JPH04290277A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH04290277A JPH04290277A JP5303691A JP5303691A JPH04290277A JP H04290277 A JPH04290277 A JP H04290277A JP 5303691 A JP5303691 A JP 5303691A JP 5303691 A JP5303691 A JP 5303691A JP H04290277 A JPH04290277 A JP H04290277A
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- JP
- Japan
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- gas
- variable resistor
- gas laser
- discharge
- laser tube
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガスレーザ装置に関し、
特にガス自動補給回路に関する。
特にガス自動補給回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ装置は図１に示すよう
に、高圧ガスボンベ８を電磁弁９等により結合されたガ
スレーザ管１と、一対の光共振器用ミラー２と、レーザ
出力３の一部を取り出しモニターするためのビームスプ
リッタ４と、受光素子５と、ガスレーザ管１を放電開始
させるためのトリガー回路６と、放電プラズマを絞り込
むための電磁石７とから成るガスレーザ発振器１０と；
ガスレーザ発振器１０を動作，制御する電源１１とから
成り、電源１１はキースイッチ１２，マグネットスイッ
チ１３，整流回路１４，パワーＦＥＴ部１５，出力表示
部１６，放電電流制御回路１７，ガス自動補給回路１８
から構成されている。ガス自動補給回路は図３に示す回
路構成になっており、放電電流をシャント抵抗１９等で
検出し、ＩＣ２２により一定の電圧に増幅し、ＩＣ２３
と可変抵抗２４によりガス補給レベルの傾きを決定し、
可変抵抗２５によりガス補給レベルのオフセットレベル
を決定することにより、ガス補給レベル、すなわちガス
レーザ管にレーザガスが充分満されているときの放電電
流と放電電圧の関係を図５に示す通り設定する。測定し
た放電電圧はＩＣ２１で変換し、この変換した電圧をＩ
Ｃ３２で図５の特性と比較することにより、放電電圧が
ガス補給レベル以下になった場合電磁弁９を開放する信
号を出し、高圧ガスボンベ８からガスレーザ管１にガス
補給する構成となっている。
に、高圧ガスボンベ８を電磁弁９等により結合されたガ
スレーザ管１と、一対の光共振器用ミラー２と、レーザ
出力３の一部を取り出しモニターするためのビームスプ
リッタ４と、受光素子５と、ガスレーザ管１を放電開始
させるためのトリガー回路６と、放電プラズマを絞り込
むための電磁石７とから成るガスレーザ発振器１０と；
ガスレーザ発振器１０を動作，制御する電源１１とから
成り、電源１１はキースイッチ１２，マグネットスイッ
チ１３，整流回路１４，パワーＦＥＴ部１５，出力表示
部１６，放電電流制御回路１７，ガス自動補給回路１８
から構成されている。ガス自動補給回路は図３に示す回
路構成になっており、放電電流をシャント抵抗１９等で
検出し、ＩＣ２２により一定の電圧に増幅し、ＩＣ２３
と可変抵抗２４によりガス補給レベルの傾きを決定し、
可変抵抗２５によりガス補給レベルのオフセットレベル
を決定することにより、ガス補給レベル、すなわちガス
レーザ管にレーザガスが充分満されているときの放電電
流と放電電圧の関係を図５に示す通り設定する。測定し
た放電電圧はＩＣ２１で変換し、この変換した電圧をＩ
Ｃ３２で図５の特性と比較することにより、放電電圧が
ガス補給レベル以下になった場合電磁弁９を開放する信
号を出し、高圧ガスボンベ８からガスレーザ管１にガス
補給する構成となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のガスレーザ
装置では、放電電流を変換し、増幅しオフセットレベル
を決定することにより、ガス補給レベルを決定し、放電
電圧と比較し、ガス自動補給を行なう構成となっている
ため、ガス補給レベルは一定の傾きの図５に示すような
ガス補給レベルとなったため、放電電流−放電電圧特性
がリニアな特性でない場合最適なガス補給レベルの設定
ができなく、信頼性等問題点があった。
装置では、放電電流を変換し、増幅しオフセットレベル
を決定することにより、ガス補給レベルを決定し、放電
電圧と比較し、ガス自動補給を行なう構成となっている
ため、ガス補給レベルは一定の傾きの図５に示すような
ガス補給レベルとなったため、放電電流−放電電圧特性
がリニアな特性でない場合最適なガス補給レベルの設定
ができなく、信頼性等問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のガスレーザ装置
はガス自動補給回路にガス自動補給レベル設定で傾きを
変化できる回路を備えている。
はガス自動補給回路にガス自動補給レベル設定で傾きを
変化できる回路を備えている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の構成図で、図２は本発明の一実施例の
ガス自動補給回路図、図３はガス補給レベルの説明グラ
フである。
。図１は本発明の構成図で、図２は本発明の一実施例の
ガス自動補給回路図、図３はガス補給レベルの説明グラ
フである。
【０００６】ガスレーザ発振器１０と駆動用の電源１１
とで構成されている点は従来と同じである。また、ガス
レーザ発振器１０が高圧ガスボンベ８を電磁弁９等によ
り結合されたガスレーザ管本体１と一対の光共振器用ミ
ラー２とレーザ出力３の一部を取り出し、モニターする
ためのビームスプリッタ４と受光素子５とガスレーザ管
本体１を放電開始させるためのトリガー回路６と放電プ
ラズマを絞り込むための電磁石７から成り、ガスレーザ
発振器１０を動作，制御する電源１１が、キースイッチ
１２，マグネットスイッチ１３，整流回路１４，パワー
ＦＥＴ部１５，出力表示部，放電電流制御回路１７，ガ
ス自動補給回路１８から成る点も従来と同じである。本
発明が従来と異る点は、ガス自動補給回路の回路構成図
である。本発明のガス自動補給回路１８はガス補給レベ
ルの傾きを設定する部分が複数（この実施例では３つ）
ある（従来は１つ）。このガス自動補給回路は、放電電
流をシャント抵抗１９等で検出し、ＩＣ２２により一定
の電圧に増幅し、ＩＣ２３と可変抵抗２４により図３に
示す第１の直線３４の傾きを決定し、可変抵抗２５によ
りオフセットレベル３３を決定し、次に第１の折点３５
を可変抵抗２６で決定し、ＩＣ２７と可変抵抗２８で第
２の直線３６の傾きを決定する。同様に第２の折点３７
を可変抵抗２９で決定し、ＩＣ３０と可変抵抗３１で第
３の直線３８の傾きを決定する。この様に放電電流−放
電電圧特性の傾きの変化に応じ、同種回路を追加するこ
とによりガス補給レベルを数本の直線で構成する。この
ガス補給レベルと、測定した放電電圧をＩＣ２１で変換
した電圧とをＩＣ３２で比較することにより、放電電圧
がガス補給レベル以下になった場合電磁弁９を開放する
信号を出し、高圧ガスボンベ８からガスレーザ管１にガ
ス補給する構成である。
とで構成されている点は従来と同じである。また、ガス
レーザ発振器１０が高圧ガスボンベ８を電磁弁９等によ
り結合されたガスレーザ管本体１と一対の光共振器用ミ
ラー２とレーザ出力３の一部を取り出し、モニターする
ためのビームスプリッタ４と受光素子５とガスレーザ管
本体１を放電開始させるためのトリガー回路６と放電プ
ラズマを絞り込むための電磁石７から成り、ガスレーザ
発振器１０を動作，制御する電源１１が、キースイッチ
１２，マグネットスイッチ１３，整流回路１４，パワー
ＦＥＴ部１５，出力表示部，放電電流制御回路１７，ガ
ス自動補給回路１８から成る点も従来と同じである。本
発明が従来と異る点は、ガス自動補給回路の回路構成図
である。本発明のガス自動補給回路１８はガス補給レベ
ルの傾きを設定する部分が複数（この実施例では３つ）
ある（従来は１つ）。このガス自動補給回路は、放電電
流をシャント抵抗１９等で検出し、ＩＣ２２により一定
の電圧に増幅し、ＩＣ２３と可変抵抗２４により図３に
示す第１の直線３４の傾きを決定し、可変抵抗２５によ
りオフセットレベル３３を決定し、次に第１の折点３５
を可変抵抗２６で決定し、ＩＣ２７と可変抵抗２８で第
２の直線３６の傾きを決定する。同様に第２の折点３７
を可変抵抗２９で決定し、ＩＣ３０と可変抵抗３１で第
３の直線３８の傾きを決定する。この様に放電電流−放
電電圧特性の傾きの変化に応じ、同種回路を追加するこ
とによりガス補給レベルを数本の直線で構成する。この
ガス補給レベルと、測定した放電電圧をＩＣ２１で変換
した電圧とをＩＣ３２で比較することにより、放電電圧
がガス補給レベル以下になった場合電磁弁９を開放する
信号を出し、高圧ガスボンベ８からガスレーザ管１にガ
ス補給する構成である。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガス補給
レベルを放電電流−放電電圧特性に合せ、数本の直線で
近似し、最適ガス補給レベルを設定したため、ガスレー
ザ管に高圧ガスボンベから適量のガスが補給でき、ガス
レーザ装置の信頼性を高め、ガスレーザ管の長寿命化で
きるという効果を有する。
レベルを放電電流−放電電圧特性に合せ、数本の直線で
近似し、最適ガス補給レベルを設定したため、ガスレー
ザ管に高圧ガスボンベから適量のガスが補給でき、ガス
レーザ装置の信頼性を高め、ガスレーザ管の長寿命化で
きるという効果を有する。
【図１】本発明のブロック図。
【図２】本発明のガス補給回路図。
【図３】本発明のガス補給レベル説明グラフ。
【図４】従来のガス補給回路図。
【図５】従来のガス補給レベルを示す図。
１ ガスレーザ管
２ 光共振器用ミラー
３ レーザ出力
４ ビームスプリッター
５ 受光素子
６ トリガー回路
７ 電磁石
８ 高圧ガスボンベ
９ 電磁弁
１０ ガスレーザ発振器
１１ 電源
１２ キースイッチ
１３ マグネットスイッチ
１４ 整流回路部
１５ パワーＦＥＴ部
１６ 出力表示部
１７ 放電電流制御回路
１８ ガス自動補給回路
１９ 放電電流検出用シャント抵抗２１
第１のＩＣ ２２ 第２のＩＣ ２３ 第３のＩＣ ２４ 第１の可変抵抗 ２５ 第２の可変抵抗 ２６ 第３の可変抵抗 ２７ 第４のＩＣ ２８ 第の可変抵抗 ２９ 第５の可変抵抗 ３０ 第５のＩＣ ３１ 第６の可変抵抗 ３２ 第６のＩＣ ３３ オフセットレベル ３４ 第１の直線 ３５ 第１の折点 ３６ 第２の直線 ３７ 第２の折点 ３８ 第３の直線
第１のＩＣ ２２ 第２のＩＣ ２３ 第３のＩＣ ２４ 第１の可変抵抗 ２５ 第２の可変抵抗 ２６ 第３の可変抵抗 ２７ 第４のＩＣ ２８ 第の可変抵抗 ２９ 第５の可変抵抗 ３０ 第５のＩＣ ３１ 第６の可変抵抗 ３２ 第６のＩＣ ３３ オフセットレベル ３４ 第１の直線 ３５ 第１の折点 ３６ 第２の直線 ３７ 第２の折点 ３８ 第３の直線
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発振器と駆動用の電源とから成
り、レーザ発振器は、電磁弁を介して高圧ガスボンベが
接続したガスレーザ管と、ガスレーザ管を挟んで対向配
置した一対の光共振器用ミラーと、ガスレーザ管の周囲
に設置した放電プラズマ絞込み用電磁石と、放電スター
ト用トリガー回路と、レーザ光の一部を取り出すビーム
スプリッタと、ビームスプリッタで取り出された光を受
光する受光素子とを備え、前記電源が前記ガスレーザ管
の放電電流と放電電圧とを監視し、放電電圧が一定値以
下になった時、前記電磁弁を開放してガスを前記ガスレ
ーザ管に自動補給するガス自動補給回路を備えたガスレ
ーザ装置において、前記ガス自動補給回路が、傾きの異
なる複数の直線で近似したガス補給レベルを生成する回
路を備えていることを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303691A JPH04290277A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303691A JPH04290277A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04290277A true JPH04290277A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=12931663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5303691A Pending JPH04290277A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04290277A (ja) |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP5303691A patent/JPH04290277A/ja active Pending
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