JPH04307903A - 低損失磁性材料の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，低損失磁性材料に関し
，特に，低損失磁性粉末を噴霧焙焼法を用いて製造する
方法及び該粉末を用いた低損失磁性焼結材料の製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば，スイッチング電源用トランスコ
アとして用いられる低損失磁性材料としては，主成分と
して３０〜４０モル％のマンガン酸化物（ＭｎＯ），６
〜１５モル％の酸化亜鉛（ＺｎＯ），及び残部の酸化第
二鉄（Ｆｅ２Ｏ３　）の粉末が原料として使用されてい
る。

【０００３】この低損失磁性材料の製造方法の１つとし
て，マンガン酸化物，酸化亜鉛，酸化第二鉄の粉末原料
を秤量混合後，予備焼成，粉砕して酸化物磁性粉末を得
る方法がある。この酸化物磁性粉末は結合剤とのバイン
ダー混合，プレス成形，焼成を経て完成品を得ている。 ところで，スイッチング用電源におけるスイッチング周
波数としては，２５〜１００ｋＨｚ程度が用いられてい
るが，近年はトランスの軽量化，小型化のために５００
ｋＨｚ以上の周波数で使用されるようになってきている
。

【０００４】このようなスイッチング電源用トランスの
スイッチング周波数を高くして使用するトランス用の材
料としては，組成が均一であること，組織が均一な微細
粒子からなること，さらに密度も高いことが要求される
。

【０００５】また，一方の要求は，トランス用磁性材料
が安価であることである。上記の酸化物磁性材料粉末を
焼成するに際して，組成の均一化，緻密化を促進すると
，粒成長が起こり結晶粒の微細化が難しいため，その前
段階において，予備焼成を充分に行って組成の均一化を
はかり，かつ粉砕工程において，長時間微粉砕を行うこ
とにより，後工程の焼結工程における焼結性を高めると
いう非常に手間のかかる方法がとられ，高コストの要因
ともなっていた。

【０００６】また，スイッチング周波数を高くしてトラ
ンスの小型軽量化を図っても，その反面で，トランスコ
アの鉄損も大きくなる傾向にある。即ち，コアのヒステ
リシス損失や渦電流による発熱が問題となってきている
。このコアのヒステリシス損失や渦電流損失防止のため
，焼成前にＳｉＯ２　，ＣａＯの添加混合を行うが，こ
れらの添加物も均一に混合させる必要があるため，高価
な微粒原料を使用するとか，長時間の混合等がなされて
いる。

【０００７】上記の酸化物磁性粉末を得るもう一つの方
法として噴霧焙焼法がある。噴霧焙焼法は，主成分相当
の割合でマンガン，亜鉛，及び鉄の塩化物を含む塩化物
混合水溶液を調整し，焙焼炉中において調整した塩化物
混合水溶液を噴霧液滴の流れと高温の熱媒体のガスの流
れが対向流になるようにして噴霧焙焼し，この焙焼反応
により生成した酸化物粉体の流れを熱媒体となるガスの
流れと反対方向になるようにして粉体の回収部まで導き
，酸化物粉体を熱媒体のガスより分離回収する方法であ
る。この噴霧焙焼法により得られる酸化物粉体は微粒で
あり，粉砕工程を行う必要がないことから製造工程を簡
略化できるという利点を有する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，この噴
霧焙焼法により得られる酸化物磁性粉末は，目的組成に
合致させるのが難しく，主成分の酸化物粉体を添加して
調整することが必要である。この場合，組成の均一性を
確保するためには，高価な微粒原料等を使用するとか，
長時間の混合が必要であるという問題を伴う。

【０００９】その上，得られた粉末にヒステリシス損失
や渦電流損失を防止するために副成分としてＳｉＯ２　
，ＣａＯを添加混合しなければならないので，これら副
成分としても高価な微粒原料を用い，しかも長時間の混
合が必要であるとの問題もある。

【００１０】そこで，本発明の技術的課題は，例えば，
スイッチング用電源トランスに適した低コストでしかも
鉄損が少なく，高周波で使用される低損失磁性材料を簡
単に製造する方法を提供することにある。

【００１１】更に，本発明の技術課題は，組成が均一で
あり，組織が均一な微細結晶粒子からなる低損失酸化物
磁性粉末を噴霧焙焼法を用いて製造する改善された方法
と，この粉末を用いた低損失磁性焼結材料を製造する方
法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば，主成分
として３０〜４０モル％の一酸化マンガン（ＭｎＯ），
６〜１５モル％の酸化亜鉛（ＺｎＯ），及び残部が実質
的に酸化第二鉄（Ｆｅ２　Ｏ３　）を含み，副成分とし
て３．０重量％以下の酸化ジルコニウム，０．０２〜０
．３重量％の酸化カルシウム，および０．００５％〜０
．１０重量％の二酸化ケイ素のうちの少なくとも一種を
含む低損失磁性粉末を製造する方法において，前記主成
分相当の割合でマンガン，亜鉛，及び鉄の塩化物を含み
，且つ前記副成分相当の割合で前記副成分の化合物を含
む塩化物混合水溶液を得る工程と，前記水溶液を噴霧液
滴の流れと高温の熱媒体のガスの流れが同じ方向になる
ようにして噴霧焙焼する工程と，前記噴霧焙焼工程にお
ける焙焼反応により生成した酸化物粉体の流れを前記ガ
スの流れと同じ方向になるようにして粉体の回収部まで
導く工程と，前記回収部において前記酸化物粉体を前記
ガスより分離回収する工程とにより製造されることを特
徴とする低損失磁性粉末の製造方法が得られる。

【００１３】本発明によれば，主成分として３０〜４０
モル％の一酸化マンガン（ＭｎＯ），６〜１５モル％の
酸化亜鉛（ＺｎＯ），及び残部が実質的に酸化第二鉄（
Ｆｅ２　Ｏ３　）を含み，副成分として３．０重量％以
下の酸化ジルコニウム，０．０２〜０．３重量％の酸化
カルシウム，および０．００５％〜０．１０重量％の二
酸化ケイ素のうちの少なくとも一種を含む低損失磁性焼
結材料を製造する方法において，前記主成分相当の割合
でマンガン，亜鉛，及び鉄の塩化物を含み，且つ前記副
成分相当の割合で前記副成分の化合物を含む塩化物混合
水溶液を得る工程と，前記水溶液を噴霧液滴の流れと高
温の熱媒体のガスの流れが同じ方向になるようにして噴
霧焙焼する工程と，前記噴霧焙焼工程における焙焼反応
により生成した酸化物粉体の流れを前記ガスの流れと同
じ方向になるようにして粉体の回収部まで導く工程と，
前記回収部において前記酸化物粉体を前記ガスより分離
回収する工程と，前記分離回収された酸化物粉体にバイ
ンダーを混合して混合物を得る工程と，前記混合物から
プレス成形して成形体を得る工程と，前記成形体を焼成
して焼結体を得る工程とを含むこと特徴とする低損失磁
性焼結材料の製造方法が得られる。

【００１４】本発明によれば，主成分として３０〜４０
モル％の一酸化マンガン（ＭｎＯ），６〜１５モル％の
酸化亜鉛（ＺｎＯ），及び残部が実質的に酸化第二鉄（
Ｆｅ２　Ｏ３　）を含み，副成分として３．０重量％以
下の酸化ジルコニウム，０．０２〜０．３重量％の酸化
カルシウム，および０．００５％〜０．１０重量％の二
酸化ケイ素のうちの少なくとも一種を含む低損失磁性焼
結材料を製造する方法において，前記主成分相当の割合
でマンガン，亜鉛，及び鉄の塩化物を含み且つ前記副成
分相当割合以下（０を含む）で前記副成分の化合物を含
む塩化物混合水溶液を得る工程と，前記水溶液を噴霧液
滴の流れと高温の熱媒体のガスの流れが同じ方向になる
ようにして噴霧焙焼する工程と，前記噴霧焙焼工程にお
ける焙焼反応により生成した酸化物粉体の流れを前記ガ
スの流れと同じ方向になるようにして粉体の回収部まで
導く工程と，前記回収部において前記酸化物粉体を前記
ガスより分離回収する工程と，前記分離回収された酸化
物粉体をバインダー及び前記副成分となる添加物を混合
して混合物を得る工程と，前記混合物からプレス成形し
て成形体を得る工程と，前記成形体を焼成して焼結体を
得る工程とを含むこと特徴とする低損失磁性焼結材料の
製造方法が得られる。

【００１５】本発明による噴霧焙焼法により得られる酸
化物粉末は，各主成分が水溶液で混合されるため組成が
均一であり，さらに副成分のＺｒＯ２　，ＳｉＯ２　，
ＣａＯ等も均一に分散しており，しかも得られる粉体は
微粒であるので，焼結性も良好なため，焼成工程におい
て，組成の均一化，組織の結晶粒の微細化，緻密化の３
点を同時に達成することが可能である。

【００１６】また，磁気特性改善及び電力損失の低下に
効果のある副成分のＺｒＯ２　とＳｉＯ２　とＣａＯと
を主成分のフェライト生成後の工程で別に加えるよりも
，本発明のように，溶液で主成分の組成の調整時に，副
成分も同時に添加するほうが，製造工程を簡略化するば
かりでなく，特性の面でも良好な結果を与える。これは
，現在のところ次のように推察している。

【００１７】１）従来の酸化物磁性材料の製造方法では
，副成分としての添加物と主成分酸化物とを別々に混合
するため，高抵抗粒界を生成するのみであるが，噴霧焙
焼法によって作製された酸化物粉体はスピネル１００％
であるため焼成の過程で，スピネルが分解しＺｒが粒界
ばかりでなく，粒内に入り込み高抵抗な粒を形成する。 ２）主成分塩化物溶液にジルコニウムの化合物（塩化ジ
ルコニウム，酸化ジルコニウム等）を添加すれば，Ｚｒ
が均一に分散され比抵抗がさらに高くなる。 ３）Ｚｒの粒内に入り込む量が多くなると，電気伝導に
寄与するＦｅ２＋イオンが減少する。ＺｒＯ２　，Ｓｉ
Ｏ２　，及びＣａＯは副成分であるから，本発明におけ
る塩化物混合水溶液を得る工程においては，必ずしもＺ
ｒ，Ｓｉ，Ｃａの塩化物である必要はなく酸化物，水酸
化物，炭酸塩のいずれかの形で主成分の塩化物混合水溶
液に添加することが可能であり，さらに，塩化物，硫酸
塩，硝酸塩等であっても良い。この添加の際に，ＺｒＯ
２，ＳｉＯ２　，ＣａＯは，塩化物混合水溶液中に溶解
することが望ましい。しかし，ＳｉＯ２　源の場合は，
不溶性に近いものが多く，水溶液の噴霧等の設備上，ま
た分散上の均一性の面で制約されるが，コロイダル状の
ＳｉＯ２　の様に，微粒であれば完全に溶解している必
要はない。

【００１８】

【実施例】以下，本発明の実施例に係る低損失磁性材料
の製造方法について説明する。

【００１９】（実施例１）３４．５モル％のＭｎＯ，１
３．５モル％のＺｎＯ，残部は５２．０モル％のＦｅ２
　Ｏ３　の主成分を含む塩化物混合水溶液を作製し，こ
の水溶液を１０ｌ／時間の供給速度で約７５０℃に保持
された焙焼炉中に噴霧液滴の流れと熱媒体となる高温ガ
スの流れとが同一の方向になるようにして噴霧焙焼し，
焙焼反応により生成した酸化物粉体の流れが熱媒体の高
温ガスの流れと同じ方向になるようにして粉体の回収部
まで導き，酸化物粉体をバグフィルターによりガスから
分離回収した。得られた酸化物粉体に，バインダー及び
副成分として０．０２重量％のＺｒＯ２　の添加物を混
合し，プレス成形後，焼成した。得られた焼成体試料（
実施例１）の密度及び粒径を測定し，さらに磁気特性（
初透磁率μｉ，飽和磁束密度Ｂ１５［Ｇ］），及び電力
損失ＰＢ　［ＫＷ／ｍ３　］を，最大磁束密度Ｂｍ＝５
００Ｇ，周波数ｆ＝１ＭＨｚ，温度Ｔ＝６０℃の条件で
測定した。比較の為に，実施例１の主成分と同様な組成
の原料粉末を混合し，予備焼成，粉砕後，実施例１の副
成分相当の割合になるように，ＺｒＯ２　を混合し，バ
インダーを混合し，プレス成形，焼成した試料（比較例
１）を作成し，実施例１と同様な方法にて測定した。そ
の結果を図１及び表１に示した。尚，図１は実施例１に
係る試料をＢｍ＝５００Ｇ，周波数ｆ＝１ＭＨｚのとき
の電力損失ＰＢ　［ｋＷ／ｍ３　］と温度Ｔ［℃］の関
係を示している。表１および図１の特性より分かるよう
に，本発明では従来と比較して，工程を簡略化でき，し
かも従来と同等以上の特性を有する低損失酸化物磁性材
料が得られる。

【００２０】

【表１】

【００２１】（実施例２）３４．５モル％のＭｎＯ，１
３．５モル％のＺｎＯ，残部は５２．０モル％のＦｅ２
　Ｏ３　の主成分と，０．０２０重量％のＺｒＯ２　と
０．０１重量％のＳｉ−Ｏ２　及び０．０２０重量％の
ＣａＯの副成分組成となるように，マンガン，亜鉛，及
び鉄の塩化物と，ＳｉＯ２　及びＣａＯとを含む塩化物
混合水溶液を作製し，この水溶液を１０ｌ／時間の供給
速度で約７５０℃に保持された焙焼炉中に噴霧液滴の流
れと熱媒体となる高温ガスの流れとが同一の方向になる
ようにして噴霧焙焼し，焙焼反応により生成した酸化物
粉体の流れが熱媒体の高温ガスの流れと同じ方向になる
ようにして粉体の回収部まで導き，酸化物粉体をバグフ
ィルターによりガスから分離回収した。得られた酸化物
粉体に，バインダーのみを混合し，プレス成形後，焼成
した。得られた焼成体試料（実施例２）の密度及び粒径
を測定し，さらに磁気特性（初透磁率μｉ，飽和磁束密
度Ｂ１５［Ｇ］），及び電力損失ＰＢ　［ＫＷ／ｍ３　
］を，最大磁束密度Ｂｍ＝５００Ｇ，周波数ｆ＝１ＭＨ
ｚ，温度Ｔ＝６０℃の条件で測定した。比較の為に，実
施例２の主成分と同様な組成の原料粉末を混合し，予備
焼成，粉砕後，バインダーを混合し，プレス成形，焼成
した試料（比較例２）を作成し，実施例２と同様な方法
にて測定した。その結果を表２及び図２に示した。尚，
図２は実施例２に係る試料および比較例２に係る試料を
Ｂｍ＝５００Ｇ，ｆ＝１ＭＨｚの時の電力損失ＰＢ　［
ｋＷ／ｍ３　］と温度Ｔ［℃］との関係を示している。 　　表２および図２の特性より分かるように，本発明で
は，従来と比較して，工程を簡略化でき，しかも同等以
上の低損失酸化物磁性材料が得られている。

【００２２】

【表２】

【００２３】（実施例３）３４．５モル％のＭｎＯ，１
３．５モル％のＺｎＯ，残部は５２．０モル％のＦｅ２
　Ｏ３　の主成分と，０．０２０重量％のＺｒＯ２　の
副成分組成となるように，マンガン，亜鉛，及び鉄の塩
化物と，ＺｒＣｌ４　を含む塩化物混合水溶液を作製し
，この水溶液を１０ｌ／時間の供給速度で約７５０℃に
保持された焙焼炉中に噴霧液滴の流れと熱媒体となる高
温ガスの流れとが同一の方向になるようにして噴霧焙焼
し，焙焼反応により生成した酸化物粉体の流れが熱媒体
の高温ガスの流れと同じ方向になるようにして粉体の回
収部まで導き，酸化物粉体をバグフィルターによりガス
から分離回収した。得られた酸化物粉体に，バインダー
のみを混合し，プレス成形後，焼成した。得られた焼成
体試料（実施例３Ａ）の密度及び粒径を測定し，さらに
磁気特性（初透磁率μｉ，飽和磁束密度Ｂ１５［Ｇ］）
，及び電力損失ＰＢ　［ＫＷ／ｍ３　］を，最大磁束密
度Ｂｍ＝５００Ｇ，周波数ｆ＝１ＭｋＨｚ，温度Ｔ＝６
０℃の条件で測定した。一方，３４．５モル％のＭｎＯ
，１３．５モル％のＺｎＯ，残部は５２．０モル％のＦ
ｅ２　Ｏ３　の主成分と，０．０５重量％のＺｒＯ２　
，０．０１重量％のＳｉＯ２　，及び０．０２重量％の
ＣａＯの副成分組成となるように，マンガン，亜鉛，及
び鉄の塩化物と，ＺｒＣｌ４　，ＳｉＯ２　及びＣａＯ
とを含む塩化物混合溶液を作製し，実施例３Ａと同様に
して焼成体を作製し，磁気特性および電力損失ＰＢ　［
ＫＷ／ｍ３　］を実施例３Ａと同様に測定した（実施例
３Ｂ）。比較の為に，実施例３Ａ，３Ｂの主成分と同様
な組成の原料粉末を混合し，予備焼成，粉砕後，バイン
ダーを混合し，プレス成形，焼成した試料（比較例３）
を作成し，実施例１と同様な方法にて測定した。その結
果を表３及び図３に示す。尚，図３は実施例３Ａ，３Ｂ
に係る試料および比較例３に係る試料をＢｍ＝５００Ｇ
，ｆ＝１ＭＨｚのときの電力損失ＰＢ　［ｋＷ／ｍ３　
］と温度Ｔ［℃］との関係を示している。表３および図
３の特性から分かるように，本発明では，従来と比較し
て，工程を簡略化でき，しかも同等以上の低損失酸化物
磁性材料が得られる。

【００２４】

【表３】

【００２５】（実施例４）３４．５モル％のＭｎＯ，１
３．５モル％のＺｎＯ，残部は５２．０モル％のＦｅ２
　Ｏ３　の主成分を含む塩化物混合水溶液を作製し，こ
の水溶液を１０ｌ／時間の供給速度で約７５０℃に保持
された焙焼炉中に噴霧液滴の流れと熱媒体となる高温ガ
スの流れとが同一の方向になるようにして噴霧焙焼し，
焙焼反応により生成した酸化物粉体の流れが熱媒体の高
温ガスの流れと同じ方向になるようにして粉体の回収部
まで導き，酸化物粉体をバグフィルターによりガスから
分離回収した。得られた酸化物粉体に，バインダー及び
副成分として，０．０１重量％ＳｉＯ２　，０．０２重
量％ＣａＯ，ＺｒＯ２　が０，　０．０６，　０．１，
　１．０，　２．０，　３．０，４．０重量％（それぞ
れ試料１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７と呼
ぶ）の添加物を混合し，プレス成形後，焼成した。得ら
れた焼成体試料（試料１１〜１７）の密度及び粒径を測
定し，さらに磁気特性（初透磁率μｉ，飽和磁束密度Ｂ
１５［Ｇ］），及び電力損失ＰＢ　［ＫＷ／ｍ３　］を
，最大磁束密度Ｂｍ＝２０００Ｇ，周波数ｆ＝１００ｋ
Ｈｚの条件で測定した。その結果を図４に示した。尚，
図４は試料１１〜１７をＢｍ＝５００Ｇ，ｆ＝１ＭＨｚ
の時の電力損失ＰＢ　［ＫＷ／ｍ３　］と温度［℃］と
の関係を示している。図４より周波数が１ＭＨｚの場合
，電力損失ＰＢ　はＺｒＯ２　を添加するか否かに係わ
らず，温度が約６０℃のとき，最小値を有する。そして
，ＺｒＯ２　の添加量を増加していくにつれて，電力損
失ＰＢ　は小さくなり，添加量が約１．０重量％のとき
，最も電力損失ＰＢ　は小さくなり，添加量が約１．０
重量％を越えると電力損失は増加して行き，添加量が３
．０重量％を越えると添加しないときよりも電力損失Ｐ
Ｂ　は大きくなる。また，このときよりも周波数１ＭＨ
ｚにおいては，ＺｒＯ２　を３．０重量％以下（０を含
まず）て添加した方が，添加しないものより電力損失が
小さくなることが分かる。表４には，本発明の実施例４
により得られた酸化物磁性材料試料１４（０．０１重量
％ＳｉＯ２　，０．０２重量％のＣａＯおよび１．０重
量％のＺｒＯ２　を含有）の諸特性を示す。比較の為に
，従来法によって，試料１４と同じ組成を有する原料粉
末を混合し，予備焼成し，粉砕後，バインダー混合して
，プレス成形，焼成した試料１８（比較例４）を作製し
，実施例４に係る試料１４と同様な方法にて測定した。 表４の特性からわかるように，実施例４の低損失磁性粉
末から得られた焼結体は，従来例（比較例４）と同等以
上の磁気特性が得られていることが分り，工程を簡略化
することができることが判明した。

【００２６】

【表４】

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
従来法で製造された粉末に比べて組成が均一で，組織が
均一であり，製造工程を簡略化することができるため低
コストで迅速に製造できるとともに，しかも鉄損が少な
いという高周波で使用されるスイッチング用電源トラン
スのコア材料として，要求される特性を満たす低損失磁
性粉末及びこの粉末を用いた低損失磁性焼結材料を安価
に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に係る各種材料の電力損失Ｐ
Ｂ　［ｋＷ／ｍ３　］と各温度Ｔ［℃］の関係を示す図
である。

