JPH04284344A - 同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法 - Google Patents
同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法Info
- Publication number
- JPH04284344A JPH04284344A JP3049602A JP4960291A JPH04284344A JP H04284344 A JPH04284344 A JP H04284344A JP 3049602 A JP3049602 A JP 3049602A JP 4960291 A JP4960291 A JP 4960291A JP H04284344 A JPH04284344 A JP H04284344A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detectors
- detection method
- energy
- value
- electron energy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
- H01J49/484—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with spherical mirrors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同心半球型電子エネル
ギー分光器を用いて電子のエネルギー分光を行う場合の
検出感度を上げる方法に関し、特に、同心半球型電子エ
ネルギー分光器の入射レンズ系により分光電子を一定の
比率で減速する一定減速率モードで分光検出する際に多
重検出法による計数率の向上を図る方法に関する。
ギー分光器を用いて電子のエネルギー分光を行う場合の
検出感度を上げる方法に関し、特に、同心半球型電子エ
ネルギー分光器の入射レンズ系により分光電子を一定の
比率で減速する一定減速率モードで分光検出する際に多
重検出法による計数率の向上を図る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】同心半球型電子エネルギー分光器（以下
、ＨＳＡと言う。）は、光電子分光装置（ＥＳＣＡ）や
オージェ電子分光装置（ＡＥＳ）等の表面分析機器のア
ナライザーとして広く用いられている。ＨＳＡは、通常
、図１に概略の構成を示すように、入射レンズ系１と球
面アナライザー部２とから構成されており、入射レンズ
系１は、試料Ｓより放出された電子を必要なレベルまで
減速しかつその電子を球面アナライザー部２の入口に設
けられた入射スリット３へ収束させる作用をする。球面
アナライザー部２は、入射スリット３を通過した電子を
エネルギー分別して、これを検出器４で受けて取り出す
ものである。
、ＨＳＡと言う。）は、光電子分光装置（ＥＳＣＡ）や
オージェ電子分光装置（ＡＥＳ）等の表面分析機器のア
ナライザーとして広く用いられている。ＨＳＡは、通常
、図１に概略の構成を示すように、入射レンズ系１と球
面アナライザー部２とから構成されており、入射レンズ
系１は、試料Ｓより放出された電子を必要なレベルまで
減速しかつその電子を球面アナライザー部２の入口に設
けられた入射スリット３へ収束させる作用をする。球面
アナライザー部２は、入射スリット３を通過した電子を
エネルギー分別して、これを検出器４で受けて取り出す
ものである。
【０００３】ＨＳＡの検出感度を上げるために、検出器
４としてエネルギー分散方向に複数の検出器を並べたも
のを用いる、多重検出法が行われている。これは、エネ
ルギー分散方向の複数の検出器により異なるエネルギー
の電子を同時に検出し、それぞれの検出器で検出された
電子強度をそのエネルギーに対応したデータ格納領域へ
加算して行くことにより、通常の測定法よりＳ／Ｎ比の
良いスペクトルを得ることができる方法である。
４としてエネルギー分散方向に複数の検出器を並べたも
のを用いる、多重検出法が行われている。これは、エネ
ルギー分散方向の複数の検出器により異なるエネルギー
の電子を同時に検出し、それぞれの検出器で検出された
電子強度をそのエネルギーに対応したデータ格納領域へ
加算して行くことにより、通常の測定法よりＳ／Ｎ比の
良いスペクトルを得ることができる方法である。
【０００４】ところで、ＨＳＡの制御には、一定分析エ
ネルギー（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎａｌｙｚｉｎｇ
Ｅｎｅｒｇｙ：ＣＡＥ）モードと一定減速率（Ｃｏｎ
ｓｔａｎｔ Ｒｅｔａｒｄｉｎｇ Ｒａｔｉｏ：Ｃ
ＲＲ）モードの２つがある。上記のような多重検出法に
は、通常ＣＡＥモードが用いられる。ＣＡＥモードでは
、入射スリット３へ収束される電子のエネルギーが一定
の値（Ｐａｓｓ ｅｎｅｒｇｙ：Ｅａ ）になるまで
入射レンズ系１で減速した後、球面アナラシザー部２内
に導く。したがって、分光エネルギーの調節は、この減
速量を変えることにより行う。ＣＡＥモードでは、図４
に模式的に示したように、等間隔で設置された複数の検
出器４が検出する電子エネルギーは、隣接検出器間でΔ
Ｅずつ異なり、ΔＥの値はほぼ一定とみなせる。例えば
、ある設計条件の下では、Ｅａ ＝１００ｅＶのときΔ
Ｅ＝１ｅＶとすると、分光エネルギー値を入射レンズ系
１での減速量を変えながら１ｅＶずつ送って行くと、図
５に示すように、どの検出器もエネルギー軸上で同じ足
跡をたどることができる（図５において、■のときの各
検出器の位置は、前回■の各検出器の位置に対して検出
器間の間隙分だけ右へズラした位置になる。）。したが
って、検出器間のエネルギーのズレを考慮して、各検出
器で測定されたデータをそのエネルギーに対応したデー
タ格納領域（スペクトル格納バッファ）へ順に加算する
ことにより、１本のスペクトルを得ることができる。こ
のようにして、使用する検出器の数に比例して計数率を
増加することができ、検出感度を上げることができる。
ネルギー（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎａｌｙｚｉｎｇ
Ｅｎｅｒｇｙ：ＣＡＥ）モードと一定減速率（Ｃｏｎ
ｓｔａｎｔ Ｒｅｔａｒｄｉｎｇ Ｒａｔｉｏ：Ｃ
ＲＲ）モードの２つがある。上記のような多重検出法に
は、通常ＣＡＥモードが用いられる。ＣＡＥモードでは
、入射スリット３へ収束される電子のエネルギーが一定
の値（Ｐａｓｓ ｅｎｅｒｇｙ：Ｅａ ）になるまで
入射レンズ系１で減速した後、球面アナラシザー部２内
に導く。したがって、分光エネルギーの調節は、この減
速量を変えることにより行う。ＣＡＥモードでは、図４
に模式的に示したように、等間隔で設置された複数の検
出器４が検出する電子エネルギーは、隣接検出器間でΔ
Ｅずつ異なり、ΔＥの値はほぼ一定とみなせる。例えば
、ある設計条件の下では、Ｅａ ＝１００ｅＶのときΔ
Ｅ＝１ｅＶとすると、分光エネルギー値を入射レンズ系
１での減速量を変えながら１ｅＶずつ送って行くと、図
５に示すように、どの検出器もエネルギー軸上で同じ足
跡をたどることができる（図５において、■のときの各
検出器の位置は、前回■の各検出器の位置に対して検出
器間の間隙分だけ右へズラした位置になる。）。したが
って、検出器間のエネルギーのズレを考慮して、各検出
器で測定されたデータをそのエネルギーに対応したデー
タ格納領域（スペクトル格納バッファ）へ順に加算する
ことにより、１本のスペクトルを得ることができる。こ
のようにして、使用する検出器の数に比例して計数率を
増加することができ、検出感度を上げることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＣＲＲ
モードでは事情が異なる。ＣＲＲモードでは、入射レン
ズ系１による分光電子の減速は、その運動エネルギーに
対して入射スリット３へ収束する電子のエネルギーが一
定の比率となるように行われる。エネルギー軸上で検出
スペクトルを変えるためには、球面アナライザー部２の
内球５と外球６の間に印加する電圧を変更するが、この
印加電圧を変化させると、図６に模式的に示すように、
分光エネルギーが小さいときは検出器間のエネルギー間
隔は実効的に小さく、逆に、分光エネルギーが大きいと
きは検出器間のエネルギー間隔は大きくなる。このため
、各検出器は、エネルギー軸上を図５のＣＡＥモードの
場合のように同じ足跡をたどることができず、図５のよ
うな単純シフト加算により１本のスペクトルを得ること
はできない。したがって、ＣＲＲモードでは多重検出に
よるメリットを享受することができない。
モードでは事情が異なる。ＣＲＲモードでは、入射レン
ズ系１による分光電子の減速は、その運動エネルギーに
対して入射スリット３へ収束する電子のエネルギーが一
定の比率となるように行われる。エネルギー軸上で検出
スペクトルを変えるためには、球面アナライザー部２の
内球５と外球６の間に印加する電圧を変更するが、この
印加電圧を変化させると、図６に模式的に示すように、
分光エネルギーが小さいときは検出器間のエネルギー間
隔は実効的に小さく、逆に、分光エネルギーが大きいと
きは検出器間のエネルギー間隔は大きくなる。このため
、各検出器は、エネルギー軸上を図５のＣＡＥモードの
場合のように同じ足跡をたどることができず、図５のよ
うな単純シフト加算により１本のスペクトルを得ること
はできない。したがって、ＣＲＲモードでは多重検出に
よるメリットを享受することができない。
【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、同心半球型電子エネルギー分
光器を用いてその入射レンズ系により分光電子を一定の
比率で減速する一定減速率モードで分光検出する際に、
多重検出法による計数率の向上を図る方法を提供するこ
とである。
ものであり、その目的は、同心半球型電子エネルギー分
光器を用いてその入射レンズ系により分光電子を一定の
比率で減速する一定減速率モードで分光検出する際に、
多重検出法による計数率の向上を図る方法を提供するこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法
は、エネルギー分散方向に等間隔で配置された複数の検
出器を備えた同心半球型電子エネルギー分光器を用いて
、その入射レンズ系により分光電子を一定の比率で減速
する一定減速率モードで分光検出する際に、複数の検出
器の中央の位置における検出値を、各検出器で測定され
た値に最も良く適合する適合多項式を求め、その式の対
応する位置の値とすることを特徴とする方法である。
明の同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法
は、エネルギー分散方向に等間隔で配置された複数の検
出器を備えた同心半球型電子エネルギー分光器を用いて
、その入射レンズ系により分光電子を一定の比率で減速
する一定減速率モードで分光検出する際に、複数の検出
器の中央の位置における検出値を、各検出器で測定され
た値に最も良く適合する適合多項式を求め、その式の対
応する位置の値とすることを特徴とする方法である。
【０００８】
【作用】本発明のおいては、複数の検出器の中央の位置
における検出値を、各検出器で測定された値に最も良く
適合する適合多項式を求め、その式の対応する位置の値
とするので、ＣＲＲモードでも多重検出法によるＳ／Ｎ
比向上のメリットを享受できるようになる。Ｓ／Ｎ比は
、使用する検出器の数の平方根倍だけ改善される。
における検出値を、各検出器で測定された値に最も良く
適合する適合多項式を求め、その式の対応する位置の値
とするので、ＣＲＲモードでも多重検出法によるＳ／Ｎ
比向上のメリットを享受できるようになる。Ｓ／Ｎ比は
、使用する検出器の数の平方根倍だけ改善される。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の同心半球型電子エネルギー分
光器による多重検出法の実施例について、図面を参照に
しながら説明する。図２にこの方法を実施するための構
成の主要部を示す。図１のＨＳＡの球面アナライザー部
２の出口に、エネルギー分散方向に沿って一定間隔で複
数の検出器４を設置する。各検出器４からの信号は、プ
リアンプを介して、それぞれ演算器１０に入力される。 演算器１０においては、全検出器４の検出強度値から、
多重検出器４の中央の検出器において検出されるべき強
度値を計算して出力する。
光器による多重検出法の実施例について、図面を参照に
しながら説明する。図２にこの方法を実施するための構
成の主要部を示す。図１のＨＳＡの球面アナライザー部
２の出口に、エネルギー分散方向に沿って一定間隔で複
数の検出器４を設置する。各検出器４からの信号は、プ
リアンプを介して、それぞれ演算器１０に入力される。 演算器１０においては、全検出器４の検出強度値から、
多重検出器４の中央の検出器において検出されるべき強
度値を計算して出力する。
【００１０】この中央値を計算する原理を図３の説明図
を参照して説明する。いま、５個の検出器で測定された
強度値がそれぞれＩ−２、Ｉ−１、Ｉ０ 、Ｉ＋１、Ｉ
＋２であるとする。Ｉ０が中央の検出器て測定された値
である。これらの値に最も良く適合する２次曲線を定め
、Ｉ０ と同じエネルギー値での２次曲線の値Ｉ０ ’
を求める。直接測定されたＩ０ に比べて、計算値Ｉ
０ ’ は５倍多い信号量から決められたものであり、
Ｓ／Ｎ比が５１／２ 倍改善される。したがって、Ｉ０
の代りにＩ０ ’ を採用してスペクトルを形成すれ
ば、Ｓ／Ｎ比の良いスペクトルが得られる。
