JPH04278902A - Color filter manufacturing method - Google Patents
Color filter manufacturing methodInfo
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は液晶テレビ、液晶ディス
プレイ等に用いられるカラーフィルターに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter used in liquid crystal televisions, liquid crystal displays, etc.
【0002】0002
【従来の技術】従来のカラーフィルターのとしては、カ
ラーインクの印刷法、染色法、顔料分散法等の製造方法
で作られたカラーフィルターがあり、これらのカラーフ
ィルター基板上には、オーバーコート層すなわち保護層
が液晶素子と液晶ドライバーとの接点である端子部にも
設けられているのが一般的である。しかしながら、これ
らのカラーフィルター製造方法では、高平坦で安価なカ
ラーフィルターを製造することはできなかった。図1に
一例として各絵素間の遮光部を色の重ねで作成したカラ
ーフィルターの断面図を示した。図1において、透明基
板101の上に赤絵素102、青絵素103、緑絵素1
04がストライプ状に形成されており、それぞれの絵素
の重なり部105が絵素間の遮光層を兼ねて存在してい
る。これらの絵素間の重なり部の段差は少なくとも1μ
mから2μmあり、保護層106が厚く形成されていれ
ばこの重なり部105の段差を埋めることができ、同時
に液晶駆動用の透明電極108をパターニングした場合
、前記段差による電極の切れをふせぐ事ができる。[Prior Art] Conventional color filters include color filters made by manufacturing methods such as color ink printing, dyeing, and pigment dispersion. That is, it is common that a protective layer is also provided at the terminal portion that is the contact point between the liquid crystal element and the liquid crystal driver. However, with these color filter manufacturing methods, it has not been possible to manufacture highly flat and inexpensive color filters. FIG. 1 shows, as an example, a cross-sectional view of a color filter in which the light-shielding portion between each picture element is created by overlapping colors. In FIG. 1, a red pixel 102, a blue pixel 103, and a green pixel 1 are arranged on a transparent substrate 101.
04 are formed in a stripe shape, and overlapping portions 105 of the respective picture elements also exist as a light shielding layer between the picture elements. The difference in level between these picture elements is at least 1μ.
m is 2 μm, and if the protective layer 106 is formed thickly, the step of the overlapped portion 105 can be filled, and at the same time, when the transparent electrode 108 for driving the liquid crystal is patterned, cutting of the electrode due to the step can be prevented. can.
【0003】0003
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な従来のカラーフィルター上に電極を形成する際には、
以下の問題点があった。すなわち、カラーフィルター自
体に平坦性が要求されるためオーバーコート層を厚く塗
布する必要が生じ生産性が悪くなる。さらには、厚く塗
布されたオーバーコート層は、その後の電極形成の工程
とフレキシブルな基板に実装された液晶ドライバー10
7の実装の工程とでダメージを受け、実装不良が起こり
安い等の課題を有する。図2は、保護層106が厚く形
成され、かつ、透明基板101とフレキシブルな基板に
実装された液晶ドライバー107との接続点に保護層1
06がない場合のものである。このような基板では、基
板101と保護層106との段差が大きく液晶駆動用透
明電極の切れの原因になる。このように、カラーフィル
ターに平坦性を付与するために保護層を厚く形成するこ
とは、カラーフィルターのコスト増大につながる。[Problems to be Solved by the Invention] However, when forming electrodes on such conventional color filters,
There were the following problems. That is, since the color filter itself is required to have flatness, it is necessary to apply a thick overcoat layer, resulting in poor productivity. Furthermore, the thickly applied overcoat layer is used in the subsequent electrode formation process and the liquid crystal driver 10 mounted on the flexible substrate.
It is damaged during the mounting process in step 7, and there are problems such as mounting defects are likely to occur. In FIG. 2, the protective layer 106 is formed thickly, and the protective layer 106 is formed at the connection point between the transparent substrate 101 and the liquid crystal driver 107 mounted on the flexible substrate.
This is the case when 06 is not available. In such a substrate, the difference in level between the substrate 101 and the protective layer 106 is large, which causes the transparent electrode for driving the liquid crystal to break. Thus, forming a thick protective layer in order to impart flatness to the color filter leads to an increase in the cost of the color filter.
【0004】本発明は、保護層106のパターンエッジ
に正テーパーを付け、かつ、カラーフィルターの透明基
板101とフレキシブルな基板に実装された液晶ドライ
バー107との接点である端子部には保護層106層な
どの有機層を持たない信頼性の高いカラーフィルターを
安価に提供することを目的とするものである。[0004] In the present invention, the pattern edge of the protective layer 106 is positively tapered, and the protective layer 106 is provided at the terminal portion which is the contact point between the transparent substrate 101 of the color filter and the liquid crystal driver 107 mounted on the flexible substrate. The purpose is to provide a highly reliable color filter that does not have an organic layer such as a color filter at a low cost.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
ーは以下の点に特徴がある。すなわち、1)ネガタイプ
の顔料分散型カラーレジストから成る赤色、青色、緑色
の光透過性の画素パターン及び、オーバーコート層を透
明基板上に有するカラーフィルターあって、オーバーコ
ート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターン
の集合した表示エリアより広く形成され、かつ電極端子
部分はオーバーコート層が形成されておらず、オーバー
コート層の周辺のエッジ形状が正のテーパーとなってい
ることを特徴とするカラーフィルターであり、
2)ネガタイプの顔料分散型カラーレジストから成る赤
色、青色、緑色の光透過性の画素パターン及び、オーバ
ーコート層を透明基板上に有するカラーフィルターの製
造方法であって、オーバーコート層を塗布する工程と、
前記オーバーコート層を有する基板をベークする工程と
、フォトマスクを用いて露光する工程と、現像する工程
と、焼成する工程とを含み、前記オーバーコート層が、
赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターンの集合した
表示エリアより広く形成され、かつ電極端子部分はオー
バーコート層が形成されておらず、オーバーコートの周
辺のエッジ形状が正のテーパーとなっていることを特徴
とするカラーフィルターの製造方法である。さらには
3)前記露光する工程において、前記オーバーコート層
が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターンの集合
した表示エリアより広く形成されるように額縁状のフォ
トマスクを用い、かつマスク面とオーバーコート層の膜
面との距離が30μmから5mmの範囲になるように、
望ましくは、1mmから3mmの範囲でマスクとオーバ
ーコート層との距離を離して露光する事を特徴とするカ
ラーフィルターの製造方法である。[Means for Solving the Problems] The color filter of the present invention is characterized by the following points. Specifically, 1) a color filter having a red, blue, and green light-transmissive pixel pattern made of a negative pigment-dispersed color resist and an overcoat layer on a transparent substrate, the overcoat layer comprising red, blue, It is formed wider than the display area where the green light-transmissive pixel pattern is assembled, and the electrode terminal part has no overcoat layer formed, and the edge shape around the overcoat layer has a positive taper. 2) A method for producing a color filter having a red, blue, and green light-transmissive pixel pattern made of a negative pigment-dispersed color resist and an overcoat layer on a transparent substrate. a step of applying an overcoat layer;
The overcoat layer includes the steps of baking the substrate having the overcoat layer, exposing the substrate to light using a photomask, developing the substrate, and baking the substrate.
It is formed wider than the display area where red, blue, and green light-transmissive pixel patterns are assembled, and no overcoat layer is formed on the electrode terminal portion, and the edge shape around the overcoat has a positive taper. This is a method for manufacturing a color filter, characterized in that: Furthermore, 3) in the exposing step, a frame-shaped photomask is used so that the overcoat layer is formed wider than a display area where red, blue, and green light-transmitting pixel patterns are assembled; The distance between the surface and the film surface of the overcoat layer is in the range of 30 μm to 5 mm.
Desirably, the method for manufacturing a color filter is characterized in that exposure is performed with a distance between the mask and the overcoat layer in the range of 1 mm to 3 mm.
【0006】以下、実施例により本発明の詳細を示す。[0006] The details of the present invention will be explained below with reference to Examples.
【0007】[0007]
【実施例】本発明の実施例において、顔料分散型カラー
レジストの材料は、富士ハントエレクトロニクステクノ
ロジー株式会社製のものを用いた。このカラーレジスト
は、商品名をカラーモザイクといい、青色のものはCB
V、赤色のものはCRY、緑色のものはCGY、透明な
ものはCTという名称を有する。このカラーレジストは
、アクリル系感光性樹脂からなり空気中の酸素によって
硬化阻害を起こすため、必要に応じて酸素遮断膜(富士
ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製 商
品名CP)を被膜した後に露光する事が望ましい。その
時、CBV、CRY、CGYはそれぞれ高い感度を示す
。[Example] In the examples of the present invention, the material of the pigment-dispersed color resist was manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd. The product name of this color resist is Color Mosaic, and the blue one is CB.
V, the red one is called CRY, the green one is CGY, and the transparent one is called CT. This color resist is made of acrylic photosensitive resin and its curing is inhibited by oxygen in the air, so if necessary, it may be coated with an oxygen barrier film (product name: CP, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) before exposure. desirable. At that time, CBV, CRY, and CGY each exhibit high sensitivity.
【0008】本発明の実施例において、顔料分散型カラ
ーレジストの材料は、富士ハントエレクトロニクステク
ノロジー株式会社製のものを用いるのが望ましいが他の
方法で色画素を形成してもよい。In the embodiments of the present invention, it is preferable to use a pigment-dispersed color resist material manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd., but color pixels may be formed by other methods.
【0009】本発明の実施例において、透明な保護層に
用いられる材料は、富士ハントエレクトロニクステクノ
ロジー株式会社製CTを用いる事が望ましいが、例えば
、感光性を有するエポキシ系、ウレタン系、ポリアミド
系、ポリイミド系等他の材料も用いることができる。
また、熱溶融性、熱可塑性の材料も用いることができる
。 本発明の実施例において、材料の塗布装置は、バ
ーコーター、ロールコーター等を用いることもできスピ
ンコーターも使用できる。また、印刷法で塗布する事も
できる。In the embodiments of the present invention, it is preferable to use CT manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd. as the material used for the transparent protective layer, but examples include photosensitive epoxy, urethane, polyamide, Other materials such as polyimide can also be used. Furthermore, thermofusible and thermoplastic materials can also be used. In the embodiments of the present invention, the material coating device may be a bar coater, a roll coater, or a spin coater. It can also be applied by a printing method.
【0010】本実施例では、露光用光源として超高圧水
銀灯を用いた。In this example, an ultra-high pressure mercury lamp was used as the light source for exposure.
【0011】本発明の透明基板には、ソーダガラスを用
いるのが望ましいが、他のガラス、例えば石英ガラス、
無アルカリガラスもしくはポリカーボネート、ポリアク
リル樹脂などの有機高分子基板も用いる事ができる。ま
た、無機質の薄膜が有ってもよい。Although soda glass is preferably used for the transparent substrate of the present invention, other glasses such as quartz glass,
An alkali-free glass or an organic polymer substrate such as polycarbonate or polyacrylic resin can also be used. Further, there may be an inorganic thin film.
【0012】本実施例のカラーフィルターのパターンは
、ストライプ状であるがモザイクタイプの様に画素が色
間で分割されていても本発明が適応できる。Although the pattern of the color filter of this embodiment is striped, the present invention is also applicable to a mosaic type in which pixels are divided between colors.
【0013】(実施例1)本発明のカラーフィルターの
実施例を図3に示した。図3において、透明基板101
上に赤色の画素102、青色の画素103、緑色の画素
104が形成されている。さらに、各絵素上に保護層1
06が形成されている。この保護層106は各画素の集
合した表示エリアよりも広い範囲で形成されており、透
明基板101と直接に接している保護層106が存在す
る画素の外周部は、保護層の厚みが徐々に減少している
。すなわち、このカラーフィルターの透明基板101を
用いた液晶素子とフレキシブルな基板に実装された液晶
ドライバー107との接続点では、液晶駆動用の透明電
極108はフレキシブルな基板に実装された液晶ドライ
バー107との接点で液晶素子の透明基板101に直接
接しており密着性が非常に良い。(Example 1) An example of the color filter of the present invention is shown in FIG. In FIG. 3, a transparent substrate 101
A red pixel 102, a blue pixel 103, and a green pixel 104 are formed on the top. Furthermore, a protective layer 1 is placed on each picture element.
06 is formed. This protective layer 106 is formed over a wider area than the display area where each pixel is assembled, and the thickness of the protective layer gradually decreases at the outer periphery of the pixel where the protective layer 106 is in direct contact with the transparent substrate 101. is decreasing. That is, at the connection point between the liquid crystal element using the transparent substrate 101 of this color filter and the liquid crystal driver 107 mounted on the flexible substrate, the transparent electrode 108 for driving the liquid crystal connects with the liquid crystal driver 107 mounted on the flexible substrate. It is in direct contact with the transparent substrate 101 of the liquid crystal element at the contact point and has very good adhesion.
【0014】(実施例2)図4において、透明基板10
1上に緑色のカラーレジストCGYを塗布し、乾燥後ガ
ラスマスクを用いて所望の露光量にて露光、現像し、ス
トライプ状の緑色の絵素104を形成した。高温で焼成
した後に、赤色のカラーレジストCRYを塗布し、CG
Yと同様の工程にて赤色の絵素102がCGYと重なら
ないように形成した。なお、現像液はアルカリ系現像液
(富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製
商品名CD)を用いた。同様に青色の絵素103を
形成しカラーフィルター基板109を得た。図5におい
て、上記基板109に、保護膜としてアクリル系樹脂(
富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製
商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後前記絵素エリア
より大きな範囲に保護膜を形成する為に、フォトマスク
を用いて露光し保護層106を形成した。この時、透明
基板101と直接に接している保護層106が存在する
画素の外周部の保護層106の厚みが徐々に減少してい
る状態すなわち、正のテーパーを有する構造をつくり込
むために、前記露光する工程において、前記オーバーコ
ート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターン
より広く形成されるように額縁状のフォトマスク110
を用い、かつマスク面とオーバーコート層の膜面との距
離111が3.1mmのとなるようにマスクとオーバー
コート層との距離を離して露光した。その結果、図5に
示した様なカラーフィルター基板112が得られた。得
られた保護層を有するカラーフィルター基板を用いて液
晶素子を作製したところ非常に信頼性の高い液晶素子が
得られた。(Embodiment 2) In FIG. 4, a transparent substrate 10
A green color resist CGY was applied onto the photoresist 104, and after drying, it was exposed to light using a glass mask at a desired exposure amount and developed, thereby forming striped green picture elements 104. After firing at a high temperature, a red color resist CRY is applied and CG
The red picture element 102 was formed in the same process as Y so that it did not overlap with CGY. Note that an alkaline developer (trade name: CD, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as the developer. Similarly, blue picture elements 103 were formed to obtain a color filter substrate 109. In FIG. 5, acrylic resin (
Manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.
CT (trade name) was applied to the substrate, and after drying, exposure was performed using a photomask to form a protective layer 106 in order to form a protective film in an area larger than the picture element area. At this time, in order to create a state in which the thickness of the protective layer 106 at the outer periphery of the pixel where the protective layer 106 is in direct contact with the transparent substrate 101 is gradually reduced, that is, to create a structure having a positive taper, In the exposing step, a frame-shaped photomask 110 is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns.
Exposure was performed using a mask and the overcoat layer at a distance such that the distance 111 between the mask surface and the film surface of the overcoat layer was 3.1 mm. As a result, a color filter substrate 112 as shown in FIG. 5 was obtained. When a liquid crystal device was manufactured using the color filter substrate having the obtained protective layer, a highly reliable liquid crystal device was obtained.
【0015】(実施例3)図6において、透明基板10
1上に、緑色のカラーレジストCGYを塗布し、乾燥後
ガラスマスクを用いて所望の露光量にて露光、現像し、
ストライプ状の緑色の絵素104を形成した。高温で焼
成した後に、赤色のカラーレジストCRYを塗布し、C
GYと同様の工程にて赤色の絵素102がCGYと重な
るように形成した。なお、現像液はアルカリ系現像液(
富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製
商品名CD)を用いた。同様に青色の絵素103を形
成しカラーフィルター基板112を得た。図7において
、上記カラーフィルター基板113に、保護膜としてア
クリル系樹脂(富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー株式会社製 商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後
前記絵素エリアより大きな範囲に保護膜を形成する為に
、フォトマスク110を用いて露光し保護層106を形
成した。この際、透明基板101と直接に接している保
護層106が存在する画素の外周部は、保護層106の
厚みが徐々に減少している状態すなわち、正のテーパー
を有する構造をつくり込むために前記露光する工程にお
いて、前記オーバーコート層が、赤色、青色、緑色の光
透過性の画素パターンの集合した表示エリアより広く形
成されるように額縁状のフォトマスク110を用い、か
つマスク面とオーバーコート層の膜面との距離111が
1.1mmのとなるようにマスクとオーバーコート層と
の距離を離して露光した。その結果、図7に示した様な
なカラーフィルター基板114が得られた。得られたカ
ラーフィルター基板を用いて液晶素子を作製したところ
非常に信頼性の高い液晶素子が得られた。(Embodiment 3) In FIG. 6, a transparent substrate 10
1, a green color resist CGY is applied, and after drying, it is exposed to a desired amount of light using a glass mask and developed.
Striped green picture elements 104 were formed. After baking at high temperature, apply red color resist CRY,
The red picture element 102 was formed so as to overlap with CGY in the same process as GY. Note that the developer is an alkaline developer (
Manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.
(trade name: CD) was used. Similarly, blue picture elements 103 were formed to obtain a color filter substrate 112. In FIG. 7, an acrylic resin (product name CT, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) is applied as a protective film to the color filter substrate 113, and after drying, a protective film is formed in an area larger than the picture element area. Therefore, a protective layer 106 was formed by exposure using a photomask 110. At this time, the outer periphery of the pixel where the protective layer 106 is in direct contact with the transparent substrate 101 is in a state where the thickness of the protective layer 106 gradually decreases, that is, in order to create a structure with a positive taper. In the exposing step, a frame-shaped photomask 110 is used so that the overcoat layer is formed wider than the display area where the red, blue, and green light-transmitting pixel patterns are assembled, and the overcoat layer is formed so that the overcoat layer overlaps the mask surface. Exposure was performed while separating the mask and the overcoat layer so that the distance 111 from the film surface of the coat layer was 1.1 mm. As a result, a color filter substrate 114 as shown in FIG. 7 was obtained. When a liquid crystal device was manufactured using the obtained color filter substrate, a highly reliable liquid crystal device was obtained.
【0016】(実施例4)図4において、透明基板10
1上に、緑色のカラーレジストCGYを塗布し、乾燥後
ガラスマスクを用いて所望の露光量にて露光、現像し、
ストライプ状の緑色の絵素104を形成した。高温で焼
成した後に、赤色のカラーレジストCRYを塗布し、C
GYと同様の工程にて赤色の絵素102がCGYと重な
らないように形成した。なお、現像液はアルカリ系現像
液(富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社
製 商品名CD)を用いた。同様に青色の絵素103
を形成しカラーフィルター基板109を得た。図6にお
いて、上記基板109に、保護膜としてアクリル系樹脂
(富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製
商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後前記絵素エリ
アより大きな範囲に保護膜を形成する為に、フォトマス
クを用いて露光し保護層106を形成した。この時、透
明基板101と直接に接している保護層106が存在す
る画素の外周部の保護層106の厚みが徐々に減少して
いる状態すなわち、正のテーパーを有する構造をつくり
込むために、前記露光する工程において、前記オーバー
コート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パター
ンより広く形成されるように額縁状のフォトマスク11
0を用い、かつマスク面とオーバーコート層の膜面との
距離111が2.4mmのとなるようにマスクとオーバ
ーコート層との距離を離して露光した。その結果、図5
に示した様なカラーフィルター基板112が得られた。
得られた保護層を有するカラーフィルター基板を用いて
液晶素子を作製したところ非常に信頼性の高い液晶素子
が得られた。(Embodiment 4) In FIG. 4, a transparent substrate 10
1, a green color resist CGY is applied, and after drying, it is exposed to a desired amount of light using a glass mask and developed.
Striped green picture elements 104 were formed. After baking at high temperature, apply red color resist CRY,
The red picture elements 102 were formed in the same process as GY so as not to overlap with CGY. Note that an alkaline developer (trade name: CD, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as the developer. Similarly, blue picture element 103
A color filter substrate 109 was obtained. In FIG. 6, an acrylic resin (product name CT, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) is applied as a protective film to the substrate 109, and after drying, in order to form a protective film in a larger area than the pixel area. A protective layer 106 was formed by exposure using a photomask. At this time, in order to create a state in which the thickness of the protective layer 106 at the outer periphery of the pixel where the protective layer 106 is in direct contact with the transparent substrate 101 is gradually reduced, that is, to create a structure having a positive taper, In the exposing step, a frame-shaped photomask 11 is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns.
0, and the distance between the mask and the overcoat layer was set so that the distance 111 between the mask surface and the film surface of the overcoat layer was 2.4 mm. As a result, Figure 5
A color filter substrate 112 as shown in 1 was obtained. When a liquid crystal device was manufactured using the color filter substrate having the obtained protective layer, a highly reliable liquid crystal device was obtained.
【0017】(実施例5)図8において、実施例2で得
られたカラーフィルター基板109に、保護膜としてア
クリル系樹脂(富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー株式会社製 商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後
前記絵素エリアより大きな範囲に保護膜を形成する為に
、フォトマスクを用いて露光し保護層106を形成した
。
この時、透明基板101と直接に接している保護層10
6が存在する画素の外周部の保護層106の厚みが徐々
に減少している状態すなわち、正のテーパーを有する構
造をつくり込むために、前記露光する工程において、図
8に示した様にフォトマスクを通常の使用方法と逆の面
を被感光材料である保護層106に接し露光を行ない保
護層を形成した。このフォトマスクは、2.8mmのガ
ラスを基板としている。前記オーバーコート層が、赤色
、青色、緑色の光透過性の画素パターンより広く形成さ
れるように額縁状のフォトマスク110を用い、かつマ
スク面とオーバーコート層の膜面との距離111が2.
4mmのとなるようにマスクとオーバーコート層との距
離を離して露光した。その結果、図8に示した様なカラ
ーフィルター基板112が得られた。得られたカラーフ
ィルター基板112を用いて液晶素子を作製したところ
非常に信頼性の高い液晶素子が得られた。(Example 5) In FIG. 8, an acrylic resin (product name CT, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was applied as a protective film to the color filter substrate 109 obtained in Example 2, and dried. After that, in order to form a protective film in a larger area than the picture element area, a protective layer 106 was formed by exposure using a photomask. At this time, the protective layer 10 in direct contact with the transparent substrate 101
In order to create a state in which the thickness of the protective layer 106 at the outer periphery of the pixel where 6 is present gradually decreases, that is, a structure having a positive taper, in the exposure step, a photo film is applied as shown in FIG. A protective layer was formed by exposing the mask to light with the opposite side of the mask in contact with the protective layer 106, which is a photosensitive material. This photomask uses a 2.8 mm glass substrate. A frame-shaped photomask 110 is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns, and the distance 111 between the mask surface and the film surface of the overcoat layer is 2. ..
Exposure was performed with a distance between the mask and the overcoat layer so that the distance was 4 mm. As a result, a color filter substrate 112 as shown in FIG. 8 was obtained. When a liquid crystal element was manufactured using the obtained color filter substrate 112, a highly reliable liquid crystal element was obtained.
【0018】(実施例6)図9において、実施例3で得
られたカラーフィルター基板113に、保護膜としてア
クリル系樹脂(富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー株式会社製 商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後
前記絵素エリアより大きな範囲に保護膜を形成する為に
、フォトマスクを用いて露光し保護層106を形成した
。
この時、透明基板101と直接に接している保護層10
6が存在する画素の外周部の保護層106の厚みが徐々
に減少している状態すなわち、正のテーパーを有する構
造をつくり込むために、前記露光する工程において、図
8に示した様にフォトマスクを通常の使用方法と逆の面
を被感光材料である保護層106に接し露光を行ない保
護層を形成した。このフォトマスクは、2.8mmのガ
ラスを基板としている。前記オーバーコート層が、赤色
、青色、緑色の光透過性の画素パターンより広く形成さ
れるように額縁状のフォトマスク110を用い、かつマ
スク面とオーバーコート層の膜面との距離111が2.
4mmのとなるようにマスクとオーバーコート層との距
離を離して露光した。その結果、図9に示した様なカラ
ーフィルター基板114が得られた。得られたカラーフ
ィルター基板114を用いて液晶素子を作製したところ
非常に信頼性の高い液晶素子が得られた。(Example 6) In FIG. 9, an acrylic resin (trade name CT, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was applied as a protective film to the color filter substrate 113 obtained in Example 3, and dried. After that, in order to form a protective film in a larger area than the picture element area, a protective layer 106 was formed by exposure using a photomask. At this time, the protective layer 10 in direct contact with the transparent substrate 101
In order to create a state in which the thickness of the protective layer 106 at the outer periphery of the pixel where 6 is present gradually decreases, that is, a structure having a positive taper, in the exposure step, a photo film is applied as shown in FIG. A protective layer was formed by exposing the mask to light with the opposite side of the mask in contact with the protective layer 106, which is a photosensitive material. This photomask uses a 2.8 mm glass substrate. A frame-shaped photomask 110 is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns, and the distance 111 between the mask surface and the film surface of the overcoat layer is 2. ..
Exposure was performed with a distance between the mask and the overcoat layer so that the distance was 4 mm. As a result, a color filter substrate 114 as shown in FIG. 9 was obtained. When a liquid crystal element was manufactured using the obtained color filter substrate 114, a highly reliable liquid crystal element was obtained.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上本発明によれば信頼性の高いカラー
フィルターを安価に提供することができる。As described above, according to the present invention, a highly reliable color filter can be provided at low cost.
【図1】絵素間の遮光部を色の重ねで作製した従来のカ
ラーフィルターの断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional color filter in which the light-shielding portion between picture elements is made by overlapping colors.
【図2】保護層が厚く形成されたカラーフィルターの断
面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of a color filter with a thick protective layer.
【図3】本発明のカラーフィルターの断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the color filter of the present invention.
【図4】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 4 is a diagram showing an example of the method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図5】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 5 is a diagram showing an example of the method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図6】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 6 is a diagram showing an example of the method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図7】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 7 is a diagram showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図8】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 8 is a diagram showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図9】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示した図。FIG. 9 is a diagram showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.
101:透明基板
102:赤色の画素
103:青色の画素
104:緑色の画素
105:絵素の重なり部
106:保護層
107:フレキシブルな基板に実装された液晶ドライバ
ー
108:液晶駆動用の透明電極
109:本発明のカラーフィルター基板110:フォト
マスク101: Transparent substrate 102: Red pixel 103: Blue pixel 104: Green pixel 105: Overlapping area of picture elements 106: Protective layer 107: Liquid crystal driver mounted on flexible substrate 108: Transparent electrode for driving liquid crystal 109 : Color filter substrate 110 of the present invention: Photomask
Claims (7)
トから成る赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターン
及び、オーバーコート層を透明基板上に有するカラーフ
ィルターにおいて、オーバーコート層が、赤色、青色、
緑色の光透過性の画素パターンより広く形成され、かつ
電極端子部分はオーバーコート層が形成されておらず、
オーバーコートの周辺のエッジ形状が正のテーパーとな
っていることを特徴とするカラーフィルター。1. A color filter having a red, blue, and green light-transmitting pixel pattern made of a negative pigment-dispersed color resist and an overcoat layer on a transparent substrate, the overcoat layer comprising red, blue,
It is formed wider than the green light-transmissive pixel pattern, and no overcoat layer is formed on the electrode terminal part.
A color filter characterized by a positive tapered edge shape around the overcoat.
トから成る赤色、青色、緑色の光透過性の画素パターン
及び、オーバーコート層を透明基板上に有するカラーフ
ィルターの製造方法でにおいて、オーバーコート層を塗
布する工程と、前記オーバーコート層を有する基板をベ
ークする工程と、フォトマスクを用いて露光する工程と
、現像する工程と、焼成する工程とを含み、前記オーバ
ーコート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パタ
ーンの集合した表示エリアより広く形成され、かつ電極
端子部分はオーバーコート層が形成されておらず、オー
バーコートの周辺のエッジ形状が正のテーパーとなって
いることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。2. A method for producing a color filter having a red, blue, and green light-transmissive pixel pattern made of a negative pigment-dispersed color resist and an overcoat layer on a transparent substrate, the method comprising applying an overcoat layer. baking the substrate having the overcoat layer, exposing it to light using a photomask, developing it, and baking it, and the overcoat layer has red, blue, green It is formed wider than the display area where the light-transmissive pixel patterns are assembled, and the electrode terminal portion has no overcoat layer, and the edge shape around the overcoat has a positive taper. A method for manufacturing a color filter.
ォトレジストである事を特徴とする請求項1記載のカラ
ーフィルター。3. The color filter according to claim 1, wherein the overcoat layer is a negative photoresist.
ォトレジストである事を特徴とする請求項2記載のカラ
ーフィルターの製造方法4. The method for manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the overcoat layer is a negative photoresist.
バーコート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パ
ターンより広く形成されるように額縁状のフォトマスク
を用い、かつマスク面とオーバーコート層の膜面との距
離が1μm以上になるようにマスクとオーバーコート層
との距離を離して露光する事を特徴とする請求項2請求
項4記載のカラーフィルターの製造方法。5. In the exposing step, a frame-shaped photomask is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns, and the mask surface and the overcoat layer are 5. The method of manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the exposure is performed with a distance between the mask and the overcoat layer such that the distance from the film surface of the layer is 1 μm or more.
バーコート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パ
ターンの集合した表示エリアより広く形成されるように
額縁状のフォトマスクを用い、かつマスク面とオーバー
コート層の膜面との距離が30μmから5mmの範囲に
なるようにマスクとオーバーコート層との距離を離して
露光する事を特徴とする請求項2請求項4記載のカラー
フィルターの製造方法。6. In the exposing step, a frame-shaped photomask is used so that the overcoat layer is formed wider than a display area where red, blue, and green light-transmissive pixel patterns are assembled, and 4. The color filter according to claim 2, wherein the color filter is exposed with a distance between the mask and the overcoat layer such that the distance between the mask surface and the film surface of the overcoat layer is in the range of 30 μm to 5 mm. manufacturing method.
バーコート層が、赤色、青色、緑色の光透過性の画素パ
ターンより広く形成されるように額縁状のフォトマスク
を用い、かつマスク面とオーバーコート層の膜面との距
離が1mmから3mmの範囲になるようにマスクとオー
バーコート層との距離を離して露光する事を特徴とする
請求項2請求項4記載のカラーフィルターの製造方法。7. In the exposing step, a frame-shaped photomask is used so that the overcoat layer is formed wider than the red, blue, and green light-transmissive pixel patterns, and the mask surface and the overcoat layer are 5. The method of manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the exposure is performed with a distance between the mask and the overcoat layer so that the distance from the film surface of the layer is in the range of 1 mm to 3 mm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4037991A JP3018524B2 (en) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | Manufacturing method of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4037991A JP3018524B2 (en) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | Manufacturing method of color filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04278902A true JPH04278902A (en) | 1992-10-05 |
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ID=12579022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4037991A Expired - Lifetime JP3018524B2 (en) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | Manufacturing method of color filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018524B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7050137B2 (en) | 2001-09-28 | 2006-05-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate for use in a liquid crystal display and liquid crystal display using the same |
| JP2009075239A (en) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE INCLUDING THE SAME, AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD |
-
1991
- 1991-03-07 JP JP4037991A patent/JP3018524B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7050137B2 (en) | 2001-09-28 | 2006-05-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate for use in a liquid crystal display and liquid crystal display using the same |
| US7405781B2 (en) | 2001-09-28 | 2008-07-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate for use in a liquid crystal display having a patterned resin color filter layer |
| JP2009075239A (en) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE INCLUDING THE SAME, AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD |
Also Published As
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| JP3018524B2 (en) | 2000-03-13 |
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