JPH04291122A - 液体原料の蒸発量測定装置 - Google Patents
液体原料の蒸発量測定装置Info
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- JPH04291122A JPH04291122A JP8168091A JP8168091A JPH04291122A JP H04291122 A JPH04291122 A JP H04291122A JP 8168091 A JP8168091 A JP 8168091A JP 8168091 A JP8168091 A JP 8168091A JP H04291122 A JPH04291122 A JP H04291122A
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 abstract description 38
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に高い気化性を有す
る液体原料の蒸発量の重量測定に好適な、液体原料の蒸
発量測定装置に関する。
る液体原料の蒸発量の重量測定に好適な、液体原料の蒸
発量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下、従来の液体原料の蒸発量測定装置
を説明する。
を説明する。
【０００３】例えばＣＶＤ装置によりＴｉＮ膜を生成す
るときには、液体原料に四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）が
使用される。
るときには、液体原料に四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）が
使用される。
【０００４】四塩化チタンは、原料タンク内で貯溜した
状態で蒸発させる。気化して生じた四塩化チタンガスを
原料タンクからＣＶＤチャンバー内へ導入するとき、四
塩化チタンガスの流量は、原料タンク内おける液体四塩
化チタンの蒸発量を計測し、それを換算して調節する。
状態で蒸発させる。気化して生じた四塩化チタンガスを
原料タンクからＣＶＤチャンバー内へ導入するとき、四
塩化チタンガスの流量は、原料タンク内おける液体四塩
化チタンの蒸発量を計測し、それを換算して調節する。
【０００５】蒸発量の測定は、原料タンク内の液体四塩
化チタンの重量変化を計測することによって行なう。
化チタンの重量変化を計測することによって行なう。
【０００６】従来、原料タンク内の液体四塩化チタンの
秤量は、秤量装置と、この秤量装置の計測値から液体四
塩化チタンの蒸発量を換算する蒸発量換算装置とからな
る蒸発量測定装置で行なう。
秤量は、秤量装置と、この秤量装置の計測値から液体四
塩化チタンの蒸発量を換算する蒸発量換算装置とからな
る蒸発量測定装置で行なう。
【０００７】すなわち、液体四塩化チタンの重量は、原
料タンクの全重量を支持する秤量装置で計測した計測値
から換算する。そして、秤量装置の計測値の変化から液
体四塩化チタンの重量変化を換算することにより、液体
四塩化チタンの蒸発量を算出する。
料タンクの全重量を支持する秤量装置で計測した計測値
から換算する。そして、秤量装置の計測値の変化から液
体四塩化チタンの重量変化を換算することにより、液体
四塩化チタンの蒸発量を算出する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ように構成される蒸発量測定装置の場合、原料タンクと
、この原料タンク内に貯溜された液体四塩化チタンの双
方の全重量を支持可能に構成されたものであって、液体
四塩化チタンの蒸発量を測定するには不適であるといっ
た問題点があった。
ように構成される蒸発量測定装置の場合、原料タンクと
、この原料タンク内に貯溜された液体四塩化チタンの双
方の全重量を支持可能に構成されたものであって、液体
四塩化チタンの蒸発量を測定するには不適であるといっ
た問題点があった。
【０００９】すなわち、液体四塩化チタンの蒸発量は、
蒸発に伴う原料タンク内の液体四塩化チタンの重量の変
化が、秤量装置が支持する全重量に対して相対的に微小
であるため、計測された値の精度が期待できない。
蒸発に伴う原料タンク内の液体四塩化チタンの重量の変
化が、秤量装置が支持する全重量に対して相対的に微小
であるため、計測された値の精度が期待できない。
【００１０】さらに詳しくは、秤量装置は、最大秤量の
大きいものは、一般に計測重量の最小表示も大きくなっ
て精度が低下するため、液体四塩化チタンの蒸発量の計
測精度が低下することとなる。
大きいものは、一般に計測重量の最小表示も大きくなっ
て精度が低下するため、液体四塩化チタンの蒸発量の計
測精度が低下することとなる。
【００１１】例えば、原料タンクの重量が５０ｋｇの時
は、最大秤量が少なくとも５０ｋｇを超過する秤量装置
を使う必要がある。
は、最大秤量が少なくとも５０ｋｇを超過する秤量装置
を使う必要がある。
【００１２】しかしながら、１分単位で原料タンク内の
液体四塩化チタンの重量変化を計測して四塩化チタンガ
スの流量を調節する場合、１分間当たりの四塩化チタン
の蒸発量の計測値精度は、１ｇ未満を必要とする場合も
生じるから原料タンクの全重量に比して微小であって、
前記秤量装置による液体四塩化チタン重量変化の計測の
精度は、期待できない。
液体四塩化チタンの重量変化を計測して四塩化チタンガ
スの流量を調節する場合、１分間当たりの四塩化チタン
の蒸発量の計測値精度は、１ｇ未満を必要とする場合も
生じるから原料タンクの全重量に比して微小であって、
前記秤量装置による液体四塩化チタン重量変化の計測の
精度は、期待できない。
【００１３】このとき、計測の精度を向上するには、原
料タンク内の液体四塩化チタンの蒸発量の計測時間を長
く取る必要があるが、この場合、四塩化チタンガスの流
量の測定に要する時間が長くなることとなり、その調節
の精度が低下して根本的な解決とならない。
料タンク内の液体四塩化チタンの蒸発量の計測時間を長
く取る必要があるが、この場合、四塩化チタンガスの流
量の測定に要する時間が長くなることとなり、その調節
の精度が低下して根本的な解決とならない。
【００１４】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、液体原料の蒸発に伴う重量変化の計測精度を高め
ることにより、蒸発量の測定精度が向上する液体原料の
蒸発量測定装置を提供することを目的とするものである
。
ので、液体原料の蒸発に伴う重量変化の計測精度を高め
ることにより、蒸発量の測定精度が向上する液体原料の
蒸発量測定装置を提供することを目的とするものである
。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の液体原料の蒸発
量測定装置では、液体原料を貯溜する原料タンクと、こ
の原料タンクを支持する天秤装置と、天秤装置と共に原
料タンクの重量を測定する秤量装置と、天秤装置に着脱
自在なカウンターバランスとで構成し、天秤装置は、支
持部と、この支持部の上部との接点を支点として中央部
を回動自在に取付けた天秤棒とで成り、天秤棒の一側に
は原料タンクを取付け、他側には所定の重量のカウンタ
ーバランスを取付けたことを特徴とする。
量測定装置では、液体原料を貯溜する原料タンクと、こ
の原料タンクを支持する天秤装置と、天秤装置と共に原
料タンクの重量を測定する秤量装置と、天秤装置に着脱
自在なカウンターバランスとで構成し、天秤装置は、支
持部と、この支持部の上部との接点を支点として中央部
を回動自在に取付けた天秤棒とで成り、天秤棒の一側に
は原料タンクを取付け、他側には所定の重量のカウンタ
ーバランスを取付けたことを特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明の液体原料の蒸発量測定装置によれば、
原料タンク及び内部に貯溜された液体原料の重量の和を
、原料タンクに支点を介してカウンターバランスの重量
のモーメントを作用させることによって、原料タンクの
重量の１部を支持し、残りを秤量装置で支持した状態で
計測する。
原料タンク及び内部に貯溜された液体原料の重量の和を
、原料タンクに支点を介してカウンターバランスの重量
のモーメントを作用させることによって、原料タンクの
重量の１部を支持し、残りを秤量装置で支持した状態で
計測する。
【００１７】また、計測重量の最小表示の小さい秤量装
置を用いて液体原料の蒸発量を測定する。
置を用いて液体原料の蒸発量を測定する。
【００１８】
【実施例】以下本発明の一実施例を、図１を参照して説
明する。
明する。
【００１９】図中符号１は、本実施例の液体原料の蒸発
量測定装置（以下、単に蒸発量測定装置と称する）であ
る。
量測定装置（以下、単に蒸発量測定装置と称する）であ
る。
【００２０】図１に示すように、本実施例の蒸発量測定
装置１は、ＴｉＮ膜を生成するためのＣＶＤ装置Ｓに設
けられている。
装置１は、ＴｉＮ膜を生成するためのＣＶＤ装置Ｓに設
けられている。
【００２１】液体四塩化チタン（液体原料）２ａを貯溜
する原料タンク３と、この原料タンク３を支持する天秤
装置４と、原料タンク３の重量を測定する秤量装置５と
、天秤装置４に着脱自在なカウンターバランス６とで構
成されている。
する原料タンク３と、この原料タンク３を支持する天秤
装置４と、原料タンク３の重量を測定する秤量装置５と
、天秤装置４に着脱自在なカウンターバランス６とで構
成されている。
【００２２】原料タンク３は、樽状に形成され、天秤装
置４の一側の端部に載置した状態で固定されている。原
料タンク３の内部には、液体四塩化チタン２ａを供給す
るための３ａと、気化した液体四塩化チタン２ａを蒸発
量測定装置１のチャンバーＴ内に導く原料ガスパイプ３
ｂが原料タンク３に接触しないように挿入されている。
置４の一側の端部に載置した状態で固定されている。原
料タンク３の内部には、液体四塩化チタン２ａを供給す
るための３ａと、気化した液体四塩化チタン２ａを蒸発
量測定装置１のチャンバーＴ内に導く原料ガスパイプ３
ｂが原料タンク３に接触しないように挿入されている。
【００２３】原料供給パイプ３ａには、液体四塩化チタ
ン２ａの流量を調節する流量調節装置３ｃが取付けられ
ている。
ン２ａの流量を調節する流量調節装置３ｃが取付けられ
ている。
【００２４】天秤装置４は、支持部４ａと、この支持部
４ａの上部との接点を支点として中央部を回動自在に取
付けられた天秤棒４ｂとで構成されている。
４ａの上部との接点を支点として中央部を回動自在に取
付けられた天秤棒４ｂとで構成されている。
【００２５】天秤棒４ｂの一側には、原料タンク３が取
付けられ、他側には所定の重量のカウンターバランス６
が取付けられている。また、原料タンク３が取付けられ
ている天秤棒４ｂの下面には、前記秤量装置５の上部が
当接されている。
付けられ、他側には所定の重量のカウンターバランス６
が取付けられている。また、原料タンク３が取付けられ
ている天秤棒４ｂの下面には、前記秤量装置５の上部が
当接されている。
【００２６】秤量装置５は、上部に伸縮自在の受圧部５
ａを備え、この受圧部５を天秤装置４の下面に付勢した
状態で原料タンク３の重量を支持するとともに、負荷さ
れている重量を計測してモニターする。
ａを備え、この受圧部５を天秤装置４の下面に付勢した
状態で原料タンク３の重量を支持するとともに、負荷さ
れている重量を計測してモニターする。
【００２７】なお、前記流量調節装置３ｃは、秤量装置
５の計測値に対して連動して作動するように構成されて
いる。
５の計測値に対して連動して作動するように構成されて
いる。
【００２８】以下、蒸発量測定装置１の作用を説明する
。
。
【００２９】前記蒸発量測定装置１にあっては、まず、
四塩化チタンガス２ｂの流量調節の精度を設定し、この
精度を達成可能な最小秤量表示の秤量装置５を選定して
、前記位置に設置する。
四塩化チタンガス２ｂの流量調節の精度を設定し、この
精度を達成可能な最小秤量表示の秤量装置５を選定して
、前記位置に設置する。
【００３０】次いで、原料タンク３に貯溜する液体四塩
化チタン２ａ量を設定し、原料タンク３と液体四塩化チ
タン２ａの重量の和からなる原料タンク３の全重量が前
記秤量装置５の最大秤量未満となるように適切な重量の
カウンターバランス６を選定して、天秤装置４の支点か
ら適切な距離で天秤棒４ｂに取付ける。
化チタン２ａ量を設定し、原料タンク３と液体四塩化チ
タン２ａの重量の和からなる原料タンク３の全重量が前
記秤量装置５の最大秤量未満となるように適切な重量の
カウンターバランス６を選定して、天秤装置４の支点か
ら適切な距離で天秤棒４ｂに取付ける。
【００３１】蒸発量測定装置１の構成が完了したら、流
量調節装置３ｃを作動して原料供給パイプ３ａから原料
タンク３に液体四塩化チタン２ａの供給を開始する。
量調節装置３ｃを作動して原料供給パイプ３ａから原料
タンク３に液体四塩化チタン２ａの供給を開始する。
【００３２】原料タンク３の全重量の和の大部分は、前
記支点を介して作用するカウンターバランス６のモーメ
ントによって支持する。
記支点を介して作用するカウンターバランス６のモーメ
ントによって支持する。
【００３３】そして、原料タンク３の全重量の和のカウ
ンターバランス６による支持を越える部分については、
秤量装置５によって支持する。
ンターバランス６による支持を越える部分については、
秤量装置５によって支持する。
【００３４】蒸発量測定装置１により、原料タンク３内
の液体四塩化チタン２ａの蒸発量を測定するには、秤量
装置５の支持する重量の変化を単位時間当たりで計測し
てその値から換算する。
の液体四塩化チタン２ａの蒸発量を測定するには、秤量
装置５の支持する重量の変化を単位時間当たりで計測し
てその値から換算する。
【００３５】また、この蒸発量の値に追従して流量調節
装置３ｃを連動して作動させることにより、液体四塩化
チタン２ａの供給量を調節して所定の四塩化チタンガス
２ｂの流量を得る。
装置３ｃを連動して作動させることにより、液体四塩化
チタン２ａの供給量を調節して所定の四塩化チタンガス
２ｂの流量を得る。
【００３６】前記のように構成される蒸発量測定装置１
は、原料タンク３の全重量を、原料タンク３に支点を介
してカウンターバランス６の重量のモーメントを作用さ
せることによって大部分を支持し、残りを秤量装置５で
支持した状態で計測する。
は、原料タンク３の全重量を、原料タンク３に支点を介
してカウンターバランス６の重量のモーメントを作用さ
せることによって大部分を支持し、残りを秤量装置５で
支持した状態で計測する。
【００３７】したがって、本実施例の蒸発量測定装置１
によれば、秤量装置５が支持する重量を小さくすること
ができるから、最大秤量の小さい秤量装置５を用いるこ
とが可能と成るにともなって、計測重量の最小表示の小
さい秤量装置５の利用が可能となり、原料タンク３の全
重量の計測の精度が高まることによって原料タンク３内
の液体四塩化チタン２ａの蒸発量の測定の精度が向上す
る。
によれば、秤量装置５が支持する重量を小さくすること
ができるから、最大秤量の小さい秤量装置５を用いるこ
とが可能と成るにともなって、計測重量の最小表示の小
さい秤量装置５の利用が可能となり、原料タンク３の全
重量の計測の精度が高まることによって原料タンク３内
の液体四塩化チタン２ａの蒸発量の測定の精度が向上す
る。
【００３８】また、前記の結果、四塩化チタンガス２ｂ
の流量の調整の精度が向上する。
の流量の調整の精度が向上する。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の液体原料
の蒸発量測定装置によれば、液体原料を貯溜する原料タ
ンクと、この原料タンクを支持する天秤装置と、天秤装
置と共に原料タンクの重量を測定する秤量装置と、天秤
装置に着脱自在なカウンターバランスとで構成し、天秤
装置は、支持部と、この支持部の上部との接点を支点と
して中央部を回動自在に取付けた天秤棒とで成り、天秤
棒の一側には原料タンクを取付け、他側には所定の重量
のカウンターバランスを取付けたことを特徴とするから
、原料タンク及びの重量の和を、原料タンクの全重量を
、原料タンクに支点を介してカウンターバランスの重量
のモーメントを作用させることによって大部分を支持し
、残りを秤量装置で支持した状態で計測する結果、計測
重量の最小表示の小さい秤量装置の利用を可能とするこ
とで、原料タンクの全重量の計測の精度が高まって原料
タンク内の液体原料の蒸発量の測定の精度が向上する。
の蒸発量測定装置によれば、液体原料を貯溜する原料タ
ンクと、この原料タンクを支持する天秤装置と、天秤装
置と共に原料タンクの重量を測定する秤量装置と、天秤
装置に着脱自在なカウンターバランスとで構成し、天秤
装置は、支持部と、この支持部の上部との接点を支点と
して中央部を回動自在に取付けた天秤棒とで成り、天秤
棒の一側には原料タンクを取付け、他側には所定の重量
のカウンターバランスを取付けたことを特徴とするから
、原料タンク及びの重量の和を、原料タンクの全重量を
、原料タンクに支点を介してカウンターバランスの重量
のモーメントを作用させることによって大部分を支持し
、残りを秤量装置で支持した状態で計測する結果、計測
重量の最小表示の小さい秤量装置の利用を可能とするこ
とで、原料タンクの全重量の計測の精度が高まって原料
タンク内の液体原料の蒸発量の測定の精度が向上する。
【００４０】また、前記の結果、気化した液体原料の流
量の調整の精度が向上する。
量の調整の精度が向上する。
【図１】本実施例の液体原料の蒸発量測定装置を示す全
体図である。
体図である。
１ 液体原料の蒸発量測定装置
２ａ 液体四塩化チタン
３ 原料タンク
４ 天秤装置
４ａ 支持部
４ｂ 天秤棒
５ 秤量装置
６ カウンターバランス
Claims (1)
- 【請求項１】 液体原料を貯溜する原料タンクと、こ
の原料タンクを支持する天秤装置と、天秤装置と共に原
料タンクの重量を測定する秤量装置と、天秤装置に着脱
自在なカウンターバランスとで構成され、天秤装置は、
支持部と、この支持部の上部との接点を支点として中央
部を回動自在に取付けられた天秤棒とで成り、天秤棒の
一側には原料タンクが取付けられ、他側には所定の重量
のカウンターバランスが取付けられたことを特徴とする
液体原料の蒸発量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8168091A JPH04291122A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 液体原料の蒸発量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8168091A JPH04291122A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 液体原料の蒸発量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04291122A true JPH04291122A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=13753073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8168091A Withdrawn JPH04291122A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 液体原料の蒸発量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04291122A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08219861A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Nakai:Kk | 加熱品の重量測定方法 |
| JP2007046921A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Hirai:Kk | 気体供給装置 |
| CN103438967A (zh) * | 2013-08-29 | 2013-12-11 | 江苏三环实业股份有限公司 | 一种铅酸蓄电池板栅重量检验装置 |
| CN103453972A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-12-18 | 飞翼股份有限公司 | 基于充填的物料差值称量装置 |
| CN106404134A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-02-15 | 湖南辰州矿业有限责任公司 | 一种测量固液两相混合物中固体物的质量的方法及装置 |
| CN110864786A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-03-06 | 重庆首厚智能科技研究院有限公司 | 一种带有托盘的物品管理方法 |
| CN114746724A (zh) * | 2019-11-06 | 2022-07-12 | Avl李斯特有限公司 | 用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP8168091A patent/JPH04291122A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH08219861A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Nakai:Kk | 加熱品の重量測定方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |