JPH04309442A - 高周波磁気特性に優れた非晶質合金薄帯の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、２００ＫＨｚ以上の
高い周波数において使用される各種ノイズフィルター、
ノイズアブソーバー、可飽和リアクトル、高周波トラン
スその他のコイルやインダクタンス素子用の巻磁心用素
材として好適な非晶質合金薄帯の製造法に関わるもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の小型化が急速に進み、
それにともない電子機器に搭載する直流安定化電源装置
の小型化、薄型化、軽量化に対する市場の要求が強まっ
ている。電源装置の小型化には電源回路中に大きなスペ
ースを占めるコイルやインダクタンス部品の小型化が急
務である。その手段として動作周波数を数百ＫＨｚ　以
上に高周波化したスイッチング電源装置の開発が進めら
れている。これらスイッチング電源用磁性部品に用いら
れる磁心材料として、最近非晶質合金薄帯を巻回した磁
心が使用され始めている。非晶質合金磁性材料は、電気
抵抗が通常金属の約３倍高く、また製造プロセス的に薄
い材料が容易に得られることから、渦電流損失が少ない
という性質をもっている。このため高周波領域において
高透磁率、低鉄損なる特性を有し、磁性部品の小型化、
高効率化ニーズに対して、極めて良い適合性をもってい
る。 しかしこのような非晶質磁心材料にとっても、電源回路
の動作周波数が従来の数十ＫＨｚ　から数百ＫＨｚ　さ
らには数ＭＨｚ　と高周波化が進むにつれて、磁心から
の発熱を極力低減することが要求されるようになってき
ている。

【０００３】ところで高周波領域において巻磁心の発熱
を低減するには非晶質合金素材の厚みを薄くし渦電流に
対する電気抵抗を大きくする事が有効である。非晶質合
金薄帯を製造する方法としては、一般に単ロール式液体
急冷法、すなわち、合金溶解るつぼ底面にスリットを設
けたノズルから、溶融合金を加圧して高速回転する冷却
ロール上に射出し、連続的に非晶質合金薄帯を製造する
方法が用いられる。この方法は１９７１年８　月１５日
付け毎日新聞に東北大学増本教授らのグループが発表し
て以来、連続的な非晶質合金薄帯を得る方法として広く
知られている。しかしこの方法で薄帯厚みを１８μｍ　
以下に薄くすると薄帯に雰囲気ガスの巻き込みによると
考えられるピンホール状の穴が多数発生し良好な表面性
状が得られないため、１００ＫＨｚ以上の高周波磁心用
素材として使用するに十分な磁気特性が得られない。

【０００４】また、特公昭６１−５８２０　号公報には
、平坦流鋳造法　”ｐｌａｎａｒ　ｆｌｏｗ　ｃａｓｔ
ｉｎｇ”といって、ノズル底面と冷却表面との間隔が０
．０３〜１ｍｍ　となる位置にノズルを配置し、溶融合
金を加圧してノズル底部に設けたスリットより押出し、
溶融合金の均一な層をノズル底面と冷却表面の両者によ
って機械的に支持することにより、連続的に非晶質合金
薄帯を製造する方法が開示されている。しかし、この方
法では薄帯の厚みは冷却表面とノズル底面との間隔によ
って決まるため、厚さが１０μｍ　の薄帯を得るにはこ
の間隔を０．０１ｍｍ近くにまで接近させる必要がある
が、この間隔を０．０３ｍｍ以下にすると、溶融合金の
均一な層が冷却表面とノズル底面の間で完全に固化して
しまい固体接触状態となってノズルの破損が生じる。こ
のため、この方法によって　２０　μｍ　以下の薄帯を
得ることはできない。一方、冷却表面とノズルとの間で
の溶融合金の固化によるノズル破損を防ぐには冷却基材
の移動速度を早めればよいが、冷却基材の移動速度を　
２０００ｍ／　分以上に早めると固化に役立つ時間が減
少し溶融合金が冷却基材を十分にぬらさないため溶融合
金の均一な層が維持されなくなり、薄い多孔質な商品価
値のない薄帯しか得られない。さらには冷却基材とノズ
ルとの固体接触を防ぐため、ノズル底面の形状寸法に細
かい制約がありコスト高の要因となる上、底面積を広く
できないのでスリットの強度が不十分で欠けやすいとい
う欠点も有する。またこの方法は、薄帯が冷却表面上に
留まる時間が長いため、冷却基材としてロールを用いた
場合、条件によっては薄帯が冷却表面から離脱せず、ロ
ールの周囲に付いて運ばれ、ノズルに衝突してノズルを
破損する危険性が高い。したがってこの方法では高周波
磁心用素材として好適な厚さの薄い非晶質合金薄帯を得
ることはできない

