JPH04290975A - 内蔵電流試験機能つき集積回路及び集積回路の電流試験方法 - Google Patents
内蔵電流試験機能つき集積回路及び集積回路の電流試験方法Info
- Publication number
- JPH04290975A JPH04290975A JP3283829A JP28382991A JPH04290975A JP H04290975 A JPH04290975 A JP H04290975A JP 3283829 A JP3283829 A JP 3283829A JP 28382991 A JP28382991 A JP 28382991A JP H04290975 A JPH04290975 A JP H04290975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- integrated circuit
- row
- circuit
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/30—Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
- G01R31/3004—Current or voltage test
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
- G11C2029/5006—Current
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【発明の技術分野】本発明はベースの内蔵試験回路を有
するスタティックCMOS論理集積回路に関し、それら
を行ベースのスタンダード・セル配列により構成した場
合にも関している。
するスタティックCMOS論理集積回路に関し、それら
を行ベースのスタンダード・セル配列により構成した場
合にも関している。
【0002】
【従来技術とその問題点】算術論理ユニットの自己試験
のための内蔵試験回路(BITC)については、Phi
l NighおよびWojciech Maly共
著の、“内蔵電流検出を使用する自己試験ALU”(I
EEEカスタムIC会議、22.1.1−22.1.4
頁、1989年)と題する論文に記述されている。この
論文は、従来のCMOS回路における静的電流試験のた
めの回路接地と直列に配置した電流センサーについて記
述している。しかしセミカスタムスタンダード・セル設
計CMOS回路とともに使用するのに適したBICT設
計が必要であるのに実現されていない。
のための内蔵試験回路(BITC)については、Phi
l NighおよびWojciech Maly共
著の、“内蔵電流検出を使用する自己試験ALU”(I
EEEカスタムIC会議、22.1.1−22.1.4
頁、1989年)と題する論文に記述されている。この
論文は、従来のCMOS回路における静的電流試験のた
めの回路接地と直列に配置した電流センサーについて記
述している。しかしセミカスタムスタンダード・セル設
計CMOS回路とともに使用するのに適したBICT設
計が必要であるのに実現されていない。
【0003】
【発明の目的】本発明の目的は、電源バスの電流を検出
する新規な内蔵試験回路により、スタンダード・セルC
MOS回路にも適用できる試験手段を提供することにあ
る。
する新規な内蔵試験回路により、スタンダード・セルC
MOS回路にも適用できる試験手段を提供することにあ
る。
【0004】
【発明の概要】本発明は、集積回路(IC)に電圧を供
給するための主電源バス手段、主電源バス手段からIC
の第一部に電力を加えるための行電源バス手段(row
power buss means)、主およ
び行電源バス手段の間の接続をするための通常および試
験モードで動作可能なスイッチング回路手段、および欠
陥起因電流を検出するため試験モードにおいてICの第
一の部分のインピーダンスに応答する制御回路手段など
を含む、内蔵電流試験回路を伴うICをもたらすもので
ある。
給するための主電源バス手段、主電源バス手段からIC
の第一部に電力を加えるための行電源バス手段(row
power buss means)、主およ
び行電源バス手段の間の接続をするための通常および試
験モードで動作可能なスイッチング回路手段、および欠
陥起因電流を検出するため試験モードにおいてICの第
一の部分のインピーダンスに応答する制御回路手段など
を含む、内蔵電流試験回路を伴うICをもたらすもので
ある。
【0005】他の側面では、本発明は、電圧源をICに
備え、電圧源からスイッチング回路を通してICの第一
の部分に電力を与え、スイッチング回路を通常および試
験モードで動作させ、試験モード中にICの第一の部分
における欠陥起因電流を検出することにより、ICの電
流試験方法を与える。
備え、電圧源からスイッチング回路を通してICの第一
の部分に電力を与え、スイッチング回路を通常および試
験モードで動作させ、試験モード中にICの第一の部分
における欠陥起因電流を検出することにより、ICの電
流試験方法を与える。
【0006】本発明のこれらの特徴および他の特徴およ
び利点は、1組の図面を添付する以下の詳細説明からさ
らに明らかである。図面および説明の全体において同じ
参照番号は等価な対象を指している。
び利点は、1組の図面を添付する以下の詳細説明からさ
らに明らかである。図面および説明の全体において同じ
参照番号は等価な対象を指している。
【0007】
【望ましい実施例の詳細説明】図2は本発明の実施例で
用いるスイッチング回路10の概略図である。試験回路
のスイッチング部は、設計、製造により引き起こされる
異常な挙動または他の欠陥を検出するために、スタティ
ックCMOS論理回路を含むIC内に構成することがで
きる。
用いるスイッチング回路10の概略図である。試験回路
のスイッチング部は、設計、製造により引き起こされる
異常な挙動または他の欠陥を検出するために、スタティ
ックCMOS論理回路を含むIC内に構成することがで
きる。
【0008】スイッチング回路10は、VDD、即わち
主電源バス、および行内のスタンダード・セルに電力を
供給する行電源バスの間で直列に接続される。これは、
2つのモード、すなわち通常モードおよび試験モードで
作動することができる。
主電源バス、および行内のスタンダード・セルに電力を
供給する行電源バスの間で直列に接続される。これは、
2つのモード、すなわち通常モードおよび試験モードで
作動することができる。
【0009】通常(動作)モードでは、試験クロック信
号バッファ20の入力に加えられる試験クロック信号2
2(試験クロック信号線22上の試験クロック信号の略
称)はハイ状態である。試験クロック信号バッファ20
内のトランジスタ24および26は、試験クロックのハ
イ信号22に応答して、パス・トランジスタ16の入力
をロー状態にし、通常(動作)中にこのパス・トランジ
スタをその導通低抵抗状態に保つ。
号バッファ20の入力に加えられる試験クロック信号2
2(試験クロック信号線22上の試験クロック信号の略
称)はハイ状態である。試験クロック信号バッファ20
内のトランジスタ24および26は、試験クロックのハ
イ信号22に応答して、パス・トランジスタ16の入力
をロー状態にし、通常(動作)中にこのパス・トランジ
スタをその導通低抵抗状態に保つ。
【0010】試験(動作)モード中には、試験クロック
信号22は、図示していない回路部によりロー状態にさ
れ、試験クロック信号バッファ20でトランジスタ16
をオフにバイアスさせて、VDDおよび行電源バス18
の間に直列インピーダンスを入れる。行電源バス18に
接続されたセルに作用する異常電流漏れがある場合には
、行電源バス18の電源電圧は、検出可能なトリガしき
い値よりも低下する。
信号22は、図示していない回路部によりロー状態にさ
れ、試験クロック信号バッファ20でトランジスタ16
をオフにバイアスさせて、VDDおよび行電源バス18
の間に直列インピーダンスを入れる。行電源バス18に
接続されたセルに作用する異常電流漏れがある場合には
、行電源バス18の電源電圧は、検出可能なトリガしき
い値よりも低下する。
【0011】低電流の通常導通トランジスタ、例えば通
常漏洩電流パス・トランジスタ28などは、プルアップ
・トランジスタとしてパス・トランジスタ16と並列に
配置して、許容可能な漏洩電流により試験モード中に行
電源バス18で検出可能な電圧低下を引き起こさないよ
うな、良好または欠陥のない回路に存在する正常または
許容可能な漏洩電流を供給することができる。
常漏洩電流パス・トランジスタ28などは、プルアップ
・トランジスタとしてパス・トランジスタ16と並列に
配置して、許容可能な漏洩電流により試験モード中に行
電源バス18で検出可能な電圧低下を引き起こさないよ
うな、良好または欠陥のない回路に存在する正常または
許容可能な漏洩電流を供給することができる。
【0012】各スイッチング回路10内に含まれるトラ
ンジスタ30は、いずれかの行電源バスの電圧がしきい
電圧以下に下がるときを検出する入力OR機能部を形成
する。OR入力トランジスタ30は、VDDに接続され
、行電源バス18の電圧がトランジスタ30のしきい電
圧以下に下降したときに、出力信号線32に高電圧を与
える。トランジスタ30の動作については、図1に示す
スタンダード・セル、セミカスタムIC 12に関し
て詳細に述べる。
ンジスタ30は、いずれかの行電源バスの電圧がしきい
電圧以下に下がるときを検出する入力OR機能部を形成
する。OR入力トランジスタ30は、VDDに接続され
、行電源バス18の電圧がトランジスタ30のしきい電
圧以下に下降したときに、出力信号線32に高電圧を与
える。トランジスタ30の動作については、図1に示す
スタンダード・セル、セミカスタムIC 12に関し
て詳細に述べる。
【0013】図1においてスタンダード・セル型セミカ
スタムIC 12には、カスタム化することのできる
回路の多数の行の標準セルを含む。行1、2および行n
が示してある。各行には、試験回路のスイッチング部、
例えば、スイッチング回路10が付随する。該スイッチ
ング回路10の各々は、VDD電源に接続され、行電源
バス18により、該当する行、例えば行1などに行電源
出力を与える。
スタムIC 12には、カスタム化することのできる
回路の多数の行の標準セルを含む。行1、2および行n
が示してある。各行には、試験回路のスイッチング部、
例えば、スイッチング回路10が付随する。該スイッチ
ング回路10の各々は、VDD電源に接続され、行電源
バス18により、該当する行、例えば行1などに行電源
出力を与える。
【0014】格スイッチング回路10は、試験制御回路
34から試験クロック信号22を入力として受信し、該
回路への出力信号線32を備える。試験制御回路34の
動作について以下に記述する。試験制御回路34は、試
験開始信号36を入力として受信して、試験(動作)モ
ードを起動する。試験開始信号36は、VDDおよび回
路接地の間に接続されたトランジスタ40および42を
含む試験クロック開始バッファ38により反転バッファ
されて、試験クロック信号22を発生する。試験クロッ
ク信号22は、出力信号線32と回路接地との間に接続
された大形リセット・トランジスタ46にも加えられる
。試験開始信号36は、別途出力信号線32と回路接地
との間に接続された低電流トランジスタ48に直接加え
られる。出力信号線32は、VDDと回路接地との間に
接続されたトランジスタ52および54を含むOR出力
ドライバ50に、入力として加えられる。
34から試験クロック信号22を入力として受信し、該
回路への出力信号線32を備える。試験制御回路34の
動作について以下に記述する。試験制御回路34は、試
験開始信号36を入力として受信して、試験(動作)モ
ードを起動する。試験開始信号36は、VDDおよび回
路接地の間に接続されたトランジスタ40および42を
含む試験クロック開始バッファ38により反転バッファ
されて、試験クロック信号22を発生する。試験クロッ
ク信号22は、出力信号線32と回路接地との間に接続
された大形リセット・トランジスタ46にも加えられる
。試験開始信号36は、別途出力信号線32と回路接地
との間に接続された低電流トランジスタ48に直接加え
られる。出力信号線32は、VDDと回路接地との間に
接続されたトランジスタ52および54を含むOR出力
ドライバ50に、入力として加えられる。
【0015】大形リセット・トランジスタ46および低
電流トランジスタ48は、各スイッチング回路10のト
ランジスタ30とともにOR機能を完成する。試験モー
ドでは、試験開始信号36はハイ状態にクロックされる
。試験クロック信号22は、試験クロック開始バッファ
38によりロー状態にされ大形リセット・トランジスタ
46の導通を停止する。低電流トランジスタ48は、試
験開始信号36により直接導通させられる。出力信号線
32の信号は、OR機能の感度を高めるために、トラン
ジスタのサイズを適切に選択したOR出力ドライバ50
により増幅させることができる。
電流トランジスタ48は、各スイッチング回路10のト
ランジスタ30とともにOR機能を完成する。試験モー
ドでは、試験開始信号36はハイ状態にクロックされる
。試験クロック信号22は、試験クロック開始バッファ
38によりロー状態にされ大形リセット・トランジスタ
46の導通を停止する。低電流トランジスタ48は、試
験開始信号36により直接導通させられる。出力信号線
32の信号は、OR機能の感度を高めるために、トラン
ジスタのサイズを適切に選択したOR出力ドライバ50
により増幅させることができる。
【0016】通常(動作)モード中に、行電源バス18
は、VDDから各行に直接VDD電を与える。試験モー
ド中に、行電源バス18は、導通を停止させる図2に示
すパス・トランジスタ16によりVDDから切断される
。いずれかの特定行において通常漏洩電流パス・トラン
ジスタ28によりもたらされるすべての該漏洩電流は、
関連するスイッチング回路10のトランジスタ30によ
り検出され、OR出力ドライバ50により増幅されて、
故障表示器信号56を発生する。
は、VDDから各行に直接VDD電を与える。試験モー
ド中に、行電源バス18は、導通を停止させる図2に示
すパス・トランジスタ16によりVDDから切断される
。いずれかの特定行において通常漏洩電流パス・トラン
ジスタ28によりもたらされるすべての該漏洩電流は、
関連するスイッチング回路10のトランジスタ30によ
り検出され、OR出力ドライバ50により増幅されて、
故障表示器信号56を発生する。
【0017】図1および図2に関して述べた回路部は、
1つの電源バスだけしか必要としないスタンダード・セ
ル行において使用するのに適している。多数の主電源バ
スを必要とするスタンダード・セル行は、図3に示すよ
うなもう1つのスイッチング回路14を該行のために含
めることにより本発明を実施することができる。
1つの電源バスだけしか必要としないスタンダード・セ
ル行において使用するのに適している。多数の主電源バ
スを必要とするスタンダード・セル行は、図3に示すよ
うなもう1つのスイッチング回路14を該行のために含
めることにより本発明を実施することができる。
【0018】図3においてスイッチング回路14などの
もう1つのスイッチング回路を各行に追加することがで
きる。スイッチング回路14は、試験クロック信号22
を入力として受信し、VDDと同じかあるいは別のVD
D’などの適切な主電源バス電源に接続される。スイッ
チング回路14は、すぐ後述のように行電源バス58を
生成する。スイッチング回路14には、VDD’と行電
源バス58の間に接続された大形パス・トランジスタ6
0を含む。バス・トランジスタ60は、図2に示す試験
クロック信号バッファ20および図1に示す試験クロッ
ク開始バッファ38に類似した試験クロック信号バッフ
ア66により制御される。試験クロック信号バッファ6
6には、パス・トランジスタ60の状態を制御するため
に試験クロック信号を線22を介してバッファに入れて
反転させるように動作するトランジスタ62および64
を含む。行電源バス58は、行1の回路を介して行電源
バス18に直接接続される。
もう1つのスイッチング回路を各行に追加することがで
きる。スイッチング回路14は、試験クロック信号22
を入力として受信し、VDDと同じかあるいは別のVD
D’などの適切な主電源バス電源に接続される。スイッ
チング回路14は、すぐ後述のように行電源バス58を
生成する。スイッチング回路14には、VDD’と行電
源バス58の間に接続された大形パス・トランジスタ6
0を含む。バス・トランジスタ60は、図2に示す試験
クロック信号バッファ20および図1に示す試験クロッ
ク開始バッファ38に類似した試験クロック信号バッフ
ア66により制御される。試験クロック信号バッファ6
6には、パス・トランジスタ60の状態を制御するため
に試験クロック信号を線22を介してバッファに入れて
反転させるように動作するトランジスタ62および64
を含む。行電源バス58は、行1の回路を介して行電源
バス18に直接接続される。
【0019】本発明にしたがって実施されるBICT機
能付きスタンダード・セルICには、通常スタンダード
・セル回路部の他に、検出回路34および1つ以上のス
イッチング回路10を含む。多数の電源バスが必要な場
合には、本発明にしたがって実施されるICに、1つ以
上の追加スイッチング回路14も含める。
能付きスタンダード・セルICには、通常スタンダード
・セル回路部の他に、検出回路34および1つ以上のス
イッチング回路10を含む。多数の電源バスが必要な場
合には、本発明にしたがって実施されるICに、1つ以
上の追加スイッチング回路14も含める。
【0020】本発明の物理的インプリメンテーションに
関して、検出回路34はVDD、即わち主電源バスとの
直接接続を必要とする。適切なスイッチング回路が、V
DD、即わち主電源バス。および行電源バス18または
行電源バス58などの各行電源バスの間で直列に接続さ
れる。
関して、検出回路34はVDD、即わち主電源バスとの
直接接続を必要とする。適切なスイッチング回路が、V
DD、即わち主電源バス。および行電源バス18または
行電源バス58などの各行電源バスの間で直列に接続さ
れる。
【0021】BICT機能を含む各スタンダード・セル
のセミカスタムIC 12では、1つの検出回路34
だけを必要とする。したがって、検出回路34は、VD
Dを使用することのできる回路チップ上のどこにでも置
くことができる。例えば、検出回路34は、任意の行の
第一セルに置き、VDDとスイッチング回路10との間
で直列に接続することができる。スイッチング回路10
および追加スイッチング回路14は、必要ならばスイッ
チング回路10を一端に置き、追加スイッチング回路1
4を特定行の他端に置いて、スタンダード・セル行の両
端に都合よく置くことができる。
のセミカスタムIC 12では、1つの検出回路34
だけを必要とする。したがって、検出回路34は、VD
Dを使用することのできる回路チップ上のどこにでも置
くことができる。例えば、検出回路34は、任意の行の
第一セルに置き、VDDとスイッチング回路10との間
で直列に接続することができる。スイッチング回路10
および追加スイッチング回路14は、必要ならばスイッ
チング回路10を一端に置き、追加スイッチング回路1
4を特定行の他端に置いて、スタンダード・セル行の両
端に都合よく置くことができる。
【0022】通常(動作)モードでは、試験開始信号3
6はロー状態であり、パス・トランジスタ16および6
0は導通し、OR機能が出力信号回線32により形成さ
れ、大形リセット・トランジスタ46および低電流トラ
ンジスタ48はロー状態に保持され、OR出力ドライバ
50からの故障表示器信号56はハイ状態に保持される
。VDDおよびVDD’の少くとも一方は、各々、パス
・トランジスタ16および60および行電源バス18お
よび58を通り、該当する各行に接続される。
6はロー状態であり、パス・トランジスタ16および6
0は導通し、OR機能が出力信号回線32により形成さ
れ、大形リセット・トランジスタ46および低電流トラ
ンジスタ48はロー状態に保持され、OR出力ドライバ
50からの故障表示器信号56はハイ状態に保持される
。VDDおよびVDD’の少くとも一方は、各々、パス
・トランジスタ16および60および行電源バス18お
よび58を通り、該当する各行に接続される。
【0023】標準セル内の回路部が状態を変えない場合
には、比較的小さな回路ゲートまたは他の論理の漏れ特
性により、電流要求条件が指示される。ゲートで状態の
切換を要求する回路機能は、パス・トランジスタ16お
よび60を通るVDDおよびVDD’の少くとも一方か
らの過渡電流パルスを要求する。
には、比較的小さな回路ゲートまたは他の論理の漏れ特
性により、電流要求条件が指示される。ゲートで状態の
切換を要求する回路機能は、パス・トランジスタ16お
よび60を通るVDDおよびVDD’の少くとも一方か
らの過渡電流パルスを要求する。
【0024】パス・トランジスタは、次に、電源電圧と
行バスとの間の電源経路に低抵抗を挿入するが、これは
論理ゲートにおける電源電圧のわずかな減少をもたらす
ことが予測される。パス・トランジスタは、該論理ゲー
トの速度の実質的な低下を避けるために、挿入損を最小
にするための充分に大きなサイズにしなければならない
。本発明の一実施例では、電流8.3mAで、行に印加
された電圧が0.20Vだけ降下した。この挿入損は、
電源電圧降下による回路速度の約10〜20%の低下を
もたらす。
行バスとの間の電源経路に低抵抗を挿入するが、これは
論理ゲートにおける電源電圧のわずかな減少をもたらす
ことが予測される。パス・トランジスタは、該論理ゲー
トの速度の実質的な低下を避けるために、挿入損を最小
にするための充分に大きなサイズにしなければならない
。本発明の一実施例では、電流8.3mAで、行に印加
された電圧が0.20Vだけ降下した。この挿入損は、
電源電圧降下による回路速度の約10〜20%の低下を
もたらす。
【0025】パス・トランジスタにより挿入されるイン
ピーダンスの他の利点は、電源バスにおける電流スパイ
クを制限し、それにより誘導スイッチング・ノイズを減
少させることである。
ピーダンスの他の利点は、電源バスにおける電流スパイ
クを制限し、それにより誘導スイッチング・ノイズを減
少させることである。
【0026】試験モードでは、大形パス・トランジスタ
16および60はカットオフでバイアスが掛けられるの
で、行電源バス18および58は、通常漏洩電流パス・
トランジスタ28だけを通して供給される。欠陥または
故障に関連する電流流出により行電源バス18および5
8の電圧は、欠陥電流の大きさおよび漏洩電流パス・ト
ランジスタ28のサイズにより決まる新しい値に変化す
る。本発明の一実施例では、10.7μAよりも大きな
欠陥電流は、1.0ボルト以上の行電源バス電圧変化を
引き起こす。したがって、スイッチング回路10は、行
電源バス18および58の電源が、VDDから1トラン
ジスタしきい電圧降下以上下がったときに、故障表示器
信号56を発生する電圧センサーであると考えられる。
16および60はカットオフでバイアスが掛けられるの
で、行電源バス18および58は、通常漏洩電流パス・
トランジスタ28だけを通して供給される。欠陥または
故障に関連する電流流出により行電源バス18および5
8の電圧は、欠陥電流の大きさおよび漏洩電流パス・ト
ランジスタ28のサイズにより決まる新しい値に変化す
る。本発明の一実施例では、10.7μAよりも大きな
欠陥電流は、1.0ボルト以上の行電源バス電圧変化を
引き起こす。したがって、スイッチング回路10は、行
電源バス18および58の電源が、VDDから1トラン
ジスタしきい電圧降下以上下がったときに、故障表示器
信号56を発生する電圧センサーであると考えられる。
【0028】スイッチング回路10の過渡挙動は、欠陥
電流の大きさにより決まる。欠陥電流は、検出前に関連
電源バスの静電容量を放電するための充分な大きさにし
ておかなければならない。
電流の大きさにより決まる。欠陥電流は、検出前に関連
電源バスの静電容量を放電するための充分な大きさにし
ておかなければならない。
【0029】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
スタンダード・セル等が行を成して整列しているICに
おいて、各行の欠陥や故障による漏れ電流を検出するこ
とにより、各行の欠陥の有無を検出する。各行の結果を
OR機能を有する回路により演算して、ICの欠陥の有
無を決定する表示信号を発生する。以上のような機能を
実現する回路は、小規模でIC内に容易に配置すること
ができる。
スタンダード・セル等が行を成して整列しているICに
おいて、各行の欠陥や故障による漏れ電流を検出するこ
とにより、各行の欠陥の有無を検出する。各行の結果を
OR機能を有する回路により演算して、ICの欠陥の有
無を決定する表示信号を発生する。以上のような機能を
実現する回路は、小規模でIC内に容易に配置すること
ができる。
【図1】各スタンダード・セル行にBICT機能を与え
るための検出回路34に結合された一連のスイッチング
回路10の使用状態を示すスタンダード・セル型セミカ
スタムICの概略説明図である。
るための検出回路34に結合された一連のスイッチング
回路10の使用状態を示すスタンダード・セル型セミカ
スタムICの概略説明図である。
【図2】本発明の一実施例のスタンダード・セル型セミ
・カスタムICにBICT機能を持たせるための試験回
路のスイッチング部を形成するスイッチング回路10の
概略回路図である。
・カスタムICにBICT機能を持たせるための試験回
路のスイッチング部を形成するスイッチング回路10の
概略回路図である。
【図3】図1のスタンダード・セル型セミカスタムIC
12に用いるスイッチング回路14の概略回路図で
ある。スイッチング回路14は特定のスタンダード・セ
ル行に多重主電源バスが必要な時に用いられる。
12に用いるスイッチング回路14の概略回路図で
ある。スイッチング回路14は特定のスタンダード・セ
ル行に多重主電源バスが必要な時に用いられる。
10,14:スイッチング回路
16,60:パス・トランジスタ
20,66,38:反転バッファ回路
18,58:行電源バス
22:試験クロック信号線又は試験クロック信号32:
出力信号線 34:検出回路、試験制御回路 50:OR出力ドライバ
出力信号線 34:検出回路、試験制御回路 50:OR出力ドライバ
Claims (4)
- 【請求項1】後記(イ)及至(ニ)より成る内蔵電流試
験機能つき集積回路。 (イ)前記集積回路に電源電圧を供給するための主電源
バス手段。 (ロ)前記主電源バス手段から前記集積回路の第1の部
分に電力を印加するための行電源バス手段。 (ハ)前記主電源バス手段と前記行電源バス手段の接続
を前記集積回路の通常モード及び試験モードに応じて決
定するスイッチング回路手段。 (ニ)前記試験モードにおいて、前記集積回路の前記第
1の部分のインピーダンスに応じて、該第1の部分を流
れる欠陥起因電流を検出するための制御回路手段。 - 【請求項2】後記(ホ)及び(ヘ)を追加して成る請求
項1記載の内蔵電流試験機能つき集積回路。 (ホ)前記通常モードにおいて、前記主電源バスと前記
行電源バス間を低インピーダンス接続するためのパス・
トランジスタ。 (ヘ)前記試験モードにおいて、前記主電源バスと前記
行電源バス間を高インピーダンス接続するためのプルア
ップ・トランジスタ。 - 【請求項3】後記(イ)及至(ニ)のステップより成る
集積回路の電流試験方法。 (イ)集積回路に電源電圧源を接続ステップ。 (ロ)スイッチング回路を介して前記集積回路の第1の
部分に前記電源電圧源から電力を与えるステップ。 (ハ)前記スイッチング回路を通常モード及び試験モー
ドで動作させるステップ。 (ニ)前記試験モードにおいて、前記集積回路の前記第
1の部分における欠陥起因電流を検出するステップ。 - 【請求項4】後記(ホ)及至(ヘ)のステップを追加し
て成る請求項3記載の集積回路の電流試験方法。 (ホ)通常モードにおいて、前記集積回路の前記第1の
部分と前記電源電圧源との間に低インピーダンス接続を
与えるためにパス・トランジスタをバイアスするステッ
プ。 (ヘ)試験モードにおいて、前記集積回路の前記第1の
部分と前記電源電圧源との間に高インピーダンス接続を
与えるためにプルアップ・トランジスタをバイアスする
ステップ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/593,703 US5097206A (en) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | Built-in test circuit for static CMOS circuits |
| US593703 | 1990-10-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04290975A true JPH04290975A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=24375795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3283829A Pending JPH04290975A (ja) | 1990-10-05 | 1991-10-04 | 内蔵電流試験機能つき集積回路及び集積回路の電流試験方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5097206A (ja) |
| JP (1) | JPH04290975A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6693448B1 (en) | 1998-08-24 | 2004-02-17 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor integrated circuit |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321354A (en) * | 1990-07-23 | 1994-06-14 | Seiko Epson Corporation | Method for inspecting semiconductor devices |
| JPH04139850A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路装置及びその検査方法 |
| US5528600A (en) * | 1991-01-28 | 1996-06-18 | Actel Corporation | Testability circuits for logic arrays |
| US5166608A (en) * | 1991-11-07 | 1992-11-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Arrangement for high speed testing of field-effect transistors and memory cells employing the same |
| JP2793427B2 (ja) * | 1992-04-08 | 1998-09-03 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
| EP0568294B1 (en) * | 1992-04-27 | 1998-06-24 | Fujitsu Limited | Method for testing semiconductor integrated circuit |
| US5325054A (en) * | 1992-07-07 | 1994-06-28 | Texas Instruments Incorporated | Method and system for screening reliability of semiconductor circuits |
| DE4305288A1 (de) * | 1993-02-20 | 1994-08-25 | Bosch Gmbh Robert | Selbsttestverfahren für nicht-reguläre CMOS-Schaltstrukturen mit hoher Defekterfassung |
| JP3236105B2 (ja) * | 1993-03-17 | 2001-12-10 | 富士通株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその動作試験方法 |
| US5670890A (en) * | 1993-04-22 | 1997-09-23 | Lsi Logic Corporation | Switchable pull-ups and pull-downs for IDDQ testing of integrated circuits |
| US5483170A (en) * | 1993-08-24 | 1996-01-09 | New Mexico State University Technology Transfer Corp. | Integrated circuit fault testing implementing voltage supply rail pulsing and corresponding instantaneous current response analysis |
| TW243531B (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-21 | Motorola Inc | |
| JPH07159496A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-06-23 | At & T Global Inf Solutions Internatl Inc | 集積回路の検査のための装置及びその方法 |
| US5617531A (en) * | 1993-11-02 | 1997-04-01 | Motorola, Inc. | Data Processor having a built-in internal self test controller for testing a plurality of memories internal to the data processor |
| US5731700A (en) * | 1994-03-14 | 1998-03-24 | Lsi Logic Corporation | Quiescent power supply current test method and apparatus for integrated circuits |
| JP3072880B2 (ja) * | 1994-06-02 | 2000-08-07 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験用電圧発生回路 |
| US5592493A (en) * | 1994-09-13 | 1997-01-07 | Motorola Inc. | Serial scan chain architecture for a data processing system and method of operation |
| US5570036A (en) * | 1995-08-25 | 1996-10-29 | Hal Computer Systems, Inc. | CMOS buffer circuit having power-down feature |
| DE60023258D1 (de) * | 2000-01-18 | 2005-11-24 | St Microelectronics Srl | Verfahren zur Prüfung einer CMOS integrierten Schaltung |
| DE102004036173A1 (de) * | 2004-07-26 | 2006-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Beschaltung von Eingägnen bei Microcontrollern sowie entsprechender Microcontroller |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4637020A (en) * | 1983-08-01 | 1987-01-13 | Fairchild Semiconductor Corporation | Method and apparatus for monitoring automated testing of electronic circuits |
| JPS60247942A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-07 | Advantest Corp | 半導体メモリ試験装置 |
| JPS6170777U (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-14 | ||
| JPS62141699A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体メモリ装置の検査方法 |
-
1990
- 1990-10-05 US US07/593,703 patent/US5097206A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-10-04 JP JP3283829A patent/JPH04290975A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6693448B1 (en) | 1998-08-24 | 2004-02-17 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor integrated circuit |
| US6806726B2 (en) | 1998-08-24 | 2004-10-19 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor integrated circuit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5097206A (en) | 1992-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04290975A (ja) | 内蔵電流試験機能つき集積回路及び集積回路の電流試験方法 | |
| JP4074697B2 (ja) | 半導体装置 | |
| US5343086A (en) | Automatic voltage detector control circuitry | |
| US6448812B1 (en) | Pull up/pull down logic for holding a defined value during power down mode | |
| JP2010502130A (ja) | 改善された性能を有するn−チャネルesdクランプ | |
| US6118323A (en) | Electrostatic discharge protection circuit and method | |
| JP2500048B2 (ja) | BiCMOS集積回路及びIDD試験方法 | |
| US6262585B1 (en) | Apparatus for I/O leakage self-test in an integrated circuit | |
| US8723563B2 (en) | Apparatus and method to tolerate floating input pin for input buffer | |
| US6271692B1 (en) | Semiconductor integrated circuit | |
| US5912562A (en) | Quiescent current monitor circuit for wafer level integrated circuit testing | |
| US5034687A (en) | Signature indicating circuit | |
| US6252417B1 (en) | Fault identification by voltage potential signature | |
| JP3980560B2 (ja) | テスト可能なカスコード回路およびそれをテストする方法 | |
| US5570036A (en) | CMOS buffer circuit having power-down feature | |
| JP2848441B2 (ja) | Cmos半導体装置 | |
| JP3194740B2 (ja) | リーク電流測定可能な半導体集積回路 | |
| JP2820062B2 (ja) | 半導体集積回路及びこの回路が実装されたプリント基板 | |
| JP2894090B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP3644168B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPH1114707A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2671547B2 (ja) | Cmosデイジタル集積回路 | |
| JPH05343622A (ja) | 自己診断回路を有する半導体集積回路 | |
| JP2663702B2 (ja) | Cmosスタチックメモリ | |
| JPH08254563A (ja) | 入力ピンのオープンエラー検出回路 |