JPH0428286U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0428286U JPH0428286U JP6935190U JP6935190U JPH0428286U JP H0428286 U JPH0428286 U JP H0428286U JP 6935190 U JP6935190 U JP 6935190U JP 6935190 U JP6935190 U JP 6935190U JP H0428286 U JPH0428286 U JP H0428286U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- plate
- valve plate
- stem
- seat
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の高真空ゲート弁の縦断正面図
、第２図、第３図は夫々その動作状態説明用縦断
側面図である。 １……弁箱、２……弁座、３……流体通路、４
……弁板、５……弁棒、６……保持板、７……ベ
ローズ、８……駆動ピストン機構、８′……ピス
トン、９……上下ガイド機構、１０……弁板押え
、１１……リング状のベローズ、１２……加圧通
路、１３……引張スプリング、１４……スプリン
グ。
、第２図、第３図は夫々その動作状態説明用縦断
側面図である。 １……弁箱、２……弁座、３……流体通路、４
……弁板、５……弁棒、６……保持板、７……ベ
ローズ、８……駆動ピストン機構、８′……ピス
トン、９……上下ガイド機構、１０……弁板押え
、１１……リング状のベローズ、１２……加圧通
路、１３……引張スプリング、１４……スプリン
グ。
Claims (1)
- 弁箱と、弁座と、弁板と、この弁板に連結した
弁棒と、上記弁棒と弁箱に夫々その端部を気密に
連結したベローズと、上記弁箱の外側に設けた弁
棒駆動機構及びガイド機構と、上記弁板を上記弁
座に押圧する弁板押え機構とより成り、上記弁箱
内には上記弁棒及び弁板と摺触する部分が形成さ
れていないことを特徴とする高真空ゲート弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6935190U JPH0428286U (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6935190U JPH0428286U (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0428286U true JPH0428286U (ja) | 1992-03-06 |
Family
ID=31604580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6935190U Pending JPH0428286U (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0428286U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63254275A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Irie Koken Kk | 高真空用無しゆう動ゲ−トバルブ |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP6935190U patent/JPH0428286U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63254275A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Irie Koken Kk | 高真空用無しゆう動ゲ−トバルブ |