JPH0430033U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0430033U JPH0430033U JP7155390U JP7155390U JPH0430033U JP H0430033 U JPH0430033 U JP H0430033U JP 7155390 U JP7155390 U JP 7155390U JP 7155390 U JP7155390 U JP 7155390U JP H0430033 U JPH0430033 U JP H0430033U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- vacuum
- processing apparatus
- changing
- utility
- Prior art date
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- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の真空処理装置の
スローリーク装置部の縦断面図である。 １……オリフイス、２……ケース、３……ベロ
ーフランジ、４……バネ、５……バルブ、６……
真空容器、７……フイルター、８……スリツト。
スローリーク装置部の縦断面図である。 １……オリフイス、２……ケース、３……ベロ
ーフランジ、４……バネ、５……バルブ、６……
真空容器、７……フイルター、８……スリツト。
Claims (1)
- 真空容器内外の圧力差に応じて前記真空容器へ
のリーク気体導入部の開口面積を変化させる手段
を備えた真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155390U JPH0430033U (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155390U JPH0430033U (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430033U true JPH0430033U (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=31608690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7155390U Pending JPH0430033U (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430033U (ja) |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP7155390U patent/JPH0430033U/ja active Pending