JPH04326988A - オゾン含有ガスの散気方法 - Google Patents
オゾン含有ガスの散気方法Info
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- JPH04326988A JPH04326988A JP3122420A JP12242091A JPH04326988A JP H04326988 A JPH04326988 A JP H04326988A JP 3122420 A JP3122420 A JP 3122420A JP 12242091 A JP12242091 A JP 12242091A JP H04326988 A JPH04326988 A JP H04326988A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水電解反応により発生
するオゾン含有ガスを効率よく水に溶解させてオゾン水
を製造しあるいは前記オゾン含有ガスにより直接水のオ
ゾン処理を行う際の前記オゾン含有ガスの散気方法、該
散気方法に使用するフィルター及びその製造方法に関す
る。
するオゾン含有ガスを効率よく水に溶解させてオゾン水
を製造しあるいは前記オゾン含有ガスにより直接水のオ
ゾン処理を行う際の前記オゾン含有ガスの散気方法、該
散気方法に使用するフィルター及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来技術とその問題点】オゾンは強力でクリーンな酸
化剤として注目され、特にその分解生成物が酸素であり
従来から使用されている塩素系の酸化剤のものと比較し
て残留物が被処理水中に残留しないこと、分解速度が速
くオゾンがそれ自身残留せず二次公害の問題も全くない
こと等の理由から水処理用としての使用が増加している
。このように酸化剤として有用なオゾンを含むオゾン含
有ガスを発生させるために従来から主として放電法及び
電解法が採用されているが、生成物の純度や操作の容易
性から現在では電解法が主流となっている。この電解法
により発生したオゾン含有ガスを使用して水処理等を行
うには気液混合状態で得られるオゾン水をそのまま被処
理水と接触させたり、前記電解槽の陽極室に被処理水を
直接送り込んでオゾンと接触させたりしているが、前者
ではオゾンが気泡状で存在するため被処理水との接触効
率が悪くかつ電解槽で生ずるオゾン水に電極物質等が混
入し該物質が被処理水を汚染することがあり、又後者の
場合にも被処理水中の不純物により電極が汚染されると
いった問題点がある。
化剤として注目され、特にその分解生成物が酸素であり
従来から使用されている塩素系の酸化剤のものと比較し
て残留物が被処理水中に残留しないこと、分解速度が速
くオゾンがそれ自身残留せず二次公害の問題も全くない
こと等の理由から水処理用としての使用が増加している
。このように酸化剤として有用なオゾンを含むオゾン含
有ガスを発生させるために従来から主として放電法及び
電解法が採用されているが、生成物の純度や操作の容易
性から現在では電解法が主流となっている。この電解法
により発生したオゾン含有ガスを使用して水処理等を行
うには気液混合状態で得られるオゾン水をそのまま被処
理水と接触させたり、前記電解槽の陽極室に被処理水を
直接送り込んでオゾンと接触させたりしているが、前者
ではオゾンが気泡状で存在するため被処理水との接触効
率が悪くかつ電解槽で生ずるオゾン水に電極物質等が混
入し該物質が被処理水を汚染することがあり、又後者の
場合にも被処理水中の不純物により電極が汚染されると
いった問題点がある。
【０００３】従って多くの場合、気液混合状態で電解槽
の陽極室で生成するオゾン含有ガスを一旦例えば散気用
フィルターを通して混合槽等に供給し該フィルターで不
純物を除去するとともに該フィルターで前記気液混合状
態のオゾン含有ガスを前記混合槽中に散気させてオゾン
をほぼ完全に混合槽の水に溶解させてガス状のオゾンを
含まない均一濃度のオゾン水を生成し、このオゾン水に
