JPH04321986A

JPH04321986A - ディスクのチャック反転機構

Info

Publication number: JPH04321986A
Application number: JP3115306A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Nakadai; 勉中台; Masaaki Kimura; 誠章木村; Tsutomu Hongo; 本郷　勉
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1991-04-19
Filing date: 1991-04-19
Publication date: 1992-11-11
Anticipated expiration: 2014-11-02
Also published as: JP2969295B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ディスクをチャック
して反転する機構に関し、詳しくは被検査のディスクを
チャックし、その両面を検査するためにディスクを反転
し、検査中に次のディスクをチャックして待機させ、検
査のスループットを向上できる機構に関するものである
。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスクなどのディスクは検査装置
により表面欠陥が検査される。両面が有効面の場合はデ
ィスクを半回転、すなわち反転して検査される。

【０００３】図３は両面検査のためのディスクの反転動
作を説明するもので、回転機構２のスピンドル２１にロ
ーディングされた被検査のディスク１は、モータ２２に
より回転され、検査部において検査される。片面の検査
が終了すると、矢印Ｓにより回転機構がチャック機構３
の位置まで移動して（イ）　となり、矢印Ａによりチャ
ック機構が下降して（ロ）　となってディスクがチャッ
クされる。ついで矢印Ｂにより上昇して（ハ）　の矢印
Ｃの方向に反転され、再び矢印Ｂ′により下降してスピ
ンドルにローディングされ、回転機構が検査部まで移動
して反対面が検査される。両面検査が終了すると、別途
の搬送機構によりこのディスクをチャック機構から取り
除いた後、次のディスクがチャックされて交換される。

【０００４】以上のようにチャック機構の動作は単純な
繰り返しであるが、昇降位置と反転角度は正確なことが
必要であり、これをロボットにより行うときはかなり複
雑な制御を必要とする。これに対して、この発明の発明
者により、簡易で正確に昇降／反転ができるものとして
、「ワーク反転用カム機構、特願平　２−２１９４１９
　号、平成２．０８．２１　」が特許出願されている。図４は上記の特許出願にかかるワーク反転用カム機構の
反転部４を示す。（ａ）は斜視図で、支持板４１にカム板４２と、これに
係合したゼネバ歯車４４とを軸支する。カム板をモータ
４３により１回転すると、ゼネバ歯車が半回転して反転
軸４５が反転する。反転軸に上記のチャック機構３を固
定してディスクを反転させる。図の（ｂ）　は、カム板
の回転角度θに対する、反転軸の回転角度αを示すもの
で角度αはθ＝０〜１１０°，１６０〜２００°，２５
０〜３６０°の範囲で一定値に安定しており、それらの
中間で間欠的に９０°づつ変化する。このように安定範
囲が広いので、カム板の回転角度が仮に正確でなくても
、反転軸を正確に反転することができる。なお、図（ａ
）　には省略したが上記のカム板にクランクを取り付け
、カム板の回転による反転に連動して支持板を正確に昇
降する機構とされている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて、磁気ディスクの
生産量の増加に対応して、その検査は流れ作業により行
われている。しかし、最近においてはさらに需要と生産
が増加したために、従来以上に検査速度を向上すること
が要請され、検査自体を迅速化することが検討されて実
行されている。しかし、上記したディスクの交換にはか
なりの時間が必要とされているので、これを短縮するこ
とにより検査のスループットを向上することができる。この発明は以上に鑑みてなされたもので、チャック機構
の構造を２枚のディスクをチャックできるものに改良し
、１枚の検査中に検査済のものを交換して交換時間を短
縮できるチャック反転機構を提供することを目的とする
ものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明はディスクのチ
ャック反転機構であって、水平な２枚のディスクを上下
に一定の間隔をなして別々に着脱自在にチャックするチ
ャック部と、チャックされたディスクを反転し、または
上記の一定の間隔に等しい距離を昇降する反転／昇降部
とにより構成され、ディスクを検査装置のスピンドルに
対してローディング／アンローディングし、ディスクの
検査中に次位のディスクをチャックして待機させること
を可能とするものである。上記のチャック部は、ガイド
棒と、エアシリンダに駆動されたクランク機構により、
ガイド棒に沿って移動してディスクの円周エッジを両側
でチャックする２本のチャックアームを１組とし、この
チャックアームの２組を上記の一定の間隔として結合し
て構成される。また、上記の反転／昇降部は、カム板の
１回転により半回転するゼネバ歯車を有する反転部と、
反転部を上記の一定の間隔に等しい距離を昇降させるエ
アシリンダとにより構成され、チャック部の結合の中心
点をゼネバ歯車の反転軸に固定したものである。

【０００７】

【作用】上記のチャック反転機構においては、チャック
部のチャックアームはエアシリンダとクランク機構によ
り移動し、２枚のディスクが水平状態で別々に着脱自在
にチャックされる。チャック部は反転部のゼネバ歯車に
より正確に反転され、また必要に応じて反転／昇降部の
エアシリンダにより一定の間隔だけ昇降して、いずれか
のディスクを解放して検査装置のスピンドルにローディ
ングし、またこれをチャックしてアンローディングする
。このチャック反転機構の制御方法は、２組のチャック
アームの一方にディスクをチャックして反転または昇降
し、スピンドルに対してディスクをローディング／アン
ローディングしてその両面に対する検査を行い、この検
査中に次位のディスクを他方のチャックアームにチャッ
クして検査に対して待機することができ、これによりデ
ィスクの交換時間が短縮される。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例の構造を示し、（
ａ）　はチャック反転機構と検査装置の回転機構の側面
図、（ｂ）　はチャック部５の平面および正面図である
。図１（ａ）　において、反転／昇降部６はベース盤７
にガイド板６１とエアシリンダ６２と、エアシリンダに
よりガイド板に沿って一定距離Ｈだけ昇降する反転部４
とにより構成する。反転部は前記した図４（ａ）　のも
のとし、その反転軸４５にチャック部５を取り付ける。ベース盤７は検査装置と共通とし、検査装置の回転機構
２は、レール２３に沿って矢印Ｓのように移動してチャ
ック部５の下に停止する。チャック部は反転し、または
必要により一定距離Ｈを昇降してディスクを回転機構の
スピンドル２１に対してローディングし、またはアンロ
ーディングする。図（ｂ）　に示すチャック部５は、ガ
イド棒５１と、ガイド棒に軸支され、エアシリンダ５２
に駆動されるクランク機構５３と、クランク機構により
ガイド棒に沿って移動する２本１組のチャックアーム５
４ａ，５４ｂ　を設ける。各チャックアームにはディス
ク１の円周エッジに対応する位置に２個のローラー５５
が取り付けられる。両チャックアームの間隔ｗを変化し
、これが狭いとき円周エッジを両側でチャックし、間隔
ｗを広くするとディスクが解放される。この２本１組の
チャックアームの２組を上記の一定の間隔Ｈとして重ね
合わせ、それぞれのガイド棒５１と５１′を結合部５６
で結合し、結合部の中心が反転軸４５に固定される。な
お、チャックするとき、または解放するときはディスク
は矢印Ｒの方向にアクセスされる。

【０００９】図２により上記のチャック反転機構の制御
方法を説明する。（イ）　において、ディスク１−１が
他の箇所から搬送されてチャック部４の上側のチャック
アームにチャックされたとし、ディスクの下側をＡ面、
上側をＢ面とする。ここでチャック部を反転（矢印Ｒ）
すると（ロ）　となり、回転機構２がＳ方向に移動して
ディスクはスピンドル２１にローディングされる。つい
で回転機構が反対のＳ′方向に移動してＡ面が検査され
、検査が終了すると回転機構がＳ移動してディスクは再
びチャックされる。つぎにチャック部は反転されて（ハ
）　となり、さらに距離Ｈを下降して（ニ）　となる。ここで（ロ）　と同様な動作がなされてＢ面が検査され
る。この検査中にチャック部を距離Ｈを上昇して（ホ）
　とすると上側は空いているのでここに次位のディスク
１−２を、Ａ面を下側としてチャックして待機する。先
のディスク１−１の検査が終了すると下側のチャックア
ームにチャックされて（ヘ）　となり、これを反転して
（ト）　としてディスク１−２のＡ面が検査される。こ
の検査中に検査済のディスク１−１はチャック部から取
り去られて他の箇所に搬送される。Ａ面の検査が終了し
たディスク１−２をチャックしたチャック部は、再び反
転されて（チ）　、すなわち（ハ）　に戻り、以下、上
記と同様な動作により検査が繰り返される。以上により
、次位のディスクが検査中の（ホ）　においてチャック
されて待機し、検査済のディスクはやはり検査中の（ト
）　において取り去られるので、ディスクの交換時間が
かからず、検査のスループットが短縮される。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるチ
ャック反転機構においては、両面検査のためにディスク
を正確に反転する反転機能を有するとともに、２枚のデ
ィスクを同時にチャックできるチャック部を設けたもの
で、これによりディスクの検査中に、検査済のディスク
をつぎに検査されるディスクに交換して待機させ、検査
のスループット時間を短縮することができ、ディスク検
査装置の稼働率の向上に寄与する効果には大きいものが
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　この発明の一実施例を示し、（ａ）　はチ
ャック反転機構と検査装置の回転機構の側面図、（ｂ）
　はチャック部５の平面および正面図である。

【図２】　　この発明によるチャック反転機構の制御方
法の説明図である。

【図３】　　ディスク検査装置におけるディスクの反転
の説明図である。

【図４】　　特許出願にかかる「ワーク反転用カム機構
」の反転部の斜視図とその動作を示す曲線図である。

【符号の説明】

１，１−１，　１−２…ディスク、２…回転機構、２１
…スピンドル、２２…モータ、２３…レール、３…チャ
ック機構、４…反転部、４１…支持板、４２…カム板、
４３…モータ、４４…ゼネバ歯車、４５…反転軸、５…
チャック部、５１，５１　′…ガイド棒、５２…エアシ
リンダ、５３，５３　′…クランク機構、　　　５４ａ
，５４ａ′，５４ｂ，５４ｂ′　…チャックアーム、５
５…ローラー、６…反転／昇降部、６１…ガイド板、６
２…エアシリンダ、７…ベース盤。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　水平な２枚のディスクを上下に一定の
間隔をなして別々に着脱自在にチャックするチャック部
と、該チャック部を反転し、または前記一定の間隔に等
しい距離を昇降する反転／昇降部とにより構成され、該
ディスクを検査装置のスピンドルに対してローディング
／アンローディングし、該ディスクの検査中に次位のデ
ィスクをチャックして待機させることが可能なことを特
徴とする、ディスクのチャック反転機構。
【請求項２】　　前記チャック部は、ガイド棒と、エア
シリンダに駆動されたクランク機構により、該ガイド棒
に沿って移動して前記着脱自在にディスクをチャックす
る２本のチャックアームを１組とし、かつ該チャックア
ームの２組を前記一定の間隔として結合してなる、請求
項１記載のディスクのチャック反転機構。
【請求項３】　　前記反転／昇降部は、カム板の１回転
により半回転するゼネバ歯車を有する反転部と、該反転
部を前記一定の間隔に等しい距離を昇降させるエアシリ
ンダとにより構成され、前記ゼネバ歯車の反転軸に前記
チャック部の結合の中心点を固定する、請求項１記載の
ディスクのチャック反転機構。