JPH04329686A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH04329686A JPH04329686A JP10022991A JP10022991A JPH04329686A JP H04329686 A JPH04329686 A JP H04329686A JP 10022991 A JP10022991 A JP 10022991A JP 10022991 A JP10022991 A JP 10022991A JP H04329686 A JPH04329686 A JP H04329686A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main discharge
- ultraviolet ray
- capacitors
- capacitor
- attached
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】［発明の目的］
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスレーザ発振装置
に係り、特に、予備電離紫外線発生部の構成に改良を施
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
に係り、特に、予備電離紫外線発生部の構成に改良を施
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】ガスを媒介としたパルス発振方式のレー
ザにおいては、一対の主放電電極をレーザガス中に配置
し、両主放電電極間にパルス状の波形の電圧を印加して
、放電空間内のレーザガスを励起する励起方式が一般的
である。
ザにおいては、一対の主放電電極をレーザガス中に配置
し、両主放電電極間にパルス状の波形の電圧を印加して
、放電空間内のレーザガスを励起する励起方式が一般的
である。
【０００４】従来から用いられているパルスレーザ発振
装置としては、図３及び図４に示すものがある。即ち、
一対の主放電電極１，１が対向して配設され、両電極で
囲まれた主放電空間１２内にレーザガスが充填されてい
る。また、主放電電極１の側方には、複数個の予備電離
用のコンデンサ２が並列に接続され、さらに、前記各コ
ンデンサ２には予備電離紫外線発生用のピン３が取付け
られ、対向する各ピンの間に予備電離紫外線発生部７が
形成されている。
装置としては、図３及び図４に示すものがある。即ち、
一対の主放電電極１，１が対向して配設され、両電極で
囲まれた主放電空間１２内にレーザガスが充填されてい
る。また、主放電電極１の側方には、複数個の予備電離
用のコンデンサ２が並列に接続され、さらに、前記各コ
ンデンサ２には予備電離紫外線発生用のピン３が取付け
られ、対向する各ピンの間に予備電離紫外線発生部７が
形成されている。
【０００５】この様に構成された放電部１１にパルス電
源１０から電気パルスが印加されると、各々の予備電離
紫外線発生部７にスパーク放電が生じ、主放電電極１の
側面から主放電空間１２に紫外線が照射される。この紫
外線により主放電空間１２が予備電離され、その後、主
放電空間１２にコンデンサ２からパルス電圧が印加され
ると、主放電空間１２がグロー放電状態となり、主放電
空間内のレーザガスが励起され、所望のレーザ光出力を
得ることができる。
源１０から電気パルスが印加されると、各々の予備電離
紫外線発生部７にスパーク放電が生じ、主放電電極１の
側面から主放電空間１２に紫外線が照射される。この紫
外線により主放電空間１２が予備電離され、その後、主
放電空間１２にコンデンサ２からパルス電圧が印加され
ると、主放電空間１２がグロー放電状態となり、主放電
空間内のレーザガスが励起され、所望のレーザ光出力を
得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の様な
パルスレーザ発振装置において、主放電空間１２を均一
に予備電離して安定したグロー放電を点孤し、所望のレ
ーザ出力を得るためには、主放電空間１２に均一に紫外
線を照射することが必要である。このためには、各々の
予備電離紫外線発生部７で発生する紫外線を等しくする
必要があり、この目的を達成するためには、各々の予備
電離紫外線発生部７に通電される電流及び予備電離紫外
線発生部７においてスパーク放電が点孤する電圧を等し
くする必要がある。
パルスレーザ発振装置において、主放電空間１２を均一
に予備電離して安定したグロー放電を点孤し、所望のレ
ーザ出力を得るためには、主放電空間１２に均一に紫外
線を照射することが必要である。このためには、各々の
予備電離紫外線発生部７で発生する紫外線を等しくする
必要があり、この目的を達成するためには、各々の予備
電離紫外線発生部７に通電される電流及び予備電離紫外
線発生部７においてスパーク放電が点孤する電圧を等し
