JPH04287335A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH04287335A JPH04287335A JP3076745A JP7674591A JPH04287335A JP H04287335 A JPH04287335 A JP H04287335A JP 3076745 A JP3076745 A JP 3076745A JP 7674591 A JP7674591 A JP 7674591A JP H04287335 A JPH04287335 A JP H04287335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- lead
- semiconductor device
- chips
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/753—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between laterally-adjacent chips
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリヤ上に
半導体素子たとえばICチップが搭載された半導体装置
に関するものである。
半導体素子たとえばICチップが搭載された半導体装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】TAB(Tape Automated
Bonding)技術はICチップの実装技術の一つ
であり、他の実装技術に比べて多ピン狭ピッチのリード
形成が可能であり、またフェースアップで高速自動ボン
ディングを行うことができる等の特徴がある。このため
、TAB技術は、近年、特に注目されている。
Bonding)技術はICチップの実装技術の一つ
であり、他の実装技術に比べて多ピン狭ピッチのリード
形成が可能であり、またフェースアップで高速自動ボン
ディングを行うことができる等の特徴がある。このため
、TAB技術は、近年、特に注目されている。
【0003】TABテープは、リードが形成されたフィ
ルム上に1個又は複数個のICチップを搭載したもので
ある。リードには、実装基板に接続するためにパッケー
ジ外部に引き出されるものと、ICチップの接続あるい
はICチップ間の接続を行うためにパッケージ内部で引
き回されるものとがある。これらのリードとICチップ
との接合には、通常、予めフィルムキャリアのリード先
端部にバンプを転写した後、バンプを介してリードとI
Cチップの電極とを加圧・加熱して接合する転写バンプ
方式が採用されている。そして、ICチップの電気的試
験等を行った後、信頼性を向上させるために樹脂封止す
る。
ルム上に1個又は複数個のICチップを搭載したもので
ある。リードには、実装基板に接続するためにパッケー
ジ外部に引き出されるものと、ICチップの接続あるい
はICチップ間の接続を行うためにパッケージ内部で引
き回されるものとがある。これらのリードとICチップ
との接合には、通常、予めフィルムキャリアのリード先
端部にバンプを転写した後、バンプを介してリードとI
Cチップの電極とを加圧・加熱して接合する転写バンプ
方式が採用されている。そして、ICチップの電気的試
験等を行った後、信頼性を向上させるために樹脂封止す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、同一フィル
ムキャリヤ内に複数のICチップを搭載した場合、IC
チップ同士の接続を行う際に、回路設計の都合上1つの
リードを他のリードとクロスさせなければならないこと
がある。しかし、フィルム上に形成されたリードを用い
てこのようなクロス配線を行うことはできず、したがっ
てリードの接続をクロスさせる必要がある場合には、パ
ッケージの外で配線を行っていた。このため、同一フィ
ルムキャリヤ内に複数のICチップを搭載した従来の半
導体装置では、このクロス配線が、実装面積を縮小する
際の妨げとなっていた。
ムキャリヤ内に複数のICチップを搭載した場合、IC
チップ同士の接続を行う際に、回路設計の都合上1つの
リードを他のリードとクロスさせなければならないこと
がある。しかし、フィルム上に形成されたリードを用い
てこのようなクロス配線を行うことはできず、したがっ
てリードの接続をクロスさせる必要がある場合には、パ
ッケージの外で配線を行っていた。このため、同一フィ
ルムキャリヤ内に複数のICチップを搭載した従来の半
導体装置では、このクロス配線が、実装面積を縮小する
際の妨げとなっていた。
【0005】また、同一フィルムキャリヤ内に複数のI
Cチップを実装した場合、従来の半導体装置では、1個
のICチップを搭載した場合に比べて、搭載したICチ
ップの数に応じて実装面積が大きくなるが、この場合で
も実装面積の縮小化を図ることが要請されている。
Cチップを実装した場合、従来の半導体装置では、1個
のICチップを搭載した場合に比べて、搭載したICチ
ップの数に応じて実装面積が大きくなるが、この場合で
も実装面積の縮小化を図ることが要請されている。
【0006】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、1つのパッケージ内に収納されている複数個の
半導体素子の配線を極力同一パッケージ内で行うことが
でき、しかも省スペース化を図ることができる半導体装
置を提供することを目的とするものである。
であり、1つのパッケージ内に収納されている複数個の
半導体素子の配線を極力同一パッケージ内で行うことが
でき、しかも省スペース化を図ることができる半導体装
置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係る半導体装置は、リードが形成されたフ
ィルムに搭載された第1の半導体素子と、該第1の半導
体素子上に載置された1個又は複数個の第2の半導体素
子とを備え、該第2の半導体素子の配線を導電性のワイ
ヤを用いて行ったことを特徴とするものである。また、
前記ワイヤを絶縁体で被覆することが望ましい。
めの本発明に係る半導体装置は、リードが形成されたフ
ィルムに搭載された第1の半導体素子と、該第1の半導
体素子上に載置された1個又は複数個の第2の半導体素
子とを備え、該第2の半導体素子の配線を導電性のワイ
ヤを用いて行ったことを特徴とするものである。また、
前記ワイヤを絶縁体で被覆することが望ましい。
【0008】
【作用】本発明は前記の構成によって、第1の半導体素
子の上に1個又は複数個の第2の半導体素子を載置し、
第2の半導体素子の電極と、リード又は第1の半導体素
子の電極との接続を導電性のワイヤを用いて接続するこ
とにより、同一パッケージ内でクロス配線を行うことが
可能になり、したがってまた省スペース化を図ることが
できる。また、ワイヤを絶縁体で被覆することにより、
ワイヤとリード、及びワイヤ同士が接触しても、短絡す
ることはない。
子の上に1個又は複数個の第2の半導体素子を載置し、
第2の半導体素子の電極と、リード又は第1の半導体素
子の電極との接続を導電性のワイヤを用いて接続するこ
とにより、同一パッケージ内でクロス配線を行うことが
可能になり、したがってまた省スペース化を図ることが
できる。また、ワイヤを絶縁体で被覆することにより、
ワイヤとリード、及びワイヤ同士が接触しても、短絡す
ることはない。
【0009】
【実施例】以下に、本発明の第1実施例を図1乃至図3
を参照して説明する。図1は本発明の第1実施例である
半導体装置の概略平面図、図2はその半導体装置のA−
A矢視概略断面図、図3はその半導体装置のICチップ
を2組で一つのパッケージとして樹脂封止したときの様
子を示す概略断面図である。
を参照して説明する。図1は本発明の第1実施例である
半導体装置の概略平面図、図2はその半導体装置のA−
A矢視概略断面図、図3はその半導体装置のICチップ
を2組で一つのパッケージとして樹脂封止したときの様
子を示す概略断面図である。
【0010】図1及び図2に示す半導体装置は、2個の
ICチップ12a,12bと、フィルム14上にリード
16が形成されたフィルムキャリアと、絶縁体で被覆さ
れたボンディングワイヤ18とを有するものである。I
Cチップ12a,12bは略正方形状に形成され、それ
らの表面の端縁部には電極22が形成されている。IC
チップ12bはICチップ12aより小さく、ICチッ
プ12aの略中心部に固定材24により固定されている
。フィルム14には、デバイスホールと、アウターリー
ドホール(不図示)とが形成されている。デバイスホー
ルはICチップ12a,12bを載置する位置に設けた
開口部であり、アウターリードホールはアウターリード
を切断するために設けられた開口部である。フィルム1
4の材料には、耐熱性及び耐伸縮性が良好なポリイミド
を用いる。
ICチップ12a,12bと、フィルム14上にリード
16が形成されたフィルムキャリアと、絶縁体で被覆さ
れたボンディングワイヤ18とを有するものである。I
Cチップ12a,12bは略正方形状に形成され、それ
らの表面の端縁部には電極22が形成されている。IC
チップ12bはICチップ12aより小さく、ICチッ
プ12aの略中心部に固定材24により固定されている
。フィルム14には、デバイスホールと、アウターリー
ドホール(不図示)とが形成されている。デバイスホー
ルはICチップ12a,12bを載置する位置に設けた
開口部であり、アウターリードホールはアウターリード
を切断するために設けられた開口部である。フィルム1
4の材料には、耐熱性及び耐伸縮性が良好なポリイミド
を用いる。
【0011】リード16は、実装基板に接続するために
パッケージから引き出された引出用リード16a,16
bと、ICチップ12a,12b間を接続するための内
部接続用リード16cとからなる。引出用リード16a
はICチップ12aの電極22aと接合され、引出用リ
ード16bはICチップ12bの電極22bと接合され
るものである。引出用リード16aと内部接続用リード
16cの一端はデバイスホールに突き出るように形成さ
れ、他端にはパッド26a,26cが設けられている。 また、引出用リード16bには2ヵ所にパッド26b1
,26b2 が設けられている。引出用リード16aの
パッド26aと引出用リード16bのパッド26b2
は電気試験用のテストパッドであり、一方、引出用リー
ド16bのパッド26b1 と内部接続用リード16c
のパッド26cはボンディングワイヤ18との接続用で
ある。
パッケージから引き出された引出用リード16a,16
bと、ICチップ12a,12b間を接続するための内
部接続用リード16cとからなる。引出用リード16a
はICチップ12aの電極22aと接合され、引出用リ
ード16bはICチップ12bの電極22bと接合され
るものである。引出用リード16aと内部接続用リード
16cの一端はデバイスホールに突き出るように形成さ
れ、他端にはパッド26a,26cが設けられている。 また、引出用リード16bには2ヵ所にパッド26b1
,26b2 が設けられている。引出用リード16aの
パッド26aと引出用リード16bのパッド26b2
は電気試験用のテストパッドであり、一方、引出用リー
ド16bのパッド26b1 と内部接続用リード16c
のパッド26cはボンディングワイヤ18との接続用で
ある。
【0012】本実施例では、ICチップ12aの電極2
2aと引出用リード16aとを接合するのに、いわゆる
転写バンプ方式を用いている。すなわち、引出用リード
16aの先端部にバンプ(不図示)を転写した後、バン
プを介してリードとICチップ12aの電極22aとを
加圧・加熱して接合する。尚、図2に示すようにICチ
ップ12aは引出用リード16aの下面に接合されてい
る。
2aと引出用リード16aとを接合するのに、いわゆる
転写バンプ方式を用いている。すなわち、引出用リード
16aの先端部にバンプ(不図示)を転写した後、バン
プを介してリードとICチップ12aの電極22aとを
加圧・加熱して接合する。尚、図2に示すようにICチ
ップ12aは引出用リード16aの下面に接合されてい
る。
【0013】一方、ICチップ12bは、ICチップ1
2aの上に載置されているので、ICチップ12bの電
極22bとフィルム上のリードとをバンプを介して直接
接続することはできない。ICチップ12bは、その各
電極22bと、引出用リード16bのパッド26b1
及び内部接続用リード16cのパッド26cとの間がボ
ンディングワイヤ18を用いて接続されている。このよ
うにICチップ12bの配線をボンディングワイヤ18
を用いて行うことにより、回路設計上クロス配線が生じ
ても、同一パッケージ内でICチップの配線を行うこと
ができる。
2aの上に載置されているので、ICチップ12bの電
極22bとフィルム上のリードとをバンプを介して直接
接続することはできない。ICチップ12bは、その各
電極22bと、引出用リード16bのパッド26b1
及び内部接続用リード16cのパッド26cとの間がボ
ンディングワイヤ18を用いて接続されている。このよ
うにICチップ12bの配線をボンディングワイヤ18
を用いて行うことにより、回路設計上クロス配線が生じ
ても、同一パッケージ内でICチップの配線を行うこと
ができる。
【0014】図3に示す半導体装置は、図1及び図2に
示すICチップ12a,12bを同一パッケージ内に2
組配置して樹脂28により封止したものである。このよ
うに樹脂封止することにより、製造された半導体装置の
電気的特性を損なうことなく、高い信頼性を保つことが
できる。尚、ICチップを樹脂封止する際に使用するト
ランスファーモールド金型は、従来のものと同じものを
用いることができる。従来の金型はキャビティの奥行き
を十分大きく取っているので、本実施例の半導体装置の
ようにICチップを2段に重ねてワイヤボンディングし
たものを金型で挟持しても余裕を持って樹脂封止するこ
とができる。
示すICチップ12a,12bを同一パッケージ内に2
組配置して樹脂28により封止したものである。このよ
うに樹脂封止することにより、製造された半導体装置の
電気的特性を損なうことなく、高い信頼性を保つことが
できる。尚、ICチップを樹脂封止する際に使用するト
ランスファーモールド金型は、従来のものと同じものを
用いることができる。従来の金型はキャビティの奥行き
を十分大きく取っているので、本実施例の半導体装置の
ようにICチップを2段に重ねてワイヤボンディングし
たものを金型で挟持しても余裕を持って樹脂封止するこ
とができる。
【0015】本実施例の半導体装置では、同一パッケー
ジ内に搭載された複数のICチップの接続をリードだけ
でなくボンディングワイヤを用いて接続することにより
、同一パッケージ内でのクロス配線が可能となる。さら
に、上記のように2個のICチップを重ねてフィルムキ
ャリアに搭載したことにより、パッケージサイズを小さ
くすることが可能なので、基板に実装するときに実装面
積を縮小することができる。また、ボンディングワイヤ
を絶縁体で被覆したことにより、リードとボンディング
ワイヤ、及びボンディングワイヤ同士が接触しても、短
絡することはない。
ジ内に搭載された複数のICチップの接続をリードだけ
でなくボンディングワイヤを用いて接続することにより
、同一パッケージ内でのクロス配線が可能となる。さら
に、上記のように2個のICチップを重ねてフィルムキ
ャリアに搭載したことにより、パッケージサイズを小さ
くすることが可能なので、基板に実装するときに実装面
積を縮小することができる。また、ボンディングワイヤ
を絶縁体で被覆したことにより、リードとボンディング
ワイヤ、及びボンディングワイヤ同士が接触しても、短
絡することはない。
【0016】次に、本発明の第2実施例を図4及び図5
を参照して説明する。図4は本発明の第2実施例である
半導体装置の概略平面図、図5はその半導体装置のB−
B矢視概略断面図である。第2実施例において上記第1
実施例と同一の機能を有するものには同一の符号を付す
ことにより、その詳細な説明を省略する。
を参照して説明する。図4は本発明の第2実施例である
半導体装置の概略平面図、図5はその半導体装置のB−
B矢視概略断面図である。第2実施例において上記第1
実施例と同一の機能を有するものには同一の符号を付す
ことにより、その詳細な説明を省略する。
【0017】図4及び図5に示す半導体装置では、フィ
ルム14にデバイスホールを形成していない。その代わ
りにICチップ12aの電極に対応する部分に、ICチ
ップ12aの電極22aと引出用リード16aとを接合
するためにリード接合用ホール32を形成している。引
出用リード16bはリード接合用ホール32の上部を通
過してICチップ間に介在するフィルム14aまで引き
伸ばされている。ICチップ12bはICチップ12a
上部のフィルム14aに固定材24により固定され、ま
たICチップ12bの電極22bと、引出用リード16
b及び内部接続用リード16cとの間は第1実施例と同
様にボンディングワイヤ18を用いて接続されている。
ルム14にデバイスホールを形成していない。その代わ
りにICチップ12aの電極に対応する部分に、ICチ
ップ12aの電極22aと引出用リード16aとを接合
するためにリード接合用ホール32を形成している。引
出用リード16bはリード接合用ホール32の上部を通
過してICチップ間に介在するフィルム14aまで引き
伸ばされている。ICチップ12bはICチップ12a
上部のフィルム14aに固定材24により固定され、ま
たICチップ12bの電極22bと、引出用リード16
b及び内部接続用リード16cとの間は第1実施例と同
様にボンディングワイヤ18を用いて接続されている。
【0018】第2実施例の半導体装置では、2つのIC
チップ間にフィルムが介在しているので、各ICチップ
の発する熱が互いに他に及ぼすのを防止することができ
る。また、ICチップ間に介在するフィルムまで引出用
リード16bを引き伸ばしているので、ICチップの電
極と引出用リードとの接続に用いられるボンディングワ
イヤ、たとえば高価な金線が短くてすむ。その他の効果
は上記第1実施例と同様である。
チップ間にフィルムが介在しているので、各ICチップ
の発する熱が互いに他に及ぼすのを防止することができ
る。また、ICチップ間に介在するフィルムまで引出用
リード16bを引き伸ばしているので、ICチップの電
極と引出用リードとの接続に用いられるボンディングワ
イヤ、たとえば高価な金線が短くてすむ。その他の効果
は上記第1実施例と同様である。
【0019】尚、上記の各実施例では、ICチップの上
に一個のICチップを配置した場合について説明したが
、本発明はこれに限定されるものではなく、ICチップ
の上に2個又は3個以上のICチップを配置してもよい
。
に一個のICチップを配置した場合について説明したが
、本発明はこれに限定されるものではなく、ICチップ
の上に2個又は3個以上のICチップを配置してもよい
。
【0020】たとえば、図6に示す半導体装置は、IC
チップ12aの上に固定材24により2つのICチップ
12a1 ,12a2 を並べて固定している。そして
、ICチップ12a1 ,12a2 の接続はボンディ
ングワイヤ18を用いて行う。また、図7に示す半導体
装置は、ICチップ12aの上に固定材26によりIC
チップ12bを重ねて固定し、さらに、このICチップ
12bの上にICチップ12cを重ねている。ICチッ
プ12b,12cの接続はボンディングワイヤ18を用
いて行う。
チップ12aの上に固定材24により2つのICチップ
12a1 ,12a2 を並べて固定している。そして
、ICチップ12a1 ,12a2 の接続はボンディ
ングワイヤ18を用いて行う。また、図7に示す半導体
装置は、ICチップ12aの上に固定材26によりIC
チップ12bを重ねて固定し、さらに、このICチップ
12bの上にICチップ12cを重ねている。ICチッ
プ12b,12cの接続はボンディングワイヤ18を用
いて行う。
【0021】また、上記の各実施例では、2個のICチ
ップ間を接続する際に、一方のICチップの電極と内部
接続用リードとをボンディングワイヤで接続する場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、内部接続用リードを形成せず、2個のICチップ
間の電極を直接ボンディングワイヤで接続してもよい。
ップ間を接続する際に、一方のICチップの電極と内部
接続用リードとをボンディングワイヤで接続する場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、内部接続用リードを形成せず、2個のICチップ
間の電極を直接ボンディングワイヤで接続してもよい。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、第
1の半導体素子の上に1個又は複数個の第2の半導体素
子を載置し、第2の半導体素子の接続を導電性のワイヤ
を用いて行うことにより、同一パッケージ内でクロス配
線を行うことが可能になり、且つ複数の半導体素子をフ
ィルムキャリヤ上に立体的に配置することによりパッケ
ージサイズを小さくすることができ、したがって基板に
実装するときの実装面積を縮小することができる半導体
装置を提供することができる。
1の半導体素子の上に1個又は複数個の第2の半導体素
子を載置し、第2の半導体素子の接続を導電性のワイヤ
を用いて行うことにより、同一パッケージ内でクロス配
線を行うことが可能になり、且つ複数の半導体素子をフ
ィルムキャリヤ上に立体的に配置することによりパッケ
ージサイズを小さくすることができ、したがって基板に
実装するときの実装面積を縮小することができる半導体
装置を提供することができる。
【図1】本発明の第1実施例である半導体装置の概略平
面図である。
面図である。
【図2】その半導体装置のA−A矢視概略断面図である
。
。
【図3】その半導体装置のICチップを2組で一つのパ
ッケージとして樹脂封止したときの様子を示す概略断面
図である。
ッケージとして樹脂封止したときの様子を示す概略断面
図である。
【図4】本発明の第2実施例である半導体装置の概略平
面図である。
面図である。
【図5】その半導体装置のB−B矢視概略断面図である
。
。
【図6】本発明の第1変形例である半導体装置の概略平
面図である。
面図である。
【図7】本発明の第2変形例である半導体装置の概略断
面図である。
面図である。
12a,12b ICチップ
14 フィルム
16 リード
16a,16b 引出用リード
16c 内部接続用リード
18 ボンディングワイヤ
22 電極
24 固定材
26 パッド
28 封止樹脂
32 リード接続用ホール
Claims (2)
- 【請求項1】 リードが形成されたフィルムに搭載さ
れた第1の半導体素子と、該第1の半導体素子上に載置
された1個又は複数個の第2の半導体素子とを備え、該
第2の半導体素子の配線を導電性のワイヤを用いて行っ
たことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記ワイヤを絶縁体で被覆した請求項
1記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076745A JPH04287335A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076745A JPH04287335A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04287335A true JPH04287335A (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=13614142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076745A Withdrawn JPH04287335A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04287335A (ja) |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP3076745A patent/JPH04287335A/ja not_active Withdrawn
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |