JPH04315537A - バキューム・チャック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、切削又は研削する加工
物に無理な変形を与えることなく、確実に加工機に保持
することのできるバキュームチャックに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】下面が比較的平坦な加工物を、フライス
盤や研削盤等のテーブル上に固定する保持具として、マ
グネット・チャックが有効であり、また非磁性体の加工
物に対しては、平版に多数の吸着穴を配設したバキュー
ム・チャックなどが利用されている。これ等チャックの
吸着面は、当然平面度良く仕上げられているから、加工
物下面の平面度が良好な場合は問題ないが、これがあま
り良くない場合は、吸着保持力が弱くなるか、または加
工物を湾曲させて、その下面を強制的にチャック面に密
着させてしまう。このため後者の場合は、上側加工面が
平面度良く仕上げられても、加工後製品をチャックから
外すと、内部応力により、加工物は保持した以前の形状
に戻り、折角平坦に仕上げた加工面が湾曲してしまうこ
とになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この様な欠点を除去す
るには加工物の下面、即ちチャックに吸着される面の形
状を変形させることなく加工物を確実に保持し、これに
内部応力を発生させないことが肝要である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】このため本発明は、チャ
ックの台版に多数の吸着ブロックを配設し、その各々が
上部吸着面の傾斜角を変えられる様に溝内に浮動的に装
備し、この吸着ブロックを一旦加工物の下面に夫々吸着
させた後、第２配管系のバキューム作用により、各吸着
ブロックを縦溝内に固定し、結果的に加工物を台版上に
保持するもので、加工物が強制的にチャック上面に密着
されることがなくなる。

【０００５】

【実施例】図面は本発明の一実施例を示すもので、図中
Ａは加工上、上板１と下板２とで構成されるチャックの
台版で、上面に複数の縦溝３を列設し、これに等間的配
列で吸着ブロックＢをはめ込み、夫々縦溝３内での摺動
を可能とさせる。この吸着ブロックＢには夫々上面凹部
４と側面凹部５を形成し、上面凹部４は吸着ブロックＢ
を貫通する縦穴６と、その下部に取り付けた継手７や可
撓性チューブ８などにより、第１配管系Ｃに連通させる
。また台版Ａ（図面では上板１）内に通気路９を穿設し
、その一方側を縦溝３内の開口部１０として、前記吸着
ブロックＢの側面凹部５に夫々対応させ、他方側は第２
配管系Ｄとして集合させる。

【０００６】各吸着ブロックＢの下部には弱いバネ１１
を装着して、吸着ブロックＢの上面が図３の様に台版Ａ
の上面よりやゝ突出する様にし（この突出量は、全ての
吸着ブロックが均一になる様に、例えばバネ１１として
ボールプランジャなどを使用すると調節が容易である）
、縦穴６に接続された可撓性チユーブ８は、縦溝下部の
穴１２や、下板２に設けた溝部１３を通して集合させ、
外部に導く。また必要に応じて各吸着ブロックＢの他側
面に板バネ１４などを取り付け、側面凹部５が開口部１
０側の縦溝内側面に密接することを促す。

【０００７】本発明の実施例は上記の様に構成されてい
るので、台版Ａ上に載せた加工物の下面が平坦でない場
合、台版Ａの上面と加工物とは、ある特定個所では密着
するが、被吸着面の平面度に応じて隙間のある処ができ
る。そこで第１配管系Ｃを真空装置に連通すると、各吸
着ブロックＢの上面凹部４に吸引作用が起こり、吸着ブ
ロックＢ自体が上方に移動して、加工物に密着する。被
吸着面が台版Ａの上面と平行でない部分では、図２に示
す様に浮上した吸着ブロックＢが傾斜して、上面を加工
物に密着させる。

【０００８】この様な吸着ブロックＢの動作は、加工物
の下面各所で行われ、縦溝３内で浮動した所要数の吸着
ブロックＢが加工物の下面に固定されるので、次に第２
配管系Ｄを真空状態にすれば、開口部１０からの吸引作
用により、吸着ブロックＢは側面凹部５の面で縦溝３内
に固定される。この結果加工物は下面の形状を変えるこ
となく、吸着ブロックＢを介して台版Ａに確実に固定さ
れ、フライス切削又は研削加工に供することができる。

【０００９】この様にして上面を加工された製品は、第
１配管系の真空破壊によりチャックから取り外されるが
、被保持面を変形させる様な強制吸着が行われなかった
ため、取り外し後も加工面の平面度が狂うことはない。 従って上下両面の良好な平行度を必要とする薄板などの
加工には、先ず上記の方法で片面を加工した後、第１配
管系及び第２配管系共に真空の破壊作用を与えて加工物
を取外す。次に台版Ａ上に基準面を下にして平定盤を載
せ、各吸着ブロックＢを押し下げてその上面が台版Ａの
上面と同一平面になる様にした後、第２配管系のみに真
空作用を与えれば、全ての吸着ブロックＢは、この状態
のまゝ縦溝３内に固定される。こゝで上記平定盤を取り
外した後、台版Ａ上に一次加工面を下にして加工物を載
せ、再び第１配管系に吸着作用を与えれば、所望のチャ
ッキングが行われ、この固定状態での加工により、平面
度、平行度共に良好な加工が可能となり、チャック離脱
後も加工物の平面度が狂うことはない。

【００１０】又各吸着ブロックＢの上面凹部４が全て連
通している場合、加工物によって上面凹部４が覆われな
い吸着ブロックは、他のブロックの吸引力を悪化させる
が、第１配管系を吸着ブロック毎に各別の開閉装置に接
続するか、または数個の回路に分割すれば、加工物の大
きさや台版への載架位置に対処できるが、この装置は本
発明の要旨外であるため説明を省略する。

【００１１】

【発明の効果】以上説明した様に本発明のバキューム・
チャックは、上面と側面とに夫々別個の吸着面を形成し
た吸着ブロックを台版の縦溝内に列設し、その各々が加
工物の被吸着面に倣って浮動密着する様にし、これ等の
吸着ブロックを介して加工物を台版に固定するもので、
従来の平面チャックの様に加工物の下面を強制的に吸着
し、これを変形させて内部応力を発生させないので、ア
ンチャック時に加工面の復元変形作用が起こらない。従
って両面加工を必要とする薄板状加工物などは、平行度
を得るための繰り返し補正加工が必要となる。

【００１２】近来の部材軽量化に伴ない、鉄鋼系材は肉
薄となり、アルミなどの軽量金属、プラスチック類は剛
性が低いので、加工時の保持には特殊な治具が必要とな
り、更にその締め付けにも微妙な調整が要求され、簡潔
な作業ができなかった。本発明に系るバキューム・チャ
ックは、この様な低剛性部材の平面加工に特に有効で、
段取り作業の能率と、加工精度の向上に顕著な効果を発
揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に系るバキューム・チャックの上板のみ
を一部切欠いた平画図である。

【図２】加工物を吸着した状態を示すチャックの縦溝中
央部に於ける部分縦断面図である。

【図３】図１に示すＸ−Ｘ線部での部分断面図である。

【図４】吸着ブロックの一実施例を示す平面図である。

【図５】図４に於けるＳ矢視側の側面図である。

【符号の説明】

Ａ　　チャックの台版 Ｂ　　吸着ブロック Ｃ　　第１配管系 Ｄ　　第２配管系 １　　台版の上板 ２　　台版の下板 ３　　縦溝 ４　　吸着ブロックの上面凹部 ５　　吸着ブロックの側面凹部 ８　　可撓性チューブ １０　　第２配管系の開口部 １３　　第１配管系の通る溝部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　夫々上面凹部と側面凹部とを形成した
   吸着ブロックを、台版に列設した縦溝内に浮動的に列設
   し、前記上面凹部を吸着ブロックの縦穴や、その下部に
   接続した可撓性チューブなどにより、第１配管系に連通
   させる一方、台版内に穿設した第２配管系の開口部を、
   前記吸着ブロックの側面凹部に夫々対設したことを特徴
   とするバキューム・チャック。