JPH0430560Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0430560Y2 JPH0430560Y2 JP1983148729U JP14872983U JPH0430560Y2 JP H0430560 Y2 JPH0430560 Y2 JP H0430560Y2 JP 1983148729 U JP1983148729 U JP 1983148729U JP 14872983 U JP14872983 U JP 14872983U JP H0430560 Y2 JPH0430560 Y2 JP H0430560Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pouch
- target
- ray
- sample
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 技術の利用分野
本考案は、Ｘ線光電子分析装置に適したＸ線発
生装置に関する。
生装置に関する。
ロ 従来技術
Ｘ線光電子分析装置は、第５図に示したように
排気装置に管路Ｆにより接続されたＸ線発生装置
Ｇの照射口に嵌入されているポーチＥに試料Ｓを
収容して軟Ｘ線を照射し、このとき試料Ｓからの
光電子をポーチＥにより電子分析器Ｈに導いて、
光電子のエネルギを測定するように構成されてい
る。
排気装置に管路Ｆにより接続されたＸ線発生装置
Ｇの照射口に嵌入されているポーチＥに試料Ｓを
収容して軟Ｘ線を照射し、このとき試料Ｓからの
光電子をポーチＥにより電子分析器Ｈに導いて、
光電子のエネルギを測定するように構成されてい
る。
このような分析に使用されるＸ線発生装置は、
試料の交換の度に吸気、排気が繰り返されるた
め、陽極をなすターゲツトの表面に塵埃等が付着
するという問題がある。
試料の交換の度に吸気、排気が繰り返されるた
め、陽極をなすターゲツトの表面に塵埃等が付着
するという問題がある。
このような問題を解消するために、Ｘ線発生装
置は、第４図に示したようにターゲツトＡ、ウエ
ーネツトＢ、フイラメントＣを半リング状に形成
し、これらをポーチＥを挟むように進退可能に対
向配設して構成されている。このような構造によ
れば半リング状に形成されているターゲツトＡ、
ウエーネツトＢ、フイラメントＣを径方向に引出
すことによりターゲツトＡを露出させることが可
能となるが、分解可能ならしめるために構造が複
雑化するという不都合がある。
置は、第４図に示したようにターゲツトＡ、ウエ
ーネツトＢ、フイラメントＣを半リング状に形成
し、これらをポーチＥを挟むように進退可能に対
向配設して構成されている。このような構造によ
れば半リング状に形成されているターゲツトＡ、
ウエーネツトＢ、フイラメントＣを径方向に引出
すことによりターゲツトＡを露出させることが可
能となるが、分解可能ならしめるために構造が複
雑化するという不都合がある。
ハ 目的
本考案はこのような問題に鑑みてなされたもの
であつて、その目的とするところは分解作業を必
要とすることなくターゲツトをポーチから引出す
ことができる新規なＸ線光電子分析用Ｘ線発生装
置を提供することである。」 ニ 考案の構成 すなわち本考案が特徴とするところは、ターゲ
ツト、ウエーネツト、及びフイラメントをリング
状に形成してＸ線発生装置を構成し、ターゲツト
からの軟Ｘ線をポーチの照射窓から試料台の試料
に照射し、光電子を前記ポーチを介して電子分析
手段に導くＸ線光電子分析装置において、ポーチ
を、電子分析手段に接続する側と試料台側との２
つの部材に分割するとともに、電子分析手段側の
部材の端面がＸ線発生装置の面よりも外側に位置
するように配置して、ポーチを構成している試料
台側の部材を軸線方向に移動させることによりＸ
線発生装置を分解することなく引出し可能とし
た。
であつて、その目的とするところは分解作業を必
要とすることなくターゲツトをポーチから引出す
ことができる新規なＸ線光電子分析用Ｘ線発生装
置を提供することである。」 ニ 考案の構成 すなわち本考案が特徴とするところは、ターゲ
ツト、ウエーネツト、及びフイラメントをリング
状に形成してＸ線発生装置を構成し、ターゲツト
からの軟Ｘ線をポーチの照射窓から試料台の試料
に照射し、光電子を前記ポーチを介して電子分析
手段に導くＸ線光電子分析装置において、ポーチ
を、電子分析手段に接続する側と試料台側との２
つの部材に分割するとともに、電子分析手段側の
部材の端面がＸ線発生装置の面よりも外側に位置
するように配置して、ポーチを構成している試料
台側の部材を軸線方向に移動させることによりＸ
線発生装置を分解することなく引出し可能とし
た。
ホ 実施例
そこで、以下に本考案の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
第１図は、本考案の一実施例を示す装置の斜視
図であつて、図中符号１は、リング状に形成され
たＸ線発生部で、中心線上にポーチ２が配設され
ている。このＸ線発生部は、第２図に示したよう
に内部に円環状に水管３を埋め込んだリング状の
基台４の内周面にアルミニユウム又は、マグネシ
ユウム等の金属をリング状に形成したターゲツト
５を固着し、ターゲツト５の下方にリング状に形
成したウエーネツト６を支持部材７により基台４
に一体的に取付け、内部に熱電子発生用のフイラ
メント８を配設して構成されている。第３図は、
ポーチ２の一実施例を示すもので電子線エネルギ
アナライザに接続する上部２ａと、下部２ｂとか
らなり、上部２ａの下端が基台４の上面より上方
に位置するように配設され、また下部２ｂは、金
メツシユにより形成した補強部材２ｃの外周にア
ルミ箔を巻いてＸ線照射窓２ｄが形成され、外部
からの操作により上部２ａ側に進退可能に取付け
て構成されている。
図であつて、図中符号１は、リング状に形成され
たＸ線発生部で、中心線上にポーチ２が配設され
ている。このＸ線発生部は、第２図に示したよう
に内部に円環状に水管３を埋め込んだリング状の
基台４の内周面にアルミニユウム又は、マグネシ
ユウム等の金属をリング状に形成したターゲツト
５を固着し、ターゲツト５の下方にリング状に形
成したウエーネツト６を支持部材７により基台４
に一体的に取付け、内部に熱電子発生用のフイラ
メント８を配設して構成されている。第３図は、
ポーチ２の一実施例を示すもので電子線エネルギ
アナライザに接続する上部２ａと、下部２ｂとか
らなり、上部２ａの下端が基台４の上面より上方
に位置するように配設され、また下部２ｂは、金
メツシユにより形成した補強部材２ｃの外周にア
ルミ箔を巻いてＸ線照射窓２ｄが形成され、外部
からの操作により上部２ａ側に進退可能に取付け
て構成されている。
この実施例において、ポーチの下部２ｂを上方
に押上げて上部２ａと一体化し、試料を照射窓２
ｄにセツトし、同時に水管３に冷却水を通し、排
気を行なう。排気が完了した時点で、フイラメン
ト８に通電し、同時にターゲツト５とフイラメン
ト８の間に加速電圧を印加すると、リング状のタ
ーゲツト５から軟Ｘ線が発生して試料を照射し、
試料の正面から光電子が放出される。この光電子
はポーチ２内を通つて図示されないエネルギアナ
ライザに入射し、試料の性状が分析される。この
ようにして、長時間の分析を行なつた後、メンテ
ナンスを行う際には、ポーチ２の下部２ｂを、そ
の上端が支持部材７の面よりも下方となる位置ま
で引き下げると、リング状のＸ線発生部１内に障
害物が存在しなくなるので、Ｘ線発生部１を径方
向に引き出すことができて、保守、点検を簡単に
行なうことができる。
に押上げて上部２ａと一体化し、試料を照射窓２
ｄにセツトし、同時に水管３に冷却水を通し、排
気を行なう。排気が完了した時点で、フイラメン
ト８に通電し、同時にターゲツト５とフイラメン
ト８の間に加速電圧を印加すると、リング状のタ
ーゲツト５から軟Ｘ線が発生して試料を照射し、
試料の正面から光電子が放出される。この光電子
はポーチ２内を通つて図示されないエネルギアナ
ライザに入射し、試料の性状が分析される。この
ようにして、長時間の分析を行なつた後、メンテ
ナンスを行う際には、ポーチ２の下部２ｂを、そ
の上端が支持部材７の面よりも下方となる位置ま
で引き下げると、リング状のＸ線発生部１内に障
害物が存在しなくなるので、Ｘ線発生部１を径方
向に引き出すことができて、保守、点検を簡単に
行なうことができる。
（効果）
ターゲツト、ウエーネツト、及びフイラメント
をリング状に形成してＸ線発生装置を構成し、前
記ターゲツトからの軟Ｘ線をポーチの照射窓から
試料台の試料に照射し、光電子を前記ポーチを介
して電子分析手段に導くＸ線光電子分析装置にお
いて、ポーチを、電子分析手段に接続する側と試
料台側との２つの部材に分割するとともに、電子
分析手段側の部材の端面が前記Ｘ線発生装置の面
よりも外側に位置するように配置したので、ポー
チを構成している試料台側の部材を軸線方向に移
動させることによりＸ線発生装置からポーチを退
避させることができ、Ｘ線発生装置を分解するこ
となく引出すことができる。
をリング状に形成してＸ線発生装置を構成し、前
記ターゲツトからの軟Ｘ線をポーチの照射窓から
試料台の試料に照射し、光電子を前記ポーチを介
して電子分析手段に導くＸ線光電子分析装置にお
いて、ポーチを、電子分析手段に接続する側と試
料台側との２つの部材に分割するとともに、電子
分析手段側の部材の端面が前記Ｘ線発生装置の面
よりも外側に位置するように配置したので、ポー
チを構成している試料台側の部材を軸線方向に移
動させることによりＸ線発生装置からポーチを退
避させることができ、Ｘ線発生装置を分解するこ
となく引出すことができる。
第１図は、本考案の一実施例を示す装置の斜視
図、第２図は、第１図Ａ−Ａ線における断面斜視
図、第３図は、同上装置におけるポーチの一実施
例を示す斜視断面図、第４図は、従来のＸ線発生
装置の一例を示す図、及び第５図はＸ線電子分光
分析装置の一例を示す図である。 １……Ｘ線発生部、２……ポーチ、４……基
台、５……ターゲツト。
図、第２図は、第１図Ａ−Ａ線における断面斜視
図、第３図は、同上装置におけるポーチの一実施
例を示す斜視断面図、第４図は、従来のＸ線発生
装置の一例を示す図、及び第５図はＸ線電子分光
分析装置の一例を示す図である。 １……Ｘ線発生部、２……ポーチ、４……基
台、５……ターゲツト。
Claims (1)
- ターゲツト、ウエーネツト、及びフイラメント
をリング状に形成してＸ線発生装置を構成し、タ
ーゲツトからの軟Ｘ線をポーチの照射窓から試料
台の試料に照射し、光電子を前記ポーチを介して
電子分析手段に導くＸ線光電子分析装置におい
て、前記ポーチを、電子分析手段に接続する側と
試料台側との２つの部材に分割するとともに、電
子分析手段側の部材の端面が前記Ｘ線発生装置の
面よりも外側に位置するように配置してなるＸ線
光電子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14872983U JPS6057045U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14872983U JPS6057045U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057045U JPS6057045U (ja) | 1985-04-20 |
| JPH0430560Y2 true JPH0430560Y2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=30330354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14872983U Granted JPS6057045U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057045U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4987321B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-07-25 | 株式会社東芝 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5275602A (en) * | 1975-12-19 | 1977-06-24 | Hitachi Zosen Corp | Waste gas-circulating type positive pressure sintering process |
| JPS56108838A (en) * | 1980-01-30 | 1981-08-28 | Kobe Steel Ltd | Method and apparatus for recovering waste heat in furnace using traveling grate |
| JPS5714101A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-25 | Sumitomo Heavy Industries | Waste heat recovery apparatus for sintering equipment |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP14872983U patent/JPS6057045U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6057045U (ja) | 1985-04-20 |
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