JPH04295908A - 電動バルブの位置決め制御装置 - Google Patents
電動バルブの位置決め制御装置Info
- Publication number
- JPH04295908A JPH04295908A JP6043991A JP6043991A JPH04295908A JP H04295908 A JPH04295908 A JP H04295908A JP 6043991 A JP6043991 A JP 6043991A JP 6043991 A JP6043991 A JP 6043991A JP H04295908 A JPH04295908 A JP H04295908A
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- JP
- Japan
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- positioning
- motor
- speed
- valve
- deviation
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、電動バルブの位置決
め制御装置に関するものである。
め制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、電動バルブの開度を制御する位置
決め制御方法としてPID制御を用いたものが良く知ら
れている。これは、バルブ制御の現在位置と制御目標値
との間の偏差に基づいて制御信号を演算生成させるもの
で、この制御信号を得るには各種の演算が必要となる。
決め制御方法としてPID制御を用いたものが良く知ら
れている。これは、バルブ制御の現在位置と制御目標値
との間の偏差に基づいて制御信号を演算生成させるもの
で、この制御信号を得るには各種の演算が必要となる。
【0003】また、電動バルブに限られるものではない
が、一般的な位置決め制御装置として、図10および図
11のような関係図で示すものがある。これは、制御対
象であるバルブの現在位置と制御すべき目標位置との偏
差に基づいてバルブを駆動するモータの制御を行うもの
で、図10はバルブ位置とモータの速度指令値との関係
図、図11はバルブ位置とモータ速度との関係図をそれ
ぞれ示している。この装置によると、バルブの現在位置
と目標位置との偏差が充分大きい間はモータが通常速度
v1 で回転され、偏差が一定値以下即ち、設定された
位置決め開始偏差dとなった時にモータの速度が減速さ
れて所定の位置決め速度v2 でモータが駆動されるよ
うになり、そして、目標位置Pの不感帯Zに入った時に
モータが停止されるようになっている。
が、一般的な位置決め制御装置として、図10および図
11のような関係図で示すものがある。これは、制御対
象であるバルブの現在位置と制御すべき目標位置との偏
差に基づいてバルブを駆動するモータの制御を行うもの
で、図10はバルブ位置とモータの速度指令値との関係
図、図11はバルブ位置とモータ速度との関係図をそれ
ぞれ示している。この装置によると、バルブの現在位置
と目標位置との偏差が充分大きい間はモータが通常速度
v1 で回転され、偏差が一定値以下即ち、設定された
位置決め開始偏差dとなった時にモータの速度が減速さ
れて所定の位置決め速度v2 でモータが駆動されるよ
うになり、そして、目標位置Pの不感帯Zに入った時に
モータが停止されるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の電動バルブの位置決め制御装置にあっては
、構成が複雑であり、円滑で安定した位置決め制御がで
きず、また、制御不能状態を検出できないという問題点
かあった。
ような従来の電動バルブの位置決め制御装置にあっては
、構成が複雑であり、円滑で安定した位置決め制御がで
きず、また、制御不能状態を検出できないという問題点
かあった。
【0005】すなわち、PID制御を用いる場合は、こ
れを装置機器で実現するには多数の回路部品が必要とな
り、コストが上昇すると共に装置が大形化し、また各種
定数の設定も煩雑であると共に、ソフトウエアで実現す
るには乗算,除算が必要となり、一般的なマイクロコン
ピュータでは実現が困難である。
れを装置機器で実現するには多数の回路部品が必要とな
り、コストが上昇すると共に装置が大形化し、また各種
定数の設定も煩雑であると共に、ソフトウエアで実現す
るには乗算,除算が必要となり、一般的なマイクロコン
ピュータでは実現が困難である。
【0006】また、図10,図11の関係図に示すよう
な制御を利用する場合、通常、位置決め開始偏差dと位
置決め速度v2 は固定されているので、バルブ本体を
流れる流体の圧力変動やバルブ自体の摩擦変動などモー
タに対する負荷変動が生じると、上記位置決め開始偏差
dが不適当な値となって慣性力を軽減できなかったり、
位置決め速度v2 が不適当な値となってオーバーシュ
ート等が発生してハンチング等を起こすことがあり、円
滑で安定した位置決め制御ができない不都合が生じ、特
に、バルブの目標位置の変化に伴う流体圧力の変化、ま
たは通常速度v1 が切換えられることによって生じる
モータの負荷変動に対しては、従来では特に対策を講じ
ていないので、同様に円滑で安定した位置決め制御がで
きないという問題点があった。
な制御を利用する場合、通常、位置決め開始偏差dと位
置決め速度v2 は固定されているので、バルブ本体を
流れる流体の圧力変動やバルブ自体の摩擦変動などモー
タに対する負荷変動が生じると、上記位置決め開始偏差
dが不適当な値となって慣性力を軽減できなかったり、
位置決め速度v2 が不適当な値となってオーバーシュ
ート等が発生してハンチング等を起こすことがあり、円
滑で安定した位置決め制御ができない不都合が生じ、特
に、バルブの目標位置の変化に伴う流体圧力の変化、ま
たは通常速度v1 が切換えられることによって生じる
モータの負荷変動に対しては、従来では特に対策を講じ
ていないので、同様に円滑で安定した位置決め制御がで
きないという問題点があった。
【0007】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたもので、簡単な構成で、バルブの目標位
置変化等によってモータの負荷変動が生じても、バルブ
の位置決め制御を円滑に安定して行うことができる電動
バルブの位置決め制御装置を得ることを目的としており
、さらに、位置決め速度に減速する前の通常速度が異な
る度毎に位置決め開始偏差と位置決め速度を変えること
ができる電動バルブの位置決め制御装置を提供すること
を目的としている。
ためになされたもので、簡単な構成で、バルブの目標位
置変化等によってモータの負荷変動が生じても、バルブ
の位置決め制御を円滑に安定して行うことができる電動
バルブの位置決め制御装置を得ることを目的としており
、さらに、位置決め速度に減速する前の通常速度が異な
る度毎に位置決め開始偏差と位置決め速度を変えること
ができる電動バルブの位置決め制御装置を提供すること
を目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明の電動バルブの
位置決め制御装置は、モータにより駆動されるバルブの
位置決め制御装置において、バルブの現在位置と制御す
べき目標位置との偏差を検出する偏差検出手段と、この
偏差検出手段で演算される偏差が所定の位置決め開始偏
差以下になった時に初期の通常速度よりモータを減速し
て所定の位置決め速度で駆動し、上記偏差が目標位置の
不感帯に入った時にモータを停止するモータ駆動手段と
、この不感帯に入るまでにモータの速度が上記位置決め
速度まで減速しない場合に、上記位置決め開始偏差を拡
大し、モータを停止した後上記不感帯から外れ且つ目標
位置に変化がない場合に、上記位置決め速度を減少させ
る変更手段とを備え、バルブの目標位置に応じて上記偏
差及び位置決め速度を変えるようにしたことを特徴とし
、さらに、位置決め速度に減速する前の通常速度が異な
る度毎に位置決め開始偏差と位置決め速度を変える変更
手段を設けたことを特徴とすることにより、前記目的を
達成しようとするものである。
位置決め制御装置は、モータにより駆動されるバルブの
位置決め制御装置において、バルブの現在位置と制御す
べき目標位置との偏差を検出する偏差検出手段と、この
偏差検出手段で演算される偏差が所定の位置決め開始偏
差以下になった時に初期の通常速度よりモータを減速し
て所定の位置決め速度で駆動し、上記偏差が目標位置の
不感帯に入った時にモータを停止するモータ駆動手段と
、この不感帯に入るまでにモータの速度が上記位置決め
速度まで減速しない場合に、上記位置決め開始偏差を拡
大し、モータを停止した後上記不感帯から外れ且つ目標
位置に変化がない場合に、上記位置決め速度を減少させ
る変更手段とを備え、バルブの目標位置に応じて上記偏
差及び位置決め速度を変えるようにしたことを特徴とし
、さらに、位置決め速度に減速する前の通常速度が異な
る度毎に位置決め開始偏差と位置決め速度を変える変更
手段を設けたことを特徴とすることにより、前記目的を
達成しようとするものである。
【0009】
【作用】以上のようになるので、偏差検出手段及び変更
手段の作動により位置決め用の減速開始偏差及び位置決
め速度を順次に変更することができ、例えば、バルブの
負荷変動等を生じた場合においても、これに対応して円
滑にバルブでの位置決めが可能となる。さらに、通常速
度が変化しても位置決め開始偏差と位置決め速度を変え
て円滑にバルブの位置決めが可能となる。
手段の作動により位置決め用の減速開始偏差及び位置決
め速度を順次に変更することができ、例えば、バルブの
負荷変動等を生じた場合においても、これに対応して円
滑にバルブでの位置決めが可能となる。さらに、通常速
度が変化しても位置決め開始偏差と位置決め速度を変え
て円滑にバルブの位置決めが可能となる。
【0010】
【実施例】図1はこの発明にかかる電動バルブの位置決
め制御装置の一実施例を示すブロック図である。図にお
いて、1は制御対象であるバルブ、2はこのバルブ1を
駆動するモータで、バルブ1には、減速機3を介して駆
動力が供給される。4はバルブ1の現在位置を検出する
位置検出手段、5はその検出信号(フィードバック信号
)とバルブ1の目標開度に相当する目標位置指令信号を
比較してモータ2の駆動を制御するモータ制御手段で、
CPUなどから構成されており、かつ演算検出手段9が
包含され、バルブ1の現在位置と目標位置との偏差が計
測できるようになっている。6は前記CPUなどのモー
タ制御手段5からの回転指令,速度指令に従いモータを
駆動するモータ駆動手段である。
め制御装置の一実施例を示すブロック図である。図にお
いて、1は制御対象であるバルブ、2はこのバルブ1を
駆動するモータで、バルブ1には、減速機3を介して駆
動力が供給される。4はバルブ1の現在位置を検出する
位置検出手段、5はその検出信号(フィードバック信号
)とバルブ1の目標開度に相当する目標位置指令信号を
比較してモータ2の駆動を制御するモータ制御手段で、
CPUなどから構成されており、かつ演算検出手段9が
包含され、バルブ1の現在位置と目標位置との偏差が計
測できるようになっている。6は前記CPUなどのモー
タ制御手段5からの回転指令,速度指令に従いモータを
駆動するモータ駆動手段である。
【0011】なお、上記モータ制御手段5には、バルブ
1の現在位置と目標位置Pとの偏差を検出する偏差検出
手段7と、上記不感帯Zに入るまでにモータ2の速度が
通常速度V1 から所定の位置決め速度V2 まで減速
しない場合に位置決め開始偏差を拡大し、モータ2を停
止した後、上記不感帯Zから外れ、且つ目標位置に変化
がない場合に、上記位置決め速度V2 を減少させる変
更手段8とを備えている。
1の現在位置と目標位置Pとの偏差を検出する偏差検出
手段7と、上記不感帯Zに入るまでにモータ2の速度が
通常速度V1 から所定の位置決め速度V2 まで減速
しない場合に位置決め開始偏差を拡大し、モータ2を停
止した後、上記不感帯Zから外れ、且つ目標位置に変化
がない場合に、上記位置決め速度V2 を減少させる変
更手段8とを備えている。
【0012】また、このモータ制御手段5により、バル
ブ1の目標位置Pに変化が生じた場合に、上記位置決め
開始偏差Dおよび位置決め速度が変えられるように構成
されている。
ブ1の目標位置Pに変化が生じた場合に、上記位置決め
開始偏差Dおよび位置決め速度が変えられるように構成
されている。
【0013】つぎに図2〜図5の説明図を用いて動作を
説明する。図2および図3はバルブ位置と速度指令値の
関係図、図4および図5はバルブ位置とモータ速度の関
係図をそれぞれ示しており、上記のようにバルブ1の目
標位置P1およびP2 と、バルブ1の目標位置P1
における位置決め開始偏差D1 および位置決め速度V
3 と、バルブ1の目標開度P2 における位置決め開
始偏差D2 および位置決め速度V4 はそれぞれ異な
っている。
説明する。図2および図3はバルブ位置と速度指令値の
関係図、図4および図5はバルブ位置とモータ速度の関
係図をそれぞれ示しており、上記のようにバルブ1の目
標位置P1およびP2 と、バルブ1の目標位置P1
における位置決め開始偏差D1 および位置決め速度V
3 と、バルブ1の目標開度P2 における位置決め開
始偏差D2 および位置決め速度V4 はそれぞれ異な
っている。
【0014】このとき、図4と図5に示すように、バル
ブ1がP1 を目標位置として駆動していれば目標位置
P1 の位置決め開始偏差D1 を、またバルブ1がP
2 を目標位置として駆動していれば目標位置P2 の
位置決め開始偏差D2 を用いる。
ブ1がP1 を目標位置として駆動していれば目標位置
P1 の位置決め開始偏差D1 を、またバルブ1がP
2 を目標位置として駆動していれば目標位置P2 の
位置決め開始偏差D2 を用いる。
【0015】つぎに、上記演算した偏差が位置決め開始
偏差より小さくなったとき、モータ2の速度を前述の位
置決め速度まで減少させる。このときも図4および図5
に示すように、バルブ1がP1 を目標位置として駆動
していれば、目標位置P1 の位置決め速度V3 まで
減速させ、バルブ1がP2 を目標位置として駆動して
いれば、目標位置P2 の位置決め速度V4 まで減速
させる。そして、上記偏差が不感帯Zに入ったときにモ
ータ2を停止させる。これにより、バルブ1を目標位置
に制御することができる。
偏差より小さくなったとき、モータ2の速度を前述の位
置決め速度まで減少させる。このときも図4および図5
に示すように、バルブ1がP1 を目標位置として駆動
していれば、目標位置P1 の位置決め速度V3 まで
減速させ、バルブ1がP2 を目標位置として駆動して
いれば、目標位置P2 の位置決め速度V4 まで減速
させる。そして、上記偏差が不感帯Zに入ったときにモ
ータ2を停止させる。これにより、バルブ1を目標位置
に制御することができる。
【0016】ここで、上記モータ停止モードのときモー
タ制御手段5は、モータ減速モード時においてモータ2
が完全に位置決め速度まで減速したかどうかを位置検出
手段4からの信号データから判断し、減速が完全でなけ
れば位置決め開始偏差を拡大する。その際、目標位置P
1 の位置決め開始偏差D1 を用いたときは、その目
標位置P1 の偏差D1 を拡大し、目標位置P2 の
位置決め開始偏差D2 を用いたときは、その目標位置
P2 の偏差を拡大する。また、モータ2を停止させた
のち、目標位置に変化がなく、かつ、不感帯Zに入らな
かった場合(モータ停止モードからモータ減速モードへ
移行した場合、あるいはモータ停止モードからモータ通
常回転モードへ移行した場合)は、位置決め速度を減少
させる。その際、同様に目標位置P1 の位置決め速度
V3 に制御した時は、その速度V3 を減少させ、目
標位置P2 の位置決め速度V4 に制御した時はその
速度V4 を減少させる。
タ制御手段5は、モータ減速モード時においてモータ2
が完全に位置決め速度まで減速したかどうかを位置検出
手段4からの信号データから判断し、減速が完全でなけ
れば位置決め開始偏差を拡大する。その際、目標位置P
1 の位置決め開始偏差D1 を用いたときは、その目
標位置P1 の偏差D1 を拡大し、目標位置P2 の
位置決め開始偏差D2 を用いたときは、その目標位置
P2 の偏差を拡大する。また、モータ2を停止させた
のち、目標位置に変化がなく、かつ、不感帯Zに入らな
かった場合(モータ停止モードからモータ減速モードへ
移行した場合、あるいはモータ停止モードからモータ通
常回転モードへ移行した場合)は、位置決め速度を減少
させる。その際、同様に目標位置P1 の位置決め速度
V3 に制御した時は、その速度V3 を減少させ、目
標位置P2 の位置決め速度V4 に制御した時はその
速度V4 を減少させる。
【0017】以上の動作は、バルブ1の目標位置が変化
するごとに繰り返されるが、その際、上述の偏差である
位置決め開始偏差および位置決め速度の制御データは順
次変更され、モータ2の負荷変動に応じた最適なデータ
に近づく。このため、円滑で安定した位置決め制御を行
うことができる。しかも、図1に示したような比較的簡
単な構成によって実現される。
するごとに繰り返されるが、その際、上述の偏差である
位置決め開始偏差および位置決め速度の制御データは順
次変更され、モータ2の負荷変動に応じた最適なデータ
に近づく。このため、円滑で安定した位置決め制御を行
うことができる。しかも、図1に示したような比較的簡
単な構成によって実現される。
【0018】つぎに、この発明の他の実施例を説明する
。なお、基本的構成は、第1の実施例と同一であるので
付加された部分のみに限り詳述する。すなわち、図6〜
図9に示すようにこの実施例は位置決め速度に減速する
前の通常速度が異なる度毎に位置決め開始偏差と位置決
め速度を変える変更手段を設けたことを特徴とするもの
である。
。なお、基本的構成は、第1の実施例と同一であるので
付加された部分のみに限り詳述する。すなわち、図6〜
図9に示すようにこの実施例は位置決め速度に減速する
前の通常速度が異なる度毎に位置決め開始偏差と位置決
め速度を変える変更手段を設けたことを特徴とするもの
である。
【0019】前述の実施例と同様に、演算検出手段9に
よって目標位置と現在位置の偏差を演算し、この偏差が
位置決め開始偏差より大きい場合ユーザ所望の通常速度
でモータを回転させる。しかし、このとき、通常速度が
V3 の場合は、位置決め開始偏差D3 、そして、V
5 の場合は、位置決め開始偏差D4 を用いて演算を
行う。つまり、通常速度が異なる毎に位置決め開始偏差
も異なるデータを用いる。そして、偏差が減速開始偏差
より小さくなった場合、速度を位置決め速度へ減速する
。
よって目標位置と現在位置の偏差を演算し、この偏差が
位置決め開始偏差より大きい場合ユーザ所望の通常速度
でモータを回転させる。しかし、このとき、通常速度が
V3 の場合は、位置決め開始偏差D3 、そして、V
5 の場合は、位置決め開始偏差D4 を用いて演算を
行う。つまり、通常速度が異なる毎に位置決め開始偏差
も異なるデータを用いる。そして、偏差が減速開始偏差
より小さくなった場合、速度を位置決め速度へ減速する
。
【0020】このとき、通常速度V3 の場合は、位置
決め開始偏差D3 、位置決め速度V4を用い、通常速
度がV5 の場合は、位置決め開始偏差D4 、位置決
め速度V6 を用いて演算制御を行う。つまり通常速度
が異なる毎に、位置決め開始偏差および位置決め速度も
異なるデータを用いる(以下、このモードを単に「モー
タ減速モード」という)。
決め開始偏差D3 、位置決め速度V4を用い、通常速
度がV5 の場合は、位置決め開始偏差D4 、位置決
め速度V6 を用いて演算制御を行う。つまり通常速度
が異なる毎に、位置決め開始偏差および位置決め速度も
異なるデータを用いる(以下、このモードを単に「モー
タ減速モード」という)。
【0021】偏差が不感帯Zに入ったらモータ2を停止
させる(以下、このモードを単に「モータ停止モード」
という)。この際、モータ減速モードにおいて、モータ
2が完全に位置決め速度へ減少したかどうかを位置検出
手段からのモータ減速モード時のデータからモータ制御
手段5によって判断し、減速が完全でなければ位置決め
開始偏差を拡大する。このとき、減速に際し、位置決め
開始偏差D3 を用いたならD3 の値を大きくし、D
4 を用いたならD4 の値を大きくする。
させる(以下、このモードを単に「モータ停止モード」
という)。この際、モータ減速モードにおいて、モータ
2が完全に位置決め速度へ減少したかどうかを位置検出
手段からのモータ減速モード時のデータからモータ制御
手段5によって判断し、減速が完全でなければ位置決め
開始偏差を拡大する。このとき、減速に際し、位置決め
開始偏差D3 を用いたならD3 の値を大きくし、D
4 を用いたならD4 の値を大きくする。
【0022】モータ2を停止させた後、目標位置に変化
がなく、かつ、不感帯に入らなかった場合(モータ停止
モード→通常モード,モータ停止モード→モータ減速モ
ードへ移行した場合)位置決め速度を減少させる。
がなく、かつ、不感帯に入らなかった場合(モータ停止
モード→通常モード,モータ停止モード→モータ減速モ
ードへ移行した場合)位置決め速度を減少させる。
【0023】このとき、位置決めに際し、位置決め速度
V4 を用いたならV4 の値を小さくし、V6 を用
いたならV6 の値を小さくする。
V4 を用いたならV4 の値を小さくし、V6 を用
いたならV6 の値を小さくする。
【0024】したがって、通常速度が変化する度毎に位
置決め開始偏差と位置決め速度はバルブ1の位置検出手
段4およびモータ制御手段5によって演算変更され、モ
ータ駆動手段6を介してモータ2を回転制御でき、これ
によって、負荷の変動に対応した最適なデータに近づき
、安定した位置決めを行うことができる。
置決め開始偏差と位置決め速度はバルブ1の位置検出手
段4およびモータ制御手段5によって演算変更され、モ
ータ駆動手段6を介してモータ2を回転制御でき、これ
によって、負荷の変動に対応した最適なデータに近づき
、安定した位置決めを行うことができる。
【0025】
【発明の効果】この発明によれば、バルブの目標位置変
化等の違いによる負荷の変化、その他の原因による負荷
変動が生じても、位置決め速度と位置決め用の減速開始
偏差を順次変更させることにより、安定したバルブの位
置決めが可能となる。
化等の違いによる負荷の変化、その他の原因による負荷
変動が生じても、位置決め速度と位置決め用の減速開始
偏差を順次変更させることにより、安定したバルブの位
置決めが可能となる。
【図1】 この発明の一実施例を示す全体のブロック
ダイヤグラム
ダイヤグラム
【図2】 図1のバルブ位置と速度と指令値との関係
図
図
【図3】 図2のバルブ位置と速度指令値を異にし
た場合の関係図
た場合の関係図
【図4】 図2のバルブ位置とモータ速度との関係図
【図5】 図3のバルブ位置とモータ速度との関係図
【図6】 この発明の他の実施例にかかるバルブ位置
と速度指令値との関係図
と速度指令値との関係図
【図7】 図6のバルブ位置とモータ速度との関係図
【図8】 図6と異なる通常速度の場合のバルブ位置
と速度指令値との関係図
と速度指令値との関係図
【図9】 図8のバルブ位置とモータ速度との関係図
【図10】 従来例を示すバルブ位置と速度指令値と
の関係図
の関係図
【図11】 図10のバルブ位置とモータ速度との関
係図
係図
1 バルブ
2 モータ
4 位置検出手段
5 モータ制御手段
6 モータ駆動手段
7 偏差検出手段
8 変更手段
9 演算検出手段
Claims (2)
- 【請求項1】 モータにより駆動されるバルブの位置
決め制御装置において、バルブの現在位置と制御すべき
目標位置との偏差を検出する偏差検出手段と、この偏差
検出手段で演算される偏差が所定の位置決め開始偏差以
下になった時に初期の通常速度よりモータを減速して所
定の位置決め速度で駆動し、上記偏差が目標位置の不感
帯に入った時にモータを停止するモータ駆動手段と、こ
の不感帯に入るまでにモータの速度が上記位置決め速度
まで減速しない場合に、上記位置決め開始偏差を拡大し
、モータを停止した後上記不感帯から外れ且つ目標位置
に変化がない場合に、上記位置決め速度を減少させる変
更手段とを備え、バルブの目標位置に応じて上記位置決
め偏差及び位置決め速度を変えるようにしたことを特徴
とする電動バルブの位置決め制御装置。 - 【請求項2】 第1項の電動バルブの位置決め制御装
置に加え、位置決め速度に減速する前の通常速度が異な
る度毎に位置決め開始偏差と位置決め速度を変える変更
手段を設けたことを特徴とする電動バルブの位置決め制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6043991A JPH04295908A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 電動バルブの位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6043991A JPH04295908A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 電動バルブの位置決め制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295908A true JPH04295908A (ja) | 1992-10-20 |
Family
ID=13142310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6043991A Pending JPH04295908A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 電動バルブの位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04295908A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH074549A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Toa Valve Kk | 電動弁の自己診断装置 |
| KR20210124449A (ko) * | 2019-03-20 | 2021-10-14 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 제어 방법 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP6043991A patent/JPH04295908A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH074549A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Toa Valve Kk | 電動弁の自己診断装置 |
| KR20210124449A (ko) * | 2019-03-20 | 2021-10-14 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 제어 방법 |
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