JPH04291463A - データ変換装置 - Google Patents
データ変換装置Info
- Publication number
- JPH04291463A JPH04291463A JP3055228A JP5522891A JPH04291463A JP H04291463 A JPH04291463 A JP H04291463A JP 3055228 A JP3055228 A JP 3055228A JP 5522891 A JP5522891 A JP 5522891A JP H04291463 A JPH04291463 A JP H04291463A
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- Japan
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- polygon
- divided
- line segment
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、データ変換装置、特に
半導体のマスク設計データから露光データを生成するデ
ータ変換装置に関する。一般に、ＬＳＩの設計段階では
、ＣＡＤ（ｃｏｍｐｕｔｅｒ ａｉｄｅｄ ｄｅｓｉｇ
ｎ）によるマスク設計データの制作の後、このデータを
データ変換してマスク製造のための露光データを作り出
す。
半導体のマスク設計データから露光データを生成するデ
ータ変換装置に関する。一般に、ＬＳＩの設計段階では
、ＣＡＤ（ｃｏｍｐｕｔｅｒ ａｉｄｅｄ ｄｅｓｉｇ
ｎ）によるマスク設計データの制作の後、このデータを
データ変換してマスク製造のための露光データを作り出
す。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のデータ変換の概念図である
。ディスクＡに格納されたデータは、ＣＡＤによって制
作されたＬＳＩのマスク設計データ（以下設計データ）
であり、ＬＳＩを構成する様々な回路要素を多角形の線
分データで表現している。線分データは、例えば単純な
四角形を例にすると、４つの頂点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ
４の座標データで表現される。
。ディスクＡに格納されたデータは、ＣＡＤによって制
作されたＬＳＩのマスク設計データ（以下設計データ）
であり、ＬＳＩを構成する様々な回路要素を多角形の線
分データで表現している。線分データは、例えば単純な
四角形を例にすると、４つの頂点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ
４の座標データで表現される。
【０００３】一方、ディスクＢに格納されたデータは、
マスク製造に必要な露光データであり、設計データから
露光装置の露光単位である数種の単純な図形、例えば三
角形や台形（四角形を含む）などに分割され、各分割図
形はベクトルデータで表現される。例えば四角形の場合
には、基準頂点Ｐａの座標とその頂点Ｐａを挟む２辺の
長さＨａ、Ｗａのデータを含む。
マスク製造に必要な露光データであり、設計データから
露光装置の露光単位である数種の単純な図形、例えば三
角形や台形（四角形を含む）などに分割され、各分割図
形はベクトルデータで表現される。例えば四角形の場合
には、基準頂点Ｐａの座標とその頂点Ｐａを挟む２辺の
長さＨａ、Ｗａのデータを含む。
【０００４】データ変換部は、かかる線分データとベク
トルデータ間のデータ変換を行うもので、データ変換は
、設計データから新規に露光データを作るときや設計デ
ータの一部に修正が加えられたときなどに実行される。
トルデータ間のデータ変換を行うもので、データ変換は
、設計データから新規に露光データを作るときや設計デ
ータの一部に修正が加えられたときなどに実行される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のデータ変換は「一括処理」によって変換を行うも
のであったため、例えば、修正箇所がきわめて少ない場
合でも非修正箇所を含む全てのデータが変換対象となっ
てしまい、変換効率が著しく悪いという問題点があった
。
従来のデータ変換は「一括処理」によって変換を行うも
のであったため、例えば、修正箇所がきわめて少ない場
合でも非修正箇所を含む全てのデータが変換対象となっ
てしまい、変換効率が著しく悪いという問題点があった
。
【０００６】そこで本発明は、修正箇所だけに限定して
露光データを更新し、変換効率の向上を図ることを目的
としている。
露光データを更新し、変換効率の向上を図ることを目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理図で
ある。Ｇ１は任意の多角形であり、６つの頂点を有する
斜線分を含まない多角形の例である。多角形Ｇ１は、頂
点座標のデータＰ１〜Ｐ６を持つ線分データで表現され
ている。一方、Ｇａ、Ｇｂは上記多角形Ｇ１を分割した
場合の各分割図形（この例では四角形）であり、分割図
形Ｇａ、Ｇｂは、基準となる頂点座標Ｐａ、Ｐｂと高さ
Ｈａ、Ｈｂ及び幅Ｗａ、Ｗｂのデータすなわちベクトル
で表現されている。
ある。Ｇ１は任意の多角形であり、６つの頂点を有する
斜線分を含まない多角形の例である。多角形Ｇ１は、頂
点座標のデータＰ１〜Ｐ６を持つ線分データで表現され
ている。一方、Ｇａ、Ｇｂは上記多角形Ｇ１を分割した
場合の各分割図形（この例では四角形）であり、分割図
形Ｇａ、Ｇｂは、基準となる頂点座標Ｐａ、Ｐｂと高さ
Ｈａ、Ｈｂ及び幅Ｗａ、Ｗｂのデータすなわちベクトル
で表現されている。
【０００８】第１のテーブルは、前記頂点座標のデータ
Ｐ１〜Ｐ６を格納し、また、第２のテーブルは、前記分
割図形Ｇａ、Ｇｂの各データすなわち頂点座標Ｐａ、Ｐ
ｂ、高さＨａ、Ｈｂ及び幅Ｗａ、Ｗｂを格納し、そして
、第３のテーブルは、多角形の識別データ（Ｇ１）とそ
の多角形を形成する分割図形の識別データ（Ｂａ、Ｂｂ
）とを関連づけて格納する
Ｐ１〜Ｐ６を格納し、また、第２のテーブルは、前記分
割図形Ｇａ、Ｇｂの各データすなわち頂点座標Ｐａ、Ｐ
ｂ、高さＨａ、Ｈｂ及び幅Ｗａ、Ｗｂを格納し、そして
、第３のテーブルは、多角形の識別データ（Ｇ１）とそ
の多角形を形成する分割図形の識別データ（Ｂａ、Ｂｂ
）とを関連づけて格納する
【０００９】
【作用】かかる構成において、任意の多角形（例えばＧ
１）を修正する場合は、その修正内容に従って第１のテ
ーブルからＧ１の座標データＰ１〜Ｐ６を取り出し、そ
れを更新して再格納する。またこの修正に伴って露光デ
ータを修正する場合は、第３のテーブルを検索してＧ１
に関係する分割図形の識別データ（Ｂａ、Ｂｂ）を捜し
出し、第２のテーブルからＢａ、Ｂｂのベクトルデータ
を取り出して更新し再格納する。
１）を修正する場合は、その修正内容に従って第１のテ
ーブルからＧ１の座標データＰ１〜Ｐ６を取り出し、そ
れを更新して再格納する。またこの修正に伴って露光デ
ータを修正する場合は、第３のテーブルを検索してＧ１
に関係する分割図形の識別データ（Ｂａ、Ｂｂ）を捜し
出し、第２のテーブルからＢａ、Ｂｂのベクトルデータ
を取り出して更新し再格納する。
【００１０】したがって、露光データの更新を修正箇所
に限定して実行することができ、変換効率の改善を図る
ことかできる。
に限定して実行することができ、変換効率の改善を図る
ことかできる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
２〜図４は本発明に係るデータ変換装置の一実施例を示
す図である。まず、システム構成を説明する。図２にお
いて、１０はＣＡＤによって作られたマスク設計データ
（設計データ）を格納する第１外部ディスク、１１はマ
スク製造用の露光データを格納する第２外部ディスク、
２０は設計データと露光データとを相互に変換するデー
タ変換処理部であり、データ変換部２０は、次に述べる
ような各種のプログラム（イ）〜（ト）を選択的に実行
するＣＰＵ２１と、表示部２２ａや入力装置（キーボー
ド、マウス等）２２ｂを含む端末装置２２と、後述する
第１のテーブルＴ１、第２のテーブルＴ２及び第３のテ
ーブルＴ３を含む内部ディスク２３とを備える。 （イ）線分データ入力プログラム（ＭＩＮ１）（ロ）線
分データ出力プログラム（ＭＯＵＴ１）（ハ）線分デー
タ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）（ニ）分割図形併合プ
ログラム（ＭＣＮＶ２）（ホ）図形編集プログラム（Ｍ
ＥＤＴ）（ヘ）分割図形入力プログラム（ＭＩＮ２）（
ト）分割図形出力プログラム（ＭＯＵＴ２）図３は図２
の機能ブロック図であり、ＣＰＵ２１において、設計デ
ータの入出力処理、多角形の線分データに対する図形編
集処理、多角形から分割図形へ（またはこの逆へ）の変
換処理及び分割図形データの入出力処理を実行する場合
の機能ブロック図である。
２〜図４は本発明に係るデータ変換装置の一実施例を示
す図である。まず、システム構成を説明する。図２にお
いて、１０はＣＡＤによって作られたマスク設計データ
（設計データ）を格納する第１外部ディスク、１１はマ
スク製造用の露光データを格納する第２外部ディスク、
２０は設計データと露光データとを相互に変換するデー
タ変換処理部であり、データ変換部２０は、次に述べる
ような各種のプログラム（イ）〜（ト）を選択的に実行
するＣＰＵ２１と、表示部２２ａや入力装置（キーボー
ド、マウス等）２２ｂを含む端末装置２２と、後述する
第１のテーブルＴ１、第２のテーブルＴ２及び第３のテ
ーブルＴ３を含む内部ディスク２３とを備える。 （イ）線分データ入力プログラム（ＭＩＮ１）（ロ）線
分データ出力プログラム（ＭＯＵＴ１）（ハ）線分デー
タ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）（ニ）分割図形併合プ
ログラム（ＭＣＮＶ２）（ホ）図形編集プログラム（Ｍ
ＥＤＴ）（ヘ）分割図形入力プログラム（ＭＩＮ２）（
ト）分割図形出力プログラム（ＭＯＵＴ２）図３は図２
の機能ブロック図であり、ＣＰＵ２１において、設計デ
ータの入出力処理、多角形の線分データに対する図形編
集処理、多角形から分割図形へ（またはこの逆へ）の変
換処理及び分割図形データの入出力処理を実行する場合
の機能ブロック図である。
【００１２】ここで、内部ディスク２３は少なくとも３
つのテーブル、すなわち■設計データに含まれる多角形
の線分データを格納する第１のテーブルＴ１、■多角形
を分割し各分割図形のベクトルデータを格納する第２の
テーブルＴ２、■多角形の識別データとその多角形を形
成する分割図形の識別データとを関連づけて格納する第
３のテーブルＴ３を備えるものである。
つのテーブル、すなわち■設計データに含まれる多角形
の線分データを格納する第１のテーブルＴ１、■多角形
を分割し各分割図形のベクトルデータを格納する第２の
テーブルＴ２、■多角形の識別データとその多角形を形
成する分割図形の識別データとを関連づけて格納する第
３のテーブルＴ３を備えるものである。
【００１３】図４は各テーブルの内容を摸式的に示す図
である。第１のテーブルＴ１には、一例として示す３種
類の多角形Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３ごとの領域が設けられてお
り、例えば多角形Ｇ１の領域には、そのＧ１の各頂点座
標（ｘ１ｙ１）（ｘ２ｙ２）……（ｘ４ｙ４）が格納さ
れている。また、第２のテーブルＴ２には、上記３種類
の多角形Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３を分割して得られた各図形ご
とのベクトルデータ、すなわち、１つの分割図形Ｂ１を
例にとると、基準頂点座標（ｘｙ）や高さＨ１及び幅Ｗ
１のデータが格納されている。
である。第１のテーブルＴ１には、一例として示す３種
類の多角形Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３ごとの領域が設けられてお
り、例えば多角形Ｇ１の領域には、そのＧ１の各頂点座
標（ｘ１ｙ１）（ｘ２ｙ２）……（ｘ４ｙ４）が格納さ
れている。また、第２のテーブルＴ２には、上記３種類
の多角形Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３を分割して得られた各図形ご
とのベクトルデータ、すなわち、１つの分割図形Ｂ１を
例にとると、基準頂点座標（ｘｙ）や高さＨ１及び幅Ｗ
１のデータが格納されている。
【００１４】さらに、第３のテーブルＴ３には、上記３
種類の多角形の識別データ（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３）とその
３種類の多角形のそれぞれを形成する分割図形の識別デ
ータ（Ｂ１、Ｂ２、……Ｂ６）が関連づけられて格納さ
れている。例えば、１つの多角形Ｇ２の場合には、この
Ｇ２を形成するのがＢ２、Ｂ３及びＢ４の３つの長方形
であるから、Ｇ２、Ｂ２、Ｂ３及びＢ４がグループ化さ
れている。
種類の多角形の識別データ（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３）とその
３種類の多角形のそれぞれを形成する分割図形の識別デ
ータ（Ｂ１、Ｂ２、……Ｂ６）が関連づけられて格納さ
れている。例えば、１つの多角形Ｇ２の場合には、この
Ｇ２を形成するのがＢ２、Ｂ３及びＢ４の３つの長方形
であるから、Ｇ２、Ｂ２、Ｂ３及びＢ４がグループ化さ
れている。
【００１５】このような構成において、最初に設計デー
タから露光データへの変換を行う場合には、第１の外部
ディスク１０からＣＰＵ２１に設計データを読み込み、
その設計データに含まれている多角形ごとの線分データ
を抽出して第１のテーブルＴ１に格納する。そして、線
分データ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）を起動し、第１
