JPH0429440Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0429440Y2 JPH0429440Y2 JP14872883U JP14872883U JPH0429440Y2 JP H0429440 Y2 JPH0429440 Y2 JP H0429440Y2 JP 14872883 U JP14872883 U JP 14872883U JP 14872883 U JP14872883 U JP 14872883U JP H0429440 Y2 JPH0429440 Y2 JP H0429440Y2
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- Japan
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- Expired
Links
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
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- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 技術の利用分野
本考案は、Ｘ線光電子分析装置に適したＸ線発
生装置に関する。
生装置に関する。
ロ 従来技術
Ｘ線光電子分析は、試料の表面に軟Ｘ線を照射
したときに発生する光電子のエネルギを測定して
試料表面の性状を分析するものである。
したときに発生する光電子のエネルギを測定して
試料表面の性状を分析するものである。
ところで、この種の分析に使用するＸ線源のタ
ーゲツトは、高い分解能を得ることができるマグ
ネシユムか、または高い検出感度を得ることがで
きるアルミニユームのいづれかにより作られてお
り、分析の目的に応じてそれぞれ使い分けること
が行なわれている。
ーゲツトは、高い分解能を得ることができるマグ
ネシユムか、または高い検出感度を得ることがで
きるアルミニユームのいづれかにより作られてお
り、分析の目的に応じてそれぞれ使い分けること
が行なわれている。
このため、異るＸ線により分析を行なう場合に
は、ターゲツトの交換や装置の排気が必要とな
り、分析作業が煩わしいという問題があつた。
は、ターゲツトの交換や装置の排気が必要とな
り、分析作業が煩わしいという問題があつた。
このような問題を解消するために複数種類の金
属でターゲツトを構成し、各ターゲツト毎にフイ
ラメントを配置した分析用Ｘ線発生装置も提案さ
れているが（化学総説 No.16 電子分光（日本化
学会編）第13、14頁）、ターゲツトが平板として
形成されているので、発生したＸ線が拡散して試
料の励起に供される有効分が少なく、分析感度の
低下を招くという問題を抱えている。
属でターゲツトを構成し、各ターゲツト毎にフイ
ラメントを配置した分析用Ｘ線発生装置も提案さ
れているが（化学総説 No.16 電子分光（日本化
学会編）第13、14頁）、ターゲツトが平板として
形成されているので、発生したＸ線が拡散して試
料の励起に供される有効分が少なく、分析感度の
低下を招くという問題を抱えている。
ハ 目的
本考案は、このような問題に鑑みてなされたも
のであつて、その目的とするところは簡単な操作
で異なる複数種のＸ線を切換えることが可能で、
しかも各ターゲツトで発生したＸ線を試料面に収
束させることができる新規な分析用Ｘ線発生装置
を提供することである。
のであつて、その目的とするところは簡単な操作
で異なる複数種のＸ線を切換えることが可能で、
しかも各ターゲツトで発生したＸ線を試料面に収
束させることができる新規な分析用Ｘ線発生装置
を提供することである。
ニ 考案の構成
すなわち、本考案が特徴とするところは、それ
ぞれ異なる金属により表面が曲面に形成された複
数のターゲツトを、リング状に形成された基台の
内面に固定するとともに、ターゲツト毎に対応さ
せて複数のフイラメントを独立させて設け、ター
ゲツトで発生したＸ線を試料面に収束させるよう
にした。
ぞれ異なる金属により表面が曲面に形成された複
数のターゲツトを、リング状に形成された基台の
内面に固定するとともに、ターゲツト毎に対応さ
せて複数のフイラメントを独立させて設け、ター
ゲツトで発生したＸ線を試料面に収束させるよう
にした。
ホ 実施例
そこで、以下に本考案の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
第１図は、本考案の一実施例を示す装置の斜視
図であつて、図中符号１は、リング状に形成され
たＸ線発生部で、中心線上にポーチ２が配設され
ている。このＸ線発生部１は、第２図に示したよ
うに内部に円環状に水管３を埋め込んだリング状
の基台４の内周面にそれぞれマグネシユム及びア
ルミニユウムにより形成した半リング状のターゲ
ツト５，６を固着し、これの下部にリング状に形
成したウエーネルト７を支持部材８により基台４
に取付け、内部にそれぞれのターゲツトと上下関
係となるように２本の熱電子発生用のフイラメン
ト９，１０が配設して構成されている。
図であつて、図中符号１は、リング状に形成され
たＸ線発生部で、中心線上にポーチ２が配設され
ている。このＸ線発生部１は、第２図に示したよ
うに内部に円環状に水管３を埋め込んだリング状
の基台４の内周面にそれぞれマグネシユム及びア
ルミニユウムにより形成した半リング状のターゲ
ツト５，６を固着し、これの下部にリング状に形
成したウエーネルト７を支持部材８により基台４
に取付け、内部にそれぞれのターゲツトと上下関
係となるように２本の熱電子発生用のフイラメン
ト９，１０が配設して構成されている。
第３図は、ポーチ２の一実施例を示すもので、
光電子エネルギアナライザに接続する上部２ａ
と、下部２ｂとからなり、上部２ａの下端が基台
４の上面より上方に位置するように配設され、ま
た下部２ｂは、金メツシユにより形成した補強部
材２ｃの外周にアルミ箔を巻いてＸ線照射窓２ｄ
が形成され、外部からの操作により上部２ａ側に
進退可能に取付けて構成されている。
光電子エネルギアナライザに接続する上部２ａ
と、下部２ｂとからなり、上部２ａの下端が基台
４の上面より上方に位置するように配設され、ま
た下部２ｂは、金メツシユにより形成した補強部
材２ｃの外周にアルミ箔を巻いてＸ線照射窓２ｄ
が形成され、外部からの操作により上部２ａ側に
進退可能に取付けて構成されている。
この実施例において、下部２ｂを上方に押し上
げて上部２ａと一体化し、試料を照射窓２ｄにセ
ツト、水管３に冷却水を通して排気を行なう。排
気が完了した時点で、一方のフイラメント、例え
ば、マグネシユウム側のフイラメント９に通電
し、ターゲツト５との間に加速電圧を印加する
と、Mg・Kα線が試料を照射して試料を高い分解
能で分析することができる。Mg・Kα線による分
析が終了した時点で、フイラメント９及びターゲ
ツト５への通電を停止し、代つて他方のフイラメ
ント１０に通電し、同時に加速電圧を印加する
と、アルミニユウムのターゲツト６からAl・Kα
線が試料を照射する。
げて上部２ａと一体化し、試料を照射窓２ｄにセ
ツト、水管３に冷却水を通して排気を行なう。排
気が完了した時点で、一方のフイラメント、例え
ば、マグネシユウム側のフイラメント９に通電
し、ターゲツト５との間に加速電圧を印加する
と、Mg・Kα線が試料を照射して試料を高い分解
能で分析することができる。Mg・Kα線による分
析が終了した時点で、フイラメント９及びターゲ
ツト５への通電を停止し、代つて他方のフイラメ
ント１０に通電し、同時に加速電圧を印加する
と、アルミニユウムのターゲツト６からAl・Kα
線が試料を照射する。
ところで、各ターゲツト５，６は、試料Ｓを取
り囲むようにリング状に配置され、しかも断面が
曲面として形成されているから、ターゲツト５，
６からのＸ線は試料面上に収束されて効率よく試
料Ｓを励起することになる。
り囲むようにリング状に配置され、しかも断面が
曲面として形成されているから、ターゲツト５，
６からのＸ線は試料面上に収束されて効率よく試
料Ｓを励起することになる。
なお、この実施例においては、ターゲツト及び
フイラメントを２分割としたが、３つ以上に分割
しても同様の作用を奏する。また、この実施例で
は、各ターゲツトを交互に使用する場合を例に採
つて説明したが、２つのターゲツトを同時に作動
させることにより、Mg・Kα線、及びAl・Kα線
を同時に試料に照射して分析を行なうことができ
ることは言うまでもない。
フイラメントを２分割としたが、３つ以上に分割
しても同様の作用を奏する。また、この実施例で
は、各ターゲツトを交互に使用する場合を例に採
つて説明したが、２つのターゲツトを同時に作動
させることにより、Mg・Kα線、及びAl・Kα線
を同時に試料に照射して分析を行なうことができ
ることは言うまでもない。
ヘ 効果
以上説明したように本考案においては、それぞ
れ異なる金属により表面が曲面に形成された複数
のターゲツトを、リング状に形成された基台の内
面に固定するとともに、ターゲツト毎に対応させ
て複数のフイラメントを独立させて設けたので、
フイラメントへの通電、及び加速電圧を切換える
だけで、ターゲツトからの複数種類のＸ線を収束
させて試料に照射することができ、分析感度の向
上を図ることができる。
れ異なる金属により表面が曲面に形成された複数
のターゲツトを、リング状に形成された基台の内
面に固定するとともに、ターゲツト毎に対応させ
て複数のフイラメントを独立させて設けたので、
フイラメントへの通電、及び加速電圧を切換える
だけで、ターゲツトからの複数種類のＸ線を収束
させて試料に照射することができ、分析感度の向
上を図ることができる。
第１図は、本考案の一実施例を示す装置の斜視
図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線における斜視断
面図、第３図は、同上装置のポーチの一実施例を
示す斜視断面図である。 １……Ｘ線発生部、２……ポーチ、５，６……
ターゲツト、９，１０……フイラメント。
図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線における斜視断
面図、第３図は、同上装置のポーチの一実施例を
示す斜視断面図である。 １……Ｘ線発生部、２……ポーチ、５，６……
ターゲツト、９，１０……フイラメント。
Claims (1)
- それぞれ異なる金属により表面が曲面に形成さ
れた複数のターゲツトを、リング状に形成された
基台の内面に固定するとともに、前記ターゲツト
毎に対応させて複数のフイラメントを独立させて
設けてなるＸ線光電子分析用Ｘ線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14872883U JPS6057046U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析用ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14872883U JPS6057046U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析用ｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057046U JPS6057046U (ja) | 1985-04-20 |
| JPH0429440Y2 true JPH0429440Y2 (ja) | 1992-07-16 |
Family
ID=30330352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14872883U Granted JPS6057046U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | Ｘ線光電子分析用ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057046U (ja) |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP14872883U patent/JPS6057046U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6057046U (ja) | 1985-04-20 |
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