より被処理水のオゾン処理を行うようにしている。前記
フィルターとして耐蝕性材料で形成された充填材（ダッ
シリング等）が使用されていたが、該ダッシリングでは
十分なオゾン分散が行われず、被処理水の殺菌処理等に
有用な十分高濃度なオゾン水を製造できなかった。この
点を解消して電解により生成するオゾンを有効利用して
高濃度オゾン水を製造するために、本出願人はチタン短
繊維の焼結体から成るフィルターを使用することを提案
した（特願平１−２９３０９２号）。このチタン短繊維
焼結体フィルターは繊維が絡み合っているため目が比較
的細かくかつ不規則で、オゾン含有ガスを該フィルター
を透過させることにより水に十分に分散して比較的高濃
度のオゾン水を製造できるという利点を有している。し
かしながら該フィルターはチタン短繊維を絡み合わせて
焼結するという工程により製造されるため、目の細かさ
にも限界があり更に良好にオゾン含有ガスを水に分散さ
せることができず、従って得られるオゾン水の濃度にも
限度がある。又散気孔を小さくするため繊維径を細くす
ると短繊維を焼結するときに該短繊維自体が部分的に燃
焼することがあり、ある程度以上散気孔を小さくするこ
とはてきず、十分高濃度のオゾン水を得ることは困難と
なることがある。
の陽極室で生成するオゾン含有ガスを一旦例えば散気用
フィルターを通して混合槽等に供給し該フィルターで不
純物を除去するとともに該フィルターで前記気液混合状
態のオゾン含有ガスを前記混合槽中に散気させてオゾン
をほぼ完全に混合槽の水に溶解させてガス状のオゾンを
含まない均一濃度のオゾン水を生成し、このオゾン水に
より被処理水のオゾン処理を行うようにしている。前記
フィルターとして耐蝕性材料で形成された充填材（ダッ
シリング等）が使用されていたが、該ダッシリングでは
十分なオゾン分散が行われず、被処理水の殺菌処理等に
有用な十分高濃度なオゾン水を製造できなかった。この
点を解消して電解により生成するオゾンを有効利用して
高濃度オゾン水を製造するために、本出願人はチタン短
繊維の焼結体から成るフィルターを使用することを提案
した（特願平１−２９３０９２号）。このチタン短繊維
焼結体フィルターは繊維が絡み合っているため目が比較
的細かくかつ不規則で、オゾン含有ガスを該フィルター
を透過させることにより水に十分に分散して比較的高濃
度のオゾン水を製造できるという利点を有している。し
かしながら該フィルターはチタン短繊維を絡み合わせて
焼結するという工程により製造されるため、目の細かさ
にも限界があり更に良好にオゾン含有ガスを水に分散さ
せることができず、従って得られるオゾン水の濃度にも
限度がある。又散気孔を小さくするため繊維径を細くす
ると短繊維を焼結するときに該短繊維自体が部分的に燃
焼することがあり、ある程度以上散気孔を小さくするこ
とはてきず、十分高濃度のオゾン水を得ることは困難と
なることがある。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、前述したオゾン溶解用フィル
ターの欠点を解消し十分高濃度のオゾン水を製造しある
いはオゾン含有ガスを被処理水中に良好に分散させて該
被処理水のオゾン処理を行うことのできる方法、及び該
方法に使用できる散気用フィルター及びその製造方法を
提供することを目的とする。
ターの欠点を解消し十分高濃度のオゾン水を製造しある
いはオゾン含有ガスを被処理水中に良好に分散させて該
被処理水のオゾン処理を行うことのできる方法、及び該
方法に使用できる散気用フィルター及びその製造方法を
提供することを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】本発明は、水を電解し
て電解槽の陽極室にオゾン含有ガスを発生させ、該ガス
を気液混合状態で、多数の微細な散気孔が形成されたフ
ッ素樹脂製のフィルターを設置した混合槽に供給し、前
記オゾン含有ガスを該フィルターを通して該混合槽中に
散気させ該混合槽中の水に溶解させることを特徴とする
オゾン含有ガスの散気方法であり、該方法に使用可能な
フィルターは、加熱又は酸処理によりガス発生を生ずる
物質を添加した含フッ素モノマーを重合させてフッ素樹
脂を生成し、該重合時の熱による又は重合後に加熱又は
酸処理することによるガス発生により前記フッ素樹脂に
多数の微細な散気孔が形成することにより製造すること
ができる。
て電解槽の陽極室にオゾン含有ガスを発生させ、該ガス
を気液混合状態で、多数の微細な散気孔が形成されたフ
ッ素樹脂製のフィルターを設置した混合槽に供給し、前
記オゾン含有ガスを該フィルターを通して該混合槽中に
散気させ該混合槽中の水に溶解させることを特徴とする
オゾン含有ガスの散気方法であり、該方法に使用可能な
フィルターは、加熱又は酸処理によりガス発生を生ずる
物質を添加した含フッ素モノマーを重合させてフッ素樹
脂を生成し、該重合時の熱による又は重合後に加熱又は
酸処理することによるガス発生により前記フッ素樹脂に
多数の微細な散気孔が形成することにより製造すること
ができる。
【０００６】以下本発明を詳細に説明する。本発明に係
わるオゾン含有ガスの散気方法では散気フィルターとし
て多数の微細な散気孔が形成されたフッ素樹脂製のフィ
ルターを使用することを特徴とする。このフィルターは
繊維状フッ素樹脂を焼結して製造してもよく、この方法
を採用してもフッ素樹脂の耐熱性が良好であるため、チ
タン短繊維の場合と異なり燃焼したりすることはない。 しかしより微細な散気孔を有するフィルターを得るため
には、重合前のフッ素樹脂モノマーつまりテトラフルオ
ロエチレン等の含フッ素モノマーに微少量の加熱又は酸
処理によりガス発生が生ずる物質例えば炭酸カルシウム
を添加した後、重合させて所定形状のフッ素樹脂製フィ
ルターに成形する。前記ガス発生物質として炭酸カルシ
ウムを添加すると該炭酸カルシウムはモノマー重合の際
の熱により少なくともその一部が酸化カルシウムと二酸
化炭素に分解して二酸化炭素はガスとして系外に飛散し
、その部分に散気孔が形成される。該散気孔の数が不足
するときは更に加熱を行うか、酸処理により分解してガ
ス発生を生ずる物質の場合には酸処理を行って所望の散
気孔を形成する。
わるオゾン含有ガスの散気方法では散気フィルターとし
て多数の微細な散気孔が形成されたフッ素樹脂製のフィ
ルターを使用することを特徴とする。このフィルターは
繊維状フッ素樹脂を焼結して製造してもよく、この方法
を採用してもフッ素樹脂の耐熱性が良好であるため、チ
タン短繊維の場合と異なり燃焼したりすることはない。 しかしより微細な散気孔を有するフィルターを得るため
には、重合前のフッ素樹脂モノマーつまりテトラフルオ
ロエチレン等の含フッ素モノマーに微少量の加熱又は酸
処理によりガス発生が生ずる物質例えば炭酸カルシウム
を添加した後、重合させて所定形状のフッ素樹脂製フィ
ルターに成形する。前記ガス発生物質として炭酸カルシ
ウムを添加すると該炭酸カルシウムはモノマー重合の際
の熱により少なくともその一部が酸化カルシウムと二酸
化炭素に分解して二酸化炭素はガスとして系外に飛散し
、その部分に散気孔が形成される。該散気孔の数が不足
するときは更に加熱を行うか、酸処理により分解してガ
ス発生を生ずる物質の場合には酸処理を行って所望の散
気孔を形成する。
【０００７】ガス発生法により形成された散気孔の孔径
は通常繊維状物質の焼結により生ずる散気孔の孔径より
かなり小さく、一般に０．１ 〜２０μｍとなる。勿論
本発明のフッ素樹脂製散気用フィルターは繊維状フッ素
樹脂の焼結により製造してもよく、このように製造され
たフィルターの散気孔の孔径はガス発生法により製造さ
れたフィルターの孔径よりは大きくなるが、比較的良好
にオゾン含有ガスの散気を行うことが可能である。本発
明におけるフッ素樹脂は、テトラフルオロエチレンを重
合させて製造されるポリテトラフルオロエチレン（商品
名テフロン）だけでなく、水素とフッ素を含むモノマー
の重合によりあるいはそれらの共重合により製造される