くする必要がある。
【０００７】即ち、予備電離紫外線発生部７に接続され
ているコンデンサ２の容量により、予備電離紫外線発生
部７の通電電流が決まるので、従来は、図３及び図４に
示した様に、各コンデンサ２にピン３を１個づつ取付け
、予備電離紫外線発生部７に接続されるコンデンサの容
量を等しくして、予備電離紫外線発生部７に通電される
電流を均一なものとしていた。また、各々の予備電離紫
外線発生部７においてグロー放電が点孤する電圧を等し
くするために、各コンデンサ２にピン３を固定するため
に設けられた固定部８を適宜調整することによって、各
予備電離紫外線発生部７のギャップ寸法が互いに等しく
なるようにしている。
ているコンデンサ２の容量により、予備電離紫外線発生
部７の通電電流が決まるので、従来は、図３及び図４に
示した様に、各コンデンサ２にピン３を１個づつ取付け
、予備電離紫外線発生部７に接続されるコンデンサの容
量を等しくして、予備電離紫外線発生部７に通電される
電流を均一なものとしていた。また、各々の予備電離紫
外線発生部７においてグロー放電が点孤する電圧を等し
くするために、各コンデンサ２にピン３を固定するため
に設けられた固定部８を適宜調整することによって、各
予備電離紫外線発生部７のギャップ寸法が互いに等しく
なるようにしている。
【０００８】しかしながら、従来のパルスレーザ発振装
置においては、各々の予備電離紫外線発生部７のギャッ
プ寸法を同一にするためには、対向配置された複数組の
ピン３とそれが取付けられた各コンデンサ２との固定部
８を、それぞれ別個に調整しなければならず、予備電離
紫外線発生部７のギャップの寸法精度が良くないという
欠点があった。また、すべてのピン３について調整しな
ければならないため、調整箇所が非常に多く、調整作業
が煩雑なものとなっていた。
置においては、各々の予備電離紫外線発生部７のギャッ
プ寸法を同一にするためには、対向配置された複数組の
ピン３とそれが取付けられた各コンデンサ２との固定部
８を、それぞれ別個に調整しなければならず、予備電離
紫外線発生部７のギャップの寸法精度が良くないという
欠点があった。また、すべてのピン３について調整しな
ければならないため、調整箇所が非常に多く、調整作業
が煩雑なものとなっていた。
【０００９】本発明は、上記の様な従来技術の問題点を
解決するために提案されたもので、その目的は、予備電
離紫外線発生部におけるギャップ寸法を、精度良く、容
易に調整することができるパルスレーザ発振装置を提供
することにある。
解決するために提案されたもので、その目的は、予備電
離紫外線発生部におけるギャップ寸法を、精度良く、容
易に調整することができるパルスレーザ発振装置を提供
することにある。
【００１０】［発明の構成］
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対の主放電
電極がレーザガス中に放電空間を挟んで配設され、前記
一対の主放電電極の各々に隣接して複数個のコンデンサ
が並列に配設され、前記コンデンサが予備電離紫外線発
生部を介して対向配置されたパルスレーザ発振装置にお
いて、前記主放電電極の一方に隣接して配設された複数
個のコンデンサに板状導体を取付け、他方の主放電電極
に隣接して配設された複数個のコンデンサには、各コン
デンサごとに予備電離紫外線発生用のピンを取付け、こ
れらのピンとそれが取付けられたコンデンサとの取付け
位置が調節できるように構成したことを特徴とするもの
である。
電極がレーザガス中に放電空間を挟んで配設され、前記
一対の主放電電極の各々に隣接して複数個のコンデンサ
が並列に配設され、前記コンデンサが予備電離紫外線発
生部を介して対向配置されたパルスレーザ発振装置にお
いて、前記主放電電極の一方に隣接して配設された複数
個のコンデンサに板状導体を取付け、他方の主放電電極
に隣接して配設された複数個のコンデンサには、各コン
デンサごとに予備電離紫外線発生用のピンを取付け、こ
れらのピンとそれが取付けられたコンデンサとの取付け
位置が調節できるように構成したことを特徴とするもの
である。
【００１２】
【作用】上記の構成を有する本発明のパルスレーザ発振
装置によれば、予備電離紫外線発生用のピンの固定部分
が予備電離紫外線発生部の片側だけとなり、また、ピン
と板状導体との間のギャップを調整する構成となるので
、調整作業が容易なものとなる。
装置によれば、予備電離紫外線発生用のピンの固定部分
が予備電離紫外線発生部の片側だけとなり、また、ピン
と板状導体との間のギャップを調整する構成となるので
、調整作業が容易なものとなる。
【００１３】また、各々の予備電離紫外線発生部のスパ
ーク放電開始時のギャップ間電圧が等しくなり、また、
一方の主放電電極に隣接する予備電離紫外線発生部の導
体が各々のコンデンサごとに分割された導体となってい
るので、予備電離紫外線発生部の電流はコンデンサ部分