【０００５】また、特開昭６３−３１
７６３９　号公報には、特定組成の合金を真空雰囲気下
で射出することにより製造された厚さが　１０　μｍ　
以下でかつ表面性状の良好な高透磁率、低損失の極薄非
晶質合金が開示されている。この方法では製造できる合
金組成範囲が狭く限定されており、製造にあたっても溶
融合金が回転冷却体に接触する間の雰囲気を０．０１Ｔ
ｏｒｒ以下の減圧大気中または６０Ｔｏｒｒ未満の不活
性ガス雰囲気とする必要があるためチャンバーが大きく
なればなるほど真空引きに時間を要する上、不活性ガス
の使用量も増大する。さらにはノズル先端のスリットの
厚みは０．２ｍｍ　以下と非常に狭い上、射出ガス圧も
０．０２Ｋｇ／ｃｍ２程度と小さく、射出中の溶湯の温
度変動などによってノズルつまりを起こしやすいなど、
実験室的には製造できても、量産には不向きである。

【０００６】さらには、ここに紹介したような従来のど
のような単ロール式液体急冷法においても、溶融合金は
凝固するまでの一定時間、ロール表面に接触したまま所
定の回転角を移動し、その間凝固がロール面側より自由
凝固面側へ徐々に進行し、凝固完了後にロールから離れ
る。このため薄帯の飛行方向は水平方向より下方となる
。しかし、このように従来の方法で作られた薄帯に生じ
る磁区は薄帯の長手方向に細長い　１８０゜磁壁ができ
やすく、磁化過程において磁壁移動が主流となる。この
ため磁化回転が主流となる２００ＫＨｚ以上の高周波領
域で急激に保磁力が増大する。すなわち薄帯の飛行方向
が水平方向より下方の時に得られる薄帯の磁気特性は、
薄帯厚みを薄くすることにより渦電流損失は低減できる
が、保磁力の周波数依存性が大きく商用周波数から１０
０ＫＨｚ程度までは良好な磁気特性を示すものの、それ
以上の高周波領域では急激に保磁力が増大し磁心の発熱
が大きくなるのである。なお、この傾向は可飽和リアク
トルのような非線形磁心を磁気飽和させて使用する場合
において特に顕著である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように従来技術に
よって厚さ２０μｍ　以下の極薄の非晶質合金薄帯を工
業的に量産することは不可能である上、従来の技術では
２００ＫＨｚ以上での保磁力の周波数依存性が大きく高
周波になるほど保磁力が増大し磁心の発熱を伴う。この
ため電源装置の動作周波数の高周波化に対応して磁心の
発熱を低減することは容易ではなく、高周波においても
発熱しないような非晶質合金薄帯を工業的に生産する方
法が切望されている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る非晶質合金
薄帯の製造方法は、かかる従来技術の問題点を解決し、
動作周波数が２００ＫＨｚ以上のスイッチング電源等に
搭載される各種コイルやインダクタンス部品用磁心のい
っそうの発熱低減要求に応えるべく、板厚が１３μｍ　
以下で５００ＫＨｚ〜１ＭＨｚ程度の高周波領域まで保
磁力の小さい非晶質合金極薄帯の製造方法を提供するこ
とを目的としたものであって、薄帯の厚みが薄く、かつ
交流磁化過程において回転磁化が生じやすい薄帯を作る
方法について鋭意検討した結果、冷却表面とノズルの間
隔を極端に近づけなくとも極薄の薄帯を製造できる条件
を見いだしたのに加えて、射出後の薄帯の飛行角度が薄
帯の高周波磁気特性、特に保磁力に大きく影響すること
を見いだした。すなわち溶融合金を減圧雰囲気下で超高
速回転する冷却ロール上へ射出し薄帯をロール接線方向
に対して０　〜１５度上方へ飛び出す様な製造条件を選
定することにより高周波磁気特性に優れた薄帯が得られ
ることを見いだしたのである。