を参照して説明する。いま、５個の検出器で測定された
強度値がそれぞれＩ−２、Ｉ−１、Ｉ０ 、Ｉ＋１、Ｉ
＋２であるとする。Ｉ０が中央の検出器て測定された値
である。これらの値に最も良く適合する２次曲線を定め
、Ｉ０ と同じエネルギー値での２次曲線の値Ｉ０ ’
を求める。直接測定されたＩ０ に比べて、計算値Ｉ
０ ’ は５倍多い信号量から決められたものであり、
Ｓ／Ｎ比が５１／２ 倍改善される。したがって、Ｉ０
の代りにＩ０ ’ を採用してスペクトルを形成すれ
ば、Ｓ／Ｎ比の良いスペクトルが得られる。
【００１１】上記の適合２次曲線の中央値を計算する簡
便な方法は、サヴィツキー（Ａ．Ｓａｖｉｔｚｋｙ）と
ゴレイ（Ｍ．Ｊ．Ｅ．Ｇｏｌａｙ）により提案されてい
る（Ａｎａ．Ｃｈｅｍ．３６（１９６４）ｐｐ．１６２
７〜１６３９）。これは、計測されたそれぞれの信号強
度に対応する例えば表−１（２次、３次の係数）に示し
たような係数ｋｎ （この場合、データ点数５のｋ−２
、ｋ−１、ｋ０ 、ｋ＋１、ｋ＋２）を掛け、それらの
総和をとり、これを規格化定数Ｎ（この場合、３５）で
割って、適合２次曲線の中央値を求めるものである。
便な方法は、サヴィツキー（Ａ．Ｓａｖｉｔｚｋｙ）と
ゴレイ（Ｍ．Ｊ．Ｅ．Ｇｏｌａｙ）により提案されてい
る（Ａｎａ．Ｃｈｅｍ．３６（１９６４）ｐｐ．１６２
７〜１６３９）。これは、計測されたそれぞれの信号強
度に対応する例えば表−１（２次、３次の係数）に示し
たような係数ｋｎ （この場合、データ点数５のｋ−２
、ｋ−１、ｋ０ 、ｋ＋１、ｋ＋２）を掛け、それらの
総和をとり、これを規格化定数Ｎ（この場合、３５）で
割って、適合２次曲線の中央値を求めるものである。
【００１２】
表−１ 係数ｋｎ
データ点数 ２５ ２３ ２１
１９ １７ １５ １３ １１
９ ７ ５−１２ −
２５３ −１１ −１３８ −４２−１０
−３３ −２１ −１７１−０９
６２ −２ −７６ −
１３６−０８ １４７ １５
９ −５１ −２１ −０７
２２２ ３０ ８４ ２４
−６ −７８ −０６ ２８７
４３ １４９ ８９ ７
−１３ −１１−０５ ３４２
５４ ２０４ １４４ １８ ４
２ ０ −３６ −０４ ３
８７ ６３ ２４９ １８９ ２７
８７ ９ ９ −２１−０３
４２２ ７０ ２８４ ２
２４ ３４ １２２ １６ ４４
１４ −２ −０２ ４４７
７５ ３０９ ２４９ ３９ １
４７ ２１ ６９ ３９ ３
−３ −０１ ４６２ ７８
３２４ ２６４ ４２ １６２
２４ ８４ ５４ ６ １２
００ ４６７ ７９ ３２９
２６９ ４３ １６７ ２５
８９ ５９ ７ １７ ０１
４６２ ７８ ３２４ ２６
４ ４２ １６２ ２４ ８４
５４ ６ １２ ０２
４４７ ７５ ３０９ ２４９ ３
９ １４７ ２１ ６９ ３９
３ −３ ０３ ４２２
７０ ２８４ ２２４ ３４ １
２２ １６ ４４ １４ −２ ０
４ ３８７ ６３ ２４９
１８９ ２７ ８７ ９
９ −２１ ０５ ３４２ ５
４ ２０４ １４４ １８ ４２
０ −３６ ０６ ２８７
４３ １４９ ８９ ７
−１３ −１１ ０７ ２２２
３０ ８４ ２４ −６ −７
８ ０８ １４７ １５
９ −５１ −２１ ０９
６２ −２ −７６ −１３６ １０
−３３ −２１ −１７１ １
１ −１３８ −４２ １２
−２５３ 規格化 定数Ｎ ５１７５ ８０５ ３０５９
２２６１ ３２３ １１０５ １４３ ４２９
２３１ ２１ ３５
。
１９ １７ １５ １３ １１
９ ７ ５−１２ −
２５３ −１１ −１３８ −４２−１０
−３３ −２１ −１７１−０９
６２ −２ −７６ −
１３６−０８ １４７ １５
９ −５１ −２１ −０７
２２２ ３０ ８４ ２４
−６ −７８ −０６ ２８７
４３ １４９ ８９ ７
−１３ −１１−０５ ３４２
５４ ２０４ １４４ １８ ４
２ ０ −３６ −０４ ３
８７ ６３ ２４９ １８９ ２７
８７ ９ ９ −２１−０３
４２２ ７０ ２８４ ２
２４ ３４ １２２ １６ ４４
１４ −２ −０２ ４４７
７５ ３０９ ２４９ ３９ １
４７ ２１ ６９ ３９ ３
−３ −０１ ４６２ ７８
３２４ ２６４ ４２ １６２
２４ ８４ ５４ ６ １２
００ ４６７ ７９ ３２９
２６９ ４３ １６７ ２５
８９ ５９ ７ １７ ０１
４６２ ７８ ３２４ ２６
４ ４２ １６２ ２４ ８４
５４ ６ １２ ０２
４４７ ７５ ３０９ ２４９ ３
９ １４７ ２１ ６９ ３９
３ −３ ０３ ４２２
７０ ２８４ ２２４ ３４ １
２２ １６ ４４ １４ −２ ０
４ ３８７ ６３ ２４９
１８９ ２７ ８７ ９
９ −２１ ０５ ３４２ ５
４ ２０４ １４４ １８ ４２
０ −３６ ０６ ２８７
４３ １４９ ８９ ７
−１３ −１１ ０７ ２２２
３０ ８４ ２４ −６ −７
８ ０８ １４７ １５
９ −５１ −２１ ０９
６２ −２ −７６ −１３６ １０
−３３ −２１ −１７１ １
１ −１３８ −４２ １２
−２５３ 規格化 定数Ｎ ５１７５ ８０５ ３０５９
２２６１ ３２３ １１０５ １４３ ４２９
２３１ ２１ ３５
。
【００１３】したがって、図２に示した演算器１０の中
味として、例えば、■サヴィツキー・ゴレイの重畳係数
と規格化定数を具備し、■各検出器の測定強度値と対応
する係数との積をとり、■積の総和及び総和を規格化定
数で規格化し、これを出力する、機能を備えることによ
り、ＣＲＲモードでも多重検出によるＳ／Ｎ比向上のメ
リットが享受できる。
味として、例えば、■サヴィツキー・ゴレイの重畳係数
と規格化定数を具備し、■各検出器の測定強度値と対応
する係数との積をとり、■積の総和及び総和を規格化定
数で規格化し、これを出力する、機能を備えることによ
り、ＣＲＲモードでも多重検出によるＳ／Ｎ比向上のメ
リットが享受できる。
【００１４】なお、この方法において、各検出器間にゲ
インの“バラツキ”があると、誤差の原因となるので、
バラツキが大きい場合には、測定強度値と係数の積をと
る前にゲインの補正が必要となる。いま、中央の検出器
のゲインをＧ０ として、両端に配置された検出器のゲ
インをＧ＋ｉ及びＧ−ｉとするとき、それぞれの検出強
度Ｉ＋ｉ及びＩ−ｉに対し、次の補正を行った後に適合
値の計算を行えばよい。
インの“バラツキ”があると、誤差の原因となるので、
バラツキが大きい場合には、測定強度値と係数の積をと
る前にゲインの補正が必要となる。いま、中央の検出器
のゲインをＧ０ として、両端に配置された検出器のゲ
インをＧ＋ｉ及びＧ−ｉとするとき、それぞれの検出強
度Ｉ＋ｉ及びＩ−ｉに対し、次の補正を行った後に適合
値の計算を行えばよい。
【００１５】Ｉ＋ｉ→（Ｇ０ ／Ｇ＋ｉ）Ｉ＋ｉＩ−ｉ
→（Ｇ０ ／Ｇ−ｉ）Ｉ−ｉ また、適合関数は２次曲線では限らずｎ次曲線でもよい
。一般に、曲線の次数が高い方が精度が上がる。さらに
、多重検出器４により得られた強度値から、その中央の
値を求めるには、上記のサヴィツキー・ゴレイの方法に
よらず、他の適合多項式による方法によってもよい、例
えば、最小自乗法によってもよいのはもちろんである。
→（Ｇ０ ／Ｇ−ｉ）Ｉ−ｉ また、適合関数は２次曲線では限らずｎ次曲線でもよい
。一般に、曲線の次数が高い方が精度が上がる。さらに
、多重検出器４により得られた強度値から、その中央の
値を求めるには、上記のサヴィツキー・ゴレイの方法に
よらず、他の適合多項式による方法によってもよい、例
えば、最小自乗法によってもよいのはもちろんである。
【００１６】以上のようにして、エネルギー軸上を順次
走査しながらその時々の中央値を求めることにより、Ｓ
／Ｎ比のよいスペクトルを得ることができる。
走査しながらその時々の中央値を求めることにより、Ｓ
／Ｎ比のよいスペクトルを得ることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の同心半球
型電子エネルギー分光器による多重検出法によると、複
数の検出器の中央の位置における検出値を、各検出器で
測定された値に最も良く適合する適合多項式を求め、そ
の式の対応する位置の値とするので、ＣＲＲモードでも
多重検出法によるＳ／Ｎ比向上のメリットを享受できる
ようになる。Ｓ／Ｎ比は、使用する検出器の数の平方根
倍だけ改善される。
型電子エネルギー分光器による多重検出法によると、複
数の検出器の中央の位置における検出値を、各検出器で
測定された値に最も良く適合する適合多項式を求め、そ
の式の対応する位置の値とするので、ＣＲＲモードでも
多重検出法によるＳ／Ｎ比向上のメリットを享受できる
ようになる。Ｓ／Ｎ比は、使用する検出器の数の平方根
倍だけ改善される。
【図１】同心半球型電子エネルギー分光器の概略の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】本発明の多重検出法を実施するための構成の１
例の主要部を示す図である。
例の主要部を示す図である。
【図３】全検出器の検出強度値から中央の強度値を計算
する原理の説明図である。
する原理の説明図である。
【図４】等間隔で設置された複数の検出器の検出エネル
ギーに関する模式図である。
ギーに関する模式図である。
