を支え押す垂直面（４８ａ）とプリズム上下面を支
える面（４８１１）　及び（４８Ｃ）　　によって、プ
リズムの浮きや倒れを防止し、プリズム側面及び斜面を
囲む面（４８ｄ）及び（４８ｅ）　　によって横ずれ、
ツイストを防ぎ、さらに上面より止めねじ（４９）によ
ってクランプしている。ところで、斯る堅固な支持器（
４８）に支えられたプリズム（１５）（１６）において
、平面精度の良いテーブル（４５）と、これと垂直な試
料保持台（３１）と、テーブル（４５）に平行かつ保持
台（３１）に垂直なギャップ調整装置（３２）のスライ
ド機構と、保持台（３１）に平行な背面及び垂直な下面
等を持った支持器（４８）とによって、プリズム（１５
）　（１６）と保持台（３１）が完全に平行で、かつ試
料（２６）が平行のときには、支持器（４８）による堅
固な支持は結合効率の高いカップリングが簡単容易に実
現出来る。従って、再現性の高いものとなっている。

さて、第２図乃至第４図の測定装置では、それぞれの部
品が形状に公差を持って製作される。従ってこれら部品
の集合としての組立の最終の精度の管理、維持によって
プリズム（１５）　（１６）と、試料保持台（３１）の
平行精度を出すことは比較的むずかしいことといえる。

た市、もし試料（２６）の表裏厚。

さ方向の平行が出ていない場合は、逆にプリズム（１５
）　（１６）が支持器（４８）によって規制されている
ことによって、この非平行の具合はそのまま、プリズム
（１５）　（１６）と試料表面との互いの接触具合に非
平行を生じさせ、結合効率の低下、又は結合不能となっ
てしまう。このことは比較的起こりやすいといえる。ま
た、この状態で無理に押し付けては、プリズム（１５）
　（１６）あるいは試料（２６）の破損を招くこともあ
りうる。したがって、この様な状況においてもプリズム
と試料表面とのなじみを良くして確実に光結合が得られ
るようなプリズム支持が要求される。

尚、測定用レーデビームの入射、出射のために上側では
支持器（４８）の一部にスリン）　（５０）を設けてい
るが、プリズムがほとんど覆われているため、プリズム
内に無用の反射を戻し測定のノイズとなる櫂れがある。

一方、光導波路の光吸収はカップルインプリズム（１５
）とカップルアウトプリズム（１６）の間隔を少しずつ
変えてカップルアウト光の強度を検出することにより求
めることができる。第３図の例ではカップルアウトプリ
ズム（１６）側のギャップ調整装置（３２Ｂ）　　のテ
ーブル（４５）への取付台（６１）の止め穴を長大（６
２）にして回転中心にあるカップルインプリズム（１５
）を基準としてカップルアウトプリズム（１６）を移動
可能とし締付ねじ（６３）により固定している。この取
付台（６１）のねじ固定は測定位置を移動する毎に固定
し直さなければならず、したがって、始めに調整した試
料保持台（３１）及び試料（２６）の面とプリズム（１
６）の面との平行度、試料保持台（３１）及び試料（２
６）の面に対するプリズム（１６）、支持器〈４８）及
びギャップ調整装置（３２）の垂直度の最適位置は、そ
の測定毎に再調整し、設定しなげればならない。したが
って、ギャップ傾きの変化等、一定とはなりにくく測定
の再現性はよくない。また、プリズム間隔をパラメータ
とする測定の場合は、１回毎の調整を必要とするために
連続してスムーズな測定を阻害し、時間、手間ともに大
きな負担となる。またカップルインプリズム（１５）及
びカップルアウトプリズム（１６）の間隔はスケール等
で測ってねじ固定したが、間隔の測長が不確かなので測
定データの精度の再現性が悪い場合がある。

そこで、間隔変化させても、試料とプリズムの平行度及
び垂直度が変わらぬ移動台と間隔測長が望まれる。

第８図乃至第１３図の実施例は上述したような点を改善
したものである。先ず、本実施例としては試料の厚さ方
向の非平行、又は試料保持台に対するギャップ調整装置
や支持器によってプリズム接触面の非平行に対応するた
めに、系の中に自由度（フレキシブル）を有する要素を
介装する。この自由度により、プリズムを試料の非平行
による押し付は力あるいはその反力によって互いの接触
点を支点あるいは力点として回転しプリズム面と試料面
とがなじむ様になる。

第８図は前述の第７図で示す支持器（４８）とプリズム
（１５）　（１６）との間にフレキシブル部材を介装し
て成る実施例である。この例ではプリズム（１５）（１
６）の試料（２１）の接触面（４６）以外の後部全体を
包み込む支持器（４８）を、その各内面がプリズム（１
５）（１６）と例えば０．５ｍｍのギャップを持つ様に
形成する。一方、０．５ｍｌＴｌ厚のコルク材等による
クツション材（８１）でプリズム後部全体を包み込んだ
状態で、このプリズム（１５）　（１６）を夫々支持器
（４８）内に嵌め込んで構成する。

この様にクツション材（８１）をプリズム（１５）　（
１６）と支持器（４８）との間に介装することにより、
プリズム（１５）　（１６）の面（４６）と試料（２６
）の面との接触が良好に行われる。なお、この第８図の
場合はプリズム（１５）　（１６）に対してしっかりし
た保持が可能なもののクツション材（８１）の全体から
受ける反力も大きく比較的自由度が少ない。又、クツシ
ョン材（８１）には当然測定ビームの入出射用のスリッ
トを設けるが、それ以外での無用反射も気になり、また
作製もむずかしい。

第９図及び第１０図はこの点を改善した他の実施例であ
る。この例ではギャップ調整装置（３２）の−部を構成
するプリズム支持器（４８）として、テーブル（４５）
に水平であり、かつ試料保持台（３１）に垂直なプリズ
ム下支え面（８２ａ）　　と、試料保持台（３１）の保
持面に平行なプリズム背面押し付面（８２ｂ）　　との
みを有する支持器を設ける。そして、背面押し付面（８
２ｂ）　　とプリズム（１５）　（１６）の背面との間
に平行で密着性の良いクツション材木例では厚さＱ、　
５ｍｍのＳｉ　　ゴム（８３）を介装するようにして支
持器（４８）にプリズム（１５）　（１６）を配置する
。さらにプリズム（１５）　（１６）を夫々保持するた
めに、リン青銅製の板ばねクランプ（８４）を支持器（
４８）の上面とプリズム（１５）　（１６）の上面に差
し渡るように配し、クランプ（８４）の一端を支持器（
４８）の上面に止めねじ（８５）を介して固定し、この
板ばねクランプ（８４）によって比較的軽くプリズム（
１５）　（１６）を押さえる。また、プリズムセット用
の小さな当り面０．５〜ｌ、　Ｑｍｍを持つ位置決め片
（８６）を設ける。

尚、下支え面（８２ａ）　　に同様のクツション材を介
挿することも考えられるが、その場合、圧力による分力
によりツイストが生ずる憧れがある。

この第９図及び第１０図の例においては試料が非平行の
とき、水平方向及び垂直方向のプリズムのあおり調整を
比較的小さなりッション材（８３）と、面積の小さいプ
リズム背面の押し付は面（８２ｂ）　　のみを使って行
うため、スムーズになじむ。この時、板ばねクランプ（
８４）は、常に軽くプリズム（１５）（１６）を抑えな
がら、これら一連のあおりに追従し、又、無用な浮き上
りを阻止している。またクツション材（８３）としてゴ
ムを使っていることにより摩擦が比較的大きく横ずれが
少ない。さらにプリズム（１５）　（１６）のほとんど
の部分が開放されているため、試料（２６）との接触具
合が観察できるので測定しやすいなど扱い易い。又、プ
リズム（１５）　（１６）の側面が開放されているため
、無用な反射が少なくなり、測定の品質が向上する。こ
の実施例によれば、位置の精度を損なうことなく、試料
（２６）の平行精度等や、機器の品質精度による結合効
率の低下、結合不能等の不具合をほとんどなくし、生産
性が向上する。

他の実施例としては、図示せざるも試料保持台（３１）
と保持される試料（２６）間にクツション材を介装する
。この例は一番簡単であるが、通常、小さなプリズム（
例えは５ｍｍ角）に右いて、これより生じた小さいな非
平行な接触面部分に対し、比較的大きな試料（２６）で
はなじむためのあおり量も大きく、また押し付加圧が大
きいと試料がたわみ、歪み、また破損する場合もある。

第１１図乃至第１３図は両プリズム（１５）及び（１６
）の間隔を可変調整するための間隔可変調整手段即ちプ
リズム移動手段の改善例である。このプリズム移動手段
は、固定されたカップルインプリズム（１５）に対して
カップルアウトプリズム（１６）側を移動させ、任意の
位置への移動の際、予め調整した試料（２６）とカップ
ルアウトプリズム（１６）の平行度、試料（２６）に対
するギャップ調整装置の垂直度の最適状態を変えずに行
えるように構成される。これが為に、テーブル（４５）
上に、該テーブル（４５）に平行で且つ試料保持台（３
１）　（即ち試料（２６）長手方向）に平行な間隔可変
調整用のプリズム移動手段（８７）が設けられる。この
プリズム移動手段（８７）は互いにあり溝構造によって
係合するガイド部（８８）とスライダー（８９）を有し
て成り、ガイド部（８８）に所謂ラック（９０）を取り
付け、スライダー（８９）の部分にラック（９０）に係
合するピニオン（図示せず）を配し、このピニオンに直
結したつまみ（９１）を回動することによりスライダー
（８９）がガイド部（８８）上を移動するように構成さ
れる。勿論ガイド部（８８）はテーブル（４５）に平行
で且つ試料保持台（３１）の長手方向に平行である。こ
のスライダー（８９）上にカップルアウトプリズム（１
６）側のギャップ調整装置（３２Ｂ＞が一体に配される
。

したがって、つまみ（９１）を回すことにより、試料面
に平行に沿ったカップルアウトプリズム（１６）の移動
を可能とし、任意の移動位置においてカップルアウトプ
リズム（１６）側のギャップ調整装置（３２Ｂ）　の試
料保持台（３１）の面に対する垂直度を保証する。

また、テーブル（４５）にほぼ接するスライダー側面と
同一平面のテーブル（４５）の端面に目盛（読み取りス
ケール）を設け、スライダー（８９）側にバーニアを設
け、微小な間隔移動距離の測長を可能となるように構成
される。この測長をさらに精密にするために、また測定
誤差や読み取り誤差の対策や測長の効率化のために、例
えばこの測長をマグネスケールや光学スケール等の微小
測長器と、カウンターの読み取りを組合せたものは入射
回転角同様に特に効率的である。

この様な第８図乃至第１３図の実施例においては次のよ
うな利点を有する。

プリズム（１５）　（１６）と支持器（４８）間にクツ
ション材（８１）又は（８３）を介装することにより、
試料（２６）の面とプリズム（１５）　（１６）の面と
が良くなμむ様になり、プリズム、装置の他、試Ｈ（２
６）側の原因で生ずるプリズムと試料面の非平行による
結合効率の低下や、結合不良が解消し、また試料（２６
）の破損が防止され、確実な結合が得られる。従って、
測定が容易になり、その他、装置の厳密な精度をゆるめ
ることができ光学作製が容易となる。また試料（２６）
の平行度作製を容易にして、あるいは測定試料採用の精
度範囲を広めることができる。また、支持器（４８）を
開放型に形成できるため、この場合には測定の結合の具
合の観察が見やすくなりさらに無用な反射が少なく測定
品質が向上する。

プリズム移動手段（８７）により、カップルインプリズ
ム（１５）に対し、カップルアウトプリズム（１６）の
移動、即ちガタの少ない微小な間隔移動、試料面との平
行移動が可能となり、且つ試料に対するギャップ調整の
垂直度の維持が可能となる。特に測定位置へ間隔変化毎
の結合具合の再調整から開放されることになり測定の再
現性が向上する。その他、光吸収測定等の測定時間を著
しく短縮できる。

カップルインプリズム及びカップルアウトプリズム間の
間隔距離の微小寸法の測長手段が備えられていることに
より、必要間隔を厳密に、また誰でもすぐ設定すること
ができ、測定の精度が向上し、再現性も高く、効率的な
測定が可能となる。

第１４図乃至第１７図は、本発明のさらに他の実施例で
ある。なお、第１１図乃至第１３図に対応する部分は同
一符号を付して重量ｌ明を省略する。

光結合効率はプリズムと試料との接触具合によって決ま
るので、ギャップ調整装置とフレキシブル支持器によっ
て一定の向上が得られている。しかし、より厳密にはプ
リズム面に対応する試料の面積内の面精度（凸凹）に対
しても対応できることが望ましい。本実施例はこの点を
さらに改善したものである。

第１４図乃至第１７図においては、試料保持台（３１）
の背面側に試料（２６）を背面よりプリズム（１５）　
（１６）側に押し付ける押し棒（１００）　を備えた試
料背面押し付は装置（１０１）　［（１０１，Ａ）　（
ＩＯＩＢ）　］が設けられる。

試料（２６）を背面よりプリズム（１５）　（１６）の
最適ポイントに押し付ける押し棒（１００）　　として
は、例えば第１８図に示すように直径２ｍｍの棒体の先
端を球面Ｒ２とした押し棒或は、第１９図Ａ及びＢに示
すように棒体の先端を１２０°のくさび状とし当り面が
ほぼ垂直線となる押し棒を用いることができる。

第１８図に示す滑らかな球面として押し付けが穏やかな
点となる押し棒（１００）　　は、比較的厳密に最適ポ
イントに接触の集中加重を得ることができる。

又、第１９図Ａ及びＢに示す押し棒（１００）　　はプ
リズム全高さに渡って接触線を得ることができる。これ
ら押し棒（１００）　　は試料（２６）の状況によって
交換使い分は出来る様に押し棒ホルダ（１０２）　　に
取付けられる。押し棒（１００）　　は押し棒ホルダ（
１０２）　　に形成したＶ溝に嵌合され、押し棒（１０
０）　及びＶ溝中の貫通孔に挿通したクランプロッド（
１０３）を反対側よりナツトで締付けることにより固定
される。

押し棒ホルダ（１０２）　　のＶ溝は押し棒（１００）
をプリズム中心の高さ（レーザビームレベル）に常ニ維
持するためのものである。試料背面押し付は機構は、押
し棒ホルダ（１０２）　以外はギャップ調整装置（３２
）と同じ構成である。即ち、押し棒ホルダ（１０２）を
一体に構成したスライダー（１０４）が設けられ、この
スライダー（１０４）　　がテーブル（４５）と平行に
かつ試料（２６）及びプリズム（１５）　（１６）との
接触面に垂直に延長したガイド部（１０５）　　に摺動
可能に係合される。スライダー（１０４）　　とガイド
部（１０５）　　の係合は高精度で滑らかに調整したあ
り溝構造が採用される。スライダー（１０４）　　には
精密ナツトが形成され、この精密ナツトにリードスクリ
５−（ＩＯＴ）　　が螺入される。このリードスクリ！
　−（１０７）　　はガイド部（１０５）　上に植立し
たホルダ（１０８）　　に回動自在に保持される。（１
０９）　　はリードスクリュー（１０７）の端部に設け
られたつまみである。従って、このつまみ（１０９）　
　を回すことによりリードスクリュー（１０７）　　が
回転してスライダー（１０４）　　を試料（２６）に向
かう方向に移動させる。リードスクリュー（１０７）の
つまみ（１０９）　　には目盛が付され、ホルダ（１０
８）にはバーニアが付され、この目盛とバーニアにより
微小送り量が判る。

試料背面押し付は装置（ＩＯＩＡ）及び（１０１Ｂ）は
夫々カップルインプリズム（１５）用及びカップルアウ
トプリズム（１６）用に設けられる。この場合、カップ
ルアウトプリズム（１６）のプリズム移動手段（８７）
によって両プリズム（１５）及び（１６）間の間隔が狭
まったときにも押し付けを可能にするために、互いの押
し棒（１００）を接近できる様に夫々の押し棒（１００
）は対応するホルダ（１０８）　の相対向する側面に取
付けられる。即ち、両試料背面押し付は装置（ＩＯＩＡ
）＜１０１Ｂ）は互いに左右対称の構造に形成される。