【０００９】すなわち本発明は、合金溶解るつぼ内の溶
融合金を加圧して、該合金溶解るつぼの底部に設けたノ
ズルから高速回転する冷却ロール上に溶融合金を射出し
、連続的に非晶質合金薄帯を製造する方法であって、ス
リット厚みが０．２　〜０．４ｍｍ　のノズルを周速度
２０００〜３５００ｍ／分で回転する冷却ロール表面の
運動方向に対して直角またはほぼ直角となるように配置
し、かつノズル先端と冷却ロール表面との間隔を０．０
５〜０．５ｍｍ　とすると共に、前期間隔を０．０１〜
２０Ｔｏｒｒの減圧大気または減圧不活性ガス雰囲気中
に保持した後、合金溶解るつぼ内の溶融合金表面に前記
の雰囲気圧より０．２　〜０．５Ｋｇｆ／ｃｍ２高いガ
ス圧をかけて加圧し、冷却ロール表面上に溶融合金を連
続的に押出すことにより、溶融合金が冷却ロール表面に
接触後、ノズル先端面に接触することなしに、ロール回
転方向に対してスリット厚みの１．２　〜３　倍のロー
ル接触長さで凝固を完了させ、薄帯状となって冷却ロー
ル表面の運動方向に対して０　〜１５度上方へ飛び出さ
せて厚さ５　〜１３μｍ　の非晶質合金薄帯を形成する
ことを特徴とする高周波磁気特性に優れた非晶質合金薄
帯の製造方法である。

【００１０】以下に本発明に係る非晶質合金薄帯の製造
方法における製造条件の限定理由について図２に基づい
て説明する。ノズル７は、冷却ロール３表面の運動方向
Ｍに対して直角またはほぼ直角となるように配置するの
は、この位置関係がずれるとノズル７が振動を起こしや
すく非晶質合金薄帯６が切れる原因となるためである。 また、ノズル７の先端面と冷却ロール３との間隔ｗを０
．０５〜０．５ｍｍ　、好ましくは０．１　〜０．３ｍ
ｍ　とするのは、この間隔を０．５ｍｍ　以上にすると
板厚が厚くなり１３μｍ　以下の薄帯が得られないから
である。非晶質合金薄帯６の厚みを薄くするにはこの間
隔ｗをできるだけ狭くする方がよい。これは、間隔ｗが
大きくなるほど、冷却ロール３に接触するまでの間に溶
湯流がスリット幅方向に絞られ、スリット厚み方向にふ
くらむため、薄帯幅が狭くなり、薄帯厚みが厚くなるた
めである。一方ノズル７の先端と冷却ロール３との間隔
ｗが０．０５ｍｍ以下になると、この間隔ｗの制御に高
度な技術が要求され実際的でない上、ノズル７の熱膨張
などによりノズルとロールが接触しノズル破損にいたり
やすい。

【００１２】そこで、溶融合金２がノズル７の先端面と
接触することのないように冷却ロール３の回転速度を十
分に高速回転させる必要がある。実際には回転数は非晶
質合金薄帯６が水平方向より上方へ飛び出すように条件
を設定するが、この条件はノズル先端と冷却ロールとの
間隔ｗ、溶融合金の射出温度、冷却ロール材質、射出ガ
ス圧、雰囲気圧、雰囲気ガスなどにより変動する。通常
は回転数を２０００〜３５００ｍ／分とすると良好な非
晶質合金薄帯が得られやすい。また２０００ｍ／分以下
だと薄帯の飛行方向が水平より下方に向くため本発明の
効果が得られない。回転速度が早いほど溶融合金が薄く
引き延ばされ、薄帯厚みを薄くでき、かつ凝固速度を高
めることができるが、３５００ｍ／分以上でも薄帯の製
造になんら問題はない。しかし、冷却ロールをこれ以上
高速回転させると遠心力によるロールやスピンドル部の
強度が問題となり実用的でない。

【００１３】冷却ロール３表面とノズル７先端面の隙間
を０．０１〜２Ｔｏｒｒ　の減圧大気または減圧不活性
ガス雰囲気中に保持するのは、２０Ｔｏｒｒ以上では雰
囲気ガスが溶融合金２と冷却ロール３との間に入り込み
、薄帯の表面粗さが悪くなり、良好な磁気特性が得られ
ない。一方、０．０１Ｔｏｒｒ以下では薄帯の雰囲気ガ
スによる冷却が不十分なため、完全な非晶質が得られな
い。なお、射出ガス圧（　Ｐｅ）は冷却ロールの回転速
度に応じて雰囲気ガス圧より０．２　〜０．５Ｋｇｆ／
ｃｍ２高くすると良好な薄帯が得られやすい。 冷却ロール３の回転速度が早くなるほど冷却ロール上に
形成される湯溜まりを安定に保持するため射出ガス圧を
高く設定する必要がある。射出ガス圧が低いと湯溜まり
が不安定で所望の薄帯幅が得られなかったり、薄帯の縁
が中心部より薄く不規則形状になったりする。一方、射
出ガス圧が高すぎると薄帯厚みを１３μｍ　以下にする
ことができなくなる。

【００１４】ノズル先端に設けたスリット８の厚み（ａ
）　を０．２　〜０．４ｍｍ　とするのは、０．４ｍｍ
以上では薄帯の厚みを１３μｍ　以下にはできない。こ
のスリット８の厚みは小さいほど極薄薄帯が得られやす
く、他の条件が一定であればスリット厚みａが０．１ｍ
ｍ大きくなると薄帯の厚みは約３　μｍ　厚くなるので
スリット厚みの寸法精度は重要である。一方、スリット
厚みａが０．２ｍｍ　以下では操業中の製造条件のばら
つきなどによりノズルつまりが生じやすくなり薄帯の量
産には適さない。

【００１５】またロール接触長さ（ｂ）　をロール回転
方向に対してスリット厚み８の１．２　〜３倍というき
わめて短い長さで溶融合金２の凝固を完了する必要があ
る。その理由はロール接触長さｂがスリット８の厚みの
３倍以上では非晶質合金薄板の飛行方向が水平より下方
に向くため本発明の効果が得られないからである。一方
、溶融合金２は冷却ロール３上でロール面のみとの濡れ
とノズル先端の圧力（　Ｐｏ）によって安定な湯溜まり
が形成されるが、この湯溜まりの大きさがスリット８の
厚みの１．２　倍より狭いと安定な湯溜まりができず非
晶質合金薄帯は作れない。さらに非晶質合金薄帯６の厚
みは、高周波用磁心の素材として渦電流損失を極力小さ
くし１００ＫＨｚ〜１ＭＨｚ程度の高周波領域にて幅広
く使用できる磁心を得るために、少なくとも１３μｍ　
以下にする必要がある。しかし５μｍ　以下になると薄
帯の折れ曲がりが生じやすくなり、かえって磁気特性に
悪影響が現れる。

