JPH0431945Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は除振・免震床構造に係わり、特に水平
方向及び垂直方向の振動を吸収することの出来る
除振・免震床構造に関する。

〔従来の技術〕

従来の除振・免震床構造は第４図に示すよう
に、除振・免震床構造７０の免震床７２，７２の
上面にはステツパーなどの振動を嫌う機器７３，
７３が載置される。免震床７２は浮きフレーム７
４に支持され、浮きフレーム７４はフレーム７８
から複数の金属ばね７６，７６……によつて吊下
げ保持される。即ち金属ばね７６，７６……の上
端は外フレーム７８の上部に取付けられ、これに
より浮きフレーム７４は垂直方向の振動に対し緩
衝器として作用する。浮きフレーム７４の側面に
はローラ８０，８０……が取付けられローラ８
０，８０……は外フレーム７８と転接し、浮きフ
レーム７４を円滑に上下移動させる。また、外フ
レーム７８は基礎床８２上に取付けられる積層ゴ
ム８４上に固定される。積層ゴム８４は基礎８２
から入力する水平方向の振動を吸収することが出
来、免震床７２及び浮きフレーム７４から受ける
水平方向の振動は、ローラ８０，８０……及び外
フレーム７８を介して積層ゴム８４によつて吸収
される。更に、浮きフレーム７４の下部にはダン
パ８６，８６が設けられ、垂直方向の振動を減衰
させている。又、外フレーム７８の下面に取付け
られるダンパ８８は水平方向の振動を減衰させて
いる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような除振・免震床構造７
０においては、免震床７２を支持するばね７６の
長さの為、免震床７２の高さが高くなる不具合が
ある。又、除振・免震床構造７０は、数μmオー
ダーの微振動から数cmオーダーの大きな振動まで
を三次元的に吸収できるようにする必要があるた
め、免震床７２を支持するばね７６，７６……の
ばね定数を小さくする必要がある。しかしながら
ばね定数を小さくすると、ばね７６が浮きフレー
ム７４、免震床７２及び機器７３の重量によつて
伸長され、浮きフレーム７４が外フレーム７８の
下部に当接する虞れが生じる。この為、外フレー
ム７８の長さを長くして、免震床７２を高い位置
に形成する必要がある。免震床７２が高く成る
と、天井の低い屋内での機器類の載置が出来なく
なる欠点がある。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、機器類が載置される免震床を低い位置に形
成することのできる除振・免震床構造を提供する
ことを目的としている。

〔問題を解決するための手段〕

本考案は前記目的を達成するために、水平振動
を吸収する積層ゴムより形成され所定位置に複数
配設された水平振動吸収ユニツトと、凹部が形成
され凹部以外の縁部が前記水平振動の吸収ユニツ
ト上に支持されたフレームと、前記フレームの凹
部面に配せられる垂直振動吸収ユニツトと、前記
垂直振動吸収ユニツトの上面に支持された免震床
と、から構成したことを特徴とする。

〔作用〕

本考案の除振・免震床構造は、フレーム凹部に
垂直振動吸収ユニツトを配置したので、その分免
震床を低くすることができる。

〔実施例〕

以下添付図面に従つて本考案に係る除振・免震
床構造の好ましい実施例を詳説する。

第１図は本考案に係る除振・免震床構造の斜視
図である。第１図に示すように除振・免震床構造
１０の免震床１２は矩形状に形成され、上面に半
導体製造機器等が載置される。４個の水平振動吸
収ユニツト１８，１８……は第３図に示す基礎床
２０上に固定される。水平振動吸収ユニツト１８
……上には凹部１６Ａが形成された段差フレーム
１６が支持される。免震床１２は第２図に示すよ
うに８個の垂直振動吸収ユニツト１４……を介し
て段差フレーム１６上に取付けられる。

第３図に示すように段差フレーム１６の凹部１
６Ａに取付けられる垂直振動吸収ユニツト１４
は、筒状のケーシング２２とケーシング２２内に
設けられる圧縮コイルばね２４と、ケーシング２
２に満たされる粘性体２６とから構成されてい
る。圧縮コイルばね２４の上端は免震床１２の下
面を支持し、免震床１２から受ける振動を吸収す
る。また、基礎２０から入力される振動も吸収す
る。またケーシング２２内には粘性体２６が満た
され、粘性体２６はケーシング２２内での圧縮ば
ね２４等の動きを減衰する粘性ダンパの粘性液と
して作用している。

また、水平振動吸収ユニツト１８は一定の厚み
を有する積層ゴムで形成され、フレーム１６を介
して免震床１２から受ける水平方向の振動を吸収
することが出来る。また、基礎２０から入力され
る振動も同様である。この振動の吸収は第３図に
示す矢印Ａの方向に限らず、第３図の紙面に直交
方向或いは斜め方向からの振動も吸収できるよう
になつている。又、フレーム１６の中央の下面と
基礎床２０面との間には、水平方向の振動を減衰
するダンパ３０が取付けられている。

前記の如く構成された本考案に係る除振・免震
床構造によれば、免震床１２に加わる垂直方向の
振動並びに基礎２０から入力する垂直方向の振動
に対しては垂直振動吸収ユニツト１４，１４……
の各圧縮ばね２４及び粘性体２６のダンパ効果に
より吸収される。又、水平方向の振動は、フレー
ム１６を介して水平振動吸収ユニツト１８，１８
……に吸収される。また、基礎２０からの水平振
動は水平振動吸収ユニツト１８で吸収される。こ
の為、積層ゴム、圧縮ばねで形成された水平振動
吸収ユニツト１８の厚みによつて生じる免震床１
２の高さの増加分を減少させることが出来る。こ
れにより、免震床１２上に載置される機器を低い
位置に設置することが出来、天井の低い建屋にお
いても除振・免震床構造１０を設置することが出
来る。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案に係る除振・免震床
構造によれば、水平振動を吸収する積層ゴムから
形成された水平振動吸収ユニツトと、該水平振動
吸収ユニツト上に段差形成されたフレームを介し
て取付けられ、該水平振動吸収ユニツトの上面よ
り下方に取付位置が配せられる垂直振動吸収ユニ
ツトと、垂直振動吸収ユニツトの上面に取付けら
れた免震床とから構成したので、免震床の床面の
高さを低くすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る除振・免震床構造の斜視
図である。第２図は本考案に係る除振・免震床構
造のフレームを水平振動吸収ユニツトに取付けた
時の上面図、第３図は本考案に係る除振・免震床
構造の断面図、第４図は従来の除振・免震床構造
の説明図である。 １０……除振・免震床構造、１２……免震床、
１４……垂直振動吸収ユニツト、１６……フレー
ム、１８……水平振動吸収ユニツト、２４……圧
縮コイルばね、２６……粘性体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水平振動を吸収する積層ゴムより形成され所
   定位置に複数配設された水平振動吸収ユニツト
   と、凹部が形成され凹部以外の縁部が前記水平
   振動の吸収ユニツト上に支持されたフレーム
   と、前記フレームの凹部面に配せられる垂直振
   動吸収ユニツトと、前記垂直振動吸収ユニツト
   の上面に支持された免震床と、から構成したこ
   とを特徴とする除振・免震床構造。 (2) 前記垂直振動吸収ユニツトを圧縮コイルばね
   により構成することを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載の除振・免震床構造。 (3) 前記垂直振動吸収ユニツトは圧縮コイルばね
   と粘性ダンパとで組合せ構成されたことを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の除
   振・免震床構造。