JPH04280792A - 真空持上げ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも１つの吸着
ヘッドを備え、吸着ヘッドの吸着側に環状シールを取り
巻く真空室を形成しながら複数の突出する環状シールを
有し、真空室が真空発生器を有する真空源に接続してお
り、その際真空源がそれぞれ１つの制御弁を介して１つ
の乃至は複数の外側に位置する真空室と接続されており
、その制御弁はそれぞれセンサーによって操作され、セ
ンサーは従属する制御弁と共に荷重を載せた時に開放方
向に、そして荷重を下ろした時に閉鎖方向に動かされる
様な真空持上げ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】その様な真空持上げ装置は概ねクレーン
構造用に決められてしるが、しかしまた持ち上げマスト
を有するフォーク積層体に類似の床搬送装置、バランス
装置、マニピュレーター、ロール変換機等に取り付けら
れている。その際多段装置も問題になる。それらの装置
で取り分け巻き付けられたベルトからなり、その材料が
例えば紙、金属、プラスチック又は積層体である様なベ
ルトからなるロールが持ち上げられ、供給される。しか
も吸着ヘッドの形状に応じて置かれた又は直立するロー
ルに付着し乃至はロール上に端面側で又は周辺側で付着
乃至は載ることにより持ち上げられ、供給される。例え
ばディスクの如き平らな物体もその様な真空持上げ装置
で転換される。

【０００３】その種の真空持上げ装置は例えばドイツ連
邦共和国実用新案第８４　３５　１６１．６　号公報に
記載されている。その装置は吸着ヘッドとして平らな吸
着板を有し、その下側には同心的に互いに間隔を置いた
複数の環状シールが設けられている。これら環状シール
はこれらによりそれぞれ取り囲まれ、互いに分離した真
空室を形成し、それら真空室は、蓋が与えられている限
り、吸着板を載せた時に搬送のために決めた荷重のこの
為に設けた付着面上に密閉した環状室を形成する。その
際環状シールは円形である必要はなく、それらが唯一の
閉じたリングを形成している限り、それぞれ別の形、例
えば楕円形又は角ばった形をしていても良い。それらは
互いに入り子式に成っている必要はない。それらは互い
に隣接する真空室を取り囲み又は幾つかの吸着板上に分
割されていても良い。

【０００４】真空室は、吸着板にある開口を介して例え
ば真空ポンプの様な真空発生器を備える真空源と接続さ
れている。真空発生器に接続して各真空室には−内側に
位置する真空室の外側に設けられている真空室には−１
つの弁が従属している。各弁は真空持上げ装置が下がっ
た時に荷重の付着面の大きさを走査するセンサーと結合
されている。センサーはそれぞれ、センサーによって制
御弁が閉じられ、それらの従属する真空室が付着面に載
った時に完全に閉じられる様に配設されている。こうし
て真空室だけが真空源への接続を維持するように確保さ
れ、これら真空源は荷重の上に真空持上げ装置を載せた
後、閉じた真空室を形成し、それにより何ら誤空気が吸
引されることはない。

【０００５】センサーとして特にセンサーピンが問題と
なり、これらピンは荷重の付着面により吸い込んだ時に
高く押され、こうして制御弁の弁頭を押し上げ、制御弁
を開放する。その際しかしながら、それぞれ弁頭及び走
査ピンが開放前に真空室とは反対の側で完全な真空力に
曝されるのは問題であることが分かった。従って弁座上
で確実に弁頭を押さえ、その際真空力を克服するそれ相
応に強いバネを設ける必要がある。更に走査ピンは真空
密に案内される必要があり、そのことは対応する摩擦力
と関連する。走査ピンが荷重の端面を傷付けることがあ
るという結果をもって、荷重上に真空持上げ装置を載せ
た時に走査ピンの運動に対して強い力が反作用する結果
となる。

【０００６】その様な吸引皿体が曲げを受けることによ
って吸引皿体のガイド内で走査ピンの摩擦が高まること
が起こる。というのはその自重を出来るだけ小さく保と
うとし、それにより強度は弾性限界の近くまで利用しよ
うと望むからである。極端な場合これは引っ掛かって動
かなくなることもある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、閉じた状態
で確実にシールしているにも拘らず１つ乃至は複数の制
御弁の操作力が出来るだけ小さく成っている様に初めに
述べた種の真空持上げ装置を形成することを課題とする
ものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
りば、それぞれセンサーがバランスシリンダー内に案内
されたバランスピストンと連結されており、その閉鎖方
向に向いたピストン側で真空源と接続しており、開放方
向に変動されるピストン側は従属する真空室と常に接続
し、その際特に有利な様にバランスピストンの面が制御
弁の弁頭の面とそれぞれ等しくなる様にして解決される
。

