JPH04284431A - 圧電アクチュエータを用いた駆動装置 - Google Patents

圧電アクチュエータを用いた駆動装置

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JPH04284431A
JPH04284431A JP3049439A JP4943991A JPH04284431A JP H04284431 A JPH04284431 A JP H04284431A JP 3049439 A JP3049439 A JP 3049439A JP 4943991 A JP4943991 A JP 4943991A JP H04284431 A JPH04284431 A JP H04284431A
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JP
Japan
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piezoelectric actuator
voltage
humidity
transistor
power supply
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Application number
JP3049439A
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English (en)
Inventor
Tetsuro Goto
哲朗 後藤
Akira Katayama
彰 片山
Yoshiaki Tanabe
佳明 田辺
Masanori Hasuda
雅徳 蓮田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Priority to EP92302057A priority patent/EP0508599B1/en
Priority to EP95202709A priority patent/EP0696070A3/en
Priority to DE69215734T priority patent/DE69215734T2/de
Priority to EP95202708A priority patent/EP0696069A3/en
Priority to EP95202710A priority patent/EP0696821A3/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電アクチュエータを用
いた駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より圧電アクチュエータと称して、
与えられた電気信号を変位に変換する素子が使用されて
いる。これは圧電体の形成された薄いセラミック基板を
多層積層した構造の素子で、2本の電極間に100ボル
ト程度の電圧を印加するとその寸法が変化する性質を有
する。
【0003】この時の変位量は数10ミクロンと比較的
少ないが、素子の体積の割には数10キログラムという
大きな力量が得られるのでカメラなどの小型機器内にお
ける電気機械変換素子として注目されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】以上のような特徴を有
する圧電アクチュエータは、湿度に弱いという短所を持
っている。圧電アクチュエータは周りを合成樹脂でおお
われているが、薄いセラミックによる多層構造であるた
めに電極間が狭く、多湿環境下で100ボルト程度の電
圧を印加すると絶縁破壊を生ずる。
【0005】従来のカメラにおいては、撮影者がカメラ
を高温多湿の環境下で使用する状況が多いにも関わらず
、その使用環境がどの様のものかを調べるものとしては
、温度を調べる装置しかカメラに設けられておらず、圧
電アクチュエータを備えたカメラが使用可能な湿度環境
であるか否かを調べる装置はカメラに設けられていなか
った。
【0006】本発明の目的は、圧電アクチュエータを備
えたカメラを使用するにあたっての周囲環境、特に湿度
が、圧電アクチュエータの駆動に適正でない場合(圧電
アクチュエータが絶縁破壊を起こすおそれのある場合)
には、圧電アクチュエータの周囲の湿度を圧電アクチュ
エータを駆動させるのに適正な湿度(圧電アクチュエー
タが絶縁破壊を起こさない湿度)にする装置を備えた圧
電アクチュエータを用いた駆動装置を提供することにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めの解決手段は、圧電アクチュエータ(1) に電圧を
印可して機械系を作動させる前に圧電アクチュエータ(
1) の周囲の湿度を調べる湿度検出手段(HMD) 
と、前記湿度検出手段(HMD) で検出された結果よ
り、圧電アクチュエータ(1) の周囲の湿度が、該圧
電アクチュエータ(1) が絶縁破壊を起こすおそれの
ある限界の湿度より高いか低いかを判断する湿度判断手
段(CPU) と、前記圧電アクチュエータ(1) が
前記機械系を作動させない程度の変位を生ずる電圧であ
り、かつ前記圧電アクチュエータ(1) の内部が発熱
するに十分な電圧である電圧を発生する電圧発生手段(
P2 、CPU)とを構成した。
【0008】
【作用】本発明の解決手段によれば、圧電アクチュエー
タに電圧を印加して機械系を作動させる前に該圧電アク
チュエータの周囲湿度を湿度検出手段で検出し、検出湿
度が、該圧電アクチュエータが絶縁破壊を起こすおそれ
のある限界の湿度より高いか否かを湿度判断手段により
判断し、判断した結果、検出湿度が圧電アクチュエータ
を絶縁破壊させる湿度であれば、電圧発生手段より発生
する電圧を圧電アクチュエータに印加し、それにより圧
電アクチュエータ自体を発熱させて、湿度を該圧電アク
チュエータが絶縁破壊を起こさない湿度にした後に、圧
電アクチュエータに電圧を印加して機械系を作動させる
【0009】
【実施例】図2は圧電アクチュエータをカメラのシャッ
タ駆動用に使用した場合の機械的構成を説明する図であ
る。本図では圧電アクチュエータ1 、2がそれぞれシ
ャッタ先幕17、後幕37の作動開始を制御するために
使用され、図2は先幕作動前の状態を示す。
【0010】圧電アクチュエータ1 は固定部材3 に
固定され、その端面にはレバー4 がバネ5 によって
当接している。レバー4 は回転軸6 の回りをその上
に設けられたピン7 とともに回転可能。軸9 にて回
転可能なレバー8 はバネ10にて付勢され、レバー8
 の一端がピン7に当接可能であるとともにレバー11
の回転を禁止している。
【0011】レバー11は軸13を中心に回転可能で、
バネ12により付勢されているが、通常はレバー8 の
一端にてその回転が規制されている。レバー11上のピ
ン14はシャッタ先幕17の作動を直接制御する部材で
、先幕17は公知の方法で不図示のフィルム面を覆って
いる。ピン14の中間部に設けられたレバー15はスイ
ッチ16をON/OFF可能な位置に存在する。この場
合にはスイッチ16はOFF状態である。
【0012】一方他の圧電アクチュエータ2 は固定部
材23に固定され、その端面にはレバー24がバネ25
の付勢力により当接されている。レバー24は回転軸2
6の回りをその下に設けられたピン27とともに回転可
能。軸29にて回転可能なレバー28はバネ30にて付
勢され、レバー28の一端がピン27に当接可能である
とともに、レバー28の他端がレバー31の回転を禁止
している。
【0013】レバー31は軸33を中心に回転可能で、
バネ32により付勢されているが、通常はレバー28の
一端にてその回転が規制されている。レバー31上のピ
ン34はシャッタ後幕37の作動を直接制御する部材で
、後幕37は公知の方法で不図示のフィルム面から待避
している。ピン34の端部に設けられたレバー35はス
イッチ36をON/OFF可能な位置に存在する。この
場合にはスイッチ36はOFF状態である。
【0014】シャッタ後幕17、先幕37を制御する露
光動作は下記のようにして行われる。圧電アクチュエー
タ1 は通電されるとその長さが変位して右上に伸び、
該変位量が変位する際の加速度を伴ってレバー4 に伝
達される。レバー4 はバネ5 に抗して回転軸6 を
中心として右旋し、ピン7 がレバー8 の一端を押圧
し、レバー8 をバネ10に抗して回転軸9 を中心と
して左旋させる。
【0015】するとそれまでバネ12の復元力を禁止さ
れていたレバー11が回転軸13を中心として左旋する
ので、先幕17は右上方向に走行して露光を開始する。 この時先幕17開放と同時にピン14も右上方向に移動
し、スイッチ16がレバー15にてONされる。以上の
ようにして先幕17が開放された後の所定時間後シャッ
タ後幕37を閉じるタイミングが到来すると、まず圧電
アクチュエータ2 が通電される。
【0016】すると圧電アクチュエータ2 の長さが変
位して左上に伸び、変位量と変位時の加速度がレバー2
4に伝達される。レバー24はバネ25に抗して回転軸
26を中心として左旋してピン27がレバー28の一端
を押圧し、レバー28をバネ30に抗して回転軸29を
中心として右旋させる。するとそれまでバネ32の復元
力を禁止されていたレバー31が回転軸33を中心とし
て左旋するので後幕37は右上方向に走行して露光を終
了する。この時後幕37開放と同時にピン34が右上方
向に移動し、スイッチ36がレバー35にてONされる
【0017】以上のようにしてシャッタ先幕17、後幕
37によるフィルムへの露光動作が完了するが、先幕1
7後幕37の作動完了はそれぞれスイッチ16、36の
状態をモニタすることで可能となる。図1は図2の構成
を駆動するための電気回路ブロック図である。以下回路
の機能を説明する。
【0018】電池40は電源回路P1,P2,P3に給
電する。 電源回路P1は5V程度を出力し制御回路(CPU) 
を含む制御回路用の電圧として使用される。電源回路P
2は100V程度を出力し通常時の圧電アクチュエータ
1 、2 さらに表示照明用ランプ43の駆動に使用さ
れる。電源回路P3は200V程度を出力し非常時の圧
電アクチュエータ1 、2 さらにストロボ発光管44
の駆動に使用される。
【0019】電源回路P1の作動はカメラの不図示のシ
ャッタボタンに連動してONする半押しスイッチ41お
よびCPU で駆動されるトランジスタQ1のONにて
制御される。ここで半押しスイッチ41の状態はCPU
 にも伝達されその作動状態が把握される。またトラン
ジスタQ1のON状態と半押しスイッチ41のON状態
を判別するためその間にダイオードD1が挿入されてい
る。このような構成により、シャッタボタンから手をは
なして半押しスイッチ41がOFFとなった後も一定時
間トランジスタQ1がON状態を保持することでカメラ
の作動が延長される。以上の構成は公知である。
【0020】電源回路P2、P3の作動は、それぞれC
PU で駆動されるトランジスタQ2、Q3により制御
される。またCPU には測光回路LM、表示回路DS
P 、絞り制御回路AP、フィルム感度信号読みとり回
路FM、湿度検知回路HMD 、スイッチ群SWの回路
ブロックが接続されている。これらの回路ブロックはそ
れぞれ下記のような入出力機能を有する。
【0021】測光回路LMからは被写体輝度信号がCP
U に入力される。表示回路DSP はCPU からの
信号によって制御予定のシャッタタイム情報や各種警告
信号を撮影者が判断可能なように視覚的あるいは聴覚的
に出力する。絞り制御回路APはCPU からの信号に
よって適正絞りとなるようにレンズ内絞りを制御する。
【0022】フィルム感度信号読みとり回路FMは公知
の方法でフィルムカートリッジ側壁に設けられたフィル
ム感度データを読みとってCPU に出力する。湿度検
知回路HMD はカメラ内の湿度を湿度センサにより検
出してその信号をCPU に伝達する。湿度センサの配
置場所はカメラ内部に設けられた圧電アクチュエータ自
体の湿度が判断可能な位置であれば良い。理想的には圧
電アクチュエータに接着されていれば精度の良い湿度が
検知可能となる。
【0023】スイッチ群SWはシャッタボタンに連動す
る露光開始指令用レリーズスイッチ、フィルムの巻き上
げ完了を検出するスイッチ、前述の後幕先幕走行完了検
出スイッチ16、36などが含まれる。配線を省略して
あるが以上の各回路ブロックは電源回路P1からの給電
にて作動する。
【0024】一方電源回路P2からの給電は照明回路E
Lに対しても行われ、トランジスタQ13をCPU が
ONさせることでランプ43が点灯し前述の表示回路D
SP 中の液晶表示素子を照明する。ここではランプ4
3をエレクトロルミネッセンスとしたので電源回路P2
出力電圧は約100Vとなり後述のように同電圧出力が
圧電アクチュエータ1 、2 にも共用可能となる。
【0025】さらに一方電源回路P3からの出力電圧は
ストロボ回路SBに給電される。ストロボ発光管44の
発光はCPU がシャッタの開いたタイミングにてトラ
ンジスタQ14 をONすることで可能。この電源出力
は後述するように、異常事態が発生した時の圧電アクチ
ュエータの駆動に使用される場合にも共用される。
【0026】回路ブロック46、47はそれぞれ圧電ア
クチュエータ1 、2 の駆動用回路であるがその回路
内容は同一であるため以下の詳述は圧電アクチュエータ
1 に対してのみ行い、圧電アクチュエータ2 につい
ては省略する。圧電アクチュエータ1 の上方の端子は
電源回路P2からの電圧がトランジスタQ5、電源回路
P3からの電圧がトランジスタQ6を介して印加される
。またCPU で直接駆動されるトランジスタQ11 
により接地される。
【0027】ここでトランジスタQ5、Q6は、それぞ
れCPU にて駆動されるトランジスタQ8、Q10 
により制御される。また圧電アクチュエータ1 の下方
の端子はCPU で駆動されるトランジスタQ9にて接
地、あるいはトランジスタQ7を介して電源回路P2か
らの電圧が印加される。ここでトランジスタQ7はCP
U によって駆動されるトランジスタQ12 にて制御
される。
【0028】さらに圧電アクチュエータ1 の上方の端
子は電源回路P1の電圧がトランジスタQ4,ダイオー
ドD2、抵抗R1を介して印加され、抵抗R2、R3を
介して接地される。また抵抗R2、R3の中点はコンパ
レータC の一方の入力端子に印加され、電圧源45と
比較されその結果はCPU に伝達される。一方圧電ア
クチュエータ1 の両端子間にはサージアブソーバ42
が並列接続されている。
【0029】回路47中の圧電アクチュエータ2 につ
いても上述したものと同様の構成による周辺回路が用意
されている。上記回路46の駆動は下記のようにして行
われる。まず電源回路P1が給電を開始してCPU が
作動を開始すると、測光回路LMとフィルム感度検出回
路FMの両入力信号を演算して適正露光条件を算出する
。その結果を公知の如く、表示回路DSP にて表示を
行ない、条件が不適性であるよな場合には表示の他警告
をも行なう。
【0030】同時に電源回路P2,P3を作動させて2
種類の高電圧を作り出し、電源回路P2が接続された表
示回路DSP 中の液晶表示素子用照明ランプ43をト
ランジスタQ13 をONさせることで点灯開始する。 また電源回路P3の電圧はストロボ回路SBの作動用と
して不図示のコンデンサ内に蓄えられる。次に本発明の
主要部分である湿度検出および脱湿動作について説明す
る。
【0031】湿度検出回路HMD を作動させることに
より圧電アクチュエータがおかれている環境の湿度を検
出する。湿度が過大で圧電アクチュエータ1 の作動が
危険であるような場合には後述のようにして回路ブロッ
ク46内のトランジスタを適宜駆動し脱湿作動を実行す
る。脱湿動作は圧電アクチュエータが変位を行わない程
度の電圧を印加して、断続駆動を行なわせることで可能
である。
【0032】詳しくはトランジスタQ5の駆動で電圧を
印加し、その後トランジスタQ11 の駆動でそれまで
に蓄積された電荷を放電する動作を一定の間隔にて繰り
返すことでアクチュエータ内部が発熱し蓄積された湿気
を放出されるからである。本実施例では断続的に発生す
る電圧を印加して脱湿を行っているが、アクチュエータ
が機械系に影響を与えない変位を生じる周波数の交流電
圧を印加して脱湿を行っても良い。
【0033】ここで言う交流電圧とは、図13に示すよ
うに、ある電圧値の間で、ある周期をもって連続的に発
生する電圧である。また断続的に発生する電圧とは、図
14に示すように、ある電圧値の発生、発生停止をある
間隔で繰り返す電圧である。次に圧電アクチュエータが
正常であるか否かを判断する。これはトランジスタQ4
をONさせて電源回路P1の電圧を圧電アクチュエータ
1 に印加し、その端子に発生する電圧を抵抗R2、R
3にて分圧しコンパレータC にて電圧源45と比較す
ることで可能である。圧電アクチュエータ1 が正常で
あれば圧電アクチュエータ1 の絶縁抵抗分は相当に大
きく、トランジスタQ4を介して印加される電源回路P
1の電圧がダイオードD2、抵抗R1、R2、R3によ
る高めの分圧出力としてコンパレータCに印加されるか
らである。一方多湿状況での駆動によって圧電アクチュ
エータが絶縁破壊を起こしている場合には圧電アクチュ
エータ1 の上方の端子は等価的に接地されてしまうの
でトランジスタQ4がONすると抵抗R1、R2の中点
が接地される状態となるのでコンパレータC に印加さ
れる電圧は正常時に比較するとかなり低くなることとな
る。すなわち圧電アクチュエータ1 が正常であればコ
ンパレータC により電圧源45の電圧5Vが検出され
、正常でなければ5Vより低い電圧値が検出される。
【0034】ここでダイオードD2は、後述のように圧
電アクチュエータ1 を駆動する場合にトランジスタQ
5がONした際の電源回路P2からの高電圧がトランジ
スタQ4を逆方向に電圧印加して破壊したり、電源回路
P1に逆流したりして破壊してしまうことを防止するた
めのものである。また抵抗R1は正常時には不要である
が、圧電アクチュエータ1 が絶縁破壊していた場合に
トランジスタQ4とダイオードD2が直接接地されてし
まい熱破壊に至ることを防止するために付与されている
【0035】サージアブソーバ42は端子間に与えられ
た電圧が数百Vまでは無限大の抵抗分として働き、それ
以上の電圧が印加されると短絡する作用を有するもので
ある。本実施例においては、圧電アクチュエータ1 に
並列接続されたサージアブソーバ42は通常時に圧電ア
クチュエータが自ら発生出力する高電圧が周辺回路に悪
影響を及ぼすのを防止する作用を有する。
【0036】このようなサージアブソーバ42は通常時
には回路に何等の影響を与えないが、カメラに与えられ
たショックにて圧電アクチュエータ1が数万Vの電圧を
発生するとその電圧を自ら短絡して吸収する。これによ
って数万Vもの耐圧を期待できないトランジスタQ4な
どが破壊されるのを未然に防止する。圧電体に熱を与え
ると焦電効果が起こる。よって圧電アクチュエータ1 
に熱が与えられると電圧が発生する。焦電効果によって
発生した電圧を吸収するための作動を以下に説明する。
【0037】シャッタボタンに連動して露光開始を指令
するレリーズスイッチのONが検出されると、まずトラ
ンジスタQ9,Q11 を双方ともにONする。これに
て圧電アクチュエータ1 内に発生した焦電効果による
電荷がトランジスタQ9,Q11 内で消滅する。この
ような焦電電荷吸収ルーチンはレリーズルーチン中にの
み必要とするものではなく、フィルムの巻き上げ中、電
源回路P1の作動開始直後、同じく作動終了直前などに
定期的に適当なタイミングで実行すれば良い。またトラ
ンジスタQ9,Q11 のベースを駆動する電流が電池
40の消耗に問題を来さなければ、電源回路P1の作動
中でしかも圧電アクチュエータ1 を駆動しない時間の
間常時短絡し続けておくようにしても良い。
【0038】ここで焦電効果による発生電圧が高い場合
、トランジスタQ9,Q11 による短絡時に過大電流
が両トランジスタ内に流入しが熱破壊する事が考えられ
る。 この防止としては、例えばトランジスタQ11 のコレ
クタ側に圧電アクチュエータ1 と直列に小抵抗を接続
しておけば良い。通常時の圧電アクチュエータ1 の駆
動は上記のようなトランジスタQ9,Q11 による短
絡動作に続いて下記のようにして行われる。
【0039】トランジスタQ8をONさせトランジスタ
Q5によって電源回路P2からの高電圧を圧電アクチュ
エータの上方の端子に印加する。ここで電源回路P2の
出力電圧は圧電アクチュエータの作動仕様に従った適正
な推奨作動電圧(定格電圧)、つまり繰り返し印加して
も圧電アクチュエータの素子が破壊しない程度の電圧で
あることが必要である。本実施例ではこの推奨作動電圧
がランプ43の駆動電圧と一致していた場合を例とした
。また圧電アクチュエータ1 を抵抗R4を介して駆動
するのはトランジスタQ5の熱破壊防止のためである。 なお本実施例における通常定格電圧は電源回路P2より
得られる電圧である。
【0040】機械系は図2のように加速度を応用してい
るので以上のようなトランジスタのON時間は比較的短
くて済む。この駆動によって圧電アクチュエータ1 は
その長手方向に一瞬伸びて力量を発生し図2で説明済み
の作動が続くこととなる。ここで前述した圧電アクチュ
エータ1 が持つ固体差(バラツキ)、電源回路P2出
力の固体差(バラツキ)、さらには撮影時のカメラの姿
勢などの悪条件が重なってしまい圧電アクチュエータ1
 の作動が図2の機械系に正しく伝達されなかったばあ
いの回路作動を次に述べる。
【0041】電源回路P2からの電圧をトランジスタQ
5が印加しても圧電アクチュエータ1 が不十分にしか
作動しなかった場合には図2で説明したように先幕が走
行せず、従ってスイッチ16がONしない。スイッチ1
6はスイッチ群SW中にあるためCPU 自身で電源回
路P2からの電圧印加が失敗であったことを知ることが
できる。このような場合に圧電アクチュエータ1 への
印加電圧を少し上げて再駆動するのである。
【0042】すなわちトランジスタQ10 をONさせ
トランジスタQ6を介して今度は電源回路P3の出力電
圧を圧電アクチュエータに印加するのである。ここでト
ランジスタQ7の熱破壊防止用に抵抗R6が直列接続さ
れているのはトランジスタQ5と同様である。ここで再
駆動に使用する電圧は圧電アクチュエータ1 の絶対最
大定格電圧あるいはそれより若干低い電圧である。すな
わち圧電アクチュエータ1 が破壊しない程度の通常定
格電圧よりも大きい電圧を印加する。
【0043】このような電圧値で駆動することにより圧
電アクチュエータ1 の最大の発生力と変位量を期待す
ることが可能となる。本実施例ではこの電圧源をストロ
ボ回路SBへの電源と共用とした例を示したが別個に用
意されていても良い。なお、本実施例では再駆動に使用
する電圧を電源回路P2から得られる電圧よりも大きい
電圧である電源回路P3からの電圧を用いることとした
が、再駆動に当たってもう一度同じ電圧、すなわち電源
回路P2からの電圧を使用しても良い。
【0044】ここで圧電アクチュエータ1 から変位量
、加速度を最大限に引き出す方法を以下に説明する。本
駆動直前にトランジスタQ11 ,Q12 をONして
トランジスタQ7から逆に電位を与える事で圧電アクチ
ュエータ1 を逆駆動する。これにより圧電アクチュエ
ータ1 は収縮する。この状態でも図2のレバー4 は
圧電アクチュエータ1 の端面に追随して移動するので
間が開く事はない。そしてこの状態の直後に前述したト
ランジスタQ5,Q9による本駆動を行う。これによっ
て等価的に圧電アクチュエータ1 の変位量が2倍近く
なり発生する加速度も同様に多く得る事が可能となる。 ここでトランジスタQ7にも熱破壊防止用抵抗R6が直
列接続されている。
【0045】図3から図9はCPU の作動プログラム
を示した図である。図3のフローチャートについて以下
に説明する。電源回路P1が作動している間CPU は
本ルーチンを繰り返し実行する。 ステップ50;測光回路LM出力とフィルム感度検出回
路FM出力とを演算し、適正制御条件を算出する。
【0046】ステップ51;電源回路P2の作動を開始
し同時にトランジスタQ13 をONさせてランプ43
を点灯させる。 ステップ52;ステップ50による適正制御条件を表示
回路DSP にて表示させる。 ステップ53;圧電アクチュエータ1 、2 の絶縁状
態のチェックルーチンを実行する。詳細は図4にて説明
する。
【0047】ステップ54;ステップ53の結果圧電ア
クチュエータ1 、2 のいずれかに絶縁不良が発生し
ているかを判定する。判定の結果、絶縁不良が発生して
いればステップ55に進み、発生していなければステッ
プ57に進む。 ステップ55;圧電アクチュエータ1 、2 のいずれ
かが異常である事を警告する。警告は表示回路DSP 
による視覚的、聴覚的警告方法により行なう。
【0048】ステップ56;シャッターボタンが押され
てもレリーズルーチンに入らないよう禁止状態を設定す
る。このルーチンの後はステップ50に戻って演算結果
の表示と圧電アクチュエータ1 、2 の異常状態の警
告を続行する。 ステップ57;絶縁状態が良ければ湿度検出回路HMD
によってカメラ内の湿度状態を検出する。検出した湿度
が適正であればステップ58に進み、不適正であればス
テップ62に進む。
【0049】ステップ58;湿度状態がよいのでレリー
ズを許可する。ここで許可する理由は以前にステップ5
5にて禁止された状態が解除された場合に、禁止状態を
リセットして露光作動を行えるようにする必要があるか
らである。 ステップ59;電源回路P3の作動を開始する。これに
てストロボ回路SBの発光準備が行われる。
【0050】ステップ60;シャッターボタンにてレリ
ーズスイッチがONされたかを判断する。ONされてい
ない場合にはステップ50に復帰する。ONされていれ
ばステップ61に進む。 ステップ61;レリーズスイッチがONされているので
図6で詳述するレリーズシーケンスを実行する。
【0051】ステップ62;カメラ内の湿度が高すぎて
圧電アクチュエータ1 、2 の作動を行うのが危険で