そして、両試料背面押し付は装置（ＩＯＩＡ）　（１０
１Ｂ）にはプリズム（１５）及び（１６）間の間隔可変
に応じて即ちプリズムの移動に追従して移動調整できる
ように移動調整手段（ＩＩＯＡ）　（１１０Ｂ）が設け
られる。ここでカップルインプリズム（１５）は基準と
なるために固定であるが、カップルインプリズム（１５
）に対応する第１の試料背面押し付は装置（ＩＯＩＡ）
としては押し棒（１００）を結合効率の高いプリズム底
面の直角コーナＣ付近の最適な位置に調整する必要があ
るために移動可能となすものである。そして、第１の試
料背面押し付は装置（ＩＯＩＡ）の移動調整手段（１１
０＾）と、間隔可変するカップルアウトプリズム（１６
）に追従できる第２の試料背面押し付は装置（ＩＯＩＢ
）の移動調整手段（１１０Ｂ）は、夫々前述のカップル
アウトプリズム（１６）、プリズム移動手段（８７）と
同様機能で構成される。即ちテーブル（４５）上にテー
ブル（４５）を平行で試料（２６）の長手方向に平行す
る共通のガイド部（１１１）　が設けられ、このガイド
部（１１１）　　に第１及び第２の試料背面押し付は装
置（ＩＯＩＡ）及び（ＩＯＩＢ）を夫々一体に取付けた
スライダー（１１２）　　が係合される。このガイド部
（１１１）　　とスライダー（１１２）　　は高精度で
確実かつ滑らかに摺動しうるあり溝構造により構成され
る。ガイド部（１１１）　　にはラック（１１３）　　
が配され、また夫々のスライダー（１１２）　　にはラ
ック（１１３，）　　に係合するピニオン（１１４）　
　が配され、ピニオン（１１４）　　のつまみ（１１５
）　　を回すことにより移動するように構成される。な
おテーブル（４５）の端面に目盛を付し、スライダー（
１１２）　　にはバーニアを付してプリズム移動手段（
８７）の移動に対応するようになされる。一方、試料保
持台（３１）には、カップルインプリズム（１５）から
のカップルアウトプリズム（１６）の最大移動間隔に渡
って例えば２ｍｍφの押し棒（１００）　を挿通ずる長
孔（例えば２．５ｍｍ　ｘ２５ｍｍ）　（１１５）が設
けられる。

又、カップルインプリズム（１５）とカップルアウトプ
リズム（１６）においては、第２０図に示すようにその
夫々のプリズム（１５）　（１６）とその支持器（４８
）の背（１１６）　　が面一となるように構成される。

第１４図乃至第１７図の実施例によれば試料背面押し付
は装置（ＩＯＩＡ）　（ＩＯＩＢ）によって試料（２６
）を背面からプリズム（１５）　（１６）に押し付ける
ことにより、接触を阻害する例えば試料（２６）の面の
小さなうねりに対しても確実な光結合を可能とし、更に
結合効率を高めることができる。

また押し棒ホルダ（１０２）’によって測定に最適な押
し棒（１００）　を選択交換でき、試料（２６）の測定
可能条件幅が広くなる。

試料背面押し付は機構によって試料（２６）とプリズム
（１５）　（１６）への垂直押しが保証され、横ずれ、
その他の歪みを生じる事なく、簡便に良好な接触具合に
調整できる。

また移動調整手段（ＩＩＯＡ）　（１１０Ｂ）の移動長
の読み取りによって再現性が向上する。

移動調整手段（ＩＩＯＡ）　（１１０Ｂ）により試料（
２６）に平行ないずれの位置でも試料背面押し付は装置
（ＩＯＩＡ）（１０１Ｂ）の垂直押しが保証され、押し
付は位置をカブルインプリズムとの結合効率の高い最適
位置にするよう調整することが可能になる。

また移動調整手段（ＩＩＯＢ）によって移動するカップ
ルアウトプリズム（１６）に対しても同様に追従移動出
来る。

また測長手段によって、合せ込みの対応が早（、再現性
も向上する。

さらに、第２０図に示すようにプリズム（１５）　（１
６）と支持器（４８）の背（１１６）　　が面一である
のでカップルインプリズム（１５）とカップルアウトプ
リズム（１６）とその背（１１６）　　を接触させるこ
とにより両者間の間隔を０とし、之よりカップルアウト
プリズム（１６）を移動させてその間隔を口から所定距
離まで変化させることができる。

尚、入射ビーム及び出射ビーム（１３０）　　が第２３
図に示すような場合には、長孔（６２）を有する試料保
持台（３１）として出射ビーム側の端部を曲げて形成し
てもよく、或は第２４図に示すように試料保持第（３１
）を剛性材にて作ると共に長孔（６２）を試料保持台（
３１）の出射側の端部にまで達するように形成して構成
することもできる。このような試料保持台（３１）を用
いれば出射ビームを良好に光検出器（１４）に照射させ
ることができる。

上側においてはプリズム（１５）　（１６）が試料（２
６）に良くなじむクツション材（８１）又は（８３）を
介挿した所謂フレキシブル支持器を設けることにより結
合効率の一定の向上を可能とした。しかし、厳密には試
料にプリズムをなじませるときはクツション材を挟んで
プリズム背面と支持器のプリズム支持面には傾きが生じ
ているので、当然垂直の押し付は力の分力が、クツショ
ン材のたわみとしてプリズムの横ずれやツイスト等の作
用とともに歪みの原因ともなる。また押し付は力が充分
にクツション材を押しつぶした時には、フレキシブル支
持器の機能は発揮できる等、クッシ・ヨン材を設けたフ
レキシブル支持器は未だ不十分な所がある。

一方、試料（２６）に一定の測定条件（例えば温度等）
を付加する場合、その試料保持台（３１）に押し棒＜１
１０）　　の貫通用長孔（１１５）　　を設ける事が不
適切で試料背面からの押し棒（１００）　　による押し
付けが出来ない場合もある。このときには、試料面にプ
リズムを良くなじませる機構で、かつ押し付は力の分力
が影響しに＜＜、押し付けの最適位置に荷重を集中する
事のできる支持器が要求される。

第２１図及び第２２図は、この様な点を改善した実施例
である。

本例では、ギャップ調整装置に付随してカップルイン・
アウト両プリズム（１５）及び（１６）を夫々支持する
支持器（４８）として、テーブル（４５）に水平で試料
保持第（３１）に垂直なプリズム下支え面＜１２０ａ）
と、試料保持台（３１）にほぼ平行なプリズム背面押し
付は面（１２０ｂ）を有する支持器を形成し、そのプリ
ズム背面押し付は面（１２０ｂ）の所定位置即ちプリズ
ム背部の押し付は用の平面（４７）のほぼ中心の位置に
対応する所に比較的小径の球状突起を設け、あるいは比
較的小径の金属球を固定する等所謂球状部（１２１）　
を設ける。

本例ではいずれも、プリズム背面を直接押すので球面の
面精度は高くする必要がある。実施例では高精度な直径
１〜２ｍｍの鋼球（１２１Ａ）を背面押し付は面（１２
０ｂ）の凹所（１２２）　　内に埋め込み、０．２５ｍ
ｍだけ、頭を出す様にした。（１２３）　　は貫通孔で
あり、鋼球（１２１Ａ）を接着固定するに際してこの貫
通孔（１２３）　　に例えばニードル等を挿入して鋼球
（１２１Ａ）の突出寸法を制御する。又は鋼球（１２１
Ａ）を交換するときは、貫通孔（１２３）　　にニード
ル等を挿入して鋼球（１２１Ａ）を除去することができ
る。この様にプリズム背面を球面で押す事によりプリズ
ム（１５）（１６）と試料（２６）の面との接触具合の
非平行を補正する様、球面との接触点を支点としてあお
り運動を行う様になす。

その他、プリズム保持の為、支持器（１８）の上端に薄
い板ばねクランプ（８４）を設けて比較的軽くプリズム
（１５）　（１６）を押さえるとともに、支持器（４８
）の側面にはプリズムセット用の位置決め片（８６）を
設ける。これにより、しなやかな保持がプリズム（１５
）　（１６）の試料（２６）との接触の運動に悪影響を
与えることなく、ギャップ調整装置（３２）の移動にも
安全な保持機構となっている。

かくして、プリズム背部の押し付は用平面（４７）のほ
ぼ中心を押す事により、安定、確実、最適な光結合が可
能となる。

プリズム支持器（４８）の押し付は面を金属球面とする
為、プリズム（１５）　（１６）への押し付は力を充分
に加えても金属球（１２１Ａ）が押しつぶされる事は無
く、大きな押し付は力を加えてもプリズム（１５）（１
６）を試料（２６）になられせる機能は充分に発揮でき
る。従って試料（２６）に一定の測定条件（例えば温度
等）を付加する場合、その試料保持台（３１）に押し棒
貫通の長孔り６２）を設ける事が不適切で背面からの押
し棒の押し付けが出来ない場合にも試料面にプリズム（
１５）　（１６）を良くなじませる事ができる。又、支
持器（４８）として、プリズムの側面が解放される所謂
解放型に構成されるため、光結合の具合の観察がし易い
。更に、無用な反射が少なく測定品質が向上する。

〔発明の効果〕

上述せる本発明装置によれば簡便、迅速且つ高精度に光
導波路の特性（屈折率、厚み、伝搬損等）の評価を行う
ことができる。従って、光導波路を利用した機能デバイ
スの開発に必要な光導波路の特性評価に適用して好適な
らしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光導波路の測定装置の概略的な構
成図、第２図、第３図及び第４図は本発明に係る測定装
置本体の一例を示す正面図、平面図及び要部の側面図、
第５図Ａ及びＢはプリズムと入射ビームの関係を示す説
明図、第６図は試料保持台の例を示す斜視図、第７図Ａ
及びＢはプリズム支持器の一例を示す平面よりみた断面
図及び側面よりみた断面図、第８図はプリズム支持器の
他例を示す平面よりみた断面図、第９図及び第１０図は
プリズム支持器のさらに他例を示す平面図及び側面図、
第１１図、第１２図及び第１３図は測定装置本体の他例
を示す要部の正面図、平面図及び側面図、第１４図、第
１５図、第１６図及び第１７図は測定装置本体のさらに
他例を示す要部の正面図、平面図、側面図及び背面図、
第１８図は押し棒の例を示す正面図、第１９図へ及びＢ
は押し棒の他例を示す平面図及び正面図、第２０図はプ
リズム支持器のさらに他例を示す平面図、第２１図及び
第２２図はプリズム支持器のさらに他例を示す側面図及
び平面図、第２３図及び第２４図は夫々試料保持台の他
例を示す断面図及び正面図、第２５図はプリズム結合法
の原理的構成図である。 （１１）は測定装置本体、（１２）はレーザビーム出射
装置、（１３）は光学系、（１４）は光検出器、（１５
）　（１６）はプリズム、（２６）は光導波路試料、（
３１）は試料保持台、（３２）はギャップ調整装置、（
４８）はプリズム支持器、（８７）はプリズム移動手段
、（ＩＯＩＡ）　（１０１Ｂ）は試料背面押し付は装置
である。 １ｔ−沖１９４本体 ！２−・糾−ブビーム狽賀畏１ １６　　・かｒフ゛ルアウトプソズム １ｑ、、、Ａｕミラー ！５・　力・・ｌフ゛んインアリズＡ ２５−４Ｅ％散蹄試料 代　　理　　人　　　　　伊　　藤　　　　　真向 松　　隈　　秀　　盛 １〒しネＥの一イ列乞示す正面図 第１８図 ｆ／）／） 第１Ｓ図 ７°リス゛４　支、特ン−のイセイ列゛を示オイ便・１
４図第２１図 １５・−力・シ７ラレインγリス゛Ａ １６−−−カツデル了ウド７′ノス゛Ａ１１６−・−背 １！ノス゛１４　灸持才じ〆Ｉ’ｌヤイタ・１１示″ｆ
（イシレコ第２０図 １５Ｃ１６）・−力・ンアルインブリス′シー（ｊツア
ルアウトアリス゛Ａン２６、−・′Ｌ導：／ｌｉ各言ぼ
す斗 １２３・−貫通孔 ブリス゛４克主午コζ０イロイタ・１芝示す−１−１１
１図第２２図 ｌ・・・ｘｙｚ哨ピ（会ｈ　ｍｈステージ試ｆ４保持合
Ｏ化伊１の断面図 第２３図 ７°す入゛Ａ条吉登シへの原工！的利１人聞手ｌｒｊご
ネＳＩＴ正店二 平成 １年 １月 ２３日 昭和６３年　特　許　１の１　第２９６６０６号２、発
明の名称 光導波路の測定装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許用１の１人 住　所　東京部品用区北品用６丁目７番３５号名称（２
１８）ソニー株式会社 代表取締役　大　賀　典　雄 ４、代 人 ６．７ｉｌｉ正により増加する発明の数（１）明細書中
、第９真７行「スリ・ント（１１５）　Ｊとあるを「ス
リット（６２）　」に訂正する。 （２）同、同頁８行「第１０図」とあるを「第２０図」
に訂正する。 （３）同、第１０頁９行ｒ共働してＪとあるを「共同し
て」に訂正する。 （４）同、同頁１４行「確実は光結合」とあるを「確実
な光結合」に訂正する。 （５）同、同頁４行〜５行「グラントソンプリズム（２
３）　Ｊとあるを「グラントムソンプリズム（２３）　
Ｊに訂正する。 （６）同、第１６１１３行「角度α２」とあるを「角度
α１Ｊに訂正する。 （７）同、同頁１４行「コーナＣの入る角度α１は、」
とあるを［コーナＣへの入る角度α２は、」に訂正する
。 （８）同、第１８頁９行〜１０行［カップルインプリズ
ム（１５）及びカップルアウトプリズム（１６）Ｊとあ
るを「試料（２６）　Ｊに訂正する。 （９）同、同真１０行〜１１行［支持する段部（４６）
）　Ｊとあるを「支持する段部（３６）　Ｊに訂正する
。 （１０）同、同頁１７行〜１８行「クランプ（４７）　
Ｊとあるを「クランプ（７９）　Ｊに訂正する。 （１１）同、同頁１８行「段部（４６）　Ｊとあるを１
段部（３６）Ｊに訂正する。 （１２）同、同頁１９行「クランプ（４７）　Ｊとある
を「クランプ（７９）　Ｊに訂正する。 （１３）同、第２３頁３行「段部（４６）上に垂直面（
４８）Ｊとあるを１段部（３６）上に垂直面（３１ａ）
　Ｊに訂正する。 （１４）同、同頁４行［クランプ（４７）　Ｊとあるを
「クランプ（７９）Ｊに訂正する。 （１５）同、第２７頁７行「たま、」とあるを「また、
」に訂正する。 （１６）同、第３０真６行「試料（２１）Ｊとあるを［
試料（２６）　Ｊに訂正する。 （１７）同、第３３頁８行「小さいな非平行」とあるを
「小さい非平行」に訂正する。 （１８）同、第４０頁３行「ホルダ（１０８）　Ｊとあ
るを「ホルダ（１０２）　Ｊに訂正する。 （１９）同、第４１頁２行［テーブル（４５）を平行で
」とあるを［テーブル（４５）に平行で」に訂正する。 （２０）同、同頁１０行〜１１行「ピニオン（１１４）
　Ｊとあるを「ビニオン（図示せず）」に訂正する。 （２１）同、同頁１１行「ビニオン（１１４）のつまみ
」とあるを「ピニオンのつまみ」に訂正する。 （２２）同、同頁１２行ｒ　（１１５）を回す」とある
をｒ　（１１４）を回す」に訂正する。 （２３）同、同頁１９行ｒ（１１５）が設けられる。」
とあるをｒ　（６２）が設けられる。」に訂正する。 （２４）同、第４３頁１９行〜２０行「試料保持筒（３
１）Ｊとあるを「試料保持台（３１）Ｊに訂正する。 （２５）同、第４４真１６行「発揮できる等、」とある
を「発揮できない等、」に訂正する。 （２６）同、同頁２０行［貫通用長孔（１１５）　Ｊと
あるを「貫通用長孔（６２）　Ｊに訂正する。 （２７）同、第４８頁２０行「側面図及び背面図、」と
あるを「背面図及び側面図、」に訂正する。 （２８）図面中、第３図及び第１５図を別紙のごとく朱
書にて訂正する。 （２９）同、第６図及び第２１図を別紙のごとく訂正す
る（符号の補正）。 以上 第６図 ７°ソス゛４　支、ｔｉＸのｓイダリを示ｔ（Ｊ！１＋
ｆ＋ｍ第２１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、試料台と第１及び第２のプリズムとを有し、前記試
   料台と前記第１及び第２のプリズムとの間に配した試料
   に夫々を対接させるためのプリズム押圧手段を有して成
   る光導波路の測定装置。 ２、請求項１記載の光導波路の測定装置において、プリ
   ズム移動手段と、プリズムの移動に追従し、試料を裏面
   からプリズムに圧接する押圧手段を有して成る光導波路
   の測定装置。 ３、請求項２記載の光導波路の測定装置において、試料
   保持台に押圧手段が挿通するスリットを有して成る光導
   波路の測定装置。 ４、請求項１記載の光導波路の測定装置において、各々
   のプリズムとプリズム押圧手段の背が面一に形成されて
   成る光導波路の測定装置。 ５、請求項１記載の光導波路の測定装置において、プリ
   ズム押圧手段はプリズムに接する球状部を有して成る光
   導波路の測定装置。 ６、請求項１記載の光導波路の測定装置において、プリ
   ズム押圧手段とプリズムとの間にフレキシブル部材を介
   装して成る光導波路の測定装置。