のテーブルＴ１内の線分データをベクトルデータに変換
して第２の外部ディスク１１に格納する。
タから露光データへの変換を行う場合には、第１の外部
ディスク１０からＣＰＵ２１に設計データを読み込み、
その設計データに含まれている多角形ごとの線分データ
を抽出して第１のテーブルＴ１に格納する。そして、線
分データ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）を起動し、第１
のテーブルＴ１内の線分データをベクトルデータに変換
して第２の外部ディスク１１に格納する。
【００１６】ここで、上記のデータ変換時には、多角形
の分割図形ごとのベクトルデータを第２のテーブルＴ２
に格納すると共に、多角形の識別データとその多角形を
形成する分割図形の識別データとを第３のテーブルＴ３
に格納する。次に、設計データの一部を修正する場合（
本発明のポイントである）について説明する。
の分割図形ごとのベクトルデータを第２のテーブルＴ２
に格納すると共に、多角形の識別データとその多角形を
形成する分割図形の識別データとを第３のテーブルＴ３
に格納する。次に、設計データの一部を修正する場合（
本発明のポイントである）について説明する。
【００１７】この場合には、まず、端末装置２２を操作
して図形編集プログラム（ＭＥＤＴ）により修正対象の
多角形（例えばＧ２）を指示し、第１のテーブルＴ１か
ら該当する多角形Ｇ２の線分データを検索してその線分
データを修正し、第１のテーブルＴ１を更新する。次に
、線分データ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）を起動し、
修正対象となった多角形の識別データＧ２をキーワード
として第３のテーブルＴ３からその多角形Ｇ２を形成す
る分割長方形の識別データＢ２、Ｂ３、Ｂ４を検索し、
この識別データＢ２、Ｂ３、Ｂ４を手掛かりにして第２
のテーブルＴ２から分割長方形のベクトルデータを取り
出す。
して図形編集プログラム（ＭＥＤＴ）により修正対象の
多角形（例えばＧ２）を指示し、第１のテーブルＴ１か
ら該当する多角形Ｇ２の線分データを検索してその線分
データを修正し、第１のテーブルＴ１を更新する。次に
、線分データ分割プログラム（ＭＣＮＶ１）を起動し、
修正対象となった多角形の識別データＧ２をキーワード
として第３のテーブルＴ３からその多角形Ｇ２を形成す
る分割長方形の識別データＢ２、Ｂ３、Ｂ４を検索し、
この識別データＢ２、Ｂ３、Ｂ４を手掛かりにして第２
のテーブルＴ２から分割長方形のベクトルデータを取り
出す。
【００１８】最後に、分割図形併合プログラム（ＭＣＮ
Ｖ２）を起動し、修正済みの線分データに基づいて各長
方形Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４のベクトルデータを修正し、第２
のテーブルＴ２を更新する。このように本実施例によれ
ば、一部の線分データを修正する際に、該当するベクト
ルデータだけを更新することができる。これは、設計デ
ータに含まれる多角形の識別データと、各々の多角形を
形成する分割図形の識別データを関連づけた第３のテー
ブルＴ３を備えたからであり、一部の修正に際してこの
第３のテーブルＴ３を仲介させているからである。
Ｖ２）を起動し、修正済みの線分データに基づいて各長
方形Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４のベクトルデータを修正し、第２
のテーブルＴ２を更新する。このように本実施例によれ
ば、一部の線分データを修正する際に、該当するベクト
ルデータだけを更新することができる。これは、設計デ
ータに含まれる多角形の識別データと、各々の多角形を
形成する分割図形の識別データを関連づけた第３のテー
ブルＴ３を備えたからであり、一部の修正に際してこの
第３のテーブルＴ３を仲介させているからである。
【００１９】したがって、設計データの一部を修正する
際には、未修正の露光データをそのままにして修正箇所
だけの限定的なデータ更新とすることができ、変換効率
を格段に向上することかできる。なお、上記実施例では
、設計データから露光データへの変換について説明した
が、この逆、すなわち露光データから設計データへの変
換についても同様な作用が得られる。
際には、未修正の露光データをそのままにして修正箇所
だけの限定的なデータ更新とすることができ、変換効率
を格段に向上することかできる。なお、上記実施例では
、設計データから露光データへの変換について説明した
が、この逆、すなわち露光データから設計データへの変
換についても同様な作用が得られる。
【００２０】また、上記実施例では、第３のテーブルＴ
