JPH04322029A - 含浸型陰極およびその製法 - Google Patents
含浸型陰極およびその製法Info
- Publication number
- JPH04322029A JPH04322029A JP3088605A JP8860591A JPH04322029A JP H04322029 A JPH04322029 A JP H04322029A JP 3088605 A JP3088605 A JP 3088605A JP 8860591 A JP8860591 A JP 8860591A JP H04322029 A JPH04322029 A JP H04322029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- pellet
- sleeve
- melting point
- impregnated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は陰極線管、マイクロ波管
などに用いられる含浸型陰極およびその製法に関する。
などに用いられる含浸型陰極およびその製法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子逆衝撃やイオン衝撃の強いマ
グネトロンや使用条件の過酷な陰極線管などに用いられ
る陰極に含浸型陰極が用いられている。この従来の含浸
型陰極の一例の構造は図３に示すような構造になってい
る。すなわち同図において、１は陰極ペレットでたとえ
ばタングステン粉末を主成分とする高融点金属粉末を焼
結して所定の形状に形成した陰極基体に、酸化バリウム
、酸化カルシウム、酸化アルミニウムなどの混合物より
なる電子放射性物質を溶融含浸して形成したものである
。２は陰極スリーブで、陰極ペレット１を支持固着する
と共に、内部に加熱用のヒータ５を収納するもので使用
時の高温に耐えうると共に溶接し易いタリウムなどで形
成してある。６はモリブデンなどの高融点金属板で形成
したキャップで、陰極ペレット１および陰極スリーブ２
とそれぞれ溶接することにより陰極ペレット１と陰極ス
リーブ２とを固着している。
グネトロンや使用条件の過酷な陰極線管などに用いられ
る陰極に含浸型陰極が用いられている。この従来の含浸
型陰極の一例の構造は図３に示すような構造になってい
る。すなわち同図において、１は陰極ペレットでたとえ
ばタングステン粉末を主成分とする高融点金属粉末を焼
結して所定の形状に形成した陰極基体に、酸化バリウム
、酸化カルシウム、酸化アルミニウムなどの混合物より
なる電子放射性物質を溶融含浸して形成したものである
。２は陰極スリーブで、陰極ペレット１を支持固着する
と共に、内部に加熱用のヒータ５を収納するもので使用
時の高温に耐えうると共に溶接し易いタリウムなどで形
成してある。６はモリブデンなどの高融点金属板で形成
したキャップで、陰極ペレット１および陰極スリーブ２
とそれぞれ溶接することにより陰極ペレット１と陰極ス
リーブ２とを固着している。
【０００３】このキャップ６は陰極ペレット１の裏面か
らヒータ側に電子放射性物質の飛散が行われるのを防止
するために介在させている。すなわち陰極ペレット１は
周囲全面から電子放射性物質が侵出し、ヒータ５側に電
子放射性物質が飛散すると陰極ペレット１とヒータ５と
の間の電気的絶縁が低下し特性劣化をきたすと共に、電
子放射性物質の量が減少して寿命を短かくするためであ
る。
らヒータ側に電子放射性物質の飛散が行われるのを防止
するために介在させている。すなわち陰極ペレット１は
周囲全面から電子放射性物質が侵出し、ヒータ５側に電
子放射性物質が飛散すると陰極ペレット１とヒータ５と
の間の電気的絶縁が低下し特性劣化をきたすと共に、電
子放射性物質の量が減少して寿命を短かくするためであ
る。
【０００４】この電子放射性物質の飛散を防止するため
に、キャップ６を使用しないで、陰極ペレット１の裏面
および側面にロウ材を被着して表面の空孔部分（高融点
金属粉末焼結による空隙部分）を封じると共に、そのロ
ウ材を利用して陰極スリーブ２に直接ロウづけする方法
も考えられている。このばあい、ロウづけ温度が非常に
高い（約２０００℃）ため、電子放射性物質を劣化させ
ないよう陰極スリーブとロウづけ後に陰極基体の多孔質
内に電子放射性物質を含浸させる。
に、キャップ６を使用しないで、陰極ペレット１の裏面
および側面にロウ材を被着して表面の空孔部分（高融点
金属粉末焼結による空隙部分）を封じると共に、そのロ
ウ材を利用して陰極スリーブ２に直接ロウづけする方法
も考えられている。このばあい、ロウづけ温度が非常に
高い（約２０００℃）ため、電子放射性物質を劣化させ
ないよう陰極スリーブとロウづけ後に陰極基体の多孔質
内に電子放射性物質を含浸させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のキャッ
プ６を介して陰極ペレット１と陰極スリーブ２とをそれ
ぞれ溶接で固着する方法では、これらの材料がいずれも
高融点金属であるため、溶接が確実に行えず、陰極温度
が陰極ペレットの位置により異なったり、また動作中に
陰極スリーブ２から陰極ペレット１が剥離脱落して、電
気特性上、信頼性上の問題があった。また溶接作業自体
も条件が厳しく作業効率が非常に悪かった。
プ６を介して陰極ペレット１と陰極スリーブ２とをそれ
ぞれ溶接で固着する方法では、これらの材料がいずれも
高融点金属であるため、溶接が確実に行えず、陰極温度
が陰極ペレットの位置により異なったり、また動作中に
陰極スリーブ２から陰極ペレット１が剥離脱落して、電
気特性上、信頼性上の問題があった。また溶接作業自体
も条件が厳しく作業効率が非常に悪かった。
【０００６】一方、従来のロウづけする方法では、ロウ
流れの良いロウ材（たとえばＭｏ−ＲｕまたはＭｏ−Ｎ
ｉ ）を使用すると、陰極基体の空孔内にロウ材が流れ
込み、陰極ペレット１内に含浸させる電子放射性物質の
量が大幅に減少して寿命を大幅に低下させる反面、ロウ
流れの悪いロウ材（たとえばＭｏ２ Ｂ ）を使用する
とロウづけ後のロウ材表面にピンホールが無数にできて
、遮弊効果を果しえなく実用化されていない。
流れの良いロウ材（たとえばＭｏ−ＲｕまたはＭｏ−Ｎ
ｉ ）を使用すると、陰極基体の空孔内にロウ材が流れ
込み、陰極ペレット１内に含浸させる電子放射性物質の
量が大幅に減少して寿命を大幅に低下させる反面、ロウ
流れの悪いロウ材（たとえばＭｏ２ Ｂ ）を使用する
とロウづけ後のロウ材表面にピンホールが無数にできて
、遮弊効果を果しえなく実用化されていない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、陰極ペレットの裏面および側面に形成した
高融点金属材料の被着層を介してロウづけにより陰極ペ
レットと陰極スリーブとを固着したことにある。
決するため、陰極ペレットの裏面および側面に形成した
高融点金属材料の被着層を介してロウづけにより陰極ペ
レットと陰極スリーブとを固着したことにある。
【０００８】本発明の他の手段は陰極基体の気孔率に応
じて被着層の適切な厚さを設定したもので、具体的には
気孔率が１８〜２０％のばあいには被着層の厚さを５〜
７μｍ に、気孔率が２０〜２５％のばあいには被着層
の厚さを７〜１０μｍ に設定したことにある。
じて被着層の適切な厚さを設定したもので、具体的には
気孔率が１８〜２０％のばあいには被着層の厚さを５〜
７μｍ に、気孔率が２０〜２５％のばあいには被着層
の厚さを７〜１０μｍ に設定したことにある。
【０００９】本発明のさらに他の手段は陰極基体を形成
する工程と、該陰極基体の裏面および側面に高融点金属
材料の被着層を形成する工程と、前記陰極ペレットと陰
極スリーブをロウづけする工程と、電子放射性物質を含
浸させる工程と、ヒータを配設する工程との結合により
含浸型陰極を製造することにある。
する工程と、該陰極基体の裏面および側面に高融点金属
材料の被着層を形成する工程と、前記陰極ペレットと陰
極スリーブをロウづけする工程と、電子放射性物質を含
浸させる工程と、ヒータを配設する工程との結合により
含浸型陰極を製造することにある。
【００１０】
【作用】本発明によれば、陰極ペレットと陰極スリーブ
とを高融点金属材料の被着層を介してロウづけにより固
着しているため、被着層が遮弊体となり、陰極基体の空
孔内にロウ材が流れ込むことなく、しかも陰極ペレット
と陰極スリーブとを確実に、しかも均一に固着できる。 更に陰極基体の空孔内へのロウ流れの恐れがないため、
ロウ流れの良いロウ材を使用でき、ロウづけ後のロウ材
にピンホールは発生せずロウ材が完全な遮弊体として作
用し、電子放射性物質の飛散を完全に防止する。
とを高融点金属材料の被着層を介してロウづけにより固
着しているため、被着層が遮弊体となり、陰極基体の空
孔内にロウ材が流れ込むことなく、しかも陰極ペレット
と陰極スリーブとを確実に、しかも均一に固着できる。 更に陰極基体の空孔内へのロウ流れの恐れがないため、
ロウ流れの良いロウ材を使用でき、ロウづけ後のロウ材
にピンホールは発生せずロウ材が完全な遮弊体として作
用し、電子放射性物質の飛散を完全に防止する。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の一実施例による含浸型陰極の
断面図を示す。同図で、３はタングステン、モリブデン
、イリジウム、レニウムなどの高融点金属材料の被着層
、４はたとえばモリブデン− ルテニウム合金などのロ
ウ材で、他の符号は図３のばあいと同じである。
断面図を示す。同図で、３はタングステン、モリブデン
、イリジウム、レニウムなどの高融点金属材料の被着層
、４はたとえばモリブデン− ルテニウム合金などのロ
ウ材で、他の符号は図３のばあいと同じである。
【００１２】この含浸型陰極の製法を説明すると、まず
、たとえば粒径が２〜１０μｍ のタングステン粉末を
主体とする高融点金属粉末をプレス成形して還元性雰囲
気中で陰極ペレット形状に陰極基体を形成する。この陰
極基体の形成は予め陰極ペレットの形状にプレス成形し
て焼結しても良いが、厳密な寸法、形状を必要とするば
あいは、任意形状のプレス成形体に無酸素銅やプラスチ
ックを含浸させて、機械加工により陰極ペレットの形状
に加工し、そののち真空炉などで無酸素銅やプラスチッ
クを除去して形成してもよい。
、たとえば粒径が２〜１０μｍ のタングステン粉末を
主体とする高融点金属粉末をプレス成形して還元性雰囲
気中で陰極ペレット形状に陰極基体を形成する。この陰
極基体の形成は予め陰極ペレットの形状にプレス成形し
て焼結しても良いが、厳密な寸法、形状を必要とするば
あいは、任意形状のプレス成形体に無酸素銅やプラスチ
ックを含浸させて、機械加工により陰極ペレットの形状
に加工し、そののち真空炉などで無酸素銅やプラスチッ
クを除去して形成してもよい。
【００１３】この陰極基体の裏面と側面に、スパッタ法
やＣＶＤ 法によりタングステン、モリブデン、イリジ
ウム、レニウムなどの高融点金属材料を被着し、被着層
３を形成する。この被着層３を形成するスパッタ法の一
例を図２により説明する。
やＣＶＤ 法によりタングステン、モリブデン、イリジ
ウム、レニウムなどの高融点金属材料を被着し、被着層
３を形成する。この被着層３を形成するスパッタ法の一
例を図２により説明する。
【００１４】図２において、７は陰極基体でその表面（
陰極ペレットの電子を放射する面）を治具８に接して固
着し、治具８は正の電極９に接続する。１０は他方の負
の電極で、ターゲット１１を支持しており、この実施例
ではターゲットとしてタングステン材料を使用している
。 １２は例えばアルゴンの不活性ガス雰囲気で、１３は高
周波電圧を印加する電源である。この装置により高周波
の高電圧を印加するとアルゴンガスは非常に高エネルギ
ーをもった陽イオンＡｒ＋ に電離し、これが電極の負
側すなわちターゲット１１のタングステンに飛び込み、
タングステンがＡｒ＋ のもっていた高エネルギーをえ
て飛び出し、陰極基体７の露出面（すなわち陰極ペレッ
トになったばあいの裏面と側面）に被着する。その被着
層の厚さは高電圧の印加時間にほぼ比例し、自由に調整
できる。
陰極ペレットの電子を放射する面）を治具８に接して固
着し、治具８は正の電極９に接続する。１０は他方の負
の電極で、ターゲット１１を支持しており、この実施例
ではターゲットとしてタングステン材料を使用している
。 １２は例えばアルゴンの不活性ガス雰囲気で、１３は高
周波電圧を印加する電源である。この装置により高周波
の高電圧を印加するとアルゴンガスは非常に高エネルギ
ーをもった陽イオンＡｒ＋ に電離し、これが電極の負
側すなわちターゲット１１のタングステンに飛び込み、
タングステンがＡｒ＋ のもっていた高エネルギーをえ
て飛び出し、陰極基体７の露出面（すなわち陰極ペレッ
トになったばあいの裏面と側面）に被着する。その被着
層の厚さは高電圧の印加時間にほぼ比例し、自由に調整
できる。
【００１５】ターゲット１１から飛び出たタングステン
は微粒子となって陽極側に到達し陰極基体７の露出面に
被着するため、陰極基体７の空孔部分の露出面積が大き
い程空孔部分を完全に遮弊するのに厚い被着層を必要と
する。空孔部分の露出面積の割合は気孔率（陰極基体全
体の空孔部分の体積に対する陰極基体全体の体積の割合
）にほぼ比例し、実験の結果、気孔率が１８〜２０％の
陰極基体に対しては５〜７μｍ の被着厚、気孔率が２
０〜２５％のばあいには７〜１０μｍ の被着厚にすれ
ば、充分ロウ材の侵入を防止できることが判明した。
は微粒子となって陽極側に到達し陰極基体７の露出面に
被着するため、陰極基体７の空孔部分の露出面積が大き
い程空孔部分を完全に遮弊するのに厚い被着層を必要と
する。空孔部分の露出面積の割合は気孔率（陰極基体全
体の空孔部分の体積に対する陰極基体全体の体積の割合
）にほぼ比例し、実験の結果、気孔率が１８〜２０％の
陰極基体に対しては５〜７μｍ の被着厚、気孔率が２
０〜２５％のばあいには７〜１０μｍ の被着厚にすれ
ば、充分ロウ材の侵入を防止できることが判明した。
【００１６】ＣＶＤ 法により被着層を形成する場合は
、通常のＣＶＤ 法と同様に、反応管内に陰極基体を配
設してたとえば４フッ化タングステンガスを導入して熱
分解することにより、陰極基体の露出部分にタングステ
ン材料が被着し、被着層を形成することができる。
、通常のＣＶＤ 法と同様に、反応管内に陰極基体を配
設してたとえば４フッ化タングステンガスを導入して熱
分解することにより、陰極基体の露出部分にタングステ
ン材料が被着し、被着層を形成することができる。
【００１７】この被着層３を形成した陰極ペレット７の
被着層上に、モリブデン− ルテニウム合金ロウ材を塗
布し、モリブデン− レニウム合金で形成した陰極スリ
ーブ２をはめ合せて水素炉でロウづけを行う。このロウ
づけの際、陰極ペレット７の裏面は陰極スリーブ２と接
していないが、付着したロウ材が一旦溶融して被着層３
の表面に濡れるため裏面もロウ材で完全に被覆される。 陰極スリーブの材質としては、溶接の必要はなくロウ流
れの良い耐熱性のあるモリブデン− レニウム合金が好
適である。
被着層上に、モリブデン− ルテニウム合金ロウ材を塗
布し、モリブデン− レニウム合金で形成した陰極スリ
ーブ２をはめ合せて水素炉でロウづけを行う。このロウ
づけの際、陰極ペレット７の裏面は陰極スリーブ２と接
していないが、付着したロウ材が一旦溶融して被着層３
の表面に濡れるため裏面もロウ材で完全に被覆される。 陰極スリーブの材質としては、溶接の必要はなくロウ流
れの良い耐熱性のあるモリブデン− レニウム合金が好
適である。
【００１８】この陰極基体７と陰極スリーブ２の固着後
陰極基体７の表面に酸化バリウム、酸化カルシウム、酸
化アルミニウムなどを所定割合に混合した電子放射性物
質を塗布して水素炉などで熱処理し、陰極ペレットの空
孔部に電子放射性物質を含浸させ、表面に残った余分な
電子放射性物質を除去することにより陰極ペレット１を
形成する。
陰極基体７の表面に酸化バリウム、酸化カルシウム、酸
化アルミニウムなどを所定割合に混合した電子放射性物
質を塗布して水素炉などで熱処理し、陰極ペレットの空
孔部に電子放射性物質を含浸させ、表面に残った余分な
電子放射性物質を除去することにより陰極ペレット１を
形成する。
【００１９】この陰極ペレット１と陰極スリーブ２を固
着したものの内部にアルミナなどで絶縁したヒータ５を
配置し、電子管内の所定の位置に溶接などで固着するこ
とにより陰極部を形成することができる。
着したものの内部にアルミナなどで絶縁したヒータ５を
配置し、電子管内の所定の位置に溶接などで固着するこ
とにより陰極部を形成することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、陰極ペレットと陰極ス
リーブとをロウづけにより固着しているため均一に固着
でき、熱伝導も向上して陰極表面全体も均一温度となり
、電気特性も向上する。しかもロウづけ作業は容易で一
度に大量のロウづけを行うこともでき、従来の溶接に比
べて作業能率が大幅に向上し、安価に製造することがで
きる。
リーブとをロウづけにより固着しているため均一に固着
でき、熱伝導も向上して陰極表面全体も均一温度となり
、電気特性も向上する。しかもロウづけ作業は容易で一
度に大量のロウづけを行うこともでき、従来の溶接に比
べて作業能率が大幅に向上し、安価に製造することがで
きる。
【００２１】一方陰極基体の裏面および側面には高融点
金属材料による被着層を形成しているため、陰極基体の
空孔部分へのロウ材侵入は全然なく、含浸する電子放射
性物質の量は従来のキャップ使用のものに劣ることなく
、固着強度の向上に伴い寿命および信頼性が大幅に向上
する効果がある。更に被着層の表面を緻密なロウ材で被
覆しているため、電子放射性物質のヒータ側への飛散も
完全に防止でき、陰極ヒータ間の絶縁低下なども一切生
じない。
金属材料による被着層を形成しているため、陰極基体の
空孔部分へのロウ材侵入は全然なく、含浸する電子放射
性物質の量は従来のキャップ使用のものに劣ることなく
、固着強度の向上に伴い寿命および信頼性が大幅に向上
する効果がある。更に被着層の表面を緻密なロウ材で被
覆しているため、電子放射性物質のヒータ側への飛散も
完全に防止でき、陰極ヒータ間の絶縁低下なども一切生
じない。
【図１】本発明の一実施例である含浸型陰極の縦断面図
である。
である。
【図２】本発明の一工程例であるスパッタ装置の概略断
面図である。
面図である。
【図３】従来の含浸型陰極の一例の縦断面図である。
１ 陰極ペレット
２ 陰極スリーブ
３ 被着層
４ ロウ材
５ ヒータ
７ 陰極基体
８ 治具
９ 正電極
１０ 負電極
１１ ターゲット
１２ アルゴンガス雰囲気
１３ 電源
Claims (4)
- 【請求項１】 高融点金属粉末を主成分として焼結し
た高融点金属多孔質体からなる陰極基体にバリウムを主
成分とする電子放射性物質が含浸せられた陰極ペレット
と、該陰極ペレットが支持固着せられると共に内部にヒ
ータが収納せられた陰極スリーブと、該陰極スリーブ内
に配設せられたヒータとからなる含浸型陰極であって、
前記陰極ペレットと前記陰極スリーブとが該陰極ペレッ
トの裏面および側面に被着せられた高融点金属材料の被
着層を介してロウづけにより固着せられてなる含浸型陰
極。 - 【請求項２】 請求項１記載の含浸型陰極であって、
前記高融点金属多孔質体の気孔率が１８〜２０％、該被
着層の厚さが５〜７μｍ とせられてなる含浸型陰極。 - 【請求項３】 請求項１記載の含浸型陰極であって、
前記高融点金属多孔質体の気孔率が２０〜２５％、前記
被着層の厚さが７〜１０μｍ とせられてなる含浸型陰
極。 - 【請求項４】 高融点金属粉末を主成分とする粉末を
焼結して陰極基体を形成する工程と、該陰極基体の裏面
および側面に高融点金属材料を被着する工程と、前記陰
極基体と陰極スリーブとをロウづけする工程と、前記陰
極基体に電子放射性物質を含浸させる工程と、前記陰極
スリーブ内にヒータを配設する工程との結合からなる含
浸型陰極の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3088605A JPH04322029A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 含浸型陰極およびその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3088605A JPH04322029A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 含浸型陰極およびその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04322029A true JPH04322029A (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=13947452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3088605A Pending JPH04322029A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 含浸型陰極およびその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04322029A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0798758A1 (fr) * | 1996-03-28 | 1997-10-01 | THOMSON TUBES & DISPLAYS S.A. | Procédé de fabrication d'une cathode imprégnée pour tube à rayons cathodiques |
| KR20010066847A (ko) * | 1999-12-27 | 2001-07-11 | 추후제출 | 캐소드 구조체와, 그 제조 방법 및 이를 이용한 음극선관 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP3088605A patent/JPH04322029A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0798758A1 (fr) * | 1996-03-28 | 1997-10-01 | THOMSON TUBES & DISPLAYS S.A. | Procédé de fabrication d'une cathode imprégnée pour tube à rayons cathodiques |
| KR20010066847A (ko) * | 1999-12-27 | 2001-07-11 | 추후제출 | 캐소드 구조체와, 그 제조 방법 및 이를 이용한 음극선관 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2103695C (en) | Low pressure discharge lamp having sintered "cold cathode" discharge electrodes | |
| US2912611A (en) | Thermionic cathodes | |
| US3558966A (en) | Directly heated dispenser cathode | |
| KR890004116B1 (ko) | 함침형 음극 | |
| CN1219283A (zh) | 用于气体放电的冷电极 | |
| US2175695A (en) | Gettering | |
| JPS6360499B2 (ja) | ||
| US2447973A (en) | Coated anode for electron discharge devices | |
| JP3727519B2 (ja) | 熱陰極構体用スリーブ及びその製造方法 | |
| JP3137406B2 (ja) | 陰極構体の製造方法 | |
| JP3715790B2 (ja) | 放電管用含浸型陰極の製造方法 | |
| KR100393990B1 (ko) | 음극선관용 히터 | |
| SU871670A1 (ru) | Катодный узел и способ его изготовлени | |
| CA2103692A1 (en) | Method of installation of composite electrodes in discharge lamps | |
| JPS61216221A (ja) | 含浸型陰極およびその製造方法 | |
| JPS62217525A (ja) | 含浸形カソ−ド | |
| EP1302969B1 (en) | Sleeve for hot cathode structure and method for manufacturing such sleeve | |
| JPH103846A (ja) | 陰極線管用の含浸された陰極の製造方法 | |
| JPH09115424A (ja) | 陰極線管用カソード構体 | |
| JPH04286827A (ja) | 含浸形陰極 | |
| JPS5851487A (ja) | ガス入放電管における導電条片の製造方法 | |
| JPH08138828A (ja) | 放電型サージ吸収素子の製造方法及び放電型サージ吸収素子 | |
| JPH04322030A (ja) | 含浸型陰極 | |
| JPH05211028A (ja) | 陰極構体 | |
| JPH05205610A (ja) | 熱陰極及びこれを用いた電子管 |