JPH0486541A - 筒状体チャッキング装置 - Google Patents
筒状体チャッキング装置Info
- Publication number
- JPH0486541A JPH0486541A JP2203634A JP20363490A JPH0486541A JP H0486541 A JPH0486541 A JP H0486541A JP 2203634 A JP2203634 A JP 2203634A JP 20363490 A JP20363490 A JP 20363490A JP H0486541 A JPH0486541 A JP H0486541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- test piece
- claw
- cylindrical body
- angular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は鋳鉄管等の筒状体を挟持する筒状体挟持装置に
関する。
関する。
従来の技術
従来、鋳造された鋳鉄管等の金属組織を検査するときに
は、たとえば三方爪を有した搬送装置によって試験片を
挟持し、搬送装置の移動によって試験片を研磨工程と、
腐食工程と、顕微鏡による目視検査工程に順次移動させ
ていた。
は、たとえば三方爪を有した搬送装置によって試験片を
挟持し、搬送装置の移動によって試験片を研磨工程と、
腐食工程と、顕微鏡による目視検査工程に順次移動させ
ていた。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記した従来の構成において、筒状の試験片を
三方爪によって挟持する場合には試験片を三方爪に対し
て位置決めする必要があり、特に楕円形状などの試験片
を挟持することは困難であった。
三方爪によって挟持する場合には試験片を三方爪に対し
て位置決めする必要があり、特に楕円形状などの試験片
を挟持することは困難であった。
本発明は上記課題を解決するもので、精密な位置決めを
必要とせず、許容範囲内に位置するものを自身の動作に
よって定位置に正確に挟持することができる筒状体挟持
装置を提供することを目的とする。
必要とせず、許容範囲内に位置するものを自身の動作に
よって定位置に正確に挟持することができる筒状体挟持
装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明は、一定方向に往復移
動する移動台座上に設けられて水平軸回りに回転する反
転台座を有した反転台座装置と、反転台座に設けられて
試験片を挟持する一対の爪部を有したアンギュラス部と
を備え、アンギュラス部の一方の爪部を上下方向に固設
するとともに、他方の爪部を揺動自在に設け、アンギュ
ラス部に他方の爪部を揺動駆動するシリンダ装置を設け
た構成としたものである。
動する移動台座上に設けられて水平軸回りに回転する反
転台座を有した反転台座装置と、反転台座に設けられて
試験片を挟持する一対の爪部を有したアンギュラス部と
を備え、アンギュラス部の一方の爪部を上下方向に固設
するとともに、他方の爪部を揺動自在に設け、アンギュ
ラス部に他方の爪部を揺動駆動するシリンダ装置を設け
た構成としたものである。
作用
上記した構成により、反転台座装置を駆動して反転台座
を水平軸回りに回転させ、アンギュラス部の爪部を下方
に向ける。そして、アンギュラス部のシリンダ装置を駆
動して爪部を開放し、平板上に載置された筒状体をその
周壁部が双方の爪部間に位置するように配置する。この
とき、爪部に対する筒状体の位置は曖昧なもので良い。
を水平軸回りに回転させ、アンギュラス部の爪部を下方
に向ける。そして、アンギュラス部のシリンダ装置を駆
動して爪部を開放し、平板上に載置された筒状体をその
周壁部が双方の爪部間に位置するように配置する。この
とき、爪部に対する筒状体の位置は曖昧なもので良い。
そして、シリンダ装置を駆動して他方の爪部を一方の爪
部に向けて揺動させ、双方の爪部で筒状体の周壁部を挟
持する。このとき、揺動する他方の爪部が筒状体に当接
し、曖昧な位置に配置された筒状体を平板上で摺動させ
ながら一方の爪部に向けて押圧して移動させる。このた
め、筒状体は常に一方の爪部を基準位置としてアンギュ
ラス部に挟持され、径が異なる異種類の筒状体がアンギ
ュラス部に対する位置決めを行いながら挟持される。
部に向けて揺動させ、双方の爪部で筒状体の周壁部を挟
持する。このとき、揺動する他方の爪部が筒状体に当接
し、曖昧な位置に配置された筒状体を平板上で摺動させ
ながら一方の爪部に向けて押圧して移動させる。このた