含水素フッ素樹脂も含む。
は通常繊維状物質の焼結により生ずる散気孔の孔径より
かなり小さく、一般に０．１ 〜２０μｍとなる。勿論
本発明のフッ素樹脂製散気用フィルターは繊維状フッ素
樹脂の焼結により製造してもよく、このように製造され
たフィルターの散気孔の孔径はガス発生法により製造さ
れたフィルターの孔径よりは大きくなるが、比較的良好
にオゾン含有ガスの散気を行うことが可能である。本発
明におけるフッ素樹脂は、テトラフルオロエチレンを重
合させて製造されるポリテトラフルオロエチレン（商品
名テフロン）だけでなく、水素とフッ素を含むモノマー
の重合によりあるいはそれらの共重合により製造される
含水素フッ素樹脂も含む。
【０００８】フッ素樹脂は疎水性であり該フッ素樹脂に
より成形された前記散気用フィルターもその表面が疎水
性となり、散気孔を透過したオゾン含有ガスが十分に分
散せずに泡状となる場合がある。その場合には前記フィ
ルターの表面を親水性処理してオゾン含有ガスの分散を
十分に行えば良く、前記親水性処理としては親水性材料
の溶液を被覆し乾燥したり親水性材料をスパッタリング
等により直接フィルター表面に被覆したりする方法があ
る。このように形成されたフィルターは三次元網状体と
なり、該網状体内に散気孔が不規則に形成されているた
め、該フィルター内を流れる気液混合状態のオゾン含有
ガスが不規則な流れを生じさせ、不規則な状態でフィル
ターから流出するため散気状態が非常に良好になり、従
ってフィルターが設置さている混合槽等内に十分分散し
て溶解度が高くなり高濃度オゾン水を得ることができ、
あるいは混合槽等内に存在する被処理水と十分に接触し
て該被処理水のオゾン処理を行うことができる。他の条
件にもよるが従来のダッシリングあるいは焼結チタン短
繊維フィルターを使用するとそれぞれオゾン濃度が約５
ｐｐｍ及び約２０ｐｐｍ程度のオゾン水しか得られない
のに対し、本発明のフッ素樹脂フィルターを使用すると
約３０ｐｐｍ以上のオゾン水を得ることができる。
より成形された前記散気用フィルターもその表面が疎水
性となり、散気孔を透過したオゾン含有ガスが十分に分
散せずに泡状となる場合がある。その場合には前記フィ
ルターの表面を親水性処理してオゾン含有ガスの分散を
十分に行えば良く、前記親水性処理としては親水性材料
の溶液を被覆し乾燥したり親水性材料をスパッタリング
等により直接フィルター表面に被覆したりする方法があ
る。このように形成されたフィルターは三次元網状体と
なり、該網状体内に散気孔が不規則に形成されているた
め、該フィルター内を流れる気液混合状態のオゾン含有
ガスが不規則な流れを生じさせ、不規則な状態でフィル
ターから流出するため散気状態が非常に良好になり、従
ってフィルターが設置さている混合槽等内に十分分散し
て溶解度が高くなり高濃度オゾン水を得ることができ、
あるいは混合槽等内に存在する被処理水と十分に接触し
て該被処理水のオゾン処理を行うことができる。他の条
件にもよるが従来のダッシリングあるいは焼結チタン短
繊維フィルターを使用するとそれぞれオゾン濃度が約５
ｐｐｍ及び約２０ｐｐｍ程度のオゾン水しか得られない
のに対し、本発明のフッ素樹脂フィルターを使用すると
約３０ｐｐｍ以上のオゾン水を得ることができる。
【０００９】本発明の散気用フィルターはフッ素樹脂製
であるため、オゾンの有する酸化力に対する耐性を有し
ており、化学的及び物理的に安定であり、オゾン水に溶
解することがないため、人体への悪影響がない。このフ
ィルターはオゾン水製造用原料水又はオゾン処理を必要
とする被処理水に接するように例えば混合槽内に設置し
、通常の電解法により生成させた気液混合状態のオゾン
含有ガスを導管等を通して供給し、更に該混合槽内に設
置された前記フィルターを通すことにより前述の通り高
濃度オゾン水が生成し、あるいは被処理水のオゾン処理
が良好に行われる。又本発明のフィルターは従来のフィ
ルターと同様に濾過機能を有し、例えば混合槽に供給さ
れる気液混合状態のオゾン含有ガスに混入する恐れのあ
る電極物質等を効率良く除去することができる。なお本
発明のフッ素樹脂製フィルターの混合槽内の設置位置に
よっては該混合槽に供給されるオゾン水製造用原料水や
被処理水が直接前記フィルターに接触して該フィルター
内のオゾン含有ガスの流通を妨げることがある。このよ
うな場合には前記原料水等が接触する面にフッ素樹脂製
シート等を被覆すればよい。
であるため、オゾンの有する酸化力に対する耐性を有し
ており、化学的及び物理的に安定であり、オゾン水に溶
解することがないため、人体への悪影響がない。このフ
ィルターはオゾン水製造用原料水又はオゾン処理を必要
とする被処理水に接するように例えば混合槽内に設置し
、通常の電解法により生成させた気液混合状態のオゾン
含有ガスを導管等を通して供給し、更に該混合槽内に設
置された前記フィルターを通すことにより前述の通り高
濃度オゾン水が生成し、あるいは被処理水のオゾン処理
が良好に行われる。又本発明のフィルターは従来のフィ
ルターと同様に濾過機能を有し、例えば混合槽に供給さ
れる気液混合状態のオゾン含有ガスに混入する恐れのあ
る電極物質等を効率良く除去することができる。なお本
発明のフッ素樹脂製フィルターの混合槽内の設置位置に
よっては該混合槽に供給されるオゾン水製造用原料水や
被処理水が直接前記フィルターに接触して該フィルター
内のオゾン含有ガスの流通を妨げることがある。このよ
うな場合には前記原料水等が接触する面にフッ素樹脂製
シート等を被覆すればよい。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に示す本発明のオゾン含有ガス
の散気方法を実施するためのフローシートに基づいて本
発明による高濃度オゾン水製造及び被処理水のオゾン処
理の実施例を説明するが、該実施例は本発明を限定する
ものではない。 実施例 図１は、本発明に係わるオゾン含有ガスの散気方法によ
り高濃度オゾン水を製造するためのシステムを示すフロ
ーチャートであり、このシステムを使用して次の条件で
オゾン水を製造した。電解有効面積９０ｃｍ２ の電解
槽（電解オゾナイザー）１に、陽極面に二酸化鉛粉末３
を、陰極面に白金粉末４を付着させた固体電解質である
ナフィオン（商品名）製隔膜２を装着してＳＰＥ型電解
槽とし、該電解槽１内には純水１リットルを満たした。 該電解槽１に１００ Ａ／ｄｍ２ の電流密度となるよ
うに通電することにより、オゾンを約１５重量％含有す
るオゾンと酸素の混合ガス（オゾン含有ガス）が、２７
ｇ／時（３０℃で約２０リットル／時）の割合（オゾン
は４ｇ／時）で得られた。
の散気方法を実施するためのフローシートに基づいて本
発明による高濃度オゾン水製造及び被処理水のオゾン処
理の実施例を説明するが、該実施例は本発明を限定する
ものではない。 実施例 図１は、本発明に係わるオゾン含有ガスの散気方法によ
り高濃度オゾン水を製造するためのシステムを示すフロ
ーチャートであり、このシステムを使用して次の条件で
オゾン水を製造した。電解有効面積９０ｃｍ２ の電解
槽（電解オゾナイザー）１に、陽極面に二酸化鉛粉末３
を、陰極面に白金粉末４を付着させた固体電解質である
ナフィオン（商品名）製隔膜２を装着してＳＰＥ型電解
槽とし、該電解槽１内には純水１リットルを満たした。 該電解槽１に１００ Ａ／ｄｍ２ の電流密度となるよ
うに通電することにより、オゾンを約１５重量％含有す
るオゾンと酸素の混合ガス（オゾン含有ガス）が、２７
ｇ／時（３０℃で約２０リットル／時）の割合（オゾン
は４ｇ／時）で得られた。
【００１１】炭酸カルシウム３ｇを添加したテトラフル
オロエチレン１３ｇをソルベントナフサに溶解させ、３
００ 〜４００ ℃に加熱しながら重合させた。得られ
たフッ素樹脂を直径１０ｃｍ、厚さ１ｍｍの円板状に成
形してフッ素樹脂製散気用フィルター８とし、このフィ
ルター８を混合槽９の底部に設置した。なお該フィルタ
ー８の散気孔の孔径は１〜５μｍであった。前記オゾン
含有ガスは前記陽極室５から導管７を通して、前記混合