【図５】ＣＡＥモードにおける多重検出法を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図６】ＣＲＲモードにおいて検出エネルギーを変更す
ると検出器間のエネルギー間隔が変化することを示すた
めの図である。
ると検出器間のエネルギー間隔が変化することを示すた
めの図である。
Ｓ…試料
１…入射レンズ系
２…球面アナライザー部
３…入射スリット
４…検出器
５…内球
６…外球
１０…演算器
Claims (1)
- 【請求項１】 エネルギー分散方向に等間隔で配置さ
れた複数の検出器を備えた同心半球型電子エネルギー分
光器を用いて、その入射レンズ系により分光電子を一定
の比率で減速する一定減速率モードで分光検出する際に
、複数の検出器の中央の位置における検出値を、各検出
器で測定された値に最も良く適合する適合多項式を求め
、その式の対応する位置の値とすることを特徴とする同
心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3049602A JPH04284344A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3049602A JPH04284344A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04284344A true JPH04284344A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12835786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3049602A Withdrawn JPH04284344A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04284344A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0772102A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Jeol Ltd | 電子エネルギー分析器 |
| JP2008020386A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Jeol Ltd | オージェ電子分光による化学状態分析法及び装置 |
| JP2012002775A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Jeol Ltd | オージェ像収集方法及び装置 |
| JP2016170015A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 日本電子株式会社 | 電子分光装置および測定方法 |
| JP2017204425A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 日本電子株式会社 | 電子分光装置および測定方法 |
-
1991
- 1991-03-14 JP JP3049602A patent/JPH04284344A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0772102A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Jeol Ltd | 電子エネルギー分析器 |
| JP2008020386A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Jeol Ltd | オージェ電子分光による化学状態分析法及び装置 |
| JP2012002775A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Jeol Ltd | オージェ像収集方法及び装置 |
| JP2016170015A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 日本電子株式会社 | 電子分光装置および測定方法 |
| JP2017204425A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 日本電子株式会社 | 電子分光装置および測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |