JPH02222183A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02222183A JPH02222183A JP4190789A JP4190789A JPH02222183A JP H02222183 A JPH02222183 A JP H02222183A JP 4190789 A JP4190789 A JP 4190789A JP 4190789 A JP4190789 A JP 4190789A JP H02222183 A JPH02222183 A JP H02222183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- laser oscillation
- pulsed laser
- discharge
- oscillation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、予備電離放電方法に改良を施したコロナ予備
電離方式のパルスレーザ発振装置に関するものである。
電離方式のパルスレーザ発振装置に関するものである。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーザ等の各種パルスレーザ発振装置にお
ける技術の著しい進歩に伴い、これらの各種パルスレー
ザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求されている
。この様なパルスレーザ発振装置としては、例えば、第
２図に示した様なものが用いられている。即ち、レーザ
媒質中に配置された第１の主電極１に対向する位置に、
第２の主電極２が配設され、第１の主電極１にはコロナ
発生源である誘電体３が密着して配設されている。
ける技術の著しい進歩に伴い、これらの各種パルスレー
ザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求されている
。この様なパルスレーザ発振装置としては、例えば、第
２図に示した様なものが用いられている。即ち、レーザ
媒質中に配置された第１の主電極１に対向する位置に、
第２の主電極２が配設され、第１の主電極１にはコロナ
発生源である誘電体３が密着して配設されている。
また、この誘電体３には、第１の主電極１と接していな
い面に電極４が取付けられ、第２の主電極２に接続され
ている。さらに、第１の主電極１の誘電体３と接してい
る面には、複数個の穴が設けられている。また、対向し
て配設された２つの主電極１，２は、ピーキングコンデ
ンサ５及びパルス電源６に接続され、さらに、主電極１
，２の長手方向両端部には光共振器７が配設されている
。
い面に電極４が取付けられ、第２の主電極２に接続され
ている。さらに、第１の主電極１の誘電体３と接してい
る面には、複数個の穴が設けられている。また、対向し
て配設された２つの主電極１，２は、ピーキングコンデ
ンサ５及びパルス電源６に接続され、さらに、主電極１
，２の長手方向両端部には光共振器７が配設されている
。
この様に構成された従来のコロナ予備電離方式のパルス
レーザ発振装置においては、２つの主電極１．２間にパ
ルス電源６よりパルス電圧が印加されると、ピーキング
コンデンサ５の充電が始まると共に誘電体３も充電され
始める。誘電体３が充電される時には、誘電体３と第１
の主電極１との間でコロナが発生する。この時に生成さ
れた′電子とコロナ放電から出た紫外線によって主電極
１゜２間のレーザガスが予備電離される。そして、ピキ
ングコンデンサ５の充電が進み、主電極１゜２間の放電
開始電圧に達すると、グロー放電が始まり、ピーキング
コンデンサ５からエネルギーが供給される。この様にし
てレーザガスが励起されると、両端部に配設された光共
振器７からレーザ光８が出力される。
レーザ発振装置においては、２つの主電極１．２間にパ
ルス電源６よりパルス電圧が印加されると、ピーキング
コンデンサ５の充電が始まると共に誘電体３も充電され
始める。誘電体３が充電される時には、誘電体３と第１
の主電極１との間でコロナが発生する。この時に生成さ
れた′電子とコロナ放電から出た紫外線によって主電極
１゜２間のレーザガスが予備電離される。そして、ピキ
ングコンデンサ５の充電が進み、主電極１゜２間の放電
開始電圧に達すると、グロー放電が始まり、ピーキング
コンデンサ５からエネルギーが供給される。この様にし
てレーザガスが励起されると、両端部に配設された光共
振器７からレーザ光８が出力される。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した様な従来のコロナ予備電離方式
めパルスレーザ発振装置においては、誘電体のキャパシ
タンスを余り大きくすることができず、誘電体の充電電
流が小さいため、安定したグロー放電を維持するために
必要な放電空間の初期電子密度が不足するという欠点が
あった。また、そのため、安定したレーザ出力を得るこ
とが困難であった。
めパルスレーザ発振装置においては、誘電体のキャパシ
タンスを余り大きくすることができず、誘電体の充電電
流が小さいため、安定したグロー放電を維持するために
必要な放電空間の初期電子密度が不足するという欠点が
あった。また、そのため、安定したレーザ出力を得るこ
とが困難であった。
本発明は以」二の欠点を解決するために提案されたもの
で、その目的は、放電空間の初期電子密度を大きくする
ことにより、主放電を安定化し、安定したