JPH04316329A - ウェーハ処理装置用搬送機構 - Google Patents
ウェーハ処理装置用搬送機構Info
- Publication number
- JPH04316329A JPH04316329A JP8277991A JP8277991A JPH04316329A JP H04316329 A JPH04316329 A JP H04316329A JP 8277991 A JP8277991 A JP 8277991A JP 8277991 A JP8277991 A JP 8277991A JP H04316329 A JPH04316329 A JP H04316329A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support rod
- carrier
- arm
- arms
- support
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- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 14
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置に
おける半導体基板であるウェーハを処理するウェーハ処
理装置におけるウェーハが複数収納されたキャリアを搬
送するウェーハ処理装置用搬送機構（以下単に搬送機構
と呼ぶ）に関する。
おける半導体基板であるウェーハを処理するウェーハ処
理装置におけるウェーハが複数収納されたキャリアを搬
送するウェーハ処理装置用搬送機構（以下単に搬送機構
と呼ぶ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の搬送機構の一例を示す斜視
図、図４は図３の搬送機構の部分正面図である。従来、
この種の搬送機構は、図３に示すように、ウェーハが複
数枚収納されたキャリア１を挟む複数のテフロン製の一
対のアーム２と、このアーム２の一端を保持し、アーム
２を吊すとともにアーム２と垂直方向に摺動穴が開けら
れた固定具３と、この固定具３の摺動穴に貫通する支持
棒４と、この支持棒４の一端を保持する保持部５と、こ
の保持部５を支えるサポート６と、保持部５の移動する
際にサポート６を案内するレール７とで構成されている
。
図、図４は図３の搬送機構の部分正面図である。従来、
この種の搬送機構は、図３に示すように、ウェーハが複
数枚収納されたキャリア１を挟む複数のテフロン製の一
対のアーム２と、このアーム２の一端を保持し、アーム
２を吊すとともにアーム２と垂直方向に摺動穴が開けら
れた固定具３と、この固定具３の摺動穴に貫通する支持
棒４と、この支持棒４の一端を保持する保持部５と、こ
の保持部５を支えるサポート６と、保持部５の移動する
際にサポート６を案内するレール７とで構成されている
。
【０００３】また、図４に示すように、支持棒４の矢印
方向への回転運動で、一対のアーム２が矢印の方向に開
閉され、キャリア１を把んだり、離脱させたりしている
。さらに、サポート６の上下動により、図３に示す処理
槽１０に浸したり、引揚げたりすることが出来る。一方
、サポート６の下部には移動機構（図示せず）が設けら
れ、キャリア４を隣接した処理槽に搬送するようになっ
ている。
方向への回転運動で、一対のアーム２が矢印の方向に開
閉され、キャリア１を把んだり、離脱させたりしている
。さらに、サポート６の上下動により、図３に示す処理
槽１０に浸したり、引揚げたりすることが出来る。一方
、サポート６の下部には移動機構（図示せず）が設けら
れ、キャリア４を隣接した処理槽に搬送するようになっ
ている。
【０００４】このような搬送機構を使用して、ウェーハ
の処理及び洗浄を各処理槽に浸して、ウェーハの処理を
行っていた。
の処理及び洗浄を各処理槽に浸して、ウェーハの処理を
行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の搬送機
構では、テフロン製のアームを固定している２つの支持
棒の間隔が固定されているので、特定の大きさのキャリ
アしか運搬することができなかった。このため、一台の
搬送機構は、一定の大きさのウェーハだけしか搬送出来
ないという問題点があった。また、特定の寸法より大き
いキャリアをアームで挟むことが出来るが、このために
長時間使用時にアームが変形し、キャリアが脱落し易く
なるという問題がある。
構では、テフロン製のアームを固定している２つの支持
棒の間隔が固定されているので、特定の大きさのキャリ
アしか運搬することができなかった。このため、一台の
搬送機構は、一定の大きさのウェーハだけしか搬送出来
ないという問題点があった。また、特定の寸法より大き
いキャリアをアームで挟むことが出来るが、このために
長時間使用時にアームが変形し、キャリアが脱落し易く
なるという問題がある。
【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消し、キ
ャリアの外形寸法が変っても、キャリアの搬送が出来る
汎用性の高い搬送機構を提供することである。
ャリアの外形寸法が変っても、キャリアの搬送が出来る
汎用性の高い搬送機構を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ処理装
置用搬送機構は、複数枚のウェーハが収納されるキャリ
アの外側面を挟み把むアーム対と、このアーム対の一つ
のアームの一端を保持して吊す支持棒と、この支持棒の
一端側を保持するとともにこの支持棒を所定の角度だけ
回転させる保持部と、この保持部を支えるとともに上下
運動させるサポートと、このサポートの移動を案内する
レールとを備えるウェーハ処理装置用搬送機構において
、前記保持部に固定され、かつ前記支持棒が軸方向に案
内される穴をもつとともに固定用のアームが取り付けら
れる案内用筒と、前記支持棒の前記アームと前記固定用
のアームとの間隔を可変させる機構を有している。
置用搬送機構は、複数枚のウェーハが収納されるキャリ
アの外側面を挟み把むアーム対と、このアーム対の一つ
のアームの一端を保持して吊す支持棒と、この支持棒の
一端側を保持するとともにこの支持棒を所定の角度だけ
回転させる保持部と、この保持部を支えるとともに上下
運動させるサポートと、このサポートの移動を案内する
レールとを備えるウェーハ処理装置用搬送機構において
、前記保持部に固定され、かつ前記支持棒が軸方向に案
内される穴をもつとともに固定用のアームが取り付けら
れる案内用筒と、前記支持棒の前記アームと前記固定用
のアームとの間隔を可変させる機構を有している。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１（ａ）は本発明の一実施例を示す搬送
機構の部分破断斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）の保持
部を拡大で示した正面図である。この搬送機構は、図１
（ａ）に示すように、キャリア１を掴むアーム２ｂを支
持棒４ａに取り付け、もう一つのアーム２ａを保持部で
回転し得るとともに支持棒４ａをｙ方向に移動案内する
ガイドバー８に取り付け、アーム２ａとアーム２ｂとの
間隔を可変出来る機構を保持部５ａに設けたことである
。すなわち、この間隔を変えることによりキャリア１の
大小にかかわらず脱着出来るようにしたことである。
機構の部分破断斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）の保持
部を拡大で示した正面図である。この搬送機構は、図１
（ａ）に示すように、キャリア１を掴むアーム２ｂを支
持棒４ａに取り付け、もう一つのアーム２ａを保持部で
回転し得るとともに支持棒４ａをｙ方向に移動案内する
ガイドバー８に取り付け、アーム２ａとアーム２ｂとの
間隔を可変出来る機構を保持部５ａに設けたことである
。すなわち、この間隔を変えることによりキャリア１の
大小にかかわらず脱着出来るようにしたことである。
【００１０】また、保持部５ａに付加された機構は、支
持棒４の移動を案内するガイドバー８と、支持棒４の一
端側に形成されるねじ部１２にはめ込められるナット部
を内側にもつ歯車９ａと、この歯車９ａと噛み合う歯車
９ｂを回転させるモータ１１とを有している。
持棒４の移動を案内するガイドバー８と、支持棒４の一
端側に形成されるねじ部１２にはめ込められるナット部
を内側にもつ歯車９ａと、この歯車９ａと噛み合う歯車
９ｂを回転させるモータ１１とを有している。
【００１１】このような構造の機構を設けることによっ
て、アーム２ａとアーム２ｂの間隔は、モータ１１を回
転することによって容易に可変出来るので、アーム２の
間隔を変えて、大きいキャリアから小さいキャリアを把
むことが出来る。
て、アーム２ａとアーム２ｂの間隔は、モータ１１を回
転することによって容易に可変出来るので、アーム２の
間隔を変えて、大きいキャリアから小さいキャリアを把
むことが出来る。
【００１２】図２は本発明の他の実施例を示す搬送機構
の部分破断斜視図である。この搬送機構は、同図に示す
ように、前述の実施例では、キャリア１を掴むアームが
一対であるのに対して、もう一対のアームを設けたかと
である。
の部分破断斜視図である。この搬送機構は、同図に示す
ように、前述の実施例では、キャリア１を掴むアームが
一対であるのに対して、もう一対のアームを設けたかと
である。
【００１３】すなわち、矢印の方向に移動する支持棒４
ａの先端を伸ばして延長部１５を形成し、この延長部１
５にアーム２ｃを取り付け、さらに、この延長部１５の
穴に案内されるとともにその軸体にラックが形成される
支持棒４ｂと、この支持棒４ｂに取り付けられるアーム
２ｄとを設けたことである。また、この支持棒４ｂは、
延長部１５に取り付けられるモータ１３のピニオン１４
でラック部を駆動させ、移動される。このような構造で
、振出し竿のように何段も機構を設ければ、キャリアを
着脱するアーム対を複数をもつことができる。
ａの先端を伸ばして延長部１５を形成し、この延長部１
５にアーム２ｃを取り付け、さらに、この延長部１５の
穴に案内されるとともにその軸体にラックが形成される
支持棒４ｂと、この支持棒４ｂに取り付けられるアーム
２ｄとを設けたことである。また、この支持棒４ｂは、
延長部１５に取り付けられるモータ１３のピニオン１４
でラック部を駆動させ、移動される。このような構造で
、振出し竿のように何段も機構を設ければ、キャリアを
着脱するアーム対を複数をもつことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、キャリア
を挟み把む２つアームの間隔を可変にする機構を設ける
ことによって、種々の大きさのキャリアを搬送出来、か
つアームの変形を起すことなく安定して搬送出来る搬送
機構が得られるという効果がある。
を挟み把む２つアームの間隔を可変にする機構を設ける
ことによって、種々の大きさのキャリアを搬送出来、か
つアームの変形を起すことなく安定して搬送出来る搬送
機構が得られるという効果がある。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例を示す搬送機構の部
分破断斜視図、（ｂ）は（ａ）の保持部を拡大して示す
正面図である。
分破断斜視図、（ｂ）は（ａ）の保持部を拡大して示す
正面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す搬送機構の部分破断
斜視図である。
斜視図である。
【図３】従来の一例を示す搬送機構の斜視図である。
【図４】図３の搬送機構の部分正面図である。
１ キャリア
２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ アーム３
固定具 ４、４ａ、４ｂ 支持棒 ５，５ａ 保持部 ６ サポート ７ レール ８ ガイドバー ９ａ、９ｂ 歯車 １０ 処理槽 １１、１３ モータ １２ ねじ部 １４ ピニオン １５ 延長部
固定具 ４、４ａ、４ｂ 支持棒 ５，５ａ 保持部 ６ サポート ７ レール ８ ガイドバー ９ａ、９ｂ 歯車 １０ 処理槽 １１、１３ モータ １２ ねじ部 １４ ピニオン １５ 延長部
Claims (1)
- 【請求項１】 複数枚のウェーハが収納されるキャリ
アの外側面を挟み把むアーム対と、このアーム対の一つ
のアームの一端を保持して吊す支持棒と、この支持棒の
一端側を保持するとともにこの支持棒を所定の角度だけ
回転させる保持部と、この保持部を支えるとともに上下
運動させるサポートと、このサポートの移動を案内する
レールとを備えるウェーハ処理装置用搬送機構において
、前記保持部に固定され、かつ前記支持棒が軸方向に案
内される穴をもつとともに固定用のアームが取り付けら
れる案内用筒と、前記支持棒の前記アームと前記固定用
のアームとの間隔を可変させる機構を有していることを
特徴とするウェーハ処理装置用搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8277991A JPH04316329A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | ウェーハ処理装置用搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8277991A JPH04316329A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | ウェーハ処理装置用搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04316329A true JPH04316329A (ja) | 1992-11-06 |
Family
ID=13783907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8277991A Pending JPH04316329A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | ウェーハ処理装置用搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04316329A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0547729A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-02-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハハンドリング装置 |
| JPH0650346U (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-08 | 国際電気株式会社 | ウェーハカセット搬送装置 |
| JP2022002272A (ja) * | 2020-06-22 | 2022-01-06 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1991
- 1991-04-16 JP JP8277991A patent/JPH04316329A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0547729A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-02-26 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハハンドリング装置 |
| JPH0650346U (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-08 | 国際電気株式会社 | ウェーハカセット搬送装置 |
| JP2022002272A (ja) * | 2020-06-22 | 2022-01-06 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| TWI906313B (zh) * | 2020-06-22 | 2025-12-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 加工裝置 |
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