JPH04313649A - 冷凍装置 - Google Patents
冷凍装置Info
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- JPH04313649A JPH04313649A JP7786691A JP7786691A JPH04313649A JP H04313649 A JPH04313649 A JP H04313649A JP 7786691 A JP7786691 A JP 7786691A JP 7786691 A JP7786691 A JP 7786691A JP H04313649 A JPH04313649 A JP H04313649A
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
- F25B9/145—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle pulse-tube cycle
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F25B2309/1408—Pulse-tube cycles with pulse tube having U-turn or L-turn type geometrical arrangements
-
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F25B2309/1424—Pulse tubes with basic schematic including an orifice and a reservoir
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- F25B2309/14241—Pulse tubes with basic schematic including an orifice reservoir multiple inlet pulse tube
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
- Compression-Type Refrigeration Machines With Reversible Cycles (AREA)
- Sorption Type Refrigeration Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスチュ−ブを使用
して、低温取出用熱交換器に100〜20K(−173
〜−253℃)の極低温を実現する冷凍装置に関するも
のである。
して、低温取出用熱交換器に100〜20K(−173
〜−253℃)の極低温を実現する冷凍装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】本出願人等が特願平1−335564号
で提案した従来のこの種冷凍装置を図3に示す。
で提案した従来のこの種冷凍装置を図3に示す。
【0003】同図において1は内部に極低温(20K以
下)にて液体状態となるガス状冷媒、例えばヘリウムが
充填されたコンプレッサであり、シリンダ11内にピス
トン12が移動可能に設けられている。
下)にて液体状態となるガス状冷媒、例えばヘリウムが
充填されたコンプレッサであり、シリンダ11内にピス
トン12が移動可能に設けられている。
【0004】2は前記コンプレッサ1にパイプ3を介し
て連結された蓄冷器であり、内部に銅や鉛等の蓄冷材2
1を充填している。
て連結された蓄冷器であり、内部に銅や鉛等の蓄冷材2
1を充填している。
【0005】4は前記蓄冷器2にパイプ5を介して連結
されたパルスチュ−ブであり、ステンレス鋼より形成さ
れている。
されたパルスチュ−ブであり、ステンレス鋼より形成さ
れている。
【0006】6は100〜20Kの極低温を取り出すた
めの低温取出用熱交換器であり銅等の熱伝導性の高い材
料からなり、前記パイプ5の途中に設けられている。
めの低温取出用熱交換器であり銅等の熱伝導性の高い材
料からなり、前記パイプ5の途中に設けられている。
【0007】7は前記パルスチュ−ブ4にパイプ8を介
して連結されたバッファタンクであり、前記パイプ8の
途中にニ−ドル弁等のオリフィス弁9が設けられている
。
して連結されたバッファタンクであり、前記パイプ8の
途中にニ−ドル弁等のオリフィス弁9が設けられている
。
【0008】21は前記蓄冷器2のコンプレッサ1側端
部に設けられた放熱用熱交換器、41は前記パルスチュ
−ブ4のバッファタンク7側端部に設けられた放熱用熱
交換器であり、水冷式あるいは空冷の放熱フィンが用い
られる。またこれらの材料としては熱伝導率の高い銅等
が用いられている。
部に設けられた放熱用熱交換器、41は前記パルスチュ
−ブ4のバッファタンク7側端部に設けられた放熱用熱
交換器であり、水冷式あるいは空冷の放熱フィンが用い