【００１６】非晶質合金薄帯６の飛行方向を水平方向に
対して０　〜１５度上方とするのは、この条件が満足さ
れたとき最も高周波磁気特性の良好な薄帯が得られるか
らである。すなわち、この条件を満足させるとき極めて
短時間に溶融合金２を薄帯６の幅方向に均一に凝固させ
ることができるからである。この際、溶融合金２は冷却
ロール３に接触するやいなやノズル先端に接触すること
なく凝固し、ロール接線方向すなわち水平方向に飛び出
して行く。このときの飛行角度が実際には水平方向に対
して０　〜１５度上方となる。これは溶融合金の凝固の
際、凝固がロール回転方向に対してきわめて短い接触長
さｂで進行する上、自由凝固面側の方がロール面側より
凝固が一瞬遅れて進行するためであり、薄帯には長手方
向に凝固歪が導入される。したがって、本発明による薄
帯は自由凝固面側に湾曲する傾向がある。この際に薄帯
に導入される凝固歪が高周波磁気特性の向上に寄与する
。すなわち本発明の方法では、薄帯の厚みが薄くかつ薄
帯表面はガス巻き込みによる穴がないため非常に滑らか
であり磁区形成において表面性状の影響を受け難い。こ
れに加えて凝固の際に導入される本発明特有の歪によっ
て、微細な垂直磁区が発達する。かかる垂直磁区は薄帯
厚みが薄いこともあって、熱処理しても１８０　゜磁壁
が生じにくい。このような磁区構造は磁壁が多いため磁
化過程において磁壁移動より磁化回転の方が容易に起き
やすく、低周波領域での保磁力は若干大きくなるものの
、逆に高周波領域では保磁力が小さくなり、保磁力の周
波数依存性が小さいものとなる。このため１ＭＨｚ程度
の高周波領域まで磁心の発熱を低く抑えることが可能と
なる。

【００１７】

【実施例】本発明の高周波磁気特性に優れた非晶質合金
極薄帯の製造方法は以下のようにして達成される。本発
明を実施するためには図１に示すような装置を用いた。 すなわち、該装置全体は０．０１〜２０Ｔｏｒｒの減圧
大気または不活性ガス雰囲気に内部を調整した真空容器
１０に収容されており、合金溶解るつぼ１はその下端に
近接して冷却ロール３を回転自在に位置させている。ノ
ズル７は冷却ロール３の表面の運動方向Ｍに対して直角
またはほぼ直角となるように配置されている。図２に示
すように、合金溶解るつぼ１の底面に設けたノズル７の
スリット８厚みａは０．３ｍｍ　が最も適しているが、
これを０．２〜０．４ｍｍ　の範囲に選定できる。また
スリットの幅は所望の薄帯幅に合わせて選定する。　　
また、上記ノズル７の先端と冷却ロール３との間隔ｗを
０．０５〜０．５ｍｍ　、好ましくは０．１　〜０．３
ｍｍに設定する。ここで合金溶解るつぼ１の代わりにタ
ンディッシュを用いても差し支えないが、その場合には
溶湯温度を一定に保持するための手段が必要である。さ
らに、合金溶解るつぼ１は、その周囲を囲む高周波コイ
ル４から構成された高周波誘導加熱装置によって内部の
合金を溶融するようになっている。

【００１８】本発明は、合金溶解るつぼ１内に収容され
ている溶融合金２を高速回転する冷却ロール３上にノズ
ル７を経て射出し超急冷するのであるが、合金溶解るつ
ぼ１内にはあらかじめ所望の組成に調整された母合金を
装入しておき、高周波コイル４から構成される高周波誘
導加熱装置などの適宜の加熱手段により溶融合金を得る
。冷却ロール３の回転速度は周速で２０００〜３５００
ｍ／分とするが薄帯の飛行角度に応じてこの範囲内で最
適な回転速度に調整する。ロール材質としては溶融合金
２との濡れ性や熱伝導度を考慮して銅合金あるいは鉄合
金を選定する。

【００１９】ノズル７の先端面と冷却ロール３の表面と
の隙間は０．５　〜１Ｔｏｒｒ　の減圧大気または減圧
不活性ガス雰囲気とする。ここで不活性ガスを使用する
場合にはヘリウム、アルゴンまたは窒素が適している。 溶融合金２をノズル７からスリット８を通して冷却ロー
ル３上へ射出するため、冷却ロールの周速度に応じてノ
ズル内に射出ガス５を雰囲気圧との差圧で＋０．２　〜
０．５Ｋｇｆ／ｃｍ２、好ましくは、たとえば冷却ロー
ル周速度が２５００ｍ／分の場合には０．２５〜０．３
Ｋｇｆ／ｃｍ２となるよう導入する。溶融合金の射出中
は溶融合金の温度管理が重要であり、最適射出温度±５
°Ｃの範囲内にコントロールする必要があり、大気中へ
射出する場合よりかなり狭い。最適射出温度は合金組成
によって異なるが一般に合金の融点より６０〜１１０　
℃高い領域にある。射出温度が高すぎる場合には薄帯は
冷却が不十分となり延性に欠けた脆い薄帯となり、薄帯
の保磁力が異常に増大する。一方射出温度が低すぎる場
合には薄帯の表面粗さが粗くなり磁気特性には反磁場の
影響が顕著に現れるようになる。以上のようにして得ら
れた薄帯は図示しない５　〜３０ｍ　の充分な長さの飛
行管に補集する。飛行管の長さが短いと薄帯に折れ曲が
りが生じやすく歩留が悪化する。

【００２０】Ｃｏ６８．６Ｆｅ３．７　Ｓｉ１６Ｂ１１
．７なる基本組成の合金に、ロールとの濡れ性の改善を
目的としてＮｂを０．２８ａｔ％　添加した合金を調合
、溶解し非晶質合金作製用母合金とした。ここで非晶質
合金薄帯の製造にあたっては１０ｍ　の飛行管を有しチ
ャンバー全体を減圧できる単ロール式液体急冷装置を使
用した。非晶質合金薄帯の製造条件は次のとおりであっ
た。 ノズルスリット形状：５．０８ｍｍ×０．３０ｍｍノズ
ル材質：石英 ロール材質：銅（ロール表面はダイヤモンドバイトにて
旋削し鏡面仕上げ） ロール径：φ３００　（水冷無し） ロール回転数：２５００ｒｐｍ　（周速　２３５０ｍ／
　分）ノズル底面とロール面との間隔：０．１５ｍｍ射
出雰囲気ガス圧：０．５Ｔｏｒｒ　の減圧大気射出ガス
圧：０．０２５Ｋｇ／ 射出前ロール温度：２５℃

【００２１】このような条件にて合金溶湯を冷却ロール
上へ射出し、この様子を高速度ビデオカメラにて観察し
たところ、溶融合金はロールに接触後直ちに凝固し、薄
帯となって水平方向に対して約１０度上方へ飛び出した
。 飛行管内に補集された非晶質薄帯の寸法は、厚み　１１
．４　μｍ　、幅　４．８ｍｍ、表面粗さ　　Ｒａ　０
．１　μｍ　であった。この薄帯を、自由凝固面が巻心
の外側になるようにして直径１０ｍｍの巻心に巻回し、
巻磁心を作製した。引続き巻磁心の磁路方向に５Ａ／ｍ
の磁界を印加しながら４００℃にて１　時間歪取り焼鈍
を行った後、磁心表面をエポキシ粉体塗装し磁気特性評
価用磁心とした。なお比較材として同装置、同組成の合
金を用い本発明外の次の条件で薄帯を製造した。

【００２２】ノズルスリット形状：５．１０ｍｍ×０．
３１ｍｍノズル材質：石英 ロール材質：銅（ロール表面はダイヤモンドバイトにて
旋削し鏡面仕上げ） ロール径：φ３００　（水冷無し） ロール回転数：１５００ｒｐｍ　（周速　１４１０ｍ／
　分）ノズル底面とロール面との間隔：０．２ｍｍ射出
雰囲気ガス圧：大気 射出ガス圧：０．０２５Ｋｇ／ 射出前ロール温度：２５℃

【００２３】このような条件にて合金溶湯を超急冷した
ところ、溶融合金はロールに接触後ロール回転角で約３
０度ロール表面に接触したまま凝固し、その後薄帯とな
って水平方向に対して約７度下方へ飛び出した。飛行管
内に補集された非晶質薄帯の寸法は、厚み　１６．８　
μｍ　、幅　４．９５ｍｍ、表面粗さ　　Ｒａ　０．５
　μｍ　であった。本発明と同一の条件で巻回、熱処理
、粉体塗装を行い磁気特性評価用試料とした。両者の方
法で製造した磁気特性評価試料の特性値を比較すると、
図３に示すように、本発明方法によれば本発明外の方法
に比べ保磁力が低くこの傾向は高周波になるほど顕著に
なる。すなわち本発明の方法によれば保磁力が低くかつ
保磁力の周波数依存性の小さい磁心が得られる。

【００２４】さらに本発明の磁心を動作周波数１５０Ｋ
Ｈｚの市販のマグアンプ方式のスイッチング電源に実装
し、マグアンプコアとしての磁心の昇温量を測定したと
ころ、表１に示すように本発明方法による磁心の方が、
本発明外の方法に比べ２　〜４　℃温度上昇が少なく、
さらには本実験に供した電源に実装されていた市販の磁
心より７〜１５℃温度上昇が少なく、本発明方法によっ
て製作した非晶質合金薄帯が高周波磁性材料として優れ
た特性を示すことがわかる。

【００２５】

【表１】

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
周波での保磁力が小さくかつ保磁力の周波数特性が小さ
いという優れた特徴を有する非晶質合金薄帯を得ること
が可能である。また、本発明の方法により得られた薄帯
を使用した磁心は、可飽和リアクトル、ノイズアブソー
バー（　可飽和型インダクタンス素子）　、ノイズフィ
ルター（　コモンモード用、ノーマルモード用、高電圧
パルス用）　など、高周波で使用するコイル、インダク
タンス部品として用いることにより高周波化による磁心
の発熱を低減でき、スイッチング電源などの電子機器の
小型化に大きく寄与することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る製造方法において用いられた装置
の概略図である。

【図２】本発明における溶融合金と冷却ロールの関係を
説明するための側断面図である。

【図３】本発明方法により製造した非晶質合金薄帯と本
発明以外の方法により製造した非晶質合金薄帯との保磁
力の周波数依存性を示す説明図である。

【符号の説明】

１　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　合金
溶解るつぼ２　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　溶融合金３　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　冷却ロール４　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　高周波誘導加熱装置５　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　射出ガス６　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　非晶質合金薄帯７
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ノズル
８　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　スリ
ット１０　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　真
空容器Ｍ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　冷却表面ロールの運動方向ａ　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　スリット厚みｂ　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　スリット接触長さ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　合金溶解るつぼ内の溶融合金を加圧し
   て、該合金溶解るつぼの底部に設けたノズルから高速回
   転する冷却ロール上に溶融合金を射出し、連続的に非晶
   質合金薄帯を製造する方法において、スリット厚みが０
   ．２　〜０．４ｍｍ　のノズルを周速度２０００〜３５
   ００ｍ／分で回転する冷却ロール表面の運動方向に対し
   て直角またはほぼ直角となるように配置し、かつノズル
   先端と冷却ロール表面との間隔を０．０５〜０．５ｍｍ
   　とすると共に、前記間隔を０．０１〜２０Ｔｏｒｒの
   減圧大気または減圧不活性ガス雰囲気中に保持した後、
   合金溶解るつぼ内の溶融合金表面に前記の雰囲気圧より
   ０．２　〜０．５Ｋｇｆ／ｃｍ２高いガス圧をかけて加
   圧し、冷却ロール表面上に溶融合金を連続的に押出すこ
   とにより、溶融合金が冷却ロール表面に接触後、ノズル
   先端面に接触することなしに、ロール回転方向に対して
   スリット厚みの１．２　〜３倍のロール接触長さで凝固
   を完了させ、薄帯状となって冷却ロール表面の運動方向
   に対して０　〜１５度上方へ飛び出させて厚さ５　〜１
   ３μｍ　の非晶質合金薄帯を形成することを特徴とする
   高周波磁気特性に優れた非晶質合金薄帯の製造方法