JPH0432564A - スパッタリング用バッキングプレート - Google Patents
スパッタリング用バッキングプレートInfo
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- JPH0432564A JPH0432564A JP13877290A JP13877290A JPH0432564A JP H0432564 A JPH0432564 A JP H0432564A JP 13877290 A JP13877290 A JP 13877290A JP 13877290 A JP13877290 A JP 13877290A JP H0432564 A JPH0432564 A JP H0432564A
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- Japan
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- backing plate
- sputtering
- copper
- zirconium
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はスパッタリング用ターゲットを保持、冷却する
ためのバッキングプレートに関する。詳しくは、熱伝導
がよく、変形が小さいスパッタリング用バッキングプレ
ートに関する。
ためのバッキングプレートに関する。詳しくは、熱伝導
がよく、変形が小さいスパッタリング用バッキングプレ
ートに関する。
［従来の技術］
スパッタリングは、高真空下、被スパツタリング体とス
パッタリング用ターゲットとを対向させて行われる。ス
パッタリング用ターゲットとしては、光磁気ディスク用
の希土類金属合金、透明導電性フィルム用の酸化インジ
ウム−スズ等のような脆い材質の材料が多く使用されて
いる。
パッタリング用ターゲットとを対向させて行われる。ス
パッタリング用ターゲットとしては、光磁気ディスク用
の希土類金属合金、透明導電性フィルム用の酸化インジ
ウム−スズ等のような脆い材質の材料が多く使用されて
いる。
スパッタリング用ターゲットは、熱伝導性のよい銅製の
冷却・保持板、すなわちバッキングプレートに接着して
使用されている。ターゲットはスパッタリングに際し、
温度が上昇するのでバッキングプレートのターゲット接
着面の反対面には冷却用設備がマグネットと共に設けら
れる。
冷却・保持板、すなわちバッキングプレートに接着して
使用されている。ターゲットはスパッタリングに際し、
温度が上昇するのでバッキングプレートのターゲット接
着面の反対面には冷却用設備がマグネットと共に設けら
れる。
［発明が解決しようとする課題］
最近のマグネトロン型スパッタリング装置においては、
大電力の投入が可能となり、スパッタリング膜の生成速
度が増大している。それに伴ってスパッタリング用ター
ゲットの温度上昇も大きくなり、効率的に冷却すること
が要求されている。
大電力の投入が可能となり、スパッタリング膜の生成速
度が増大している。それに伴ってスパッタリング用ター
ゲットの温度上昇も大きくなり、効率的に冷却すること
が要求されている。
また、スパッタリングさせるに必要な磁場を効率的に供
給することも要求されている。
給することも要求されている。
これを解決する手段として、バッキングプレートの厚み
を薄くすることが試みられている。しかしながら、バッ
キングプレートは、ターゲット接着面が高真空であり、
その反対面の冷却設備および磁石取り付は面が大気圧で
あるので、あまり薄くすると変形してしまう。さらにス
パッタリング用ターゲットは、バッキングプレートの変
形により破損したり、バッキングプレートから剥離する
という欠点があった。
を薄くすることが試みられている。しかしながら、バッ
キングプレートは、ターゲット接着面が高真空であり、
その反対面の冷却設備および磁石取り付は面が大気圧で
あるので、あまり薄くすると変形してしまう。さらにス
パッタリング用ターゲットは、バッキングプレートの変
形により破損したり、バッキングプレートから剥離する
という欠点があった。
［課題を解決するための手段］
本発明者らは、上記問題点を解決すべく鋭意検討を行っ
た結果、特定の金属を含有する銅合金により銅の有する
熱伝導性を損なうことなく、充分な耐変形性を有するス
パッタリング用バッキングプレートが得られることを知
得して本発明に到達した。
た結果、特定の金属を含有する銅合金により銅の有する
熱伝導性を損なうことなく、充分な耐変形性を有するス
パッタリング用バッキングプレートが得られることを知
得して本発明に到達した。
すなわち、本発明の要旨はクロムおよび／またはジルコ
ニウムを０．１〜２．０重量％含有する銅合金からなる
ことを特徴とするスパッタリング用バッキングプレート
に存する。
ニウムを０．１〜２．０重量％含有する銅合金からなる
ことを特徴とするスパッタリング用バッキングプレート
に存する。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明のバッキングプレートは、クロム、ジルコニウム
またはクロム−ジルコニウムを０．１〜２．０重量％含
有する銅合金を材質とすることを特徴とする。クロム、
ジルコニウムまたはクロム−ジルコニウム含有量が０．
１重量％より少ないと耐変形性が悪くなるので好ましく
ない。また、この含有量が２．０重量％より多いと熱伝
導性および加工性が悪くなるので好ましくない。バッキ
ングプレー トは、その片面に設けられる冷却設備のは
んだ付けやターゲットのボンディング等による熱履歴を
受ける。
またはクロム−ジルコニウムを０．１〜２．０重量％含
有する銅合金を材質とすることを特徴とする。クロム、
ジルコニウムまたはクロム−ジルコニウム含有量が０．
１重量％より少ないと耐変形性が悪くなるので好ましく
ない。また、この含有量が２．０重量％より多いと熱伝
導性および加工性が悪くなるので好ましくない。バッキ
ングプレー トは、その片面に設けられる冷却設備のは
んだ付けやターゲットのボンディング等による熱履歴を
受ける。
第１図は、後述の実施例１および比較例１で作製したバ
ッキングプレートの熱履歴による引張応力の変化（測定
対象のバッキングプレートを所定温度まで昇温し、６０
分間保持した後、常温に戻して引張応力を測定した。）
を示した図である。従来用いられていた銅（無酸素銅）
製のもの（比較例１）は約２００°Ｃから引張応力が低
下し軟化現象が起こるが、本発明の調合金製のもの（実
施例１）は約４００°Ｃから軟化現象が起こることが分
かる。はんだ付は等における温度は約３００°Ｃであり
、実施例１で用いた銅合金はバッキングプレートとして
十分な耐熱性を有する。
ッキングプレートの熱履歴による引張応力の変化（測定
対象のバッキングプレートを所定温度まで昇温し、６０
分間保持した後、常温に戻して引張応力を測定した。）
を示した図である。従来用いられていた銅（無酸素銅）
製のもの（比較例１）は約２００°Ｃから引張応力が低
下し軟化現象が起こるが、本発明の調合金製のもの（実
施例１）は約４００°Ｃから軟化現象が起こることが分
かる。はんだ付は等における温度は約３００°Ｃであり
、実施例１で用いた銅合金はバッキングプレートとして
十分な耐熱性を有する。
本発明に用いられる銅合金は、熱処理は特に行わなくて
もよいが、例えば時効処理（例えば４５０〜５５０’Ｃ
）、または冷間加工と時効処理との組合せ等の熱処理を
行うと更に好ましい材料となる。
もよいが、例えば時効処理（例えば４５０〜５５０’Ｃ
）、または冷間加工と時効処理との組合せ等の熱処理を
行うと更に好ましい材料となる。
［実施例］
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り実施例により限定される
ものではない。
発明はその要旨を越えない限り実施例により限定される
ものではない。
実施例１
銅−クロム−ジルコニウムの合金（三菱金属（株）製“
’ＯＭＣ”：銅９９．２重量％、クロム０．５３重量％
、ジルコニウム０．１４重量％）を用いて縦１２７ｍｍ
、横５０８ｍｍ、厚み６．５ｍｍのバッキングプレート
を作製し、冷却水流路部を約３００°Ｃの温度ではんだ
付けした。
’ＯＭＣ”：銅９９．２重量％、クロム０．５３重量％
、ジルコニウム０．１４重量％）を用いて縦１２７ｍｍ
、横５０８ｍｍ、厚み６．５ｍｍのバッキングプレート
を作製し、冷却水流路部を約３００°Ｃの温度ではんだ
付けした。
このバッキングプレートの片面を大気圧とし、その反対
面に真空度Ｉ Ｔｏｒｒ→大気圧→真空度Ｉ Ｔｏｒｒ
→大気圧の繰り返し応力をかけ、反りの変位量を測定し
た。その結果を第１表に示した。
面に真空度Ｉ Ｔｏｒｒ→大気圧→真空度Ｉ Ｔｏｒｒ
→大気圧の繰り返し応力をかけ、反りの変位量を測定し
た。その結果を第１表に示した。
また、このバッキングプレートを所定温度まで昇温し、
６０分間保持した後、常温に戻して引張応力を測定した
。その結果を第１図に示した（実線）。
６０分間保持した後、常温に戻して引張応力を測定した
。その結果を第１図に示した（実線）。
比較例１
材質を無酸素鋼としたこと以外は実施例１と同様にして
バッキングプレートを作成し、反りの変位量を測定した
。その結果を第１表に示した。
バッキングプレートを作成し、反りの変位量を測定した
。その結果を第１表に示した。
第１表より無酸素鋼に比べて本発明の材質で作成したバ
ッキングプレートは変化量が小さく、耐変形性に優れて
いることが明らかである。
ッキングプレートは変化量が小さく、耐変形性に優れて
いることが明らかである。
また、実施例１と同様にして引張応力を測定し、その結
果を第１図に示した（点線）。
果を第１図に示した（点線）。
第１表
［本発明の効果］
本発明の銅−クロム、銅−ジルコニウムまたは銅−クロ
ム−ジルコニウムを材質とするスパッタリン４゜ グ用バッキングプレートは、銅の有する熱伝導性を損な
うことなく、バッキングプレートとしての熱履歴にも充
分な耐変形性を有するので、バッキングプレートを薄く
しても変形がおこらず、スパッタリング用ターゲットの
破損や、バッキングプレートからの剥離が起こらない。
ム−ジルコニウムを材質とするスパッタリン４゜ グ用バッキングプレートは、銅の有する熱伝導性を損な
うことなく、バッキングプレートとしての熱履歴にも充
分な耐変形性を有するので、バッキングプレートを薄く
しても変形がおこらず、スパッタリング用ターゲットの
破損や、バッキングプレートからの剥離が起こらない。
すなわち、冷却効率、磁力線効率が向上し、スパッタリ
ングの生産性も向上できるのため工業的に有用である。
ングの生産性も向上できるのため工業的に有用である。
第１図は、実施例１および比較例１で作製したバッキン
グプレートの熱履歴による引張応力の変化を示した図で
ある。実線は実施例１の場合、点線は比較例１の場合を
それぞれ示す。
グプレートの熱履歴による引張応力の変化を示した図で
ある。実線は実施例１の場合、点線は比較例１の場合を
それぞれ示す。
Claims (1)
- （１）クロムおよび／またはジルコニウムを０．１〜２
．０重量％含有する銅合金からなることを特徴とするス
パッタリング用バッキングプレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13877290A JPH0432564A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | スパッタリング用バッキングプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13877290A JPH0432564A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | スパッタリング用バッキングプレート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0432564A true JPH0432564A (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=15229840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13877290A Pending JPH0432564A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | スパッタリング用バッキングプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0432564A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102260851A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-11-30 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 溅镀载具 |
-
1990
- 1990-05-29 JP JP13877290A patent/JPH0432564A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102260851A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-11-30 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 溅镀载具 |
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