め、筒状体は常に一方の爪部を基準位置としてアンギュ
ラス部に挟持され、径が異なる異種類の筒状体がアンギ
ュラス部に対する位置決めを行いながら挟持される。
そして、反転台座装置を駆動して反転台座を水平軸回り
に反転させ、平板に当接していた試験片の一方の端面と
アンギュラス部に挟持された他方の端面を逆転させ、加
工作業を阻害する何物も存在しない一方の端面を上向け
て加工面とする。
に反転させ、平板に当接していた試験片の一方の端面と
アンギュラス部に挟持された他方の端面を逆転させ、加
工作業を阻害する何物も存在しない一方の端面を上向け
て加工面とする。
実施例
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第１
図において、台座装置１には一定方向に敷設したリニア
ガイド２に沿って移動自在な移動台座３と、移動台座３
を移動させるための送りねじ４と、送りねじ４を回転駆
動するための駆動モータ５とが設けられている。また、
移動台座３は筒状の試験片６を保持するためのチャッキ
ング装置７を備えている。このチャッキング装置７は、
試験片６を挟持する一対の爪部８と爪部８を開閉駆動す
る開閉シリンダ装置９からなるアンギュラス部ＩＯと、
アンギュラス部１ｏを水平軸回りに反転駆動する反転台
座装置１１とで構成されている。さらに、アンギュラス
部ＩＯは一方の爪部８ａが上下方向に向けて固設される
とともに、他方の爪部８ｂが揺動自在に設けられている
。また、反転台座装置１１は、アンギュラス部ｌＯを支
持するとともに水平軸回りに回転自在に設けられた反転
台座１１ａと、反転台座１１ａを回転駆動するロータリ
ーアクチュエータｌｌｂで構成されている。
図において、台座装置１には一定方向に敷設したリニア
ガイド２に沿って移動自在な移動台座３と、移動台座３
を移動させるための送りねじ４と、送りねじ４を回転駆
動するための駆動モータ５とが設けられている。また、
移動台座３は筒状の試験片６を保持するためのチャッキ
ング装置７を備えている。このチャッキング装置７は、
試験片６を挟持する一対の爪部８と爪部８を開閉駆動す
る開閉シリンダ装置９からなるアンギュラス部ＩＯと、
アンギュラス部１ｏを水平軸回りに反転駆動する反転台
座装置１１とで構成されている。さらに、アンギュラス
部ＩＯは一方の爪部８ａが上下方向に向けて固設される
とともに、他方の爪部８ｂが揺動自在に設けられている
。また、反転台座装置１１は、アンギュラス部ｌＯを支
持するとともに水平軸回りに回転自在に設けられた反転
台座１１ａと、反転台座１１ａを回転駆動するロータリ
ーアクチュエータｌｌｂで構成されている。
そして、台座装置１を跨いで設けられた架台１２には、
移動台座３の移動経路の上方に位置して、かつ移動台座
３の移動方向に沿って順次に研磨装置１３と腐食装置１
４と撮像装置１５とが設けられている。この研磨装置１
３は昇降シリンダ装置１Ｂの駆動により試験片６に向け
て接近離間する昇降台座１７と昇降台座１７に設けられ
た研磨工具１８とを備えており、研磨工具１８は粗研磨
砥石１９と精研磨砥石２０と両砥石を回転駆動する砥石
駆動モータ２１とで構成されている。また、腐食装置１
４には、試験片６の被検査面に硝酸などの酸溶液を噴射
する酸ノズル２２と被検査面にアルコールなどの洗浄液
を噴射する洗浄ノズル２３と被検査面に高温の乾燥用空
気を噴射する乾燥ノズル２４とが設けられている。さら
に、撮像装置１５には、自動焦点機構を有した自動焦点
顕微鏡２５と、自動焦点顕微鏡２５に接続された工業用
テレビカメラ２６と、自動焦点顕微鏡２５と工業用テレ
ビカメラ２６を一体に出退する出退シリンダ装置２７が
設けられている。
移動台座３の移動経路の上方に位置して、かつ移動台座
３の移動方向に沿って順次に研磨装置１３と腐食装置１
４と撮像装置１５とが設けられている。この研磨装置１
３は昇降シリンダ装置１Ｂの駆動により試験片６に向け
て接近離間する昇降台座１７と昇降台座１７に設けられ
た研磨工具１８とを備えており、研磨工具１８は粗研磨
砥石１９と精研磨砥石２０と両砥石を回転駆動する砥石
駆動モータ２１とで構成されている。また、腐食装置１
４には、試験片６の被検査面に硝酸などの酸溶液を噴射
する酸ノズル２２と被検査面にアルコールなどの洗浄液
を噴射する洗浄ノズル２３と被検査面に高温の乾燥用空
気を噴射する乾燥ノズル２４とが設けられている。さら
に、撮像装置１５には、自動焦点機構を有した自動焦点
顕微鏡２５と、自動焦点顕微鏡２５に接続された工業用
テレビカメラ２６と、自動焦点顕微鏡２５と工業用テレ
ビカメラ２６を一体に出退する出退シリンダ装置２７が
設けられている。
そして、撮像装置１５の工業用テレビカメラ２６には画
像信号ライン２８を介して画像処理装置２９が接続され
ており、台座装置１と研磨装置１３と腐食装置１４と撮
像装置１５と画像処理装置２９には制御ライン３０を介
して制御装置３１が接続されている。
像信号ライン２８を介して画像処理装置２９が接続され
ており、台座装置１と研磨装置１３と腐食装置１４と撮
像装置１５と画像処理装置２９には制御ライン３０を介
して制御装置３１が接続されている。
また、台座装置１の一側には試験片６を載置する平板３
２を有した昇降テーブル装置３３が設けられている。
２を有した昇降テーブル装置３３が設けられている。
以下、上記構成における作用について説明する。
始めに、制御装置３１によって移動台座３に設けられた
チャッキング装置７の開閉シリンダ装置９および反転台
座装置１１のロータリーアクチュエータ１１ｂを制御し
、反転台座１１ａを水平軸回りに回転させるとともに、
アンギュラス部１０の爪部８を下方に向け、アンギュラ
ス部ｌＯの開閉シリンダ装置９を駆動して爪部８を開放
する。そして、昇降テーブル装置３３を上昇させ、平板
３２の上に載置された筒状体をなす試験片６をその周壁
部が双方の爪部８ａ、 ８ｂの間に位置するように配置
する。このとき、爪部８に対する試験片６の位置は曖昧
なもので良い。
チャッキング装置７の開閉シリンダ装置９および反転台
座装置１１のロータリーアクチュエータ１１ｂを制御し
、反転台座１１ａを水平軸回りに回転させるとともに、
アンギュラス部１０の爪部８を下方に向け、アンギュラ
ス部ｌＯの開閉シリンダ装置９を駆動して爪部８を開放
する。そして、昇降テーブル装置３３を上昇させ、平板
３２の上に載置された筒状体をなす試験片６をその周壁
部が双方の爪部８ａ、 ８ｂの間に位置するように配置
する。このとき、爪部８に対する試験片６の位置は曖昧
なもので良い。
そして、開閉シリンダ装置９を駆動して他方の爪部８ｂ
を一方の爪部８ａに向けて揺動させ、双方の爪部８ａ、
８ｂで試験片６の周壁部を挟持する。このとき、揺動
する他方の爪部８ｂが試験片６に当接して平板３２の上
に曖昧な位置に配置された試験片６を平板３２の上で摺
動させながら一方の爪部８ａに向けて押圧して移動させ
る。このため、試験片６は常に一方の爪部８ａを基準位
置としてアンギュラス部ＩＯに挟持され、径が異なる異
種類の試験片６がアンギュラス部１０に対する位置決め
を行いながら挟持される。さらに、反転台座装置１１を
駆動して反転台座１１ａを水平軸回りに反転させ、平板
３２に当接していた試験片６の一方の端面とアンギュラ
ス部１０に挟持された他方の端面を逆転させ、加工作業
を阻害する何物も存在しない一方の端面を上向けて加工
面とする。
を一方の爪部８ａに向けて揺動させ、双方の爪部８ａ、
８ｂで試験片６の周壁部を挟持する。このとき、揺動
する他方の爪部８ｂが試験片６に当接して平板３２の上
に曖昧な位置に配置された試験片６を平板３２の上で摺
動させながら一方の爪部８ａに向けて押圧して移動させ
る。このため、試験片６は常に一方の爪部８ａを基準位
置としてアンギュラス部ＩＯに挟持され、径が異なる異
種類の試験片６がアンギュラス部１０に対する位置決め
を行いながら挟持される。さらに、反転台座装置１１を
駆動して反転台座１１ａを水平軸回りに反転させ、平板
３２に当接していた試験片６の一方の端面とアンギュラ
ス部１０に挟持された他方の端面を逆転させ、加工作業
を阻害する何物も存在しない一方の端面を上向けて加工
面とする。
そして、制御装置３１によって台座装置１の駆動モータ
５駆動を制御し、試験片６を保持した移動台座３を送り
ねじ４との螺合によってリニアガイド２に沿って移動さ
せ、研磨装置１３の下方に位置させる。そして、制御装
置３１によって研磨装置１３の駆動を制御し、昇降シリ
ンダ装置１６を伸張させて昇降台座１７を降下させ、砥
石駆動モータ２１により回転駆動される研磨工具１８の
粗研磨砥石１９を試験片６の被検査面に当接させて被検
査面を研磨する。また、粗研磨砥石１９によって所定の
切り込み深さまで研磨した時点で、−旦昇降台座Ｉ７を
上昇させて研磨工具１８を試験片６から離間させるとと
もに、移動台座３を移動させて試験片６の被検査面を研
磨工具１８の精研磨砥石２０に対応させ、再度昇降台座
Ｉ７を降下させて精研磨砥石２０で被検査面を研磨する
。
５駆動を制御し、試験片６を保持した移動台座３を送り
ねじ４との螺合によってリニアガイド２に沿って移動さ
せ、研磨装置１３の下方に位置させる。そして、制御装
置３１によって研磨装置１３の駆動を制御し、昇降シリ
ンダ装置１６を伸張させて昇降台座１７を降下させ、砥
石駆動モータ２１により回転駆動される研磨工具１８の
粗研磨砥石１９を試験片６の被検査面に当接させて被検
査面を研磨する。また、粗研磨砥石１９によって所定の
切り込み深さまで研磨した時点で、−旦昇降台座Ｉ７を
上昇させて研磨工具１８を試験片６から離間させるとと
もに、移動台座３を移動させて試験片６の被検査面を研
磨工具１８の精研磨砥石２０に対応させ、再度昇降台座
Ｉ７を降下させて精研磨砥石２０で被検査面を研磨する
。
研磨終了後、昇降台座１７を上昇させて研磨工具１８を
試験片６から離間させるとともに、移動台座３を移動し
て試験片６を腐食装置１４の下方番こ位置させる。そし
て、制御装置３１によって腐食装置１４の駆動を制御し
、始めに酸ノズル２２から酸溶液を試験片６に噴射して
被検査面を腐食させる。また、洗浄ノスル２３から洗浄
液を腐食した被検査面に噴射して酸溶液を洗い流す。さ
らに、乾燥ノズル２４から乾燥空気を洗浄された被検査
面に噴射して洗浄した被検査面を乾燥させる。
試験片６から離間させるとともに、移動台座３を移動し
て試験片６を腐食装置１４の下方番こ位置させる。そし
て、制御装置３１によって腐食装置１４の駆動を制御し
、始めに酸ノズル２２から酸溶液を試験片６に噴射して
被検査面を腐食させる。また、洗浄ノスル２３から洗浄
液を腐食した被検査面に噴射して酸溶液を洗い流す。さ
らに、乾燥ノズル２４から乾燥空気を洗浄された被検査
面に噴射して洗浄した被検査面を乾燥させる。
腐食終了後、移動台座３を撮像装置１５の下方に位置さ
せて撮像装置１５を制御し、出退シリンダ装置２７を伸
張させて自動焦点顕微鏡２５および工業用テレビカメラ
２６を試験片６に接近させる。そして）自動焦点顕微鏡
２５を通して工業用テレビカメラ２６で試験片６の被検
査面における金属組織を撮像する。また、撮像された検
査面画像の画像信号を画像信号ライン２８を通して画像
処理装置２９に送信し、画像処理装置２９おいて受信し
た画像信号を二値化もしくは三値化処理して検査画像デ
ータを算出するとともに、予め画像処理装置２９に設定
された基準画像データと検査画像データを比較演算して
検査画像データの合否を判定し、試験片６における金属
組織の良否を判別する。
せて撮像装置１５を制御し、出退シリンダ装置２７を伸
張させて自動焦点顕微鏡２５および工業用テレビカメラ
２６を試験片６に接近させる。そして）自動焦点顕微鏡
２５を通して工業用テレビカメラ２６で試験片６の被検
査面における金属組織を撮像する。また、撮像された検
査面画像の画像信号を画像信号ライン２８を通して画像
処理装置２９に送信し、画像処理装置２９おいて受信し
た画像信号を二値化もしくは三値化処理して検査画像デ
ータを算出するとともに、予め画像処理装置２９に設定
された基準画像データと検査画像データを比較演算して
検査画像データの合否を判定し、試験片６における金属
組織の良否を判別する。
上述した画像処理について一例を説明する。たとえば鋳
鉄を試験片６とする場合には、撮像された検査面画像の
各画素を一定の輝度値を閾値として三値化し、各画素が
金属組織の黒鉛とパーライトとセメンタイトの何れの成
分を示すのものかを判別する。さらに、金属組織の各成
分ごとの画素数を比較して試験片の検査面における各成
分の面積比を求め、検査画像データとする。そして、予
め画像処理装置２９に良品における金属組織の各成分の
面積比を示す基準画像データを設定しておき、検査画像
データと基準画像データを比較演算して検査画像データ
の合否を判定し、試験片６の金属組織の良否を判別する
。
鉄を試験片６とする場合には、撮像された検査面画像の
各画素を一定の輝度値を閾値として三値化し、各画素が
金属組織の黒鉛とパーライトとセメンタイトの何れの成
分を示すのものかを判別する。さらに、金属組織の各成
分ごとの画素数を比較して試験片の検査面における各成
分の面積比を求め、検査画像データとする。そして、予
め画像処理装置２９に良品における金属組織の各成分の
面積比を示す基準画像データを設定しておき、検査画像
データと基準画像データを比較演算して検査画像データ
の合否を判定し、試験片６の金属組織の良否を判別する
。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、揺動する他方の爪部
によって曖昧な位置に配置された筒状体を平板上で摺動
させながら一方の爪部に向けて押圧して移動させ、筒状
体を常に一方の爪部を基準位置としてアンギュラス部で
挟持することによって径が異なる異種類の筒状体をアン
ギニラス部に対して正確に位置決めしながら挟持するこ
とができる。また、反転台座を水平軸回りに反転させる
ことにより、加工作業を阻害する何物も存在しない一方
の端面を上向けて加工面とすることができる。
によって曖昧な位置に配置された筒状体を平板上で摺動
させながら一方の爪部に向けて押圧して移動させ、筒状
体を常に一方の爪部を基準位置としてアンギュラス部で
挟持することによって径が異なる異種類の筒状体をアン
ギニラス部に対して正確に位置決めしながら挟持するこ
とができる。また、反転台座を水平軸回りに反転させる
ことにより、加工作業を阻害する何物も存在しない一方
の端面を上向けて加工面とすることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す自動金属組織検査装置
の全体構成図、第２図は同実施例におけるチャッキング
装置の動作を示す作用状態図である。 １・・・台座装置、３・・・移動台座、６・・・試験片
、７・・・チャッキング装置、８・・・爪部、９・・・
開閉シリンダ装置、ｌｌ・・・反転台座装置、ｌｌａ・
・・反転台座、１３・・・研磨装置、１４・・・腐食装
置、１５・・・撮像装置、１７・・・昇降台座、１８・
・・研磨工具。
の全体構成図、第２図は同実施例におけるチャッキング
装置の動作を示す作用状態図である。 １・・・台座装置、３・・・移動台座、６・・・試験片
、７・・・チャッキング装置、８・・・爪部、９・・・
開閉シリンダ装置、ｌｌ・・・反転台座装置、ｌｌａ・
・・反転台座、１３・・・研磨装置、１４・・・腐食装
置、１５・・・撮像装置、１７・・・昇降台座、１８・
・・研磨工具。
Claims (1)
- １、一定方向に往復移動する移動台座上に設けられて水
平軸回りに回転する反転台座を有した反転台座装置と、
反転台座に設けられて試験片を挟持する一対の爪部を有
したアンギュラス部とを備え、アンギュラス部の一方の
爪部を上下方向に固設するとともに、他方の爪部を揺動
自在に設け、アンギュラス部に他方の爪部を揺動駆動す
るシリンダ装置を設けたことを特徴とする筒状体チャッ
キング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2203634A JPH0486541A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 筒状体チャッキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2203634A JPH0486541A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 筒状体チャッキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0486541A true JPH0486541A (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=16477298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2203634A Pending JPH0486541A (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 筒状体チャッキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0486541A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05223708A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Kurimoto Ltd | 鋳造直管の顕微鏡組織自動検査装置 |
| CN102654393A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种数字化盆地构造物理模拟实验砂箱搬运装置 |
| CN108908115A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-11-30 | 广东利迅达机器人系统股份有限公司 | 连体锤打磨用的夹具 |
| CN109176585A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-01-11 | 杭州鼎盛科技仪器有限公司 | 用于窄通道的桶料自动抓取换向的装置 |
| CN110340803A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-18 | 武汉理工大学 | 一种旋转调节式金相试样抛磨夹具及使用方法 |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP2203634A patent/JPH0486541A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05223708A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Kurimoto Ltd | 鋳造直管の顕微鏡組織自動検査装置 |
| CN102654393A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种数字化盆地构造物理模拟实验砂箱搬运装置 |
| CN108908115A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-11-30 | 广东利迅达机器人系统股份有限公司 | 连体锤打磨用的夹具 |
| CN109176585A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-01-11 | 杭州鼎盛科技仪器有限公司 | 用于窄通道的桶料自动抓取换向的装置 |
| CN110340803A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-18 | 武汉理工大学 | 一种旋转调节式金相试样抛磨夹具及使用方法 |
| CN110340803B (zh) * | 2019-07-15 | 2021-10-22 | 武汉理工大学 | 一种旋转调节式金相试样抛磨夹具及使用方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102345186B1 (ko) | 웨이퍼 검사 방법 및 웨이퍼 검사 장치 | |
| US7850817B2 (en) | Polishing device and substrate processing device | |
| JP2000117602A (ja) | ディスクまたはウェハのエッジを研削する方法および研削マシン | |
| US4633620A (en) | System for processing of steel billets or the like to remove surface defects | |
| CN111318928A (zh) | 一种基于三维扫描仪的轮毂打磨装置及其操作方法 | |
| CN207746834U (zh) | 一种管件端头打磨装置 | |
| CN113883368B (zh) | 一种防弹插板陶瓷自动三维扫描检测装置 | |
| AU2102401A (en) | Pre-cutter and edger machine | |
| KR102773219B1 (ko) | 가공 장치 및 판형 워크의 반입 반출 방법 | |
| JPH0486541A (ja) | 筒状体チャッキング装置 | |
| US3992826A (en) | Apparatus for automatically detecting and eliminating flaws on slabs or billets | |
| KR100844090B1 (ko) | 글라스 렌즈의 회전식 자동 연마장치 | |
| CN114131210A (zh) | 自动转码雕刻设备 | |
| JPH0890417A (ja) | バリ取り方法およびその装置 | |
| US6878045B2 (en) | Ultrasonic conditioning device cleaner for chemical mechanical polishing systems | |
| CN118218980B (zh) | 一种冲击试样加工系统及方法 | |
| JPH0483161A (ja) | 金属組織自動検査装置 | |
| JPS59166444A (ja) | 工作機械による自動加工ラインの切粉除去装置 | |
| CN118122713B (zh) | 一种组合式激光清洗设备 | |
| JPH0352226A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JP2010005717A (ja) | 加工装置 | |
| CN214555905U (zh) | 一种可全自动清洗金属工件的激光设备 | |
| CN220626222U (zh) | 一种钢轨焊缝打磨预测装置 | |
| CN221818236U (zh) | 一种基于视觉定位的多工位机器人锚链打磨装置 | |
| JPH0560643U (ja) | 中子のバリ取り装置 |