JPH04305137A - 圧力調整器のガス出流れ現象防止装置 - Google Patents

圧力調整器のガス出流れ現象防止装置

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力調整器のガス出流れ
現象防止装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例えば半導体製造に際して用いられ
るドーピングガスとしてはジボランガス（Ｂ２　Ｈ６　
）又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガス等と
の混合ガスが用いられており、これらガスは通常図２に
示すようにボンベ１内に例えば純ジボランガスは約３０
バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガスは１００
バールの高圧で貯えられており、供給場所において圧力
調整器（レギュレーター）２によって数バールに減圧さ
れて使用されている。
【０００３】従来このようなガスを用いた場合圧力調整
器が動作不能となる所謂出流れ現象が生ずることが知ら
れている。然しながらジボランガス等は極めて有毒であ
り、出流れ現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるお
それがあった。このような危険を防ぐためには特開平１
−２３８８００号に示す圧力調整器のガス出流れ現象防
止方法及び装置が提案されている。この装置では図３に
示すようにガスボンベ１と圧力調整器２間を連結するガ
ス配管３をこのガス配管３の周りに設けた加熱機構４に
よって加熱できるようにすると共に、この加熱機構４を
自動制御機構５によって制御し圧力調整器２のガス入口
６における供給ガスの温度が出口７のガス温度より圧力
調整器２内におけるガスの断熱自由膨張による温度低下
分だけ少なくとも高くなるようガス配管３に熱量を与え
、この結果ガスボンベ１よりの供給ガスの温度と圧力調
整器２のガス出口７におけるガスの温度を略等しくなる
ようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながらこのような
従来の装置では加熱機構４による温度制御が困難である
と共に、ガス配管３がドーピングガスによって腐蝕して
ピンホールが発生しガス漏れが生じてもその検知が困難
であった。
【０００５】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の圧力調整器のガ
ス出流れ現象防止装置は高圧ガス供給源と減圧用圧力調
整器間のガス配管を内，外２重管とし、所定長さ毎に間
隔維持具を内，外２重管間に挿入し、内管に高圧ガス供
給源からの高圧ガスを流し、外管に加熱不活性ガスを流
し、上記圧力調整器に入る高圧ガスを圧力調整器内での
ガスの自由膨張による温度低下を補償せしめるようにす
ると共に、上記外管から出た不活性ガス中に上記高圧ガ
スが漏れているか否か検知するようにしたことを特徴と
する。
【０００７】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明する
。
【０００８】本発明においては図１に示すようにガス配
管３を内管３ａと外管３ｂとより成る２重管とし、内管
３ａにガスボンベ１よりのガスを流すと共に、外管３ｂ
の一端より他端に向かって加熱不活性ガス、例えば窒素
ガスを流し、上記内管３ａを所定温度に加熱せしめると
共に、上記外管３ｂの他端より流出した窒素ガスを検知
器（図示せず）に通し、上記窒素ガス内にドーピングガ
スが混入されているかを検知せしめるようにする。尚８
は内管３ａと外管３ｂ間を介挿した間隔維持具である。 間隔維持具の材質は断熱性及び剛性がありかつ熱に強い
ものが選ばれる。
【０００９】
【発明の効果】本発明の圧力調整器のガス出流れ現象防
止装置は上記のような構成であるから外管３ｂ内に流す
窒素ガスの加熱温度は従来公知の手段によって極めて容
易に任意の値とすることができ、従って内管３ａ内を流
れる供給ガスの温度を正確に制御して出流れ現象を阻止
できると共に、内管３ａからのドーピングガスの漏れを
上記不活性ガスを検知することによって容易に検知でき
、危険を未然に防止できる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の説明図である。
【図２】従来装置の説明図である。
【図３】従来の他の装置の説明図である。
【符号の説明】
１　　ガスボンベ ２　　圧力調整器 ３　　ガス配管 ３ａ　　内管 ３ｂ　　外管 ４　　加熱機構 ５　　自動制御機構 ６　　ガス入口 ７　　ガス出口

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　高圧ガス供給源と減圧用圧力調整器間
    のガス配管を内，外２重管とし、所定長さ毎に間隔維持
    具を内，外２重管間に挿入し、内管に高圧ガス供給源か
    らの高圧ガスを流し、外管に加熱不活性ガスを流し、上
    記圧力調整器に入る高圧ガスを圧力調整器内でのガスの
    自由膨張による温度低下を補償せしめるようにすると共
    に、上記外管から出た不活性ガス中に上記高圧ガスが漏
    れているか否か検知するようにしたことを特徴とする圧
    力調整器のガス出流れ現象防止装置。
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