【０００９】この構造で弁頭及びセンサーに作用する真
空力は制御弁が閉じた時にはバランスされる。というの
はセンサーには閉鎖方向に同一の真空力が作用し、この
力は弁頭で開放方向に、従って反対方向に作用するから
である。制御弁が開放されると、弁頭には何ら圧力差は
無くなる。従属する真空室と閉鎖方向に向いたピストン
側が従属する真空室と接続してバランスピストンに圧力
バランスが生じ、そこにはまた何ら自由な力が最早与え
られないという結果となる。弁頭を弁開口乃至は弁座と
確実に接触するために、そこには比較的僅かのバネ力を
有するバネがあれば充分である。センサーを用いて弁を
開放するためには従って単にそれ相応の僅かの力を克服
しさえすれば良い。

【００１０】本発明の実施形態では、それぞれ制御弁に
は弁棒に取り付けてある弁頭を備え、弁棒が中空に形成
されており、従属する真空室に開いており、そして弁棒
がバランスピストンの開放方向に向いたピストン側と接
続している様に成されている。こうしてこのピストン側
は常に従属する真空室に接続することになる。

【００１１】本発明によれば更にそれぞれセンサー及び
弁は互いに平行に可動に支持されており、センサーが弁
棒と非摩擦係合的（形状拘束的）に接続されている構成
する。その際弁棒及び／又はセンサーは閉鎖方向にバネ
付勢される様にする。

【００１２】本発明の更に別の実施形態では、センサー
が横に分割されており、その際バランスピストンを支持
するセンサー部分が吸引皿体により分割されたケーシン
グ内に支持されている様に提案されている。このことは
、バランスピストンを支持するセンサー部分は真空密に
案内されうるという長所を有する。というのは従属する
ケーシングは吸引皿体の曲げに屈せず、他方のセンサー
部分は吸引皿体内に緩く、従って摩擦が少なく案内され
るからである。

【００１３】

【実施例】次に図面に基づいて本発明の実施例を詳細に
説明することにする：図面は右の部分は省略した真空持
上げ装置１の左と中央部分を示し、真空持上げ装置１は
直立するペーパーロール３の上側２に載り、ペーパーロ
ール３は内側に巻取り軸４を備えている。この巻取り軸
４上に紙シートが巻かれている。

【００１４】真空持上げ装置１の主要部分は真空タンク
５であり、それは上方から見て円形に形成されている。 真空タンク５は真空密の溶接構造として構成されており
、下方の閉鎖部として吸着板６と、上側に上方板７とを
有している。中央領域には中央パイプ８が装着されてお
り、このパイプは真空タンク５の中央閉鎖部を形成する
。外側で真空タンク５は周囲を取り巻く側壁９によって
閉鎖される。

【００１５】吸着板６の下側には真空持上げ装置１の中
央の垂直軸に対して同心的にエラストマー材料からなる
３つの円形の環状シール１０，１１，１２が取り付けら
れている。これらの環状シール１０，１１，１２と共に
真空持上げ装置１はペーパーロール３の上側３に載って
いる。内側に位置する環状シール１０は、それが巻取り
軸４の外側に位置する様な大きさの直径を有し、従って
巻取り軸４を介して全く間違った空気が吸い込まれるこ
とはない。これとは別の外側に位置する中央の環状シー
ル１１でもって内側に位置する環状シール１０はリング
形状の内側に位置する真空室１３を形成する。外側に位
置する環状シール１２は中央の環状シール１１と共に更
に別のリング形状で外側に位置する真空室１４を形成し
、この真空室は内側に位置する真空室とは中央の環状シ
ール１１によって分離されている。真空持上げ装置１が
大きな直径を有している場合には、外側に向かい、それ
相応の方法で更に別の真空室を設けることも出来る。

【００１６】真空タンク５は真空導管１５を介して真空
発生器１６と接続している。真空発生器１６は回転数調
節装置１７と接続されており、更に逆止弁１８を有して
いる。真空発生器１６は貯蔵器として役立つ真空タンク
５を常に所定の低圧に保持する。

