JPH04317352A - ウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法 - Google Patents
ウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法Info
- Publication number
- JPH04317352A JPH04317352A JP3084892A JP8489291A JPH04317352A JP H04317352 A JPH04317352 A JP H04317352A JP 3084892 A JP3084892 A JP 3084892A JP 8489291 A JP8489291 A JP 8489291A JP H04317352 A JPH04317352 A JP H04317352A
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- JP
- Japan
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- wafer
- standard
- particle solution
- calibration
- particles
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェーハ表面異物検査装
置の校正用ウェーハの作成方法に関する。
置の校正用ウェーハの作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ表面異物検査装置の校正
用ウェーハは、標準粒子と、アルコールと、噴霧器とウ
ェーハを用いて作成されている。以下その作成方法につ
いて説明する。
用ウェーハは、標準粒子と、アルコールと、噴霧器とウ
ェーハを用いて作成されている。以下その作成方法につ
いて説明する。
【０００３】図２に示すように、支持台４に立て掛けた
ウェーハ３上に、標準粒子をアルコールで１０〜３０万
倍に希釈した標準粒子溶液２を噴霧器５を用いて吹き付
け、ウェーハ３に標準粒子を付着させる。標準粒子とし
ては、粒径として０．１μｍ〜１０μｍのものが用いら
れる。
ウェーハ３上に、標準粒子をアルコールで１０〜３０万
倍に希釈した標準粒子溶液２を噴霧器５を用いて吹き付
け、ウェーハ３に標準粒子を付着させる。標準粒子とし
ては、粒径として０．１μｍ〜１０μｍのものが用いら
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェー
ハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法では、
噴霧器で標準粒子を付着させている為、ウェーハ全面に
標準粒子が付着してしまい、ウェーハ表面異物検査装置
で一枚の校正用ウェーハを定期的に測定する場合、異物
カウント数の増加が認められても、増加の原因がウェー
ハ表面異物検査装置の異常によるものなのか、校正用ウ
ェーハが汚れた為に標準粒子以外の異物が付着した為な
のかを判断するのが困難であった。
ハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法では、
噴霧器で標準粒子を付着させている為、ウェーハ全面に
標準粒子が付着してしまい、ウェーハ表面異物検査装置
で一枚の校正用ウェーハを定期的に測定する場合、異物
カウント数の増加が認められても、増加の原因がウェー
ハ表面異物検査装置の異常によるものなのか、校正用ウ
ェーハが汚れた為に標準粒子以外の異物が付着した為な
のかを判断するのが困難であった。
【０００５】また、付着させる標準粒子数を調節するの
が困難であり、更に、１枚当り１００個以下程度の少数
の標準粒子を付着させることが困難であるという問題点
があった。
が困難であり、更に、１枚当り１００個以下程度の少数
の標準粒子を付着させることが困難であるという問題点
があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ表面異
物検査装置の校正用ウェーハの作成方法は、標準粒子溶
液をピペットでウェーハ上に滴下するものである。
物検査装置の校正用ウェーハの作成方法は、標準粒子溶
液をピペットでウェーハ上に滴下するものである。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ及
びピペットの斜視図である。
。図１は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ及
びピペットの斜視図である。
【０００８】まずビーカー等を用い標準粒子をアルコー
ルで約１０〜３０万倍に希釈した標準粒子溶液２を作り
、この標準粒子溶液２をピレット１に充填し、ウェーハ
３に滴下する。滴下された標準粒子溶液２はウェーハ３
上に円状に広がる。希釈液であるアルコールは数秒程度
で蒸発するため、標準粒子は標準粒子溶液２を滴下した
部分に円状に分布して付着する。
ルで約１０〜３０万倍に希釈した標準粒子溶液２を作り
、この標準粒子溶液２をピレット１に充填し、ウェーハ
３に滴下する。滴下された標準粒子溶液２はウェーハ３
上に円状に広がる。希釈液であるアルコールは数秒程度
で蒸発するため、標準粒子は標準粒子溶液２を滴下した
部分に円状に分布して付着する。
【０００９】標準粒子溶液２の滴下量により、付着させ
る標準粒子数を調節することができるため、１００個以
下の標準粒子の付着も容易である。
る標準粒子数を調節することができるため、１００個以
下の標準粒子の付着も容易である。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ピペット
によりウェーハの一部に標準粒子を付着させるため、ウ
ェーハ表面異物検査装置で校正用ウェーハを定期的に測
定する時に、異物カウント数の増加が認められても、付
着している異物の分布により、校正用ウェーハが汚れた
のか、ウェーハ表面異物検査装置の異常かどうかが容易
に判断できるという効果を有する。また、標準粒子溶液
をピペットで滴下するので、１００個以下程度の小数の
標準粒子を容易に付着させることができるという効果も
ある。
によりウェーハの一部に標準粒子を付着させるため、ウ
ェーハ表面異物検査装置で校正用ウェーハを定期的に測
定する時に、異物カウント数の増加が認められても、付
着している異物の分布により、校正用ウェーハが汚れた
のか、ウェーハ表面異物検査装置の異常かどうかが容易
に判断できるという効果を有する。また、標準粒子溶液
をピペットで滴下するので、１００個以下程度の小数の
標準粒子を容易に付着させることができるという効果も
ある。
【図１】本発明の一実施例を説明するためのピペットと
ウェーハの斜視図。
ウェーハの斜視図。
【図２】従来の校正用ウェーハの作成方法を説明するた
めのウェーハと噴霧器の斜視図。
めのウェーハと噴霧器の斜視図。
１ ピペット
２ 標準粒子溶液
３ ウェーハ
４ 支持台
５ 噴霧器
Claims (1)
- 【請求項１】 アルコールで希釈した標準粒子溶液を
ピペットを用いてウェーハ上に滴下することを特徴とす
るウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084892A JPH04317352A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | ウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084892A JPH04317352A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | ウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04317352A true JPH04317352A (ja) | 1992-11-09 |
Family
ID=13843401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3084892A Pending JPH04317352A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | ウェーハ表面異物検査装置の校正用ウェーハの作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04317352A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11209107B2 (en) | 2017-07-28 | 2021-12-28 | ASC Engineered Solutions, LLC | Pre-assembled coupling assembly with cap |
-
1991
- 1991-04-17 JP JP3084892A patent/JPH04317352A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11209107B2 (en) | 2017-07-28 | 2021-12-28 | ASC Engineered Solutions, LLC | Pre-assembled coupling assembly with cap |
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