JPH04307954A - ウエハカセット搬送装置 - Google Patents
ウエハカセット搬送装置Info
- Publication number
- JPH04307954A JPH04307954A JP7279691A JP7279691A JPH04307954A JP H04307954 A JPH04307954 A JP H04307954A JP 7279691 A JP7279691 A JP 7279691A JP 7279691 A JP7279691 A JP 7279691A JP H04307954 A JPH04307954 A JP H04307954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- wafer
- stand
- transfer device
- stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造等に用いられ
る半導体ウエハ等の搬送装置に関する。
る半導体ウエハ等の搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造を行なうクリーンルーム内
では、人間による発塵が最も大きな問題となるため、ク
リーンルーム内では可能な限りの無人化が進められてお
り、半導体ウエハ等の製造部品の搬送には、特開昭６２
−２７７２８４号公報や、特開平１−１３５４８５号公
報にみられるような無人搬送用ロボットが使用されてい
る。さらに、作業時間の短縮のため搬送の高速化が要求
されている。
では、人間による発塵が最も大きな問題となるため、ク
リーンルーム内では可能な限りの無人化が進められてお
り、半導体ウエハ等の製造部品の搬送には、特開昭６２
−２７７２８４号公報や、特開平１−１３５４８５号公
報にみられるような無人搬送用ロボットが使用されてい
る。さらに、作業時間の短縮のため搬送の高速化が要求
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来技術は高
速搬送中になんらかの異常が生じ搬送装置が非常停止し
た際にウエハカセットもしくはウエハ自身が搬送装置の
上から飛び出し落ちてしまう恐れがある。また、搬送中
、ウエハがウエハカセットの内部で遊動してしまうため
、ウエハとウエハカセットが摺動し、その際発生する異
物をウエハ表面に異物を付着させる恐れがある。更に、
ウエハカセットを四すみで固定した場合は、その置き方
が置き台に対して垂直方向に限られてしまう。
速搬送中になんらかの異常が生じ搬送装置が非常停止し
た際にウエハカセットもしくはウエハ自身が搬送装置の
上から飛び出し落ちてしまう恐れがある。また、搬送中
、ウエハがウエハカセットの内部で遊動してしまうため
、ウエハとウエハカセットが摺動し、その際発生する異
物をウエハ表面に異物を付着させる恐れがある。更に、
ウエハカセットを四すみで固定した場合は、その置き方
が置き台に対して垂直方向に限られてしまう。
【０００４】本発明は、ウエハカセットの形状に合わせ
た適切なストッパを持ちそれ自身が適切な傾斜角を持っ
た置き台を搬送装置に備えることによって、搬送装置が
非常停止した際にウエハカセット及びウエハが搬送装置
上から落下しないようにすることを目的としており、ま
た、置き台の傾斜がストッパを兼ねることによりウエハ
カセットの置き方の自由度を高くし、さらにウエハを床
面に対して垂直に近い姿勢で傾斜させて支持することに
より、ウエハがウエハカセットの内部で遊動することを
防いで摺動による発塵を防止すると共に、ウエハ周辺の
ダウンフローによるエアの流れを乱さないように置き台
内部から吸引してウエハの表面に異物が付着することを
防ぐことを目的とする。
た適切なストッパを持ちそれ自身が適切な傾斜角を持っ
た置き台を搬送装置に備えることによって、搬送装置が
非常停止した際にウエハカセット及びウエハが搬送装置
上から落下しないようにすることを目的としており、ま
た、置き台の傾斜がストッパを兼ねることによりウエハ
カセットの置き方の自由度を高くし、さらにウエハを床
面に対して垂直に近い姿勢で傾斜させて支持することに
より、ウエハがウエハカセットの内部で遊動することを
防いで摺動による発塵を防止すると共に、ウエハ周辺の
ダウンフローによるエアの流れを乱さないように置き台
内部から吸引してウエハの表面に異物が付着することを
防ぐことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送措置は、上
記目的を達成するために、図２のように適切な傾斜をつ
け中心がくりぬかれた置き台の周辺にストッパを配置し
、前記置き台内部にエアを吸引する機構を組み込んだウ
エハカセット置き台を搭載したものである。
記目的を達成するために、図２のように適切な傾斜をつ
け中心がくりぬかれた置き台の周辺にストッパを配置し
、前記置き台内部にエアを吸引する機構を組み込んだウ
エハカセット置き台を搭載したものである。
【０００６】
【作用】ウエハカセットは置き台に図１のように搭載さ
れ、置き台自身が持つ傾斜と三方向に付けられたストッ
パによって通常走行時及び非常停止時共に安定に指示さ
れる。また、置き台は斜面上方にストッパを持たず、ス
トッパにはテーパが付けられているのでウエハカセット
の置き方は一方向に限定されない。さらに置き台の適切
な傾斜によりウエハがウエハカセットの内部で遊動する
ことを防ぎ発塵を押える。
れ、置き台自身が持つ傾斜と三方向に付けられたストッ
パによって通常走行時及び非常停止時共に安定に指示さ
れる。また、置き台は斜面上方にストッパを持たず、ス
トッパにはテーパが付けられているのでウエハカセット
の置き方は一方向に限定されない。さらに置き台の適切
な傾斜によりウエハがウエハカセットの内部で遊動する
ことを防ぎ発塵を押える。
【０００７】さらに、ウエハカセットは図１のようにウ
エハが床面に対して垂直に近い姿勢で置かれており、ク
リーンルーム内のダウンフローはウエハ周辺で乱される
ことはなくウエハ表面に異物がつくことはない。
エハが床面に対して垂直に近い姿勢で置かれており、ク
リーンルーム内のダウンフローはウエハ周辺で乱される
ことはなくウエハ表面に異物がつくことはない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を説明する。図５は
、本発明に基づくウエハカセット搬送装置の構成図であ
り、図１から図４にウエハカセット置き台の一例を示す
。ウエハカセット搬送装置はベース１、ストッパ２、ス
トッパ３及びストッパ４から構成される。ベース１は適
切な傾斜を持っており、その傾斜と傾斜の下方に取付け
られたストッパ２によって、通常、走行時Ｘ方向にたい
してウエハカセット５を安定に支持する。Ｙ方向につい
ては図１のようにウエハカセット５の形状に合わせたス
トッパ３及びストッパ４により安定に支持される。搬送
装置がなんらかの原因で非常停止した場合、Ｘ方向にた
いしてはベース１の傾斜及びストッパ２が、Ｙ方向にた
いしてはストッパ３及びストッパ４がそれぞれ適切な大
きさを持っているので、ウエハカセット５がベース１か
ら落ちることは無い。また、ウエハカセット５の開口部
は鉛直上向きになっているので非常停止によりウエハ６
自体が飛びだすことは無い。
、本発明に基づくウエハカセット搬送装置の構成図であ
り、図１から図４にウエハカセット置き台の一例を示す
。ウエハカセット搬送装置はベース１、ストッパ２、ス
トッパ３及びストッパ４から構成される。ベース１は適
切な傾斜を持っており、その傾斜と傾斜の下方に取付け
られたストッパ２によって、通常、走行時Ｘ方向にたい
してウエハカセット５を安定に支持する。Ｙ方向につい
ては図１のようにウエハカセット５の形状に合わせたス
トッパ３及びストッパ４により安定に支持される。搬送
装置がなんらかの原因で非常停止した場合、Ｘ方向にた
いしてはベース１の傾斜及びストッパ２が、Ｙ方向にた
いしてはストッパ３及びストッパ４がそれぞれ適切な大
きさを持っているので、ウエハカセット５がベース１か
ら落ちることは無い。また、ウエハカセット５の開口部
は鉛直上向きになっているので非常停止によりウエハ６
自体が飛びだすことは無い。
【０００９】また、ベース１は斜面の上方にストッパを
持たず、ストッパ２、ストッパ３及びストッパ４は図３
のようにテーパを付けられているので、ウエハカセット
５の置き方の自由度が高く作業スペースが限られるとき
に有効である。
持たず、ストッパ２、ストッパ３及びストッパ４は図３
のようにテーパを付けられているので、ウエハカセット
５の置き方の自由度が高く作業スペースが限られるとき
に有効である。
【００１０】さらに、ベース１の持つ適切な傾斜により
ウエハカセット５内のウエハ６をウエハカセット５の一
方の側壁に片寄せて支持することによって、ウエハ６が
ウエハカセット５の内部で遊動することがないようにし
、ウエハカセット５とウエハ６の摺動による発塵を防ぐ
。
ウエハカセット５内のウエハ６をウエハカセット５の一
方の側壁に片寄せて支持することによって、ウエハ６が
ウエハカセット５の内部で遊動することがないようにし
、ウエハカセット５とウエハ６の摺動による発塵を防ぐ
。
【００１１】また、ウエハカセット５は図１、図４のよ
うにウエハ６が床面に対して垂直に近い姿勢になるよう
に置かれており、ベース１のウエハ６の下部にあたる部
分はくりぬかれ置き台内部から吸引しているので、クリ
ーンルーム内のダウンフローによるエアはウエハ６同士
の間隙を通って下方に流れ、ダウンフローはウエハ６周
辺で乱されることはなく、ウエハ６表面に異物がつくこ
とはない。
うにウエハ６が床面に対して垂直に近い姿勢になるよう
に置かれており、ベース１のウエハ６の下部にあたる部
分はくりぬかれ置き台内部から吸引しているので、クリ
ーンルーム内のダウンフローによるエアはウエハ６同士
の間隙を通って下方に流れ、ダウンフローはウエハ６周
辺で乱されることはなく、ウエハ６表面に異物がつくこ
とはない。
【００１２】第二の実施例を図６に示す。これは図１の
ストッパ３とストッパ４の変わりにテーパの付いた溝を
用いたものである。これは図１の実施例に較べて、部品
点数が少ないという特徴を持つ。
ストッパ３とストッパ４の変わりにテーパの付いた溝を
用いたものである。これは図１の実施例に較べて、部品
点数が少ないという特徴を持つ。
【００１３】以上実施例を二例示したが本発明はこれに
限定されるものではなく、置き台の個数やレイアウトを
変えたもの、ウエハカセットの形状が異なるものであっ
ても適切な傾斜を持った置き台とカセットにあったテー
パをもつストッパにより三方向から指示されるものであ
れば良いことは言うまでもない。
限定されるものではなく、置き台の個数やレイアウトを
変えたもの、ウエハカセットの形状が異なるものであっ
ても適切な傾斜を持った置き台とカセットにあったテー
パをもつストッパにより三方向から指示されるものであ
れば良いことは言うまでもない。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、適切な傾斜を持ちその
傾斜の上方を除く周囲三方向にウエハカセットの形状に
合わせたストッパを配置した置き台を搭載した搬送装置
において、搬送装置が非常停止した際にウエハカセット
及びウエハが落下することを防ぐ効果があり、さらに置
き台はストッパのない方向を持っているので置き台はウ
エハカセットの置き方及び取り方に関して高い自由度を
持つ。
傾斜の上方を除く周囲三方向にウエハカセットの形状に
合わせたストッパを配置した置き台を搭載した搬送装置
において、搬送装置が非常停止した際にウエハカセット
及びウエハが落下することを防ぐ効果があり、さらに置
き台はストッパのない方向を持っているので置き台はウ
エハカセットの置き方及び取り方に関して高い自由度を
持つ。
【００１５】また、ウエハを床面に対して垂直に近い姿
勢で適切な傾斜を与えて搬送することにより、ウエハカ
セットとウエハの摺動による発塵を防ぎ、クリーンルー
ム内に置いてウエハ周辺のダウンフローを妨げないよう
にしウエハ表面に異物が付着することを防ぐ効果がある
。
勢で適切な傾斜を与えて搬送することにより、ウエハカ
セットとウエハの摺動による発塵を防ぎ、クリーンルー
ム内に置いてウエハ周辺のダウンフローを妨げないよう
にしウエハ表面に異物が付着することを防ぐ効果がある
。
【図１】本発明の搬送装置のウエハカセット置き台の一
実施例のウエハカセット搭載時の斜視図、
実施例のウエハカセット搭載時の斜視図、
【図２】本発
明の搬送装置のウエハカセット置き台の一実施例のウエ
ハカセット非搭載時の斜視図、
明の搬送装置のウエハカセット置き台の一実施例のウエ
ハカセット非搭載時の斜視図、
【図３】本発明の搬送装
置のウエハカセット置き台の一実施例の上面図、
置のウエハカセット置き台の一実施例の上面図、
【図４】本発明の搬送装置のウエハカセット置き台の一
実施例のウエハカセット搭載時の側面図、
実施例のウエハカセット搭載時の側面図、
【図５】本発
明のウエハカセット搬送装置の斜視図、
明のウエハカセット搬送装置の斜視図、
【図６】第二の
実施例のウエハカセット置き台のみの斜視図。
実施例のウエハカセット置き台のみの斜視図。
１…ベース、２，３，４…ストッパ、５…ウエハカセッ
ト、６…ウエハ。
ト、６…ウエハ。
Claims (4)
- 【請求項１】搬送台車上に、適切な傾斜を付けた台の周
辺に適切な形状のストッパを配置した置き台を設置した
ことにより、前記搬送台車が非常停止した際にも搬送物
であるウエハカセットが前記搬送台車より落下すること
がないようにしたことを特徴とするウエハカセット搬送
装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記置き台の持つ傾斜
によって一方向の前記ストッパを不要にし、前記ストッ
パにテーパを付け、前記ウエハカセットの搭載方法の自
由度を高めた置き台を持つウエハカセット搬送装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記置き台の持つ傾斜
により前記ウエハカセット内でウエハが遊動を防止する
ウエハカセット搬送装置。 - 【請求項４】請求項１において、前記置き台上で前記ウ
エハを垂直に近い角度に保ち前記置き台の中央にあけら
れた孔より下方に向かってエアを吸引し、前記ウエハ周
辺のダウンフローを乱さないようにしたウエハカセット
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279691A JPH04307954A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハカセット搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279691A JPH04307954A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハカセット搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307954A true JPH04307954A (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=13499715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7279691A Pending JPH04307954A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハカセット搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04307954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120128452A1 (en) * | 2009-07-29 | 2012-05-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transport system and set-up method |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP7279691A patent/JPH04307954A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120128452A1 (en) * | 2009-07-29 | 2012-05-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transport system and set-up method |
| US9048275B2 (en) * | 2009-07-29 | 2015-06-02 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and set-up method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11978652B2 (en) | Automatic handling buffer for bare stocker | |
| US9299597B2 (en) | Scalable stockers with automatic handling buffer | |
| KR102677334B1 (ko) | 피가공물 자동 반송차 | |
| US20050008467A1 (en) | Load port transfer device | |
| US4903610A (en) | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers | |
| JP2019192683A (ja) | 搬送機構 | |
| JP2926308B2 (ja) | ハンダボール供給方法 | |
| JPH04307954A (ja) | ウエハカセット搬送装置 | |
| JPH11163085A (ja) | キャリア用載置装置 | |
| JP3364294B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
| EP2245656B1 (en) | Automatic handling buffer for bare stocker | |
| JP2001326272A (ja) | 基板搬送用トレー | |
| JPH04118913A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS63300524A (ja) | ウエ−ハカセット搬送用保持機構 | |
| JPH01291442A (ja) | 工程内搬送装置 | |
| KR20240160481A (ko) | 기판 처리 방법 및 이를 이용하는 기판 처리 방법 | |
| TWM660706U (zh) | 適用於天車系統的半導體加工設備機櫃 | |
| JPH06127738A (ja) | 基板搬送方法 | |
| KR20250090641A (ko) | 지지 유닛 및 이를 포함하는 용기 보관 시스템 | |
| JPH06188301A (ja) | 半導体ウェハ無塵搬送装置 | |
| JPS5990854A (ja) | 板状物エアブロ−機構 | |
| JP2017045852A (ja) | 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 | |
| KR100338770B1 (ko) | 파티클 발생을 억제하는 완충수단을 갖는 반도체소자의 제조에 사용되는 설비 | |
| JP2018163955A (ja) | 基板収納装置 | |
| JP2020077768A (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 |