JPH04295199A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH04295199A JPH04295199A JP8442291A JP8442291A JPH04295199A JP H04295199 A JPH04295199 A JP H04295199A JP 8442291 A JP8442291 A JP 8442291A JP 8442291 A JP8442291 A JP 8442291A JP H04295199 A JPH04295199 A JP H04295199A
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- Japan
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- rotating shaft
- housing
- permanent magnet
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明に係るターボ分子ポンプ
は、超高真空状態を実現する為のターボ分子ポンプの改
良に関する。
は、超高真空状態を実現する為のターボ分子ポンプの改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種実験装置、或は製造装置に於いて超
高真空状態を実現する為、従来から図３に示す様なター
ボ分子ポンプが使用されている。
高真空状態を実現する為、従来から図３に示す様なター
ボ分子ポンプが使用されている。
【０００３】このターボ分子ポンプは、筒状のハウジン
グ１と、このハウジング１の内側に支持された回転軸２
と、この回転軸２を回転駆動する為のモータ３と、上記
回転軸２に支持された動翼体４と、この動翼体４の上部
外周面に設けられた複数の動翼５、５と、上記ハウジン
グ１の周囲を囲む状態で設けられ、一端に吸気口６を有
する筒状のケース７と、このケース７の内周面に支持さ
れて、上記動翼５、５と共にポンプ部８を構成する複数
の静翼９、９と、このポンプ部８により上記吸気口６か
ら吸入された気体を排出する為の排気口１０とから構成
されている。
グ１と、このハウジング１の内側に支持された回転軸２
と、この回転軸２を回転駆動する為のモータ３と、上記
回転軸２に支持された動翼体４と、この動翼体４の上部
外周面に設けられた複数の動翼５、５と、上記ハウジン
グ１の周囲を囲む状態で設けられ、一端に吸気口６を有
する筒状のケース７と、このケース７の内周面に支持さ
れて、上記動翼５、５と共にポンプ部８を構成する複数
の静翼９、９と、このポンプ部８により上記吸気口６か
ら吸入された気体を排出する為の排気口１０とから構成
されている。
【０００４】上記回転軸２外周面の上下２個所位置には
、それぞれ上部磁性環１１と下部磁性環１２とを外嵌固
定している。又、上記ハウジング１の上部内周面で、上
記上部磁性環１１に対向する部分には、上部ラジアル電
磁石１３を設けて、上部ラジアル磁気軸受１４を構成し
、上記ハウジング１の下部内周面で、上記下部磁性環１
２に対向する部分には、下部ラジアル電磁石１５を設け
て、下部ラジアル磁気軸受１６を構成している。
、それぞれ上部磁性環１１と下部磁性環１２とを外嵌固
定している。又、上記ハウジング１の上部内周面で、上
記上部磁性環１１に対向する部分には、上部ラジアル電
磁石１３を設けて、上部ラジアル磁気軸受１４を構成し
、上記ハウジング１の下部内周面で、上記下部磁性環１
２に対向する部分には、下部ラジアル電磁石１５を設け
て、下部ラジアル磁気軸受１６を構成している。
【０００５】又、回転軸２の中間部外周面には磁性材製
のフランジ部２０が形成されており、上記ハウジング１
の内面に支持固定された上下１対のスラスト電磁石２１
、２１を、磁性材製のフランジ部２０に対向させて、ス
ラスト磁気軸受２２を構成している。