で分流され、各予備電離紫外線発生部には均一な電流が
流れる。その結果、各予備電離紫外線発生部からの予備
電離強度が均一となり、主放電空間に均一なグロー放電
が得られ、所望のレーザ出力を得ることができる。
ーク放電開始時のギャップ間電圧が等しくなり、また、
一方の主放電電極に隣接する予備電離紫外線発生部の導
体が各々のコンデンサごとに分割された導体となってい
るので、予備電離紫外線発生部の電流はコンデンサ部分
で分流され、各予備電離紫外線発生部には均一な電流が
流れる。その結果、各予備電離紫外線発生部からの予備
電離強度が均一となり、主放電空間に均一なグロー放電
が得られ、所望のレーザ出力を得ることができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２に基
づいて具体的に説明する。なお、図３及び図４に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
づいて具体的に説明する。なお、図３及び図４に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
【００１５】本実施例においては、図１及び図２に示し
た様に、一対の主放電電極１ａ，１ｂがレーザガス中に
主放電空間１２を挟んで対向して配設され、また、この
主放電電極１ａ，１ｂの各々に隣接して、複数組の予備
電離用コンデンサ２ａ，２ｂが配設されている。これら
のコンデンサ２ａ，２ｂは、予備電離紫外線発生部７を
介して互いに対向するように配置され、各コンデンサの
一方の電極が、隣接する主放電電極１と接続されて、主
放電電極と同一の電位となるように構成されている。
た様に、一対の主放電電極１ａ，１ｂがレーザガス中に
主放電空間１２を挟んで対向して配設され、また、この
主放電電極１ａ，１ｂの各々に隣接して、複数組の予備
電離用コンデンサ２ａ，２ｂが配設されている。これら
のコンデンサ２ａ，２ｂは、予備電離紫外線発生部７を
介して互いに対向するように配置され、各コンデンサの
一方の電極が、隣接する主放電電極１と接続されて、主
放電電極と同一の電位となるように構成されている。
【００１６】また、一方の主放電電極１ａに隣接して並
列に配設された複数個のコンデンサ２ａには、一つの板
状導体２０が取付けられている。一方、他方の主放電電
極１ｂに隣接して並列に配設された複数個のコンデンサ
２ｂには、各コンデンサごとにピン２１が取付けられ、
前記板状導体２０と各ピン２１の間に予備電離紫外線発
生部７が形成されている。また、前記ピン２１とそれが
取付けられた各コンデンサ２ｂとの取付け位置の調整は
、従来と同様に各固定部８を適宜調節することによって
行えるように構成されている。
列に配設された複数個のコンデンサ２ａには、一つの板
状導体２０が取付けられている。一方、他方の主放電電
極１ｂに隣接して並列に配設された複数個のコンデンサ
２ｂには、各コンデンサごとにピン２１が取付けられ、
前記板状導体２０と各ピン２１の間に予備電離紫外線発
生部７が形成されている。また、前記ピン２１とそれが
取付けられた各コンデンサ２ｂとの取付け位置の調整は
、従来と同様に各固定部８を適宜調節することによって
行えるように構成されている。
【００１７】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ発振装置においては、予備電離紫外線発生部７を挟
んで配置される導体の一方が板状導体２０であるため、
予備電離紫外線発生部７のギャップ寸法を同一にするに
は、板状導体２０に対向して配設されたピン２１とそれ
が取付けられた各コンデンサ２ｂとの取付け位置を、各
固定部８を適宜調節することによって行えば良い。
ーザ発振装置においては、予備電離紫外線発生部７を挟
んで配置される導体の一方が板状導体２０であるため、
予備電離紫外線発生部７のギャップ寸法を同一にするに
は、板状導体２０に対向して配設されたピン２１とそれ
が取付けられた各コンデンサ２ｂとの取付け位置を、各
固定部８を適宜調節することによって行えば良い。
【００１８】その結果、各々の予備電離紫外線発生部７
におけるスパーク放電開始時のギャップ間電圧を等しく
することができる。また、一方の主放電電極１ｂに隣接
する予備電離紫外線発生部の導体は、各々のコンデンサ
２ｂごとに分割された導体（ピン２１）となっているの
で、予備電離紫外線発生部７の電流はコンデンサ部分で
分流され、各予備電離紫外線発生部には均一な電流が流
れる。このため、各予備電離紫外線発生部からの予備電
離強度が均一となり、主放電空間１２に均一なグロー放
電が得られ、所望のレーザ出力を得ることができる。
におけるスパーク放電開始時のギャップ間電圧を等しく
することができる。また、一方の主放電電極１ｂに隣接
する予備電離紫外線発生部の導体は、各々のコンデンサ
２ｂごとに分割された導体（ピン２１）となっているの
で、予備電離紫外線発生部７の電流はコンデンサ部分で
分流され、各予備電離紫外線発生部には均一な電流が流
れる。このため、各予備電離紫外線発生部からの予備電
離強度が均一となり、主放電空間１２に均一なグロー放
電が得られ、所望のレーザ出力を得ることができる。
【００１９】この様に、本実施例によれば、ピン２１と
コンデンサ１ｂの固定部分が予備電離紫外線発生部７の
片側だけとなり、また、ピン２１と板状導体２０の間の
ギャップを調整する構成となるので、調整作業が容易な
ものとなる。また、予備電離紫外線発生部の寸法を優れ
た精度で調整することができるので、主放電空間を均一
に予備電離し、安定したグロー放電を点孤して所望のレ
ーザ出力を得ることができる。
コンデンサ１ｂの固定部分が予備電離紫外線発生部７の
片側だけとなり、また、ピン２１と板状導体２０の間の
ギャップを調整する構成となるので、調整作業が容易な
ものとなる。また、予備電離紫外線発生部の寸法を優れ
た精度で調整することができるので、主放電空間を均一
に予備電離し、安定したグロー放電を点孤して所望のレ
ーザ出力を得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明によれば、主放
電電極の一方に隣接して配設された複数個のコンデンサ
に板状導体を取付け、他方の主放電電極に隣接して配設
された複数個のコンデンサには、各コンデンサごとに予
備電離紫外線発生用のピンを取付け、これらのピンとそ
れが取付けられたコンデンサとの取付け位置が調節でき
るように構成することによって、予備電離紫外線発生部
におけるギャップ寸法を、精度良く、容易に調整するこ
とができるパルスレーザ発振装置を提供することができ
る。
電電極の一方に隣接して配設された複数個のコンデンサ
に板状導体を取付け、他方の主放電電極に隣接して配設
された複数個のコンデンサには、各コンデンサごとに予
備電離紫外線発生用のピンを取付け、これらのピンとそ
れが取付けられたコンデンサとの取付け位置が調節でき
るように構成することによって、予備電離紫外線発生部
におけるギャップ寸法を、精度良く、容易に調整するこ
とができるパルスレーザ発振装置を提供することができ
る。
【図１】本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す回路図
す回路図
【図２】図１に示した実施例の放電部を示す側面図
【図
３】従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す回路図
３】従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す回路図
【図４】図３に示した従来型の放電部を示す側面図
１…主放電電極
２…コンデンサ
３…ピン
７…予備電離紫外線発生部
８…固定部
１０…パルス電源
１１…放電部
１２…主放電空間
２０…板状導体
２１…ピン
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の主放電電極がレーザガス中に放
電空間を挟んで配設され、前記一対の主放電電極の各々
に隣接して複数個のコンデンサが並列に配設され、前記
コンデンサが予備電離紫外線発生部を介して対向配置さ
れたパルスレーザ発振装置において、前記主放電電極の
一方に隣接して配設された複数個のコンデンサに板状導
体が取付けられ、他方の主放電電極に隣接して配設され
た複数個のコンデンサには、各コンデンサごとに予備電
離紫外線発生用のピンが取付けられ、これらのピンとそ
れが取付けられたコンデンサとの取付け位置が調節でき
るように構成されていることを特徴とするパルスレーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022991A JPH04329686A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022991A JPH04329686A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329686A true JPH04329686A (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=14268453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022991A Pending JPH04329686A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04329686A (ja) |
-
1991
- 1991-05-01 JP JP10022991A patent/JPH04329686A/ja active Pending
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