槽９に下方から供給し、前記フィルター８を通過させ分
散させて前記混合槽９内の水に溶解させ、未溶解ガスは
排出口１０から大気に放散させた。該混合槽内に生成す
るオゾン水のオゾン濃度は２０〜３０ｐｐｍの範囲に維
持された。一方被処理水として、２５℃の純水を使用し
、１ｍ３ ／時で該被処理水を超純水製造ラインに供給
し、全被処理水の３０％を分枝管１１により分枝させて
前記混合槽９に上方から供給し、該混合槽９内のオゾン
水と接触させて該被処理水の酸化処理を行った。オゾン
が溶解した分枝被処理水はポンプ１２により、分枝させ
なかった被処理水とともに、反応タンク１３に供給し、
全被処理水をオゾンにより処理した。前記混合槽出口の
オゾン水中のオゾン濃度は１２．７ｐｐｍ、排出口１０
のオゾン濃度は５０００ｐｐｍであった。又反応タンク
１３の被処理水中のオゾン濃度は３．８ ｐｐｍであっ
た。
オロエチレン１３ｇをソルベントナフサに溶解させ、３
００ 〜４００ ℃に加熱しながら重合させた。得られ
たフッ素樹脂を直径１０ｃｍ、厚さ１ｍｍの円板状に成
形してフッ素樹脂製散気用フィルター８とし、このフィ
ルター８を混合槽９の底部に設置した。なお該フィルタ
ー８の散気孔の孔径は１〜５μｍであった。前記オゾン
含有ガスは前記陽極室５から導管７を通して、前記混合
槽９に下方から供給し、前記フィルター８を通過させ分
散させて前記混合槽９内の水に溶解させ、未溶解ガスは
排出口１０から大気に放散させた。該混合槽内に生成す
るオゾン水のオゾン濃度は２０〜３０ｐｐｍの範囲に維
持された。一方被処理水として、２５℃の純水を使用し
、１ｍ３ ／時で該被処理水を超純水製造ラインに供給
し、全被処理水の３０％を分枝管１１により分枝させて
前記混合槽９に上方から供給し、該混合槽９内のオゾン
水と接触させて該被処理水の酸化処理を行った。オゾン
が溶解した分枝被処理水はポンプ１２により、分枝させ
なかった被処理水とともに、反応タンク１３に供給し、
全被処理水をオゾンにより処理した。前記混合槽出口の
オゾン水中のオゾン濃度は１２．７ｐｐｍ、排出口１０
のオゾン濃度は５０００ｐｐｍであった。又反応タンク
１３の被処理水中のオゾン濃度は３．８ ｐｐｍであっ
た。
【００１２】比較例
フッ素樹脂フィルターの代わりに、市販の径が約３０μ
ｍのチタン短繊維を焼結させて形成したチタン製フィル
ターを使用して同様にオゾン水製造及び被処理水のオゾ
ン処理を行った。なおこのチタン製フィルターの散気孔
の径は３０〜５０μｍであった。混合槽内に生成するオ
ゾン水のオゾン濃度は１５〜２０ｐｐｍの範囲に維持さ
れ、前記混合槽出口のオゾン水中のオゾン濃度は１１ｐ
ｐｍ、排出口１０のオゾン濃度は１５００ｐｐｍ、反応
タンク１３の被処理水中のオゾン濃度は３．４ ｐｐｍ
であった。
ｍのチタン短繊維を焼結させて形成したチタン製フィル
ターを使用して同様にオゾン水製造及び被処理水のオゾ
ン処理を行った。なおこのチタン製フィルターの散気孔
の径は３０〜５０μｍであった。混合槽内に生成するオ
ゾン水のオゾン濃度は１５〜２０ｐｐｍの範囲に維持さ
れ、前記混合槽出口のオゾン水中のオゾン濃度は１１ｐ
ｐｍ、排出口１０のオゾン濃度は１５００ｐｐｍ、反応
タンク１３の被処理水中のオゾン濃度は３．４ ｐｐｍ
であった。
【００１３】
【発明の効果】本発明によるオゾン含有ガス散気方法で
は、電解法により生成したオゾン含有ガスを気液混合状
態で、多数の微細な散気孔が形成されたフッ素樹脂製の
フィルターを設置した混合槽に供給し、前記オゾン含有
ガスを該フィルターを通して該混合槽中に散気させ該混
合槽中の水に溶解させるようにしている。このフッ素樹
脂フィルターはチタン製フィルター等より微細で不規則
な散気孔を有するため、混合槽内の水に対しオゾン含有
ガスが円滑に分散して高濃度オゾン水を生成し、あるい
は被処理水のオゾン処理を行うことができる。本発明に
係わるフッ素樹脂フィルターは多数の微細な散気孔が形
成され、例えば焼結に対する耐性がチタン製フィルター
より高いため、焼結法で製造された該フッ素樹脂製フィ
ルターはチタン製フィルターよりオゾン含有ガスを高分
散させることができ、高濃度オゾン水の製造や被処理水
のオゾン処理に適している。
は、電解法により生成したオゾン含有ガスを気液混合状
態で、多数の微細な散気孔が形成されたフッ素樹脂製の
フィルターを設置した混合槽に供給し、前記オゾン含有
ガスを該フィルターを通して該混合槽中に散気させ該混
合槽中の水に溶解させるようにしている。このフッ素樹
脂フィルターはチタン製フィルター等より微細で不規則
な散気孔を有するため、混合槽内の水に対しオゾン含有
ガスが円滑に分散して高濃度オゾン水を生成し、あるい
は被処理水のオゾン処理を行うことができる。本発明に
係わるフッ素樹脂フィルターは多数の微細な散気孔が形
成され、例えば焼結に対する耐性がチタン製フィルター
より高いため、焼結法で製造された該フッ素樹脂製フィ
ルターはチタン製フィルターよりオゾン含有ガスを高分
散させることができ、高濃度オゾン水の製造や被処理水
のオゾン処理に適している。
【００１４】フッ素樹脂製フィルターは疎水性が高く、
該フィルターを透過したオゾン含有ガスが泡状になるこ
とがあるが、このような場合には金属化合物等の親水性
物質を塗布やスパッタリングで被覆して親水性を向上さ
せることにより、オゾン含有ガスを十分に分散させるこ
とができる。本発明のフッ素樹脂製フィルターは、加熱
又は酸処理によりガス発生を生ずる物質を添加した含フ
ッ素モノマーを重合させて製造することもでき、このよ
うに製造されたフィルターは前記ガス発生により極めて
微少な散気孔が形成され、該フィルターをオゾン含有ガ
スの散気用に使用すると、従来のフィルターよりオゾン
含有ガスの分散が格段に良好になり、高濃度オゾン水の
製造と効果的な被処理水のオゾン処理を達成することが
できる。
該フィルターを透過したオゾン含有ガスが泡状になるこ
とがあるが、このような場合には金属化合物等の親水性
物質を塗布やスパッタリングで被覆して親水性を向上さ
せることにより、オゾン含有ガスを十分に分散させるこ
とができる。本発明のフッ素樹脂製フィルターは、加熱
又は酸処理によりガス発生を生ずる物質を添加した含フ
ッ素モノマーを重合させて製造することもでき、このよ
うに製造されたフィルターは前記ガス発生により極めて
微少な散気孔が形成され、該フィルターをオゾン含有ガ
スの散気用に使用すると、従来のフィルターよりオゾン
含有ガスの分散が格段に良好になり、高濃度オゾン水の
製造と効果的な被処理水のオゾン処理を達成することが
できる。
【図１】本発明に係わるオゾン含有ガス散気方法による
オゾン水製造及び被処理水処理を行う工程の一例を示す
フローシート。
オゾン水製造及び被処理水処理を行う工程の一例を示す
フローシート。
１・・・電解槽 ２・・・隔膜 ３・・・二酸化鉛
粉末 ４・・・白金粉末５・・・陽極室 ６・・・
陰極室 ７・・・導管 ８・・・フィルター ９
・・・混合槽 １０・・・排出口 １１・・・分枝
管 １２・・・ポンプ １３・・・反応タンク
粉末 ４・・・白金粉末５・・・陽極室 ６・・・
陰極室 ７・・・導管 ８・・・フィルター ９
・・・混合槽 １０・・・排出口 １１・・・分枝
管 １２・・・ポンプ １３・・・反応タンク
Claims (5)
- 【請求項１】 水を電解して電解槽の陽極室にオゾン
含有ガスを発生させ、該ガスを気液混合状態で、多数の
微細な散気孔が形成されたフッ素樹脂製のフィルターを
設置した混合槽に供給し、前記オゾン含有ガスを該フィ
ルターを通して該混合槽中に散気させ該混合槽中の水に
溶解させることを特徴とするオゾン含有ガスの散気方法
。 - 【請求項２】 多数の微細な散気孔が形成されたフッ
素樹脂により形成されたオゾン含有ガス散気用フィルタ
ー。 - 【請求項３】 その表面を親水化処理した請求項２に
記載のオゾン含有ガス散気用フィルター。 - 【請求項４】 散気孔の孔径が０．１ 〜２０μｍで
ある請求項２に記載のオゾン含有ガス散気用フィルター