３を別途に設けているが、これに限るものではなく、例
えば、第１のテーブルＴ１または第２のテーブルＴ２に
関連づけ用のカラムを設けてもよい。あるいは、多角形
の識別データまたは分割図形の識別データに関連づけデ
ータを付加してもよい。このようにすると、ディスク容
量を削減できると共に、テーブル管理が容易になるので
、より好ましいものとすることができる。
３を別途に設けているが、これに限るものではなく、例
えば、第１のテーブルＴ１または第２のテーブルＴ２に
関連づけ用のカラムを設けてもよい。あるいは、多角形
の識別データまたは分割図形の識別データに関連づけデ
ータを付加してもよい。このようにすると、ディスク容
量を削減できると共に、テーブル管理が容易になるので
、より好ましいものとすることができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、多角形の識別データと
その多角形を形成する分割図形の識別データとを関連づ
けて格納する第３のテーブルを備え、多角形の形状変更
時に、第３のテーブルを仲介として設計データ及び露光
データを更新するので、修正箇所だけに限定して露光デ
ータを更新でき、変換効率の向上を図ることができる。
その多角形を形成する分割図形の識別データとを関連づ
けて格納する第３のテーブルを備え、多角形の形状変更
時に、第３のテーブルを仲介として設計データ及び露光
データを更新するので、修正箇所だけに限定して露光デ
ータを更新でき、変換効率の向上を図ることができる。
【図１】本発明の原理図である。
【図２】一実施例のシステム構成図である。
【図３】一実施例の機能ブロック図である。
【図４】一実施例のテーブル摸式図である。
【図５】従来例のデータ変換概念図である。
Ｔ１：第１のテーブル
Ｔ２：第２のテーブル
Ｔ３：第３のテーブル
Claims (1)
- 【請求項１】線分データで表現する任意の多角形を、ベ
クトル表現の図形データに変換するデータ変換装置にお
いて、前記多角形の線分データを格納する第１のテーブ
ルと、前記多角形を分割し各分割図形のベクトルデータ
を格納する第２のテーブルと、前記多角形の識別データ
とその多角形を形成する分割図形の識別データとを関連
づけて格納する第３のテーブルと、を備え、前記多角形
の形状変更時に、第３のテーブルを仲介として第１及び
第２のテーブルを更新することを特徴とするデータ変換
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055228A JPH04291463A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | データ変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055228A JPH04291463A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | データ変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04291463A true JPH04291463A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=12992750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3055228A Withdrawn JPH04291463A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | データ変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04291463A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110334108A (zh) * | 2019-06-18 | 2019-10-15 | 浙江工业大学 | 一种基于离散蝙蝠算法的三维cad模型相似性计算方法 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP3055228A patent/JPH04291463A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110334108A (zh) * | 2019-06-18 | 2019-10-15 | 浙江工业大学 | 一种基于离散蝙蝠算法的三维cad模型相似性计算方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |