JPH04326546A - 真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法 - Google Patents
真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法Info
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- JPH04326546A JPH04326546A JP3095911A JP9591191A JPH04326546A JP H04326546 A JPH04326546 A JP H04326546A JP 3095911 A JP3095911 A JP 3095911A JP 9591191 A JP9591191 A JP 9591191A JP H04326546 A JPH04326546 A JP H04326546A
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- Japan
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- vacuum
- piping
- suction
- vacuum valve
- valve
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置など
のクリーンな環境のもとで使用する真空吸着装置および
真空吸着装置の制御方法に関するものである。
のクリーンな環境のもとで使用する真空吸着装置および
真空吸着装置の制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ガラス板、ウエハ、半導体チ
ップあるいは半導体パッケージなどの各種のワークを加
工、測定あるいは移載などの各種の作業を行う際にはク
リーンルームなどのクリーンな環境内で真空吸着装置に
吸着固定して行っており、その真空吸着装置のエアー配
管図は図２Ａおよび図２Ｂに示すようなものであった。 図２Ａにおいて４は真空バルブ、２は配管、３は吸着確
認手段、１はバキュームパッド、１３はワークで、真空
バルブ４を図２Ａに示すように真空ポンプ７側に切り換
えることにより、エアーを配管２内をｅ→ｆの経路で流
してバキュームパッド１の吸着面に負圧を作ってワーク
１３を吸着する。そして、吸着したワーク１３の吸着を
解除する場合は、図２Ｂに示すように真空バルブ４を高
圧エアー源１２側に切り換えて、エアーを配管２内をｈ
→ｉ→ｊ→ｌの経路で流して、エアーをバキュームパッ
ド１まで導き、吸着面の負圧を解除することにすること
によりワーク１３の吸着を解除している。
ップあるいは半導体パッケージなどの各種のワークを加
工、測定あるいは移載などの各種の作業を行う際にはク
リーンルームなどのクリーンな環境内で真空吸着装置に
吸着固定して行っており、その真空吸着装置のエアー配
管図は図２Ａおよび図２Ｂに示すようなものであった。 図２Ａにおいて４は真空バルブ、２は配管、３は吸着確
認手段、１はバキュームパッド、１３はワークで、真空
バルブ４を図２Ａに示すように真空ポンプ７側に切り換
えることにより、エアーを配管２内をｅ→ｆの経路で流
してバキュームパッド１の吸着面に負圧を作ってワーク
１３を吸着する。そして、吸着したワーク１３の吸着を
解除する場合は、図２Ｂに示すように真空バルブ４を高
圧エアー源１２側に切り換えて、エアーを配管２内をｈ
→ｉ→ｊ→ｌの経路で流して、エアーをバキュームパッ
ド１まで導き、吸着面の負圧を解除することにすること
によりワーク１３の吸着を解除している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような真空吸着装
置を使用してワーク１３を吸着する際に、図２Ａに示す
ように真空ポンプ４により発生する負圧によってエアー
が配管２内をｅ→ｆの経路で引かれて流れる。クリーン
ルーム内と言えども微小量のゴミが存在し、このゴミが
ワーク１３を吸着する際にバキュームパッド１により吸
い寄せられてバキュームパッド１の吸着面を通り抜け配
管２内に溜まることになる。
置を使用してワーク１３を吸着する際に、図２Ａに示す
ように真空ポンプ４により発生する負圧によってエアー
が配管２内をｅ→ｆの経路で引かれて流れる。クリーン
ルーム内と言えども微小量のゴミが存在し、このゴミが
ワーク１３を吸着する際にバキュームパッド１により吸
い寄せられてバキュームパッド１の吸着面を通り抜け配
管２内に溜まることになる。
【０００４】つぎに、真空バルブ４を高圧エアー源１２
へ切り換えて吸着解除を行った場合、図２Ｂに示すよう
にエアーが高圧エアー源１２から配管２内をｈ→ｉ→ｊ
→ｌの経路を経由して流れ、高圧エアー源１２から流入
したエアー中のゴミと配管２内に溜まったゴミがバキュ
ームパッド１からクリーンルーム内へ吐き出される。
へ切り換えて吸着解除を行った場合、図２Ｂに示すよう
にエアーが高圧エアー源１２から配管２内をｈ→ｉ→ｊ
→ｌの経路を経由して流れ、高圧エアー源１２から流入
したエアー中のゴミと配管２内に溜まったゴミがバキュ
ームパッド１からクリーンルーム内へ吐き出される。
【０００５】この対策として図２Ｂに示すように配管２
のｍの位置にエアーフィルタを入れる方法が考えられる
が、ｍに入れたエアーフィルタは高圧エアー源１２から
流入したエアー中のゴミをフィルタする効果はあるが、
バキュームパッド１側から吸入したエアー中のゴミが逆
にこのエアーフィルタに溜め込まれ、吸着解除時に配管
２内をｈ→ｉ→ｊ→ｍ→ｌの経路で流入するエアーによ
りエアーフィルタに溜め込まれたゴミはバキュームパッ
ド１からクリーンルーム内へ吐き出される。
のｍの位置にエアーフィルタを入れる方法が考えられる
が、ｍに入れたエアーフィルタは高圧エアー源１２から
流入したエアー中のゴミをフィルタする効果はあるが、
バキュームパッド１側から吸入したエアー中のゴミが逆
にこのエアーフィルタに溜め込まれ、吸着解除時に配管
２内をｈ→ｉ→ｊ→ｍ→ｌの経路で流入するエアーによ
りエアーフィルタに溜め込まれたゴミはバキュームパッ
ド１からクリーンルーム内へ吐き出される。
【０００６】また、エアーフィルタはワーク１３の吸着
時に配管２の経路内の抵抗となり、真空吸着装置の真空
ポンプ７の容量の増加を要求し、真空吸着装置のコスト
アップの原因となる。そして、自動真空吸着装置などで
は吸着確認手段３を配管２に接続し、真空度により吸着
の確認を行うようになっているが、吸着確認手段３のセ
ンサの調整が困難になる。
時に配管２の経路内の抵抗となり、真空吸着装置の真空
ポンプ７の容量の増加を要求し、真空吸着装置のコスト
アップの原因となる。そして、自動真空吸着装置などで
は吸着確認手段３を配管２に接続し、真空度により吸着
の確認を行うようになっているが、吸着確認手段３のセ
ンサの調整が困難になる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】先に述べたような課題を
解決するために、この発明は、吸着するためのワーク付
近に吸盤を配置し、この吸盤と真空ポンプの間を配管で
結合した真空吸着装置において、吸盤と真空ポンプの間
を結合した第一の配管の経路内の吸盤側から真空ポンプ
側にかけて吸着確認手段と第一の真空バルブを直列に配
置し、この第一の真空バルブが配置された配管経路に並
列に第一の流量制御手段を配置した配管経路を接続する
とともに、第一の配管の経路と並列に吸盤と高圧エアー
源の間を第二の配管で結合し、この第二の配管の経路内
の吸盤側から高圧エアー源にかけてエアーフィルタと第
二の流量制御手段と第二の真空バルブを直列に配置した
真空吸着装置であり、この真空吸着装置の第一の真空バ
ルブと第二の真空バルブの開閉を切り換えることにより
、ワークの吸着と吸着解除を切り換える真空吸着装置の
制御方法である。
解決するために、この発明は、吸着するためのワーク付
近に吸盤を配置し、この吸盤と真空ポンプの間を配管で
結合した真空吸着装置において、吸盤と真空ポンプの間
を結合した第一の配管の経路内の吸盤側から真空ポンプ
側にかけて吸着確認手段と第一の真空バルブを直列に配
置し、この第一の真空バルブが配置された配管経路に並
列に第一の流量制御手段を配置した配管経路を接続する
とともに、第一の配管の経路と並列に吸盤と高圧エアー
源の間を第二の配管で結合し、この第二の配管の経路内
の吸盤側から高圧エアー源にかけてエアーフィルタと第
二の流量制御手段と第二の真空バルブを直列に配置した
真空吸着装置であり、この真空吸着装置の第一の真空バ
ルブと第二の真空バルブの開閉を切り換えることにより
、ワークの吸着と吸着解除を切り換える真空吸着装置の
制御方法である。
【０００８】
【作用】この発明では、真空吸着装置に吸着用の第一の
配管経路を設け、第一の配管経路内に吸着確認手段と第
一の真空バルブを直列に、第一の真空バルブと第一の流
量制御手段を並列に配置するとともに、吸着解除用の第
二の配管経路を第一の配管経路に並列に設け、第二の配
管経路内にエアーフィルタと第二の流量制御手段と第二
の真空バルブを直列に配置し、吸着用の第一の配管経路
に設けた第一の真空バルブと吸着解除用の第二の配管経
路に設けた第二の真空バルブの開閉を切り換えてワーク
の吸着と吸着解除を行うことにより、簡単な空圧回路で
クリーンルーム内へのゴミの吐き出しを防止することが
できる。
配管経路を設け、第一の配管経路内に吸着確認手段と第
一の真空バルブを直列に、第一の真空バルブと第一の流
量制御手段を並列に配置するとともに、吸着解除用の第
二の配管経路を第一の配管経路に並列に設け、第二の配
管経路内にエアーフィルタと第二の流量制御手段と第二
の真空バルブを直列に配置し、吸着用の第一の配管経路
に設けた第一の真空バルブと吸着解除用の第二の配管経
路に設けた第二の真空バルブの開閉を切り換えてワーク
の吸着と吸着解除を行うことにより、簡単な空圧回路で
クリーンルーム内へのゴミの吐き出しを防止することが
できる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１０】図１はこの発明の真空吸着装置のエアー配
管図である。
管図である。
【００１１】図１において、１はバキュームパッド、２
は第一の配管、３は吸着確認手段、４は第一の真空バル
ブ、５は副配管、６は第一の流量制御手段、７は真空ポ
ンプ、８は第二の配管、９はエアーフィルタ、１０は第
二の流量制御手段、１１は第二の真空バルブ、１２は高
圧エアー源、１３はワークである。
は第一の配管、３は吸着確認手段、４は第一の真空バル
ブ、５は副配管、６は第一の流量制御手段、７は真空ポ
ンプ、８は第二の配管、９はエアーフィルタ、１０は第
二の流量制御手段、１１は第二の真空バルブ、１２は高
圧エアー源、１３はワークである。
【００１２】図１に示すようにバキュームパッド１と真
空ポンプ７の間に第一の配管２が結合され、第一の配管
２の経路内に吸着確認手段３と第一の真空バルブ４が直
列に設けられている。そして、第一の配管２に設けられ
た第一の真空バルブ４に副配管５が並列に結合され、副
配管５の経路内に第一の流量制御手段６が設けられてい
る。また、第一の配管２と並列にバキュームパッド１か
ら高圧エアー源１２の間に第二の配管８が結合され、第
二の配管２の経路内にエアーフィルタ９、第二の流量制
御手段１０および第二の真空バルブ１１が直列に設けら
れて真空吸着装置が構成される。
空ポンプ７の間に第一の配管２が結合され、第一の配管
２の経路内に吸着確認手段３と第一の真空バルブ４が直
列に設けられている。そして、第一の配管２に設けられ
た第一の真空バルブ４に副配管５が並列に結合され、副
配管５の経路内に第一の流量制御手段６が設けられてい
る。また、第一の配管２と並列にバキュームパッド１か
ら高圧エアー源１２の間に第二の配管８が結合され、第
二の配管２の経路内にエアーフィルタ９、第二の流量制
御手段１０および第二の真空バルブ１１が直列に設けら
れて真空吸着装置が構成される。
【００１３】吸着確認手段３としては例えば圧力計でも
よく、ワーク１３がバキュームパッド１に吸着され第一
の配管２内の圧力が下がったことを圧力計で表示するこ
とにより吸着を確認することができる。しかしながら、
圧力計では圧力が下がったことをいちいち目で確認する
必要があるので、吸着確認手段３として圧力センサとス
イッチを組合せたものを使用して、第一の配管２内の圧
力が下がったことを圧力センサで検知してスイッチを動
作させ、スイッチ回路に電気的表示手段、例えばランプ
などを接続して、圧力が下がったときにランプを点灯す
ることにより吸着を確認することができる。
よく、ワーク１３がバキュームパッド１に吸着され第一
の配管２内の圧力が下がったことを圧力計で表示するこ
とにより吸着を確認することができる。しかしながら、
圧力計では圧力が下がったことをいちいち目で確認する
必要があるので、吸着確認手段３として圧力センサとス
イッチを組合せたものを使用して、第一の配管２内の圧
力が下がったことを圧力センサで検知してスイッチを動
作させ、スイッチ回路に電気的表示手段、例えばランプ
などを接続して、圧力が下がったときにランプを点灯す
ることにより吸着を確認することができる。
【００１４】第一の流量制御手段６および第二の流量制
御手段１０として、通常スピコンと呼ばれているものが
使用される。スピコンは手動制御バルブ６ａに並列にリ
リーフバルブ６ｂが結合されているもので、手動制御バ
ルブ６ａを調節して流量を制御すると同時にリリーフバ
ルブ６ｂにより逆流してくるエアーに対してはバルブを
開放する働きを持っている。逆流してくるエアーに対し
てバルブを開放する必要が無い場合は、リリーフバルブ
６ｂのない手動制御バルブ６ａのみで手動で流量の制御
ができるものでもよい。
御手段１０として、通常スピコンと呼ばれているものが
使用される。スピコンは手動制御バルブ６ａに並列にリ
リーフバルブ６ｂが結合されているもので、手動制御バ
ルブ６ａを調節して流量を制御すると同時にリリーフバ
ルブ６ｂにより逆流してくるエアーに対してはバルブを
開放する働きを持っている。逆流してくるエアーに対し
てバルブを開放する必要が無い場合は、リリーフバルブ
６ｂのない手動制御バルブ６ａのみで手動で流量の制御
ができるものでもよい。
【００１５】この発明の真空吸着装置の制御方法を以下
に説明する。
に説明する。
【００１６】図１では第一の真空バルブ４が閉にされた
状態であるが、この第一の真空バルブ４を図２Ａに示す
ように開にする。エアーは第一の配管２内をｋ→ｅ→ｆ
→ｇの経路の流れと、第一の配管２と副配管５内をｋ→
ａ→ｂ→ｃ→ｄの経路の流れになり真空ポンプ７により
吸引され、バキュームパッド１の吸着面に負圧を作って
ワーク１３はバキュームパッド１に吸着され、吸着確認
手段３により吸着状態が表示される。
状態であるが、この第一の真空バルブ４を図２Ａに示す
ように開にする。エアーは第一の配管２内をｋ→ｅ→ｆ
→ｇの経路の流れと、第一の配管２と副配管５内をｋ→
ａ→ｂ→ｃ→ｄの経路の流れになり真空ポンプ７により
吸引され、バキュームパッド１の吸着面に負圧を作って
ワーク１３はバキュームパッド１に吸着され、吸着確認
手段３により吸着状態が表示される。
【００１７】つぎに、ワーク１３の吸着を解除するには
第一の真空バルブ４を閉にして、第二の真空バルブ１１
を１秒程度開にする。エアーは高圧エアー源１２から第
二の配管８内をｈ→ｉ→ｊ→ｌの経路で流れ、ワーク１
３の吸着は解除される。このエアーの流れはワーク１３
の吸着を解除する程度のものなのでかなり少量でよく、
エアーフィルタ９に直列に第二の流量制御手段１０をを
設けてエアーの流量を制御する。
第一の真空バルブ４を閉にして、第二の真空バルブ１１
を１秒程度開にする。エアーは高圧エアー源１２から第
二の配管８内をｈ→ｉ→ｊ→ｌの経路で流れ、ワーク１
３の吸着は解除される。このエアーの流れはワーク１３
の吸着を解除する程度のものなのでかなり少量でよく、
エアーフィルタ９に直列に第二の流量制御手段１０をを
設けてエアーの流量を制御する。
【００１８】一方、第一の真空バルブ４を閉にしてもエ
アーの逆流を起こさないように第一の配管２内のｋ→ａ
→ｂ→ｃ→ｄの経路のエアーの流れは常に流れる状態に
しておかれる。このエアーの流れは逆流を起こさないよ
うにするのが目的なので極少量でよく、第一の流量制御
手段でエアーの流量が制御される。この第一の配管２内
のｋ→ａ→ｂ→ｃ→ｄの経路のエアーの流れによりバユ
ームパッド１から吸引されたゴミは逆流することなく真
空ポンプ７に吸引され、高圧エアー源１２から流れ込む
エアー中のゴミはエアーフィルタ９でフィルタされるの
でいつもクリーンなエアーがバキュームパッド１からク
リーンルーム内へ吐き出される。
アーの逆流を起こさないように第一の配管２内のｋ→ａ
→ｂ→ｃ→ｄの経路のエアーの流れは常に流れる状態に
しておかれる。このエアーの流れは逆流を起こさないよ
うにするのが目的なので極少量でよく、第一の流量制御
手段でエアーの流量が制御される。この第一の配管２内
のｋ→ａ→ｂ→ｃ→ｄの経路のエアーの流れによりバユ
ームパッド１から吸引されたゴミは逆流することなく真
空ポンプ７に吸引され、高圧エアー源１２から流れ込む
エアー中のゴミはエアーフィルタ９でフィルタされるの
でいつもクリーンなエアーがバキュームパッド１からク
リーンルーム内へ吐き出される。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、真空
吸着装置に吸着用の第一の配管経路を設け、第一の配管
経路内に吸着確認手段と第一の真空バルブを直列に、第
一の真空バルブと第一の流量制御手段を並列に配置する
とともに、吸着解除用の第二の配管経路を第一の配管経
路に並列に設け、第二の配管経路内にエアーフィルタと
第二の流量制御手段と第二の真空バルブを直列に配置し
、吸着用の第一の配管経路に設けた第一の真空バルブと
吸着解除用の第二の配管経路に設けた第二の真空バルブ
の開閉を切り換えてワークの吸着と吸着解除を行うこと
により、簡単な空圧回路でクリーンルーム内へのゴミの
吐き出しを防止することができ、デバイスの歩留まりが
向上する。
吸着装置に吸着用の第一の配管経路を設け、第一の配管
経路内に吸着確認手段と第一の真空バルブを直列に、第
一の真空バルブと第一の流量制御手段を並列に配置する
とともに、吸着解除用の第二の配管経路を第一の配管経
路に並列に設け、第二の配管経路内にエアーフィルタと
第二の流量制御手段と第二の真空バルブを直列に配置し
、吸着用の第一の配管経路に設けた第一の真空バルブと
吸着解除用の第二の配管経路に設けた第二の真空バルブ
の開閉を切り換えてワークの吸着と吸着解除を行うこと
により、簡単な空圧回路でクリーンルーム内へのゴミの
吐き出しを防止することができ、デバイスの歩留まりが
向上する。
【図１】この発明の真空吸着装置のエアー配管図。
【図２】従来技術の真空吸着装置のエアー配管図である
。
。
１ バキュームパッド
２ 第一の配管
３ 吸着確認手段
４ 第一の真空バルブ
５ 副配管
６ 第一の流量制御手段
７ 真空ポンプ
８ 第二の配管
９ エアーフィルタ
１０ 第二の流量制御手段
１１ 第二の真空バルブ
１２ 高圧エアー源
１３ ワーク
Claims (2)
- 【請求項１】吸着するためのワーク付近に吸盤を配置し
、該吸盤と真空ポンプの間を配管で結合した真空吸着装
置において、吸盤と真空ポンプの間を結合した第一の配
管の経路内の前記吸盤側から前記真空ポンプ側にかけて
吸着確認手段と第一の真空バルブを直列に位置し、該第
一の真空バルブが配置された配管経路に並列に第一の流
量制御手段を配置した配管経路を結合するとともに、前
記第一の配管の経路と並列に前記吸盤と高圧エアー源の
間を第二の配管で結合し、該第二の配管の経路内の前記
吸盤側から前記高圧エアー源にかけてエアーフィルタと
第二の流量制御手段と第二の真空バルブを直列に配置し
たことを特徴とする真空吸着装置。 - 【請求項２】請求項１記載の真空吸着装置の前記第一の
真空バルブを開にして、前記真空ポンプにより発生した
負圧を利用して前記吸盤にワークを吸着したのち、前記
第一の真空バルブを閉にすると同時に前記第二の真空バ
ルブを開にして、前記高圧エアー源より第二の真空バル
ブ、第二の流量制御手段、エアーフィルタの経路を通じ
て高圧エアーを送り出すことによりワークの吸着を解除
することを特徴とする真空吸着装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9591191A JP3175185B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9591191A JP3175185B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326546A true JPH04326546A (ja) | 1992-11-16 |
| JP3175185B2 JP3175185B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=14150476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9591191A Expired - Fee Related JP3175185B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175185B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727154U (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-19 | 東京航空計器株式会社 | ウェ−ハ真空吸着保持機構の空圧解除回路 |
| JPH08132375A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-05-28 | Minami Denshi Kogyo Kk | 吸着保持装置及びそれを用いた吸着保持方法 |
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| JP2003042134A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Nippon Pisuko:Kk | 真空発生器 |
| JP2009012110A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置のチャックテーブル機構 |
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| CN103481214A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-01-01 | 深圳市荣德机器人科技有限公司 | 弹性打磨头及打磨机 |
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| CN114551282A (zh) * | 2020-11-25 | 2022-05-27 | 细美事有限公司 | 半导体条带切割及分类设备、传送装置以及方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2915852B2 (ja) | 1996-09-06 | 1999-07-05 | 三菱重工業株式会社 | スクロール型圧縮機 |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP9591191A patent/JP3175185B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN105382847A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-09 | 南京工业职业技术学院 | 一种智能真空吸盘装置 |
| CN114551282A (zh) * | 2020-11-25 | 2022-05-27 | 细美事有限公司 | 半导体条带切割及分类设备、传送装置以及方法 |
| KR20220072936A (ko) * | 2020-11-25 | 2022-06-03 | 세메스 주식회사 | 반도체 스트립 절단 및 분류 설비에서 반도체 패키지를 이송하기 위한 장치 및 방법 |
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| CN114551282B (zh) * | 2020-11-25 | 2025-10-28 | 细美事有限公司 | 半导体条带切割及分类设备、传送装置以及方法 |
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|---|---|
| JP3175185B2 (ja) | 2001-06-11 |
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