のフランジ部２０が形成されており、上記ハウジング１
の内面に支持固定された上下１対のスラスト電磁石２１
、２１を、磁性材製のフランジ部２０に対向させて、ス
ラスト磁気軸受２２を構成している。
【０００６】上記回転軸２のラジアル方向に亙る位置は
、ハウジング１内面の上下２個所位置に設けられた上部
、下部両ラジアルセンサ１７、１８によって、同じくス
ラスト方向に亙る位置は、回転軸２の下端面とハウジン
グ１の底面との間に設けたスラストセンサ１９によって
、それぞれ検出される。
、ハウジング１内面の上下２個所位置に設けられた上部
、下部両ラジアルセンサ１７、１８によって、同じくス
ラスト方向に亙る位置は、回転軸２の下端面とハウジン
グ１の底面との間に設けたスラストセンサ１９によって
、それぞれ検出される。
【０００７】各センサ１７〜１９の検出値を表わす信号
は、図示しない制御器に入力しており、この制御器は、
各センサ１７〜１９からの信号に基づいて、前記各電磁
石１３、１５、２１への通電を制御し、上記回転軸２を
浮上状態に保たせる。この為、回転軸２は何れの部品と
も接触する事なく、超高速で回転自在となる。
は、図示しない制御器に入力しており、この制御器は、
各センサ１７〜１９からの信号に基づいて、前記各電磁
石１３、１５、２１への通電を制御し、上記回転軸２を
浮上状態に保たせる。この為、回転軸２は何れの部品と
も接触する事なく、超高速で回転自在となる。
【０００８】上述の様に構成される従来のターボ分子ポ
ンプの使用時には、制御器からの信号により回転軸２を
浮上状態に保持しつつ、モータ３に通電する。モータ３
への通電に基づいて回転軸２並びに動翼体４が高速で回
転すると、動翼５、５と静翼９、９とから成るポンプ部
８により吸気口６から吸入された空気が排気口１０から
排出され、吸気口６を接続した部分を超高真空状態に出
来る。
ンプの使用時には、制御器からの信号により回転軸２を
浮上状態に保持しつつ、モータ３に通電する。モータ３
への通電に基づいて回転軸２並びに動翼体４が高速で回
転すると、動翼５、５と静翼９、９とから成るポンプ部
８により吸気口６から吸入された空気が排気口１０から
排出され、吸気口６を接続した部分を超高真空状態に出
来る。
【０００９】尚、図３に於いて２３、２３は、停電等に
基づく各電磁石１３、１５、２１への通電停止時に、回
転軸２と共に回転する部分と固定の部分とが強く摩擦し
合う事を防止する為のタッチダウン軸受、２４は、各電
磁石１３、１５、２１に通電したり、各センサ１７〜１
９から検出信号を取り出す為のコネクタである。
基づく各電磁石１３、１５、２１への通電停止時に、回
転軸２と共に回転する部分と固定の部分とが強く摩擦し
合う事を防止する為のタッチダウン軸受、２４は、各電
磁石１３、１５、２１に通電したり、各センサ１７〜１
９から検出信号を取り出す為のコネクタである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の様に
構成され作用する従来のターボ分子ポンプの場合、回転
軸２を浮上状態で支持するのに、磁気軸受を用いていた
為、構造が複雑で、製作費が嵩む事が避けられなかった
。
構成され作用する従来のターボ分子ポンプの場合、回転
軸２を浮上状態で支持するのに、磁気軸受を用いていた
為、構造が複雑で、製作費が嵩む事が避けられなかった
。
【００１１】即ち、各電磁石１３、１５、２１への通電
を制御する事により、回転軸２を浮上状態に保つ為、各
センサ１７〜１９として、応答性の優れた、しかも精密
なものが必要であり、各センサ１７〜１９からの信号に
基づいて各電磁石１３、１５、２１への通電を制御する
制御器も、極めて応答性の優れたものとしなければなら
ず、製作費が嵩んでしまう。
を制御する事により、回転軸２を浮上状態に保つ為、各
センサ１７〜１９として、応答性の優れた、しかも精密
なものが必要であり、各センサ１７〜１９からの信号に
基づいて各電磁石１３、１５、２１への通電を制御する
制御器も、極めて応答性の優れたものとしなければなら
ず、製作費が嵩んでしまう。
【００１２】本発明のターボ分子ポンプは、上述の様な
不都合を解消するものである。
不都合を解消するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明のターボ分子ポン
プは、前述した従来のターボ分子ポンプと同様に、ハウ
ジングと、このハウジングの内側に軸受を介して支持さ
れた回転軸と、この回転軸を回転駆動する為のモータと
、上記回転軸に支持された動翼体と、この動翼体の外周
面に設けられた複数の動翼と、上記ハウジングの周囲を
囲む状態で設けられ、一端に吸気口を有するケースと、
このケースの内周面に支持されて、上記動翼と共にポン
プ部を構成する複数の静翼と、このポンプ部により上記
吸気口から吸入された気体を排出する為の排気口とを備
えている。
プは、前述した従来のターボ分子ポンプと同様に、ハウ
ジングと、このハウジングの内側に軸受を介して支持さ
れた回転軸と、この回転軸を回転駆動する為のモータと
、上記回転軸に支持された動翼体と、この動翼体の外周
面に設けられた複数の動翼と、上記ハウジングの周囲を
囲む状態で設けられ、一端に吸気口を有するケースと、
このケースの内周面に支持されて、上記動翼と共にポン
プ部を構成する複数の静翼と、このポンプ部により上記
吸気口から吸入された気体を排出する為の排気口とを備
えている。
【００１４】又、本発明のターボ分子ポンプの内、請求
項１に記載されたものに於いては、上記回転軸の上部外
周面に支持固定された、円環状の上部永久磁石と、上記
ハウジングの内周面で、この上部永久磁石の外周面に対
向する部分に支持固定された上部超電導体と、上記ハウ
ジングの内側で、この上部超電導体と接触する部分に設
けられた上部冷却剤溜りと、上記回転軸の下部外周面に
支持固定された、円環状の下部永久磁石と、上記ハウジ
ングの内周面で、この下部永久磁石の外周面に対向する
部分に支持固定された下部超電導体と、上記ハウジング
の内側で、この下部超電導体と接触する部分に設けられ
た下部冷却剤溜りと、この下部冷却剤溜り及び上記上部
冷却剤溜り内に冷却剤を送り込む為の送り込み口とを有
する事を特徴としている。
項１に記載されたものに於いては、上記回転軸の上部外
周面に支持固定された、円環状の上部永久磁石と、上記
ハウジングの内周面で、この上部永久磁石の外周面に対
向する部分に支持固定された上部超電導体と、上記ハウ
ジングの内側で、この上部超電導体と接触する部分に設
けられた上部冷却剤溜りと、上記回転軸の下部外周面に
支持固定された、円環状の下部永久磁石と、上記ハウジ
ングの内周面で、この下部永久磁石の外周面に対向する
部分に支持固定された下部超電導体と、上記ハウジング
の内側で、この下部超電導体と接触する部分に設けられ
た下部冷却剤溜りと、この下部冷却剤溜り及び上記上部
冷却剤溜り内に冷却剤を送り込む為の送り込み口とを有
する事を特徴としている。
【００１５】更に、請求項２に記載されたターボ分子ポ
ンプに於いては、下部永久磁石と下部超電導体と下部冷
却剤溜りとを省略する代わりに、若しくは下部永久磁石
と下部超電導体と下部冷却剤溜りと共に、回転軸の下端
面とハウジングの底面との間に、油潤滑球面スパイラル
溝軸受を設けている。
ンプに於いては、下部永久磁石と下部超電導体と下部冷
却剤溜りとを省略する代わりに、若しくは下部永久磁石
と下部超電導体と下部冷却剤溜りと共に、回転軸の下端
面とハウジングの底面との間に、油潤滑球面スパイラル
溝軸受を設けている。
【００１６】
【作用】上述の様に構成される本発明のターボ分子ポン
プの場合、何れの構造によっても、面倒な制御回路を用
いる事なく、回転軸を浮上状態に保持出来る。
プの場合、何れの構造によっても、面倒な制御回路を用
いる事なく、回転軸を浮上状態に保持出来る。
【００１７】即ち、請求項１に記載されたターボ分子ポ
