JPH04312909A - 積層体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の導電性材料膜が
絶縁層を介して積層された積層体の製造方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】この種の積層体は積層コンデンサや圧電
アクチュエータ等に好適に使用されている。以下に積層
コンデンサに使用される積層体を例にあげて、従来の製
造方法について説明する。

【０００３】まず、未焼成セラミックから成る厚さ数十
μｍのシ−トの一面に、内部電極となる金属粉ペ−スト
を所定パタ−ンで、例えば矩形状をなす厚さ数μｍの薄
膜が間隔をおいてマトリクス状に並ぶように印刷する。 次いで、図９に示すように最上層を未印刷シ−ト１で覆
うようにして複数枚の印刷シ−ト２を積み重ねる。次い
で、図１０に示すように積み重ねられたシ−トの上面に
圧力をかけて各シ−ト１，２を相互に圧着させる。この
圧着時において各シ−ト１，２及び薄膜３は平面方向に
圧延される。次いで、圧着後のシ−トを格子状に切断し
て角形の積層体（未焼成積層チップ）を得ている。得ら
れた未焼成積層チップには、内部電極となる複数の薄膜
が未焼成セラミック層を介して積層されるている。

【０００４】上記の未焼成積層チップを用いて積層コン
デンサを作成する場合には、該チップの対向壁に外部電
極用の金属粉ペ−ストを塗布しこれを適当な温度で焼成
するか、未焼成積層チップを焼成した後に外部電極を形
成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の製造
方法では、各シ−トに形成された薄膜３が同一形状を成
しているため、積み重ねられたシ−トの上面に圧力をか
けると加圧面に近い上層の薄膜３が大きく圧延されて、
各層の薄膜３の形状に大きなばらつきを生じる欠点があ
る。

【０００６】即ち、シ−ト中心部分では、図１１に示す
ように加圧面に近い薄膜３ほど四方に延びて各薄膜３の
断面幅が上方に向かって大きくなり、最上層の薄膜３の
断面幅ＷＨが最下層の断面幅ＷＬに比べてかなり大きく
なる。また、シ−ト中心部から離れた部分では、図１２
に示すように加圧面に近い薄膜３ほど周縁方向に延びて
各薄膜３が一側に偏ってしまい、最上層の薄膜３の断面
幅ＷＨが最下層の断面幅ＷＬに比べてかなり大きくなる
。

【０００７】つまり、図１１及び図１２のような圧着後
のシ−トを切断して未焼成積層チップを得る場合に、最
上層の薄膜３と切断位置（図中の破線位置）との間に所
定のカットマ−ジンを確保しようとすると、最下層寄り
の薄膜３と切断端面との間に上記以上の隔りができて大
きなデッドスペ−スが存在するようになる。

【０００８】従って、上記の未焼成積層チップを用いて
積層コンデンサを作成しても、積層コンデンサの静電容
量と密接な関係にある内部電極の対向面積が最下層の薄
膜３の断面幅ＷＬに制約されて、所期の静電容量を得る
ことが困難になることに加え、取得静電容量が小さくな
る等の問題を発生する。

【０００９】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、薄膜等の導電性材料膜の
形状にばらつきを生じることがない積層体の製造方法を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、請求項１では、所定形状の導電性材料膜が多数並設さ
れた絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた後、該シ−トの一
面に圧力をかけて各シ−トを相互に圧着させ、圧着後の
シ−トを切断するようにした積層体の製造方法において
、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導電性
材料膜を、他面側の導電性材料膜よりも小さくしている
。

【００１１】また、請求項２では、所定形状の導電性材
料膜が多数並設された絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた
後、該シ−トの一面に圧力をかけて各シ−トを相互に圧
着させ、圧着後のシ−トを切断するようにした積層体の
製造方法において、積み重ねられたシ−トの加圧面寄り
に位置する導電性材料膜を、他面側の導電性材料膜より
もシ−ト中心方向にずらしている。

【００１２】更に、請求項３では、所定形状の導電性材
料膜が多数並設された絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた
後、該シ−トの一面に圧力をかけて各シ−トを相互に圧
着させ、圧着後のシ−トを切断するようにした積層体の
製造方法において、積み重ねられたシ−トの加圧面寄り
に位置する導電性材料膜を、他面側の導電性材料膜より
も小さくすると共に他面側の導電性材料膜よりもシ−ト
中心方向にずらしている。

【００１３】

【作用】請求項１記載の製造方法は、シ−トに形成され
る導電性材料膜の数が少ない場合に有用である。即ち、
積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導電性材
料膜が他面側の導電性材料膜よりも小さくなっているの
で、圧着時に加圧面に近い上層の導電性材料膜が大きく
圧延され四方に延びても、圧着後の導電性材料膜はほぼ
同じような形状となる。

【００１４】また、請求項２記載の製造方法は、シ−ト
の中心部以外に導電性材料膜が形成される場合に有用で
ある。即ち、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置
する導電性材料膜が他面側の導電性材料膜よりもシ−ト
中心方向にずらされているので、圧着時に加圧面に近い
上層の導電性材料膜が大きく圧延されシ−ト周縁方向に
延びても、圧着後の導電性材料膜は偏りなくほぼ同じよ
うな形状となる。

【００１５】更に、請求項３記載の製造方法は、シ−ト
に多数の導電性材料膜が形成される場合に有用である。 即ち、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導
電性材料膜が他面側の導電性材料膜よりも小さく、しか
も他面側の導電性材料膜よりもシ−ト中心方向にずらさ
れているので、圧着時に加圧面に近い上層の導電性材料
膜が大きく圧延されて四方及びシ−ト周縁方向に延びて
も、圧着後の導電性材料膜は偏りなくほぼ同じような形
状となる。

【００１６】

【実施例１】図１及び図２は本発明の第１実施例を示す
もので、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する
薄膜を他面側の薄膜よりも小さくしたものである。

【００１７】図１には積み重ねられたシ−トの部分断面
図を、図２には圧着されたシ−トの部分断面図を夫々示
してあり、また従来例と構成を一致する部分には同一符
号を用いてある。

【００１８】図において、１は未印刷シ−ト、２は印刷
シ−ト、３は薄膜で、シ−ト２に形成される薄膜３は、
最下層のものが最も大きく加圧面に近くなるに従って一
回り宛徐々に小さくなっている。また、各薄膜３は夫々
の中心を上下方向に一致している。

【００１９】各シ−ト１，２は図１に示すように積み重
ねられ、積み重ねられたシ−トはその上面を加圧されて
相互に圧着される。

【００２０】上記の製造方法は、シ−ト２に形成される
薄膜の数が少ない場合に有用である。即ち、圧着時に加
圧面に近い上層の薄膜３が大きく圧延され四方に延びる
場合でも、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置す
る薄膜３が他面側の薄膜３よりも小さくなっているので
、図４に示すように圧着後の各薄膜３はその断面幅Ｗが
全て一致し形状は同一になる。

【００２１】つまり、図２に示す圧着後のシ−トを切断
して積層体を得る場合でも、各層の薄膜３と切断位置（
図中の破線位置）との距離が等しくなるので、従来のよ
うにカットマ−ジンが過剰になる部分がなく、デッドス
ペ−スを極力減少することができる。

【００２２】

【実施例２】図３及び図４は本発明の第２実施例を示す
もので、第１実施例と同様に、積み重ねられたシ−トの
加圧面寄りに位置する薄膜を他面側の薄膜よりも小さく
したものである。

【００２３】図３には積み重ねられたシ−トの部分断面
図を、図４には圧着されたシ−トの部分断面図を夫々示
してあり、また従来例と構成を一致する部分には同一符
号を用いてある。

【００２４】図において、１は未印刷シ−ト、２は印刷
シ−ト、３は薄膜で、シ−ト２に形成される薄膜３は、
下層２つが大きく加圧面に近い上層２つが下層のものよ
り一回り小さくなっている。つまり、薄膜３は加圧面に
近くなるに従って段階的に小さくなっている。また、各
薄膜３は夫々の中心を上下方向に一致している。

【００２５】各シ−ト１，２は図１に示すように積み重
ねられ、積み重ねられたシ−トはその上面を加圧されて
相互に圧着される。

【００２６】上記の製造方法は、実施例１と同様、シ−
ト２に形成される薄膜の数が少ない場合に有用である。 即ち、圧着時に加圧面に近い上層の薄膜３が大きく圧延
され四方に延びる場合でも、積み重ねられたシ−トの加
圧面寄りに位置する薄膜３が他面側の薄膜３よりも小さ
くなっているので、図４に示すように圧着後の薄膜３に
２種類の断面幅Ｗ１，Ｗ２が生じるものの、その形状は
ほぼ同一となる。

【００２７】つまり、図４に示す圧着後のシ−トを切断
して積層体を得る場合でも、各層の薄膜３と切断位置（
図中の破線位置）との距離がほぼ等しくなるので、従来
のようにカットマ−ジンが過剰になる部分がなく、デッ
ドスペ−スを極力減少することができる。

【００２８】

【実施例３】図５及び図６は本発明の第３実施例を示す
もので、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する
薄膜を他面側の薄膜よりもシ−ト中心方向にずらしたも
のである。

【００２９】図５には積み重ねられたシ−トの部分断面
図を、図６には圧着されたシ−トの部分断面図を夫々示
してあり、また従来例と構成を一致する部分には同一符
号を用いてある。

【００３０】図において、１は未印刷シ−ト、２は印刷
シ−ト、３は薄膜で、シ−ト２に形成される薄膜３は夫
々が同一形状を有しており、加圧面に近い上層２つが下
層のものよりシ−トの中心方向に僅かにずらされている
。また、上記のずらし寸法は、圧着時における延びが周
縁部分で最大になることを考慮し、シ−ト中心部から離
れるほど徐々に大きくしてある。

【００３１】各シ−ト１，２は図１に示すように積み重
ねられ、積み重ねられたシ−トはその上面を加圧されて
相互に圧着される。

【００３２】上記の製造方法は、シ−トの中心部以外に
薄膜が形成される場合に有用である。即ち、圧着時に加
圧面に近い上層の薄膜３が大きく圧延されシ−トの周縁
方向に延びる場合でも、積み重ねられたシ−トの加圧面
寄りに位置する薄膜３が他面側の薄膜３よりもシ−ト中
心方向にずらされているので、図６に示すように圧着後
の薄膜３の断面幅に多少のばらつきを生じるものの、薄
膜３の偏りを従来に比べて防止することができる。

【００３３】つまり、図８に示す圧着後のシ−トを切断
して積層体を得る場合でも、各層の薄膜３と切断位置（
図中の破線位置）との左右の距離がほぼ等しくなるので
、従来のようにカットマ−ジンが過剰になる部分がない
。

【００３４】

【実施例４】図７及び図８は本発明の第４実施例を示す
もので、積み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する
薄膜を、他面側の薄膜よりも小さくすると共に他面側の
薄膜よりもシ−ト中心方向にずらしたものである。

【００３５】図７には積み重ねられたシ−トの部分断面
図を、図８には圧着されたシ−トの部分断面図を夫々示
してあり、また従来例と構成を一致する部分には同一符
号を用いてある。

【００３６】図において、１は未印刷シ−ト、２は印刷
シ−ト、３は薄膜で、シ−ト２に形成される薄膜３は、
最下層のものが最も大きく加圧面に近くなるに従って一
回り宛徐々に小さくなっており、またその中心位置が加
圧面に近くなるに従ってシ−ト中心方向に僅かにずらさ
れている。また、上記のずらし寸法は、圧着時における
延びが周縁部分で最大になることを考慮し、シ−ト中心
部から離れるほど徐々に大きくしてある。

【００３７】各シ−ト１，２は図１に示すように積み重
ねられ、積み重ねられたシ−トはその上面を加圧されて
相互に圧着される。

【００３８】上記の製造方法は、シ−ト２に多数の薄膜
が形成される場合に有用である。即ち、圧着時に加圧面
に近い上層の薄膜３が大きく圧延され四方に延び、且つ
シ−トの周縁方向に延びる場合でも、積み重ねられたシ
−トの加圧面寄りに位置する薄膜３が他面側の薄膜３よ
りも小さく、しかも他面側の薄膜３よりもシ−ト中心方
向にずらされているので、図８に示すように圧着後の各
薄膜３は偏りがなく、その断面幅Ｗが全て一致し形状は
同一になる。

【００３９】つまり、図８に示す圧着後のシ−トを切断
して積層体を得る場合でも、各層の薄膜３と切断位置（
図中の破線位置）との左右の距離が等しくなるので、従
来のようにカットマ−ジンが過剰になる部分がなく、デ
ッドスペ−スを極力減少することができる。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１及び３記
載の製造方法によれば、圧着時に加圧面に近い上層の導
電性材料膜が大きく圧延されても、圧着後の導電性材料
膜をほぼ同じような形状にすることができる。従って、
上記の積層体を用いて積層コンデンサを作成すれば、従
来に比べて大きな容量を有し、しかも容量にばらつきの
ない積層コンデンサを供給することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例を示す積み重ねられたシ−トの部分
断面図

【図２】圧着されたシ−トの部分断面図

【図３】第２実
施例を示す積み重ねられたシ−トの部分断面図

【図４】圧着されたシ−トの部分断面図

【図５】第３実
施例を示す積み重ねられたシ−トの部分断面図

【図６】圧着されたシ−トの部分断面図

【図７】第４実
施例を示す積み重ねられたシ−トの部分断面図

【図８】圧着されたシ−トの部分断面図

【図９】従来例
を示す積み重ね前のシ−トの側面図

【図１０】積み重ね
られたシ−トの部分断面図

【図１１】圧着されたシ−ト
の部分断面図

【図１２】圧着されたシ−トの部分断面図

【符号の説明】

１，２…シ−ト、３…薄膜。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定形状の導電性材料膜が多数並設された
   絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた後、該シ−トの一面に
   圧力をかけて各シ−トを相互に圧着させ、圧着後のシ−
   トを切断するようにした積層体の製造方法において、積
   み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導電性材料
   膜を、他面側の導電性材料膜よりも小さくした、ことを
   特徴とする積層体の製造方法。
2. 【請求項２】所定形状の導電性材料膜が多数並設された
   絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた後、該シ−トの一面に
   圧力をかけて各シ−トを相互に圧着させ、圧着後のシ−
   トを切断するようにした積層体の製造方法において、積
   み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導電性材料
   膜を、他面側の導電性材料膜よりもシ−ト中心方向にず
   らした、ことを特徴とする積層体の製造方法。
3. 【請求項３】所定形状の導電性材料膜が多数並設された
   絶縁性シ−トを複数枚積み重ねた後、該シ−トの一面に
   圧力をかけて各シ−トを相互に圧着させ、圧着後のシ−
   トを切断するようにした積層体の製造方法において、積
   み重ねられたシ−トの加圧面寄りに位置する導電性材料
   膜を、他面側の導電性材料膜よりも小さくすると共に他
   面側の導電性材料膜よりもシ−ト中心方向にずらした、
   ことを特徴とする積層体の製造方法。