。 - 【請求項５】 加熱又は酸処理によりガス発生を生ず
る物質を添加した含フッ素モノマーを重合させてフッ素
樹脂を生成し、該重合時の熱による又は重合後に加熱又
は酸処理することによるガス発生により前記フッ素樹脂
に多数の微細な散気孔が形成することを特徴とするオゾ
ン含有ガス散気用フィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12242091A JP3210688B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | オゾン含有ガスの散気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12242091A JP3210688B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | オゾン含有ガスの散気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326988A true JPH04326988A (ja) | 1992-11-16 |
| JP3210688B2 JP3210688B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=14835390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12242091A Expired - Fee Related JP3210688B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | オゾン含有ガスの散気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3210688B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07155709A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-20 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 精密洗浄方法及び装置 |
| EP0723806A3 (en) * | 1995-01-30 | 1996-10-09 | Ebara Corp | Method and device for producing ozonated water |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP12242091A patent/JP3210688B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07155709A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-20 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 精密洗浄方法及び装置 |
| EP0723806A3 (en) * | 1995-01-30 | 1996-10-09 | Ebara Corp | Method and device for producing ozonated water |
| US5670094A (en) * | 1995-01-30 | 1997-09-23 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for producing ozonized water |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3210688B2 (ja) | 2001-09-17 |
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