あるので表示回路DSP にて脱湿の行なう旨の警告を
行う。 ステップ63;レリーズ禁止状態をセットする。 ステップ64;脱湿ルーチンを実行する。詳細は図5に
て説明する。本ルーチンの実行後はステップ50に戻っ
て上記を繰り返す。そして脱湿が終了すれば絶縁状態が
悪くない限りステップ61のレリーズルーチンに移行す
る。
【0052】図4はステップ53の絶縁状態検出ルーチ
ンのフローチャートである。 ステップ70;トランジスタQ9をONする。 ステップ71;トランジスタQ4をONする。これにて
圧電アクチュエータ1 に電源回路P1の電圧がダイオ
ードD2と抵抗R1を介して印加される。 ステップ72;コンパレータC 出力を判断する。
【0053】ステップ73;コンパレータC 出力の判
断が確実になされたかの判断する。これは一度だけの読
みとりで判断するのではなく複数回繰り返して確実とな
る結果を得るためのものである。読み取りが完了してい
なければステップ73を繰り返し、完了していればステ
ップ74に進む。 ステップ74;読み取り結果をメモリに格納する。図3
のステップ54はこのステップで格納されたメモリの内
容を確認することになる。
【0054】ステップ75;トランジスタQ4をOFF
する。 ステップ76;トランジスタQ9をOFFする。これに
より電源回路P1出力の圧電アクチュエータ1 への印
加ルーチンが完了する。圧電アクチュエータ2 に対し
ても同様のルーチンが必要であるがその詳細は省略する
【0055】図5(A)、図5(B)はステップ64の
脱湿ルーチンの2つの例のフローチャートである。本フ
ローチャートが今回の発明における主要部分である。図
5(A)と図5(B)では、図5(A)では電圧を印加
することにより圧電アクチュエータ1 を長手方向に伸
ばすが、図5(B)では図5(A)とは逆方向から電圧
を印加することにより圧電アクチュエータ1 を長手方
向に縮ますという違いがある。
【0056】以下図5(A)のフローチャートの説明を
する。 ステップ80;まず繰り返し回数nを0にセットする。 ステップ81;繰り返し回数nがあらかじめ定められて
いる数値Nを超えたかの判断を行なう。Nを超えていれ
ばステップ90に進み、超えていなければステップ82
に進む。
【0057】ステップ82;繰り返し回数nが数値Nに
達していないのでトランジスタQ9をONする。 ステップ83;トランジスタQ8をONする。これにて
トランジスタQ5もONし、圧電アクチュエータ1 に
電源回路P2からの出力電圧が印加される。 ステップ84;一定の遅延時間を設け圧電アクチュエー
タ1 への電圧印加時間を設ける。この間に圧電アクチ
ュエータ1 には電荷が充電される事となる。
【0058】ステップ85;トランジスタQ8をOFF
する。これにてトランジスタQ5もOFFして電源回路
P2からの出力電圧印加が終了する。 ステップ86;トランジスタQ11 をONする。これ
にて圧電アクチュエータ1 に蓄えられた電荷が放電さ
れる。 ステップ87;放電を確実にするため一定の遅延時間を
設ける。
【0059】ステップ88;1サイクルの充放電が完了
したので繰り返し回数nに1を加算する。 ステップ89;トランジスタQ11 をOFFする。以
上の充放電サイクルは繰り返し回数nが数値Nに達する
まで実行される。数値Nに達するとステップ81のあと
はステップ90に進む。
【0060】ステップ90;トランジスタQ9をOFF
する。この後はステップ50に戻り前述の処理を繰り返
す。 次に図5(B)のフローチャートについて説明をする。 ステップ150 からステップ151 までのフローは
図5(A)のステップ80からステップ81までのフロ
ーと同様であるため説明は省略する。
【0061】ステップ152 ;繰り返し回数nが数値
N’ に達していないのでトランジスタ Q11をON
する。この場合の数値N’ は図5(A)中の数値Nよ
りも少ないものとなる。これは後述するように圧電アク
チュエータ1 への充電時間が図5(A)より長くとれ
るため、繰り返し回数N’ はNよりも少なくてすむの
である。 ステップ153 ;トランジスタQ12 をONする。 これにてトランジスタQ7もONし、圧電アクチュエー
タ1 に電源回路P2からの出力電圧が印加される。
【0062】ステップ154 ;一定の遅延時間を設け
圧電アクチュエータ1 への電圧印加時間を設ける。こ
の間に圧電アクチュエータ1 には電荷が充電される事
となる。 この時の遅延時間は図5(A)のステップ84の遅延時
間よりも長いものである。その理由は、図5(A)では
圧電アクチュエータ1 伸ばすため、充電時間を長くと
ると機械系に影響を及ぼすおそれがあるが、図5(B)
では圧電アクチュエータ1を縮ますため充電時間を図5
(A)より長くとっても機械系への影響は無いからであ
る。
【0063】ステップ155 ;トランジスタQ12 
をOFFする。これにてトランジスタQ7もOFFして
電源回路P2からの出力電圧印加が終了する。ステップ
156 ;トランジスタQ9をONする。これにて圧電
アクチュエータ1 に蓄えられた電荷が放電される。 ステップ157 ;放電を確実にするため一定の遅延時
間を設ける。
【0064】ステップ158 ;1サイクルの充放電が
完了したので繰り返し回数nに1を加算する。 ステップ159 ;トランジスタQ9をOFFする。以
上の充放電サイクルは繰り返し回数nが数値N’ に達
するまで実行される。数値N’ に達するとステップ1
51 のあとはステップ160 に進む。
【0065】ステップ160 ;トランジスタQ11 
をOFFする。この後はステップ50に戻り前述の処理
を繰り返す。以上図5(A)、(B)で述べた処理のう
ち充電時間については圧電アクチュエータ1 が変位を
起こさない程度の時間に設定する事が重要である。さも
ないと脱湿ルーチンであるにもかかわらず図2の機械系
の作動を行ってしまうからである。また繰り返し周波数
並びに繰り返し回数Nについては使用する圧電アクチュ
エータの耐湿度特性に基づく実験値から厳密に求める必
要があるが、一般的には数kHz で数10mSの間駆
動する事で十分であろう。
【0066】また本実施例ではどのような湿度値でもN
あるいはN’ の値を一定としているが、湿度によって
N、N’ の値を変えるようにしても良い。図6、図7
はステップ61で示したレリーズルーチンのフローチャ
ートを示した図である。 ステップ95;トランジスタQ13 をOFFする。こ
れにて照明用ランプ43が消灯し、今後の電源回路P2
の出力電圧は圧電アクチュエータ1 、2 用にのみ使
用される事になる。
【0067】ステップ96;カメラの反射ミラーを上昇
させる。 ステップ97;絞り制御回路APを駆動して絞りを所定
値にセットする。 ステップ98;トランジスタQ8をONする。これにて
トランジスタQ5がONされる。 ステップ99;トランジスタQ9をONする。
【0068】以上の動作によって圧電アクチュエータ1
 が電源回路P2にて駆動される。 ステップ100 ;所定のシャッタタイムを計時する作
動を開始する。 ステップ101 ;スイッチ16がONされたかを確認
する。 これは圧電アクチュエータ1 が正しく機械系を駆動で
きたか否かを検知するためである。スイッチ16がOF
Fすなわち先幕機械系が作動しなかった場合にはステッ
プ106 に移行する。ONしていればステップ102
 に進む。
【0069】ステップ102 ;ステップ100 で開
始した計時が終了した否かを判断する。終了していれば
ステップ103 に進み、未終了ならばステップ102
 を繰り返す。 ステップ103 ;計時時間が設定値に達したので後幕
を制御するための処理を実行する。まず先幕用圧電アク
チュエータ2 のトランジスタQ8相当品をONする。 これにてトランジスタQ5相当品もONする。
【0070】ステップ104 ;トランジスタQ9相当
品をONする。これにて圧電アクチュエータ2 に通電
が行われる。 ステップ105 ;スイッチ36のONを確認する。ス
イッチ36がOFFすなわち後幕機械系が正しく作動し
なかった場合にはステップ111 に進む。スイッチ3
6がONした場合には図7のステップ125に移行する
【0071】ステップ125 ;圧電アクチュエータ1
 、2 駆動に関与するすべてのトランジスタをOFF
する。 ステップ126 ;絞りを復帰する。 ステップ127 ;ミラーを下降させる。 ステップ128 ;トランジスタQ13 をONさせラ
ンプ43による照明を再開する。
【0072】ステップ129 ;以上のルーチンでフィ
ルムへの露光が完了したので巻き上げルーチンを実行す
る。 フィルム給送関係については以上のフィルム給送ルーチ
ンのみを説明した。巻き戻しルーチンについては公知の
方法で可能であるので説明を省略する。ステップ101
 でスイッチ16がONしない、すなわち先幕機械系が
正しく作動しなかった場合についての動作を以下に記す
【0073】ステップ106 ;トランジスタQ8をO
FFする。これでトランジスタQ5も再びOFFし電源
回路P2からの電圧印加を停止する。 ステップ107 ;トランジスタQ10 をONする。 これにてトランジスタQ6がONして電源回路P3から
の出力電圧が圧電アクチュエータ1 に印加される事に
なる。前述のように電源回路P3からの電圧の印加は、
圧電アクチュエータ1 の変位量を最大に求めるための
ものである。印加電圧が絶対最大定格に近接しているた
め常に使用するには圧電アクチュエータの耐久性に悪影
響を与える可能性がある。よってこのような非常時にの
み使用する。
【0074】ステップ108 ;シャッタタイムの計時
を再び始める。 ステップ109 ;スイッチ16がONした否かを確認
する。 以上の非常動作で先幕機械系が正しく作動した場合には
スイッチ16がONするので再びステップ102 に戻
って前述の処理を続行する。この場合には特に警告動作
を行う必要はない。なぜならカメラの姿勢や外から加え
られた衝撃にて偶然作動しにくかった場合が考えられ、
警告する事でかえって撮影者が混乱してしまうのを避け
るためである。一方、以上の動作でも先幕機械系が作動
しない場合にはスイッチ16がONしないのでステップ
110 に移行する。
【0075】ステップ110 ;先幕機械系が作動しな
い旨警告を表示回路DSP にて行う。この後は図7の
ステップ120 に移行する。 ステップ120 ;圧電アクチュエータ1 、2 駆動
に関与するすべてのトランジスタをOFFする。 ステップ121 ;絞りを復元する。
【0076】ステップ122 ;ミラーを下降させる。 ステップ123 ;トランジスタQ13 をONし照明
ランプ43を点灯させる。 ステップ124 ;以上の動作では先幕が作動していな
いため露光動作が行われなかった。従ってフィルム給送
を行う必要がないのでまず給送を禁止する。そして図3
のステップ50に戻り警告動作を行うようにする。
【0077】ステップ105 にて後幕機械系が正しく
作動しなかった場合には次の処理に移る。 ステップ111 ;圧電アクチュエータ2 のトランジ
スタQ8相当品をOFFする。これにてトランジスタQ
5相当品もOFFして電源回路P2による駆動が停止す
る。 ステップ112 ;トランジスタQ10 相当品をON
する。これにてトランジスタQ6相当品がONし電源回
路P3からの出力電圧が印加される。この理由は先幕系
と同様である。
【0078】ステップ113 ;スイッチ36が動作し
たかの確認を行なう。スイッチ36がONしていればス
テップ114 に進み、OFFしていればステップ11
5 に進む。 ステップ114 ;スイッチ36がONした、すなわち
後幕機械系が動作をして露光は行われたもののステップ
111 、112 、113 によって露光完了タイミ
ングが遅れたため、シャッタータイムが長くなって適正
露光が得られなかった旨の警告を行う動作を開始する。
【0079】勿論シャッタータイムに比較してステップ
111 、112、113 の処理が比較的短ければこ
のような警告は不要である。高速秒時が設定されていた
場合のみ警告すれば良い。この後は図7のステップ12
0に移行し、前述の処理を実行する。ステップ113に
て再び後幕機械系の作動が行われなかった、すなわち後
幕が閉じない非常事態である場合には次の処理を行う。
【0080】ステップ115 ;シャッタ幕が開放状態
である旨の警告を行う。そして図7のステップ125 
に続く前述のルーチンを実行する。 図8は圧電アクチュエータ1 、2 からより大きな変
位量、加速度を得る方法を示したフローチャートである
。 図6のステップ97に続いてステップ98までの間で実
行する。
【0081】ステップ130 ;トランジスタQ11 
をONする。これにて圧電アクチュエータ1の上方の端
子が接地される。 ステップ131 ;トランジスタQ12 をONする。 これにてトランジスタQ7がONし電源回路P2の出力
電圧が圧電アクチュエータ1の下方端子に印加される事
になる。これで圧電アクチュエータ1 は収縮する。
【0082】ステップ132 ;一定時間遅延させ上記
の逆電圧印加状態を保つ。 ステップ133 ;トランジスタQ12 をOFFさせ
る。これにて逆電圧の印加が終了する。 ステップ134 ;トランジスタQ11 をOFFする
。 以上のルーチンにて圧電アクチュエータ1 はいったん
収縮し、続くステップ98からの伸張との相乗効果によ
って変位量、加速度がより多く得られる事となる。圧電
アクチュエータ2 に関しても同様の逆電圧印加ルーチ
ンを実行する事で変位量、加速度が多く得られるがその
ルーチンの詳細は省略する。
【0083】図9は圧電アクチュエータの作動応答を改
善するルーチン例である。圧電アクチュエータをその機
械的共振点付近の周波数にて微振動させておき、続く本
駆動による変位動作を早く行わせるものである。本ルー
チンは図5の脱湿ルーチンと同様であるが、その動作を
行う間隔と作動時間が異なる。また本ルーチンもステッ
プ97に続いてステップ98の間に挿入されて実行され
る。
【0084】ステップ140 ;まず繰り返し回数nを
0にセットする。 ステップ141 ;繰り返し回数nがあらかじめ定めら
れている数値Nを超えたかの判断を行なう。Nを超えて
いればステップ98に戻り、超えていなければステップ
142 に進む。 ステップ142 ;繰り返し回数nが数値Nに達してい
ないのでトランジスタQ9をONする。
【0085】ステップ143 ;トランジスタQ8をO
Nする。これにてトランジスタQ5もONし、圧電アク
チュエータ1に電源回路P2からの出力電圧が印加され
る。 ステップ144 ;一定の遅延時間を設け圧電アクチュ
エータ1 への電圧印加時間を設ける。この間に圧電ア
クチュエータ1 には電荷が充電される事となる。 ステップ145 ;トランジスタQ8をOFFする。こ
れにてトランジスタQ5もOFFして電源回路P2から
の出力電圧印加が終了する。
【0086】ステップ146 ;トランジスタQ11 
をONする。これにて圧電アクチュエータ1に蓄えられ
た電荷が放電される。 ステップ147 ;放電を確実にするため一定の遅延時
間を設ける。 ステップ148 ;1サイクルの充放電が完了したので
繰り返し回数nに1を加算する。
【0087】ステップ149 ; トランジスタQ11
 をOFFする。 以上の充放電サイクルは繰り返し回数nが数値Nに達す
るまで実行される。数値Nに達するとステップ141 
のあとはステップ98に進んで続きのルーチンを実行し
先幕走行の制御を行う。以上の処理のうち充電時間につ
いては圧電アクチュエータ1 が変位を起こさない程度
の時間に設定する事が重要である。さもないと予備動作
ルーチンであるにもかかわらず図2の機械系を作動を行
ってしまうからである。また繰り返し周波数並びに繰り
返し回数Nについては使用する圧電アクチュエータの共
振特性に基づく応答特性から厳密に求める必要があるが
、一般的には数kHzで数mSの間駆動すれば良い。以
上の処理は圧電アクチュエータ2 についても同様であ
るので詳述を省略する。
【0088】図10、図11、図12は上記各ルーチン
中における圧電アクチュエータ1 の伸縮状況を示した
ものである。図10は図6の通常駆動方法による圧電ア
クチュエータ1 の伸縮状況を示した図である。ステッ
プ98以前の静止状態での圧電アクチュエータ1 は図
のような長さである。ステップ99によって電源回路P
2の出力電圧が印加されると図のA1分の変位が得られ
る。しかしながら、変位量がA1では機械系を駆動させ
るのに不足だった場合には、電源回路P3の出力電圧が
圧電アクチュエータ1 に印加され、図6中のステップ
107 で説明したように、A1より大きな変位量A2
を圧電アクチュエータに発生させてこれを利用する。こ
の長さの変化とその加速度を用いるのが本発明による機
械系の特徴である。
【0089】図11(A)は図5(A)の脱湿ルーチン
中の圧電アクチュエータ1 の変位量を示した図である
。 交流にて駆動するので変位が完全に飽和する前に駆動電
圧を除去するため、ステップ82以前の長さからの変位
量はステップ83の時点にてA3となるがこの長さがA
1に近づく前にステップ85に移行して元の長さに復帰
するようになる。
【0090】図11(B)は図5(B)の脱湿ルーチン
中の圧電アクチュエータ1 の変位量を示した図である
。 交流にて駆動するので変位が完全に飽和する前に駆動電
圧を除去するため、ステップ152 以前の長さからの
変位量はステップ153 の時点にてA4となる。この
変位量は図11(A)に示したA3よりも大きいもので
ある。
【0091】図12は図8で説明した、一度収縮させた
後の伸張量を機械系の作動に利用した場合の圧電アクチ
ュエータ1 の様子を説明する図である。ステップ13
0 以前は従来の長さであるがステップ131 にて逆
電圧が印加されてB1分収縮する。そしてステップ99
での電圧印加にて元の長さからA1分伸張する。そして
機械系はB1とA1の加算分の変位量を利用するのは前
述の通りである。
【0092】なお、本実施例では半押しスイッチ41が
ONされると脱湿動作を行なっているが、不図示のメイ
ンスイッチがONされると、それに連動して脱湿動作を
行なうようにしても良い。また、不図示の脱湿釦を設け
、脱湿釦が押圧されて不図示の脱湿スイッチがONされ
ると脱湿動作を行なうようにしても良い。
【0093】
【発明の効果】本発明によれば、圧電アクチュエータに
電圧を印加して機械系を作動させる前に該圧電アクチュ
エータの周囲湿度を湿度検出手段で検出し、検出湿度が
、該圧電アクチュエータが絶縁破壊を起こすおそれのあ
る限界の湿度より高いか否かを湿度判断手段により判断
し、判断した結果、検出湿度が圧電アクチュエータを絶
縁破壊させる湿度であれば、警告を発生すると共に機械
系の作動を禁止する。そして電圧発生手段より発生する
電圧を圧電アクチュエータに印加し、これにより圧電ア
クチュエータ内部に、圧電アクチュエータ自身による充
放電の繰り返しにより熱を発生させ、吸収した湿気を放
出したのちに機械系の作動を可能とするので、高湿中で
の作動によって圧電アクチュエータを永久破壊させてし
まうことを防止することが可能となる。
【0094】また上記電圧発生手段より発生する電圧を
、圧電アクチュエータの変位量が前記機械系を作動させ
ない範囲の値に、あるいは変位を逆方向即ち収縮させる
方向に設定したので、発熱を目的としたにも関わらず機
械系が作動してしまう誤動作を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は図2の構成を駆動するための電気回路ブ
ロック図である。
【図2】図2は圧電アクチュエータをカメラのシャッタ
駆動用に使用した場合の機械的構成を説明する図である
【図3】図3はCPU の作動プログラムのメインルー
チンを示したフローチャートである。
【図4】図4は絶縁状態検出ルーチンのフローチャート
を示した図である。
【図5】図5(A)、図5(B)は脱湿ルーチン2つの
例のフローチャートを示した図である。
【図6】図6はで示したレリーズルーチンのフローチャ
ートを示した図である。
【図7】図7はステップ61で示したレリーズルーチン
のフローチャートを示した図である
【図8】図8は圧電アクチュエータからより大きな変位
量、加速度を得る方法を示したフローチャートである。
【図9】図9は圧電アクチュエータの作動応答を改善す
るルーチン例を示したフローチャートである。
【図10】図10は図6の通常駆動方法による圧電アク
チュエータ1 の伸縮状況を示した図である。
【図11】図11(A)、(B)はそれぞれ、図5(A
)、(B)の脱湿ルーチン中の圧電アクチュエータ1 
の変位量を示した図である。
【図12】図12は図8で説明した、一度収縮させた後
の伸張量を機械系の作動に利用した場合の圧電アクチュ
エータ1 の様子を説明する図である。
【図13】図13は本明細書で用いる交流電圧を説明す
る図である。
【図14】図14は本明細書で用いる断続的に発生する
電圧を説明する図である。
【主要部分の符号の説明】
1 、2   圧電アクチュエータ 17      シャッタ先幕 37      シャッタ後幕 40      電池 41      半押しスイッチ 42      サージアブソーバー 43      液晶表示素子用照明ランプ44   
   ストロボ発光管 45      電圧源 46、47  回路ブロック CPU     制御回路 LM      測光回路 DSP     表示回路 AP      絞り制御回路 FM      フィルム感度信号読みとり回路HMD
     湿度検知回路 SW      スイッチ群

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電圧が印加されると変位を生じる圧電アク
    チュエータと、前記変位を利用して作動を行なう機械系
    とを備えた、圧電アクチュエータを用いた駆動装置にお
    いて、前記圧電アクチュエータが前記機械系を作動させ
    ない程度の変位を生じる電圧であり、かつ前記圧電アク
    チュエータの内部が発熱するに十分な電圧である電圧を
    発生する電圧発生手段と、前記圧電アクチュエータの周
    囲の湿度を検出する湿度検出手段と、前記湿度検出手段
    の出力を受けて、前記圧電アクチュエータの周囲の湿度
    が、前記圧電アクチュエータが絶縁破壊を起こすおそれ
    のある限界の湿度より高いか低いかを判断する湿度判断
    手段とを有し、前記湿度判断手段により、前記圧電アク
    チュエータの周囲の湿度が、前記限界の湿度より高いと
    判断された時には、前記電圧発生手段により発生する電
    圧を前記圧電アクチュエータに印加することを特徴とす
    る圧電アクチュエータを用いた駆動装置。
  2. 【請求項2】前記電圧発生手段の発生する電圧は、断続
    的に発生する電圧であることを特徴とする請求項1に記
    載の圧電アクチュエータを用いた駆動装置。
  3. 【請求項3】前記電圧発生手段の発生する電圧は、交流
    電圧であることを特徴とする請求項1に記載の圧電アク
    チュエータを用いた駆動装置。
JP3049439A 1991-03-12 1991-03-14 圧電アクチュエータを用いた駆動装置 Pending JPH04284431A (ja)

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JP3049439A JPH04284431A (ja) 1991-03-14 1991-03-14 圧電アクチュエータを用いた駆動装置
US07/849,096 US5371427A (en) 1991-03-12 1992-03-09 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
EP95202707A EP0696068A3 (en) 1991-03-12 1992-03-11 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
EP92302057A EP0508599B1 (en) 1991-03-12 1992-03-11 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
EP95202709A EP0696070A3 (en) 1991-03-12 1992-03-11 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
DE69215734T DE69215734T2 (de) 1991-03-12 1992-03-11 Treiber für ein piezoelektrisches Stellglied und Kontrollvorrichtung für den Verschluss, die eine piezoelektrische Vorrichtung benutzt
EP95202708A EP0696069A3 (en) 1991-03-12 1992-03-11 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
EP95202710A EP0696821A3 (en) 1991-03-12 1992-03-11 Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013110886A (ja) * 2011-11-22 2013-06-06 Konica Minolta Holdings Inc 姿勢補正装置、マイケルソン干渉計、およびフーリエ変換分光分析装置

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JP2013110886A (ja) * 2011-11-22 2013-06-06 Konica Minolta Holdings Inc 姿勢補正装置、マイケルソン干渉計、およびフーリエ変換分光分析装置

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