ンプの場合には、上部永久磁石と上部超電導体との間に
働くピン止め効果により、この上部永久磁石の外周面と
上部超電導体の内周面との間隔が一定に保たれると同時
に、下部永久磁石と下部超電導体との間に働くピン止め
効果により、この下部永久磁石の外周面と下部超電導体
の内周面との間隔が一定に保たれる。
ンプの場合には、上部永久磁石と上部超電導体との間に
働くピン止め効果により、この上部永久磁石の外周面と
上部超電導体の内周面との間隔が一定に保たれると同時
に、下部永久磁石と下部超電導体との間に働くピン止め
効果により、この下部永久磁石の外周面と下部超電導体
の内周面との間隔が一定に保たれる。
【００１８】又、請求項２に記載されたターボ分子ポン
プの場合には、上部永久磁石と上部超電導体との間に働
くピン止め効果により、この上部永久磁石の外周面と上
部超電導体の内周面との間隔が一定に保たれると同時に
、回転軸の下端面とハウジングの底面との間に設けられ
た油潤滑球面スパイラル溝軸受により、回転軸の下端部
がハウジングに対して同心に、且つ浮上状態に保持され
る。
プの場合には、上部永久磁石と上部超電導体との間に働
くピン止め効果により、この上部永久磁石の外周面と上
部超電導体の内周面との間隔が一定に保たれると同時に
、回転軸の下端面とハウジングの底面との間に設けられ
た油潤滑球面スパイラル溝軸受により、回転軸の下端部
がハウジングに対して同心に、且つ浮上状態に保持され
る。
【００１９】この結果、何れの構造に於いても、永久磁
石を支持固定した回転軸が、ハウジングの内側に非接触
状態で支持される。
石を支持固定した回転軸が、ハウジングの内側に非接触
状態で支持される。
【００２０】
【実施例】図１は、請求項１に記載された発明に対応す
る、本発明の第一実施例を示している。このターボ分子
ポンプは、前述した従来構造の場合と同様に、筒状のハ
ウジング１と、このハウジング１の内側に支持された回
転軸２と、この回転軸２を回転駆動する為のモータ３と
、上記回転軸２に支持された動翼体４と、この動翼体４
の外周面に設けられた複数の動翼５、５と、上記ハウジ
ング１の周囲を囲む状態で設けられ、一端に吸気口６を
有する筒状のケース７と、このケース７の内周面に支持
されて、上記動翼５、５と共にポンプ部８を構成する複
数の静翼９、９と、このポンプ部８により上記吸気口６
から吸入された気体を排出する為の排気口１０とを備え
ている。
る、本発明の第一実施例を示している。このターボ分子
ポンプは、前述した従来構造の場合と同様に、筒状のハ
ウジング１と、このハウジング１の内側に支持された回
転軸２と、この回転軸２を回転駆動する為のモータ３と
、上記回転軸２に支持された動翼体４と、この動翼体４
の外周面に設けられた複数の動翼５、５と、上記ハウジ
ング１の周囲を囲む状態で設けられ、一端に吸気口６を
有する筒状のケース７と、このケース７の内周面に支持
されて、上記動翼５、５と共にポンプ部８を構成する複
数の静翼９、９と、このポンプ部８により上記吸気口６
から吸入された気体を排出する為の排気口１０とを備え
ている。
【００２１】又、本発明のターボ分子ポンプに於いては
、上記回転軸２の上部外周面に円環状の上部永久磁石２
５を支持固定し、上記ハウジング１の内周面で、この上
部永久磁石２５の外周面に対向する部分には、この上部
永久磁石２５の外径よりも少し大きな内径を有する、円
環状の上部超電導体２６を支持固定している。そして、
上記ハウジング１の内側で、この上部超電導体２６の外
周面と接触する部分に上部冷却剤溜り２７を設けて、上
記上部超電導体２６を冷却自在としている。
、上記回転軸２の上部外周面に円環状の上部永久磁石２
５を支持固定し、上記ハウジング１の内周面で、この上
部永久磁石２５の外周面に対向する部分には、この上部
永久磁石２５の外径よりも少し大きな内径を有する、円
環状の上部超電導体２６を支持固定している。そして、
上記ハウジング１の内側で、この上部超電導体２６の外
周面と接触する部分に上部冷却剤溜り２７を設けて、上
記上部超電導体２６を冷却自在としている。
【００２２】又、上記回転軸２の下部外周面には、円環
状の下部永久磁石２８を固定し、上記ハウジング１の内
周面で、この下部永久磁石２８の外周面に対向する部分
には、やはり、この下部永久磁石２８の外径よりも少し
大きな内径を有する、円環状の下部超電導体２９を支持
固定している。この下部超電導体２９は、下部永久磁石
２８の下方側面と軸方向に対向している。又、上記ハウ
ジング１の内側で、この下部超電導体２９の外周面と接
触する部分に下部冷却剤溜り３０を設けて、上記下部超
電導体２９を冷却自在としている。
状の下部永久磁石２８を固定し、上記ハウジング１の内
周面で、この下部永久磁石２８の外周面に対向する部分
には、やはり、この下部永久磁石２８の外径よりも少し
大きな内径を有する、円環状の下部超電導体２９を支持
固定している。この下部超電導体２９は、下部永久磁石
２８の下方側面と軸方向に対向している。又、上記ハウ
ジング１の内側で、この下部超電導体２９の外周面と接
触する部分に下部冷却剤溜り３０を設けて、上記下部超
電導体２９を冷却自在としている。
【００２３】更に、上記ハウジング１の外周面には、送
り込み口３１を形成すると共に、この送り込み口３１と
、上記上部冷却剤溜り２７及び上記下部冷却剤溜り３０
とを、通路３２、３３により連通させて、上部、下部各
冷却剤溜り２７、３０内に、液体窒素等の冷却剤を送り
込み自在としている。
り込み口３１を形成すると共に、この送り込み口３１と
、上記上部冷却剤溜り２７及び上記下部冷却剤溜り３０
とを、通路３２、３３により連通させて、上部、下部各
冷却剤溜り２７、３０内に、液体窒素等の冷却剤を送り
込み自在としている。
【００２４】上述の様に構成される本発明のターボ分子
ポンプの場合、運転時には上部、下部両冷却剤溜り２７
、３０内に、液体窒素等の冷却剤を送り込み、上記上部
、下部両超電導体２６、２９を超電導状態に保ち、これ
ら両超電導体２６、２９と上部、下部両永久磁石２５、
２８との間にピン止め効果を生じさせる。
ポンプの場合、運転時には上部、下部両冷却剤溜り２７
、３０内に、液体窒素等の冷却剤を送り込み、上記上部
、下部両超電導体２６、２９を超電導状態に保ち、これ
ら両超電導体２６、２９と上部、下部両永久磁石２５、
２８との間にピン止め効果を生じさせる。
【００２５】ピン止め効果とは、超電導体と永久磁石と
の間に、これら超電導体と永久磁石との距離を一定値に
保持する向きの力が作用する現象を言う。即ち、超電導
体と永久磁石とを対向させた場合、両者の距離が上記一
定値を越えた場合には、両者の場合に吸引力が働き、両
者の距離が上記一定値未満の場合には、両者の間に反発
力が働く。尚、上記吸引力並びに反発力をピン止め力と
いう。
の間に、これら超電導体と永久磁石との距離を一定値に
保持する向きの力が作用する現象を言う。即ち、超電導
体と永久磁石とを対向させた場合、両者の距離が上記一
定値を越えた場合には、両者の場合に吸引力が働き、両
者の距離が上記一定値未満の場合には、両者の間に反発
力が働く。尚、上記吸引力並びに反発力をピン止め力と
いう。
【００２６】上述の様に、上部、下部両超電導体２６、
２９と上部、下部両永久磁石２５、２８との間にピン止
め効果が生じる結果、上部永久磁石２５の外周面と上部
超電導体２６の内周面との間隔が一定に保たれると同時
に、下部永久磁石２８の外周面及び下端面と下部超電導
体２９との、半径方向及び軸方向の間隔が一定に保たれ
る。
２９と上部、下部両永久磁石２５、２８との間にピン止
め効果が生じる結果、上部永久磁石２５の外周面と上部
超電導体２６の内周面との間隔が一定に保たれると同時
に、下部永久磁石２８の外周面及び下端面と下部超電導
体２９との、半径方向及び軸方向の間隔が一定に保たれ
る。
【００２７】ピン止め効果による回転軸２の位置決めは
、自動的に行なわれる為、回転軸２のラジアル方向位置
やスラスト方向位置を検出する為のセンサや電磁石並び
に制御器が不要となる等、面倒な制御回路を用いる事な
く、上記回転軸２を浮上状態に保持出来る。
、自動的に行なわれる為、回転軸２のラジアル方向位置
やスラスト方向位置を検出する為のセンサや電磁石並び
に制御器が不要となる等、面倒な制御回路を用いる事な
く、上記回転軸２を浮上状態に保持出来る。
【００２８】尚、図示の実施例の場合、回転軸２を回転
駆動させる為のモータ３を、この回転軸２の中間部で、
上部永久磁石２５及び上部超電導体２６と下部永久磁石
２８及び下部超電導体２９との間部分に設けている。モ
ータ３をこの様な位置に設ける事に伴ない、モータ３を
回転軸２の端部に設ける場合に比べて、上部、下部両超
電導体２６、２９の間隔を長く出来、この回転軸２の剛
性向上とターボ分子ポンプの小型化とを図れる。
駆動させる為のモータ３を、この回転軸２の中間部で、
上部永久磁石２５及び上部超電導体２６と下部永久磁石
２８及び下部超電導体２９との間部分に設けている。モ
ータ３をこの様な位置に設ける事に伴ない、モータ３を
回転軸２の端部に設ける場合に比べて、上部、下部両超
電導体２６、２９の間隔を長く出来、この回転軸２の剛
性向上とターボ分子ポンプの小型化とを図れる。
【００２９】次に、図２は請求項２に記載された発明に
対応する、本発明の第二実施例を示している。本実施例
の場合、前述した第一実施例の構造から、下部永久磁石
２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜り３０とを省略
する代わりに、回転軸２の下端面とハウジング１の底面
との間に、ラジアル荷重とスラスト荷重とを支持する、
油潤滑球面スパイラル溝軸受３４を設けている。
対応する、本発明の第二実施例を示している。本実施例
の場合、前述した第一実施例の構造から、下部永久磁石
２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜り３０とを省略
する代わりに、回転軸２の下端面とハウジング１の底面
との間に、ラジアル荷重とスラスト荷重とを支持する、
油潤滑球面スパイラル溝軸受３４を設けている。
【００３０】この油潤滑球面スパイラル溝軸受３４は、
ハウジング１の底面に形成した球状凹面３５と、回転軸
２の下端部のロッド３６の下端部に形成した球状凸面３
７とを対向させる事により構成されている。互いに対向
する上記両面３５、３７の間には油３８を介在させると
共に、球状凸面３７と球状凹面３５との少なくとも一方
にはスパイラル溝３９を形成している。
ハウジング１の底面に形成した球状凹面３５と、回転軸
２の下端部のロッド３６の下端部に形成した球状凸面３
７とを対向させる事により構成されている。互いに対向
する上記両面３５、３７の間には油３８を介在させると
共に、球状凸面３７と球状凹面３５との少なくとも一方
にはスパイラル溝３９を形成している。
【００３１】この様に構成される油潤滑球面スパイラル
溝軸受３４の場合、回転軸２と共に球状凸面３７が回転
するのに伴なって、この球状凸面３７と球状凹面３５と
の間に動圧が発生し、上記回転軸２の下端部がハウジン
グ１に対して同心に、且つ浮上状態に保持される。
溝軸受３４の場合、回転軸２と共に球状凸面３７が回転
するのに伴なって、この球状凸面３７と球状凹面３５と
の間に動圧が発生し、上記回転軸２の下端部がハウジン
グ１に対して同心に、且つ浮上状態に保持される。
【００３２】尚、本実施例の場合、モータ３を上記ロッ
ド３６の周囲部分に設けている。又、油潤滑球面スパイ
ラル溝軸受３４は、磁気軸受や超電導体を利用した超電
導軸受の場合と異なり、停電や超電導状態の消滅により
、一瞬の間に軸受力を消失する事がない為、前記従来例
や第一実施例の場合と異なり、回転軸２の下部にはタッ
チダウン軸受を設けていない。
ド３６の周囲部分に設けている。又、油潤滑球面スパイ
ラル溝軸受３４は、磁気軸受や超電導体を利用した超電
導軸受の場合と異なり、停電や超電導状態の消滅により
、一瞬の間に軸受力を消失する事がない為、前記従来例
や第一実施例の場合と異なり、回転軸２の下部にはタッ
チダウン軸受を設けていない。
【００３３】更に、油潤滑球面スパイラル溝軸受３４は
、下部永久磁石２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜
り３０とを省略する代わりに設けるだけでなく、下部永
久磁石２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜り３０と
に加えて設け、より大きなラジアル荷重及びスラスト荷
重を支持出来る様に構成しても良い。その他の構成及び
作用は、前述の第一実施例と同様である為、同等部分に
は同一符合を付して、重複する説明を省略する。
、下部永久磁石２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜
り３０とを省略する代わりに設けるだけでなく、下部永
久磁石２８と下部超電導体２９と下部冷却剤溜り３０と
に加えて設け、より大きなラジアル荷重及びスラスト荷
重を支持出来る様に構成しても良い。その他の構成及び
作用は、前述の第一実施例と同様である為、同等部分に
は同一符合を付して、重複する説明を省略する。
【００３４】尚、本発明のターボ分子ポンプを構成する
為の超電導体としては、各種の超電導材料を使用出来る
が、例えばイットリウム系で、一般に１２３相と呼ばれ
るＹＢａ２Ｃｕ３Ｏｎ の超電導相中に、常電導相であ
り、２１１相と呼ばれるＹ２ＢａＣｕＯｎの微細な粉末
を均一に混入したものが、大きなピン止め力を得られる
事から、好ましく利用出来る。
為の超電導体としては、各種の超電導材料を使用出来る
が、例えばイットリウム系で、一般に１２３相と呼ばれ
るＹＢａ２Ｃｕ３Ｏｎ の超電導相中に、常電導相であ
り、２１１相と呼ばれるＹ２ＢａＣｕＯｎの微細な粉末
を均一に混入したものが、大きなピン止め力を得られる
事から、好ましく利用出来る。
【００３５】
【発明の効果】本発明のターボ分子ポンプは、以上に述
べた通り構成され作用する為、高価なセンサや面倒な制
御回路が不要となり、安価且つ小型に製作出来る。
べた通り構成され作用する為、高価なセンサや面倒な制
御回路が不要となり、安価且つ小型に製作出来る。
【図１】本発明の第一実施例を示す縦断面図。
【図２】同第二実施例を示す縦断面図。
【図３】従来例を示す縦断面図。
１ ハウジング
２ 回転軸
３ モータ
４ 動翼体
５ 動翼
６ 吸気口
７ ケース
８ ポンプ部
９ 静翼
１０ 排気口
１１ 上部磁性環
１２ 下部磁性環
１３ 上部ラジアル電磁石
１４ 上部ラジアル磁気軸受
１５ 下部ラジアル電磁石
１６ 下部ラジアル磁気軸受
１７ 上部ラジアルセンサ
１８ 下部ラジアルセンサ
１９ スラストセンサ
２０ フランジ部
２１ スラスト電磁石
２２ スラスト磁気軸受
２３ タッチダウン軸受
２４ コネクタ
２５ 上部永久磁石
２６ 上部超電導体
２７ 上部冷却剤溜り
２８ 下部永久磁石
２９ 下部超電導体
３０ 下部冷却剤溜り
３１ 送り込み口
３２ 通路
３３ 通路
３４ 油潤滑球面スパイラル溝軸受
３５ 球状凹面
３６ ロッド
３７ 球状凸面
３８ 油
３９ スパイラル溝
Claims (2)
- 【請求項１】 ハウジングと、このハウジングの内側
に軸受を介して支持された回転軸と、この回転軸を回転
駆動する為のモータと、上記回転軸に支持された動翼体
と、この動翼体の外周面に設けられた複数の動翼と、上
記ハウジングの周囲を囲む状態で設けられ、一端に吸気
口を有するケースと、このケースの内周面に支持されて
、上記動翼と共にポンプ部を構成する複数の静翼と、こ
のポンプ部により上記吸気口から吸入された気体を排出
する為の排気口とを備えたターボ分子ポンプに於いて、
上記回転軸の上部外周面に支持固定された、円環状の上
部永久磁石と、上記ハウジングの内周面で、この上部永
久磁石の外周面に対向する部分に支持固定された上部超
電導体と、上記ハウジングの内側で、この上部超電導体
と接触する部分に設けられた上部冷却剤溜りと、上記回
転軸の下部外周面に支持固定された、円環状の下部永久
磁石と、上記ハウジングの内周面で、この下部永久磁石
の外周面に対向する部分に支持固定された下部超電導体
と、上記ハウジングの内側で、この下部超電導体と接触
する部分に設けられた下部冷却剤溜りと、この下部冷却
剤溜り及び上記上部冷却剤溜り内に冷却剤を送り込む為
の送り込み口とを有する事を特徴とするターボ分子ポン
プ。 - 【請求項２】 下部永久磁石と下部超電導体と下部冷
却剤溜りとを省略する代わりに、若しくは下部永久磁石
と下部超電導体と下部冷却剤溜りと共に、回転軸の下端
面とハウジングの底面との間に、油潤滑球面スパイラル
溝軸受を設けた、請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8442291A JPH04295199A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8442291A JPH04295199A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295199A true JPH04295199A (ja) | 1992-10-20 |
Family
ID=13830152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8442291A Pending JPH04295199A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04295199A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015026A1 (ja) * | 2003-08-08 | 2005-02-17 | Boc Edwards Japan Limited | 真空ポンプ |
| GB2583374A (en) * | 2019-04-26 | 2020-10-28 | Edwards Ltd | High vacuum and ultra-high vacuum pumps |
-
1991
- 1991-03-26 JP JP8442291A patent/JPH04295199A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015026A1 (ja) * | 2003-08-08 | 2005-02-17 | Boc Edwards Japan Limited | 真空ポンプ |
| JPWO2005015026A1 (ja) * | 2003-08-08 | 2007-09-27 | Ｂｏｃエドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| US7753661B2 (en) | 2003-08-08 | 2010-07-13 | Boc Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| JP4906345B2 (ja) * | 2003-08-08 | 2012-03-28 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| GB2583374A (en) * | 2019-04-26 | 2020-10-28 | Edwards Ltd | High vacuum and ultra-high vacuum pumps |
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