【００１７】真空タンク５から、三路弁２０に通じる真
空パイプ１９が出ているが、この弁は電磁的に操作され
る。三路弁２０には逆止弁２２を設けられて出口２１が
接続されており、この出口で外気への接続部が作られる
。更に導管２３が接続されており、この導管には調節弁
２４が設けられ、導管２３は貫通パイプ２５に通じてい
る。貫通パイプ２５は真空タンク５を貫通し、内側の真
空室１３へと開放されている。

【００１８】調節弁２４は調節導線２６でもって、測定
値受信器２８と協動する測定値変換器２７と接続し、こ
の測定値受信器は再び真空タンク５を貫通する測定導線
２９を介して内側に位置する真空室１３と接続している
。点線で示した別の制御導線３０は回転数調節装置１７
と接続されている。

【００１９】三路弁２０の図示の位置で真空タンク５は
、真空導管１９、三路弁２０、導管２３、調節弁２４及
び貫通パイプ２５を介して内側に位置する真空室１３と
接続している。この真空室は従って完全な真空となって
おり、その際真空は調節弁２４を用いて所定の値に調節
され、この値は測定導線２９、測定値受信器２８及び測
定値変換器２７を介して検出され、調節弁２４に調節値
として送られる。真空を更に影響するのは回転数調節装
置１７を介して行われる。

【００２０】内側に位置する真空室１３内の真空を止め
ようとする時には、三路弁２０が切換えられる。こうし
て導管２３、貫通パイプ２５及び内側に位置する真空室
１３は逆止弁２２を介して外気と接続し、即ち内側の真
空室１３は排気される。同時に前から存在する真空導管
１５と導管２３との間の接続が中断され、即ち真空タン
ク５内の真空は維持されたままとなる。

【００２１】外側領域で真空タンク５の上方板７上には
中空の真空ブロック３１が載っている。その内部室３２
は真空タンク５を貫通する貫通パイプ３３を介して内側
の真空室１３と接続し、即ち内部室３２は何時も内側の
真空室１３と同じ圧力に成っている。

【００２２】真空ブロック３１は下側に弁開口３４を有
し、それは弁頭３５と協動する。弁頭３５は弁棒３６に
あり、この弁棒は中空に形成されており、弁棒の下側と
上側では開いたままである。弁棒３６はその上端で弁棒
ガイド３７内に位置する。ここには図示していない別の
弁棒ガイドは弁棒３６の下端の領域に設けられている。 弁棒３６は内部室３２の領域で圧力をかける螺旋バネ３
８によって取り囲まれており、そのバネは上側で弁棒ガ
イド３７に、そして下側で弁頭３５の上方の軸つば３９
に支持している。弁頭３５は弁開口３４の方向に圧縮バ
ネ付勢されている。

【００２３】弁開口３４は真空タンク５を貫通するフィ
ルターパイプ４０で下方へと続き、このパイプは外側の
真空室１４に通じている。フィルターパイプ４０にはフ
ィルター挿入物４１が設けられ、弁頭３５が弁開口３４
から持ち上げられる時に、フィルター挿入物を通して外
側の真空室１４から来る吸引空気が流れる。

【００２４】真空タンク５の側壁９の外側に案内パイプ
４２が設けられ、この中に比較的緩く保持されて、走査
ピン４３が垂直に可動に支承されている。案内パイプは
外側の環状シール１２の外側に直接並んで位置している
。

【００２５】走査ピン４３の上側及び軸方向の延長部に
は操作棒４４が真空ブロック３１の下方及び上方壁内に
真空密に支承されている。操作棒４４はその内部室３２
の範囲で圧縮を行う螺旋バネ４５により取り囲まれてお
り、そのバネは弁棒３６の螺旋バネ３８と同じバネ力を
発揮する。螺旋バネ４５は真空ブロック３１の上方壁と
、下方では操作棒４４にしっかりと固定されたフォーク
状レバー４６に支持している。フォーク状レバー４６は
弁棒３６の所まで水平に延びており、そこで軸つば３９
と弁頭３５との間で形状拘束的に把持している。こうし
て弁頭３５は操作棒４４の運動を一緒に行う。

【００２６】操作棒４４は真空ブロック３１から上方へ
バランスシリンダー４７へと突出し、そこで端部側にバ
ランスシリンダー４７内に密閉して走行するバランスピ
ストン４８を備え、そのピストン面は弁頭３５の面と等
しい。バランスピストン４８の上側にある室はバランス
導管４９を介して弁棒ガイド３７と接続している。バラ
ンスピストン４８の下側の室はバランス孔５０を介して
真空ブロック３１の内部室３２と接続している。

【００２７】付加的で外側に位置する真空室を有するよ
り大きな真空持上げ装置にあっては、各真空室の為に前
に記した装置が設けられ、その際各真空ブロックはそれ
ぞれ次の内側に位置する真空室と接続している。

【００２８】図示の例では走査ピン４３はその最も下の
位置にある。というのはペーパーロール３の直径は丁度
外側に位置する環状シール１２の外径と一致しているか
らである。ペーパーロール３上に真空持上げ装置１を載
せた時に弁頭３５は押し上げられない。その際内部室３
２内の真空のために開放方向で弁頭３５の方に働く真空
力と、バランスピストン４８の下側にバランス孔５０を
介して働く真空力とはほぼ一致する弁頭３５とバランス
ピストン４８の直径のためにバランスが採られ、即ち操
作棒４４、従ってフォーク状レバー４６は、弁頭３５で
開放方向に作用する力と等しい力で下方に押圧される。 このバランスのために弁頭３５は単に螺旋バネ３８，４
５によって弁開口３４の方へ押圧される。

【００２９】通常の場合図示の如く、ペーパーロール３
の直径は正確に外側に位置する環状シール１２の外径と
一致する。外径がより大きいと、走査ピン４３は真空持
上げ装置１を載せた時にまだ操作されない。というのは
環状シールが真空持上げ装置１の自重によりほぼ一緒に
押圧されるとしも、走査ピンは環状シール１０，１１，
１２よりも下方へ殆ど突出していないからである。三路
弁２０が図示の位置にもたらされ、従って真空室１３が
完全な真空で作用を受けた時に初めて、走査ピン４３は
ペーパーロールの上側に接合し、上方へ押圧される様に
強く環状シール１０，１１，１２は圧縮される。その際
走査ピンは操作棒４２のその上端と下端との間の距離を
橋渡しし、これを連行する。

【００３０】フォーク状レバー４６を介してその時弁頭
３５は螺旋バネ３８，４５の作用に反して弁開口３４か
ら持ち上げられる。こうして外側の真空室１４はフィル
ターパイプ４０、弁開口３４、真空ブロック３１及び貫
通パイプ３３を介して同様に真空下に置かれる。弁頭３
５が持ち上がると共に、弁頭には上側と下側で圧力のバ
ランスが採られ、それは別の手段無に、バランスピスト
ン４８の下側に作用する真空力は、操作棒４４、従って
弁棒３６をも再び下方へ押圧するという結果になった。 しかしながら弁棒３６は中空に形成され、バランスシリ
ンダー４７との接続がバランス導管４９を介して行われ
ているので、バランスピストン４８の上方の空間は真空
を受けており、その為に先ずそこに存する圧力差が止め
られる。

【００３１】既に上に述べた様に、ペーパーロール３を
取り除いた後、内側の真空室１３が三路弁２０の操作に
より排気される。この排気は真空ブロック３１の内部室
３２にも、従って外側の真空室１４にも働く、というの
は弁頭３５はまだ開いているからである。真空持上げ装
置１を持ち上げる際に走査ピン４３は再びその案内パイ
プ４２から出て、弁頭３５と操作棒４４とは螺旋バネ３
８乃至は４５の作用のために再び下降し、弁頭３５が弁
開口３４を閉鎖する。

【００３２】上記の状態は、ペーパーロール３が図示の
直径よりも大きな直径を有し、その為走査ピン４３が上
に置いた時に持ち上げられることを前提としている。こ
の実施例ではこれはその様な状態になく、従って走査ピ
ン４３はその下方に突出する位置に留まる。このことは
、外側の真空室１４がペーパーロール３の上側２によっ
て閉じられており、真空を受ける結果ということになる
。ペーパーロール３を持ち上げ、懸架して搬送するため
に、この様な場合に真空室から出発する吸引力は充分で
あるという様に、内側の真空室１３はしかしながらその
面は算出されており、その結果そのような場合に外側の
真空室１４の真空作用を必要としない。真空持上げ装置
１を置いて、続いて持ち上げた場合に、しかしながら外
側の真空室１４に環状シール１１，１２の弾性を強める
ことによって真空が生ずるという問題が起こる。その理
由は排気した内側の真空室１３とは反対にここでは全く
空気が後から流れないからである。このことは、ペーパ
ーロール３が真空持上げ装置１を持ち上げた時に所定の
区間連行される結果となり、そうしてペーパーロール３
の材料を通ってゆっくりと後から流れる空気によって、
ペーパーロール３が最早運ばれない程度に外側に位置す
る真空室内に形成される真空が止められる。ペーパーロ
ール３はそこでコントロールされずに支持される。

【００３３】このことを避ける為に、圧搾空気導管５２
を介して圧搾空気貯蔵器５３と、磁気弁５４を介して真
空ブロック３１の内部室３２と接続されている圧搾空気
発生器５１が設けられている。普通磁気弁５４は閉じて
いる。ペーパーロール３を取り除き、三路弁を排気位置
に切り換えた後、磁気弁５４は、真空室１３内の圧力が
ほぼ外の外気圧に高まった時に、磁気弁５４はここに図
示していない自動的な制御装置によって開放される。そ
の為真空ブロック３１の内部室３２が、そして貫通パイ
プ３３を介して内側の真空室１３が過圧下に置かれる。 導管２３及び排気位置にある三路弁２０を介して空気の
流出が逆止弁２２によって阻止される。内側の真空室１
３に作られる過圧が充分になり、その結果真空持上げ装
置１をペーパーロール３から持ち上げ、その際環状シー
ル１１，１２の弾性のために外側の真空室１４内に形成
される真空力が打ち負かされる。そこで最早ペーパーロ
ール３の所望しない連行が行われない。そのことはそれ
相応の圧力センサーによって自動的に制御されるが、真
空持上げ装置１が持ち上がった後、圧搾空気供給はすぐ
に停止される。

【００３４】これは図示されていないことではあるが、
真空持上げ装置１はクレーン走行台車に中心的に懸架さ
れている。その下方フランジはその際支持ボルト５５と
結合されており、その支持ボルトは連結リンク５６を介
して垂直ガイド５７に可動に支承されている。下側で支
持ボルト５５は幅を拡げられており、その上で上方に皿
バネ５８に支持している。垂直ガイド５７の下方部分に
はリミットスイッチ５９が設けられ、連結リンク５６が
その下方端部位置に達すると、リミットスイッチが操作
される。リミットスイッチ５９は図示していない制御装
置を介して三路弁２０と連結されている。

【００３５】ペーパーロール３が取り除かれると、クレ
ーン走行台車は弛められ、連結リンク５６は支持ボルト
５５と共に下方へ降下する結果となる。リミットスイッ
チ５９の操作と共に三路弁２０は、内側の真空室１３が
真空に成っている図示の位置から排気位置に切り換わり
、従って自動的に内側の真空室１３は外気と連結するこ
とになる。ここに図示していない別のリミットスイッチ
は弛緩ロープ安全装置としてクレーン走行台車と結合さ
れており、台車を自動的に切る。付加的にリミットスイ
ッチ５９は圧搾空気発生器５１の磁気弁５４と接続され
ており、その為同時に内側の真空室１３が排気されるの
みならず、圧搾空気も供給される。真空持上げ装置１は
そこでペーパーロール３から持ち上げられる。

【００３６】連結リンク５６がリミットスイッチ５９か
ら離れる時に、三路弁２０が切換えられず、寧ろこの切
換えが別のペーパーロール上へ真空持上げ装置１が新た
に降下した後初めて、従ってリミットスイッチ５９へ連
結リンク５６の降下が行われる様に制御が成される。し
かしながら別の論理回路を設けることもでき、乃至は真
空位置への三路弁の戻りは操作員によってのみ可能とす
ることも良い。

【００３７】真空持上げ装置１は付加的に緊急真空発生
器６０を備え、この発生器は緊急導管６１を介して真空
タンク５の内部室と接続されている。緊急真空発生器６
０は同様に逆止弁６２によって確保されている。緊急真
空発生器６０は直流モーター６３によって駆動され、こ
のモーターは圧力スイッチ６４を介してバッテリー６５
と接続されている。バッテリー６５は電流供給部と常に
接続されたバッテリー充電器６６に接続し、こうして連
続的に最良の充電状態に保持される。

【００３８】圧力スイッチ６４は測定値受信器６７と接
続し、この受信器は測定導線６８を介して真空タンク５
の内部室と接続している。測定値変換器６７は、真空タ
ンク５内の真空が所定の最小値を下回ることが測定導線
６８を介して確定された時に、測定値変換器が磁気スイ
ッチとして形成された圧力スイッチ６４に閉鎖の為のパ
ルスを発するように調節されている。これは直流モータ
ー６３を動かし、従って緊急真空発生器６０を作動させ
、その為真空タンク５内の真空の低下が再び補償され、
通常の真空レベルが再び達成される。真空発生器１６に
より生じた真空がペーパーロール３の運搬の為に不十分
であることを操作員が確実に知るように、同時に障害の
通報が信号発生器６９を介して発生される。

【００３９】圧力スイッチ６４から更に遠隔操作導線７
０が出ており、これを介して操作員は圧力スイッチ６４
を前記した自動装置に対して独立して又は択一的に操作
でき、従って緊急真空発生器６０を作動させることも出
来る。

【００４０】ペーパーロール３の真空把握特性がその時
間に関係し粘弾性的で検湿器による挙動の結果として、
真空発生器１６が最早真空発生のためには充分でない程
度に悪化されたことにより又は真空発生器１６の故障に
より例えば真空低下が生ずることがある。この場合に緊
急発生器６０は支援をするように作用する。それが必要
と思った時には、緊急発生器６０が操作員により接続さ
れる様に付加的に構成されることも良い。

【００４１】更に真空とはこの明細書の意味では外部の
雰囲気圧力（外気圧）より低い圧力と了解さるべきであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は垂直断面で示した本発明の実施例を現す
真空持上げ装置である。

【符号の説明】

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　少なくとも１つの吸着ヘッドを備え、
   吸着ヘッドの吸着側に環状シールを取り巻く真空室を形
   成しながら複数の突出する環状シールを有し、真空室が
   真空発生器を有する真空源に接続しており、その際真空
   源がそれぞれ１つの制御弁を介して１つの乃至は複数の
   外側に位置する真空室と接続されており、その制御弁は
   それぞれセンサーによって操作され、センサーは従属す
   る制御弁と共に荷重を載せた時に開放方向に、そして荷
   重を下ろした時に閉鎖方向に動かされる様な真空持上げ
   装置において、それぞれセンサー（４３，４４）はバラ
   ンスシリンダー（４７）内に案内されたバランスピスト
   ン（４８）と連結されており、その閉鎖方向に変動した
   ピストン側は真空源（５，６０）へ接続し、その開放方
   向に変動したピストン側は従属した真空室（１４）と常
   に接続することを特徴とする真空持上げ装置。
2. 【請求項２】　　バランスピストン（４８）の面は制御
   弁の弁頭（３５）に等しいことを特徴とする請求項１に
   記載の真空持上げ装置。
3. 【請求項３】　　それぞれ制御弁は弁棒（３６）に付い
   ている１つの弁頭（３５）を有し、この弁棒は中空に形
   成されており、従属する真空室（１４）へと開いており
   、弁棒（３６）はバランスピストン（４８）の開放方向
   に変動されるピストン側に接続していることを特徴とす
   る請求項１又は請求項２に記載の真空持上げ装置。
4. 【請求項４】　　それぞれセンサー（４３，４４）と制
   御弁（３４，３５）は互いに平行に動ける様に支承され
   ており、センサー（４３，４４）は制御弁（３４，３５
   ）の弁棒（３６）と非摩擦係合的に接続されていること
   を特徴とする請求項１から請求項３のうちの１項に記載
   の真空持上げ装置。
5. 【請求項５】　　それぞれ制御弁（３４，３５）及び／
   又はセンサー（４３，４４）は閉鎖方向にバネ付勢され
   ていることを特徴とする請求項１から請求項４のうちの
   １項に記載の真空持上げ装置。
6. 【請求項６】　　センサー（４３，４４）は横に分割さ
   れており、その際バランスピストン（４８）を支持する
   センサー部分（４４）は吸引ヘッド（５）と分割された
   ケーシング（３１）内に支持されていることを特徴とす
   る請求項１から請求項５のうちの１項に記載の真空持上
   げ装置。