【図２】本発明の実施例２に係る各種材料の電力損失Ｐ
Ｂ　［ｋＷ／ｍ３　］と各温度Ｔ［℃］の関係を示す図
である。

【図３】本発明の実施例３に係る各種材料の電力損失Ｐ
Ｂ　［ｋＷ／ｍ３　］と各温度Ｔ［℃］の関係を示す図
である。

【図４】ＺｒＯ２　の添加量をパラメータとしたときの
電力損失ＰＢ　［ｋＷ／ｍ３　］と各温度Ｔ［℃］の関
係を示した図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　主成分として３０〜４０モル％の一酸
   化マンガン（ＭｎＯ），６〜１５モル％の酸化亜鉛（Ｚ
   ｎＯ），及び残部が実質的に酸化第二鉄（Ｆｅ２　Ｏ３
   　）を含み，副成分として３．０重量％以下の酸化ジル
   コニウム，０．０２〜０．３重量％の酸化カルシウム，
   および０．００５％〜０．１０重量％の二酸化ケイ素の
   うちの少なくとも一種を含む低損失磁性粉末を製造する
   方法において，前記主成分相当の割合でマンガン，亜鉛
   ，及び鉄の塩化物を含み，且つ前記副成分相当の割合で
   前記副成分の化合物を含む塩化物混合水溶液を得る工程
   と，前記水溶液を噴霧液滴の流れと高温の熱媒体のガス
   の流れが同じ方向になるようにして噴霧焙焼する工程と
   ，前記噴霧焙焼工程における焙焼反応により生成した酸
   化物粉体の流れを前記ガスの流れと同じ方向になるよう
   にして粉体の回収部まで導く工程と，前記回収部におい
   て前記酸化物粉体を前記ガスより分離回収する工程とに
   より製造されることを特徴とする低損失磁性粉末の製造
   方法。
2. 【請求項２】　　主成分として３０〜４０モル％の一酸
   化マンガン（ＭｎＯ），６〜１５モル％の酸化亜鉛（Ｚ
   ｎＯ），及び残部が実質的に酸化第二鉄（Ｆｅ２　Ｏ３
   　）を含み，副成分として３．０重量％以下の酸化ジル
   コニウム，０．０２〜０．３重量％の酸化カルシウム，
   および０．００５％〜０．１０重量％の二酸化ケイ素の
   うちの少なくとも一種を含む低損失磁性焼結材料を製造
   する方法において，前記主成分相当の割合でマンガン，
   亜鉛，及び鉄の塩化物を含み且つ前記副成分相当の割合
   で前記副成分の化合物を含む塩化物混合水溶液を得る工
   程と，前記水溶液を噴霧液滴の流れと高温の熱媒体のガ
   スの流れが同じ方向になるようにして噴霧焙焼する工程
   と，前記噴霧焙焼工程における焙焼反応により生成した
   酸化物粉体の流れを前記ガスの流れと同じ方向になるよ
   うにして粉体の回収部まで導く工程と，前記回収部にお
   いて前記酸化物粉体を前記ガスより分離回収する工程と
   ，前記分離回収された酸化物粉体にバインダーを混合し
   て混合物を得る工程と，前記混合物からプレス成形して
   成形体を得る工程と，前記成形体を焼成して焼結体を得
   る工程とを含むこと特徴とする低損失磁性焼結材料の製
   造方法。
3. 【請求項３】　　主成分として３０〜４０モル％の一酸
   化マンガン（ＭｎＯ），６〜１５モル％の酸化亜鉛（Ｚ
   ｎＯ），及び残部が実質的に酸化第二鉄（Ｆｅ２　Ｏ３
   　）を含み，副成分として３．０重量％以下の酸化ジル
   コニウム，０．０２〜０．３重量％の酸化カルシウム，
   および０．００５％〜０．１０重量％の二酸化ケイ素の
   うちの少なくとも一種を含む低損失磁性焼結材料を製造
   する方法において，前記主成分相当の割合でマンガン，
   亜鉛，及び鉄の塩化物を含み，且つ前記副成分相当割合
   以下（０を含む）で前記副成分の化合物を含む塩化物混
   合水溶液を得る工程と，前記水溶液を噴霧液滴の流れと
   高温の熱媒体のガスの流れが同じ方向になるようにして
   噴霧焙焼する工程と，前記噴霧焙焼工程における焙焼反
   応により生成した酸化物粉体の流れを前記ガスの流れと
   同じ方向になるようにして粉体の回収部まで導く工程と
   ，前記回収部において前記酸化物粉体を前記ガスより分
   離回収する工程と，前記分離回収された酸化物粉体をバ
   インダー及び前記副成分となる添加物を混合して混合物
   を得る工程と，前記混合物からプレス成形して成形体を
   得る工程と，前記成形体を焼成して焼結体を得る工程と
   を含むこと特徴とする低損失磁性焼結材料の製造方法。