られる。またこれらの材料としては熱伝導率の高い銅等
が用いられている。
【0009】尚、前記蓄冷器2、低温取出用熱交換器6
、パルスチュ−ブ4、及びこれらを連結するパイプ5は
真空チャンバ(真空度10−4torr以下)10に収
納されている上記の構成においてピストン12の図3下
方向への移動による圧縮過程においてコンプレッサ1で
圧縮したガス状冷媒は、放熱用熱交換器21及び蓄冷器
2を通る間に冷却されてパルスチュ−ブ4内に流入し、
このパルスチュ−ブ4内の残留冷媒は圧縮されてその圧
縮熱が放熱用熱交換器41に放熱され、さらに冷媒がオ
リフィス弁9を通る間に断熱膨張により冷却されてバッ
ファタンク7内に流入する。
、パルスチュ−ブ4、及びこれらを連結するパイプ5は
真空チャンバ(真空度10−4torr以下)10に収
納されている上記の構成においてピストン12の図3下
方向への移動による圧縮過程においてコンプレッサ1で
圧縮したガス状冷媒は、放熱用熱交換器21及び蓄冷器
2を通る間に冷却されてパルスチュ−ブ4内に流入し、
このパルスチュ−ブ4内の残留冷媒は圧縮されてその圧
縮熱が放熱用熱交換器41に放熱され、さらに冷媒がオ
リフィス弁9を通る間に断熱膨張により冷却されてバッ
ファタンク7内に流入する。
【0010】その後、ピストン11の図3上方向への移
動による膨張過程においてコンプレッサ1内へ前記冷媒
を吸引動作することで前記バッファタンク7内に蓄積さ
れたガス状冷媒を、復帰移動させ、これを前記パルスチ
ュ−ブ4内で断熱膨張させ、更に低温化させて低温取出
用熱交換器6及び蓄冷器2を冷却させて前記コンプレッ
サ1に帰還させる。
動による膨張過程においてコンプレッサ1内へ前記冷媒
を吸引動作することで前記バッファタンク7内に蓄積さ
れたガス状冷媒を、復帰移動させ、これを前記パルスチ
ュ−ブ4内で断熱膨張させ、更に低温化させて低温取出
用熱交換器6及び蓄冷器2を冷却させて前記コンプレッ
サ1に帰還させる。
【0011】このように冷媒の往復移動サイクルを繰り
返すことにより、低温取出用熱交換器6にて極低温を得
る様にしたものである。
返すことにより、低温取出用熱交換器6にて極低温を得
る様にしたものである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
従来の冷凍装置では、低温取出用熱交換器6がある程度
低温になってくると、放熱用熱交換器41に在る冷媒が
低温取出用熱交換器6まで侵入するときに外部からの熱
侵入が起こり、これが原因で得られる温度が限られてし
まうという問題点があった。
従来の冷凍装置では、低温取出用熱交換器6がある程度
低温になってくると、放熱用熱交換器41に在る冷媒が
低温取出用熱交換器6まで侵入するときに外部からの熱
侵入が起こり、これが原因で得られる温度が限られてし
まうという問題点があった。
【0013】また、前記熱侵入を防ぐための方法として
はパルスチュ−ブ4部分を長くする方法が考えられるが
、このようにすると冷凍装置自身が大きくなり、大型の
圧縮機も必要となるという問題点があった。
はパルスチュ−ブ4部分を長くする方法が考えられるが
、このようにすると冷凍装置自身が大きくなり、大型の
圧縮機も必要となるという問題点があった。
【0014】本発明は斯かる従来技術の問題点に鑑み、
構造が簡単で冷凍能力の高い極低温用の冷凍装置を提供
することを目的とするものである。
構造が簡単で冷凍能力の高い極低温用の冷凍装置を提供
することを目的とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部にガス状
冷媒が充填されたコンプレッサと、蓄冷材が充填された
蓄冷器と、中空のパルスチュ−ブと、バッファタンクと
をパイプを介して直列に連結し、前記蓄冷器とパルスチ
ュ−ブとの間に低温取出用熱交換器を設けるとともに、
前記バッファタンクとパルスチュ−ブとの間に多孔状の
熱交換器を設けてなるものである。
冷媒が充填されたコンプレッサと、蓄冷材が充填された
蓄冷器と、中空のパルスチュ−ブと、バッファタンクと
をパイプを介して直列に連結し、前記蓄冷器とパルスチ
ュ−ブとの間に低温取出用熱交換器を設けるとともに、
前記バッファタンクとパルスチュ−ブとの間に多孔状の
熱交換器を設けてなるものである。
【0016】
【作用】上記の手段により、圧縮過程でコンプレッサ−
で圧縮されたガス状冷媒は、バッファタンクとパルスチ
ュ−ブとの間の多孔状の熱交換器を通過する際、各細孔
で流路が狭くなり、減圧膨張により断熱膨張して冷却さ
れ、さらに放熱用熱交換器にて冷却される。次に前記冷
媒が放熱用熱交換器からバッファタンクに流入する際、
膨張して冷却される。
で圧縮されたガス状冷媒は、バッファタンクとパルスチ
ュ−ブとの間の多孔状の熱交換器を通過する際、各細孔
で流路が狭くなり、減圧膨張により断熱膨張して冷却さ
れ、さらに放熱用熱交換器にて冷却される。次に前記冷
媒が放熱用熱交換器からバッファタンクに流入する際、
膨張して冷却される。
【0017】その後、膨張過程においてコンプレッサが
吸引動作すると、パルスチュ−ブ内のガスは断熱膨張し
て低温化する。そしてバッファタンクの冷媒が復帰移動
して多孔状の熱交換器で冷却され、低温化した後、パル
スチュ−ブ内に入り、該チュ−ブの内部ガスを押し出す
。こうしてパルスチュ−ブ内の冷媒は低温取出用熱交換
器及び蓄冷器を冷却し、前記コンプレッサに帰還する。
吸引動作すると、パルスチュ−ブ内のガスは断熱膨張し
て低温化する。そしてバッファタンクの冷媒が復帰移動
して多孔状の熱交換器で冷却され、低温化した後、パル
スチュ−ブ内に入り、該チュ−ブの内部ガスを押し出す
。こうしてパルスチュ−ブ内の冷媒は低温取出用熱交換
器及び蓄冷器を冷却し、前記コンプレッサに帰還する。
【0018】従って、放熱用熱交換器部分にある冷媒が
低温取出用熱交換器部分へ熱を運ぶことによる該低温取
出用熱交換器への熱侵入を抑えると共に、冷媒が多孔状
の熱交換器を通過する際の膨張効果によって、従来の構
造よりも冷凍発生効果を高め、冷凍装置としての冷凍能
力が向上する。
低温取出用熱交換器部分へ熱を運ぶことによる該低温取
出用熱交換器への熱侵入を抑えると共に、冷媒が多孔状
の熱交換器を通過する際の膨張効果によって、従来の構
造よりも冷凍発生効果を高め、冷凍装置としての冷凍能
力が向上する。
【0019】
【実施例】以下本発明の冷凍装置の一実施例を図1に基
づいて詳細に説明する。尚前述の従来例と同じ構成につ
いては同一符号を付して示している。
づいて詳細に説明する。尚前述の従来例と同じ構成につ
いては同一符号を付して示している。
【0020】同図において、1はコンプレッサ−で、シ
リンダ−11の内部に往復動型のピストン12を収納し
、内部にガス状冷媒としてのヘリウムを充填している。
リンダ−11の内部に往復動型のピストン12を収納し
、内部にガス状冷媒としてのヘリウムを充填している。
【0021】2はコンプレッサ1に配管接続された蓄冷
器で、鉛や銅などから成る蓄冷材22を収納している。 21は蓄冷器側放熱用熱交換器で、前記蓄冷器2のコン
プレッサ1側端部に設けられ、水冷または空冷されるも
のである。
器で、鉛や銅などから成る蓄冷材22を収納している。 21は蓄冷器側放熱用熱交換器で、前記蓄冷器2のコン
プレッサ1側端部に設けられ、水冷または空冷されるも
のである。
【0022】6は蓄冷器2にパイプ5を介して配管接続
された低温取出用熱交換器、4は該低温取出用熱交換器
6に配管接続されたステンレス鋼製のパルスチュ−ブで
ある。
された低温取出用熱交換器、4は該低温取出用熱交換器
6に配管接続されたステンレス鋼製のパルスチュ−ブで
ある。
【0023】7は前記パルスチュ−ブ4にパイプ8を介
して配管接続されたバッファタンク、9は該パイプ8の
途中に設けられたニ−ドル弁等のオリフィス弁、41は
前記パルスチュ−ブ4のバッファタンク7側に設けられ
た放熱用熱交換器である。
して配管接続されたバッファタンク、9は該パイプ8の
途中に設けられたニ−ドル弁等のオリフィス弁、41は
前記パルスチュ−ブ4のバッファタンク7側に設けられ
た放熱用熱交換器である。
【0024】42は前記パルスチュ−ブ4の熱交換器4
1側端部に設けられたメッシュを内蔵した多孔状熱交換
器で、膨張効果による圧縮熱の放熱と熱交換器41等の
高温部からの熱侵入を少なくするためのものである。
1側端部に設けられたメッシュを内蔵した多孔状熱交換
器で、膨張効果による圧縮熱の放熱と熱交換器41等の
高温部からの熱侵入を少なくするためのものである。
【0025】尚、前記蓄冷器2、パイプ5及びパルスチ
ュ−ブ4は真空度10−4torr以下の真空チャンバ
10内に収納され断熱されている。
ュ−ブ4は真空度10−4torr以下の真空チャンバ
10内に収納され断熱されている。
【0026】上記の構成において、圧縮工程では前記パ
ルスチュ−ブ4から押し出された冷媒を前記オリフィス
弁9を通過させて前記バッファタンク7内に入れ、膨張
工程では逆にバッファタンク7からの冷媒をオリフィス
弁9と多孔状熱交換器42を通過せしめて、前記パルス
チュ−ブ4内に流入させる。
ルスチュ−ブ4から押し出された冷媒を前記オリフィス
弁9を通過させて前記バッファタンク7内に入れ、膨張
工程では逆にバッファタンク7からの冷媒をオリフィス
弁9と多孔状熱交換器42を通過せしめて、前記パルス
チュ−ブ4内に流入させる。
【0027】前記多孔状の熱交換器42は、前記パルス
チュ−ブ4と放熱用熱交換器41の間に接続することで
、この熱交換器42の内部を冷媒が流通するように構成
してある。この熱交換器42は、具体的には、ステンレ
スまたはナイロン等の熱伝導性の悪い材料のメッシュで
ある。そしてこの熱交換器42は、そのメッシュ間隔で
形成される多孔状部分で流路を狭くして冷媒を減圧膨張
して噴射させると共に、熱交換器41からの熱侵入を少
なくするように機能する。
チュ−ブ4と放熱用熱交換器41の間に接続することで
、この熱交換器42の内部を冷媒が流通するように構成
してある。この熱交換器42は、具体的には、ステンレ
スまたはナイロン等の熱伝導性の悪い材料のメッシュで
ある。そしてこの熱交換器42は、そのメッシュ間隔で
形成される多孔状部分で流路を狭くして冷媒を減圧膨張
して噴射させると共に、熱交換器41からの熱侵入を少
なくするように機能する。
【0028】斯かる実施例の冷凍装置では、圧縮過程に
おいてコンプレッサ1を圧縮動作させると、圧縮された
冷媒ガスはその圧縮熱を放熱用熱交換器21と蓄冷器4
にて放熱してパルスチュ−ブ4に流入し、このパルスチ
ュ−ブ4内の残留ガスを圧縮する。パルスチュ−ブ4内
での圧縮熱は前記多孔状の熱交換器18と放熱用熱交換
器41で放熱し、冷却されてバッファ−タンク7に流入
する。
おいてコンプレッサ1を圧縮動作させると、圧縮された
冷媒ガスはその圧縮熱を放熱用熱交換器21と蓄冷器4
にて放熱してパルスチュ−ブ4に流入し、このパルスチ
ュ−ブ4内の残留ガスを圧縮する。パルスチュ−ブ4内
での圧縮熱は前記多孔状の熱交換器18と放熱用熱交換
器41で放熱し、冷却されてバッファ−タンク7に流入
する。
【0029】その後、膨張過程においてコンプレッサ1
を吸引動作させると、冷媒ガスは前記バッファタンク7
から復帰移動して熱交換器41で熱放出した後、パルス
チュ−ブ4内で断熱膨張し、更に低温化して、低温取出
用熱交換器6及び蓄冷器2を冷却してコンプレッサ1に
戻る。
を吸引動作させると、冷媒ガスは前記バッファタンク7
から復帰移動して熱交換器41で熱放出した後、パルス
チュ−ブ4内で断熱膨張し、更に低温化して、低温取出
用熱交換器6及び蓄冷器2を冷却してコンプレッサ1に
戻る。
【0030】このように冷媒の往復移動サイクルを繰り
返すことにより、低温取出用熱交換器6に150〜20
K(−123 〜−253℃)の極低温が得られるよう
になる。
返すことにより、低温取出用熱交換器6に150〜20
K(−123 〜−253℃)の極低温が得られるよう
になる。
【0031】また前記冷凍装置では、圧縮過程の冷媒ガ
スは、多孔状の熱交換器42の多孔状部分を通過する際
、各細孔で減圧膨張により冷却される。また、この熱交
換器42は膨張過程でバッファタンク7と放熱用熱交換
器41部分の常温(300K)付近の温度の冷媒ガスが
パルスチュ−ブ4内に入る際に極低温の冷媒ガスと熱交
換するため、パルスチュ−ブ4内に熱が侵入するのを防
ぐ。従って、冷凍装置のシステムとしての冷凍能力が高
まる。
スは、多孔状の熱交換器42の多孔状部分を通過する際
、各細孔で減圧膨張により冷却される。また、この熱交
換器42は膨張過程でバッファタンク7と放熱用熱交換
器41部分の常温(300K)付近の温度の冷媒ガスが
パルスチュ−ブ4内に入る際に極低温の冷媒ガスと熱交
換するため、パルスチュ−ブ4内に熱が侵入するのを防
ぐ。従って、冷凍装置のシステムとしての冷凍能力が高
まる。
【0032】図2は本発明の他の実施例を示す。この実
施例は従来のオリフィスパルス管冷凍機のコンプレッサ
1とパルス管高温端部分31、32を細い管23にて接
続し、その中間部に流量を調節するオリフィス弁24を
追加させた構造のダブルインレット型と呼ばれているオ
リフィスパルス管冷凍機に適用した例である。
施例は従来のオリフィスパルス管冷凍機のコンプレッサ
1とパルス管高温端部分31、32を細い管23にて接
続し、その中間部に流量を調節するオリフィス弁24を
追加させた構造のダブルインレット型と呼ばれているオ
リフィスパルス管冷凍機に適用した例である。
【0033】この冷凍装置は、コンプレッサ1とパルス
管高温端31、32との間に細い管23とオリフィス弁
24を追加することによって、パルスチュ−ブ4内での
圧縮・膨張の効果を高めようとするものである。
管高温端31、32との間に細い管23とオリフィス弁
24を追加することによって、パルスチュ−ブ4内での
圧縮・膨張の効果を高めようとするものである。
【0034】尚、この実施例では、細い管22とオリフ
ィス弁23の追加以外は前記実施例と同様に構成されて
いるため、その他の構成についての説明は省略する。
ィス弁23の追加以外は前記実施例と同様に構成されて
いるため、その他の構成についての説明は省略する。
【0035】また、前記コンプレッサ1については、レ
シプロタイプのものの代わりに、ロ−タリコンプレッサ
とガス吸気・排気弁との組み合わせから成るもので構成
するものも実施できる。
シプロタイプのものの代わりに、ロ−タリコンプレッサ
とガス吸気・排気弁との組み合わせから成るもので構成
するものも実施できる。
【0036】
【発明の効果】本発明は、内部にガス状冷媒が充填され
たコンプレッサと、蓄冷材が充填された蓄冷器と、中空
のパルスチュ−ブと、バッファタンクとをパイプを介し
て直列に連結し、前記蓄冷器とパルスチュ−ブとの間に
低温取出用熱交換器を設けるとともに、前記バッファタ
ンクとパルスチュ−ブとの間に多孔状の熱交換器を設け
たものであり、圧縮過程ではパルスチュ−ブ内で圧縮さ
れた冷媒ガスが熱交換器の多孔状部分を通過する際、断
熱膨張させるので冷却効果が向上し、また膨張過程では
高温端部からの熱侵入を少なくすることができ、冷凍能
力の高い極低温冷凍装置が提供できる。
たコンプレッサと、蓄冷材が充填された蓄冷器と、中空
のパルスチュ−ブと、バッファタンクとをパイプを介し
て直列に連結し、前記蓄冷器とパルスチュ−ブとの間に
低温取出用熱交換器を設けるとともに、前記バッファタ
ンクとパルスチュ−ブとの間に多孔状の熱交換器を設け
たものであり、圧縮過程ではパルスチュ−ブ内で圧縮さ
れた冷媒ガスが熱交換器の多孔状部分を通過する際、断
熱膨張させるので冷却効果が向上し、また膨張過程では
高温端部からの熱侵入を少なくすることができ、冷凍能
力の高い極低温冷凍装置が提供できる。
【図1】図1は、本発明の一実施例を示す冷凍装置のシ
ステム構成図である。
ステム構成図である。
【図2】図2は、本発明の他の実施例を示す冷凍装置の
システム構成図である。
システム構成図である。
【図3】図3は、従来の冷凍装置のシステム構成図であ
る。
る。
1 コンプレッサ
11 シリンダ
12 ピストン
2 蓄冷器
22 蓄冷材
21、41 放熱用熱交換器
6 低温取出用熱交換器
4 パルスチュ−ブ
42 多孔状熱交換器
19 放熱用熱交換器
7 バッファタンク
9 オリフィス弁
Claims (1)
- 【請求項1】 内部にガス状冷媒が充填されたコンプ
レッサと、蓄冷材が充填された蓄冷器と、中空のパルス
チュ−ブと、バッファタンクとをパイプを介して直列に
連結し、前記蓄冷器とパルスチュ−ブとの間に低温取出
用熱交換器を設けるとともに、前記バッファタンクとパ
ルスチュ−ブとの間に多孔状の熱交換器を設けてなる冷
凍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3077866A JP2834897B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3077866A JP2834897B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 冷凍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04313649A true JPH04313649A (ja) | 1992-11-05 |
| JP2834897B2 JP2834897B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=13645978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3077866A Expired - Fee Related JP2834897B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2834897B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113050A (ja) * | 1995-10-18 | 1997-05-02 | Idoutai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk | パルス管冷凍機 |
| US7047750B2 (en) * | 2001-08-30 | 2006-05-23 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pulse tube refrigerating machine |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP3077866A patent/JP2834897B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113050A (ja) * | 1995-10-18 | 1997-05-02 | Idoutai Tsushin Sentan Gijutsu Kenkyusho:Kk | パルス管冷凍機 |
| US7047750B2 (en) * | 2001-08-30 | 2006-05-23 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pulse tube refrigerating machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2834897B2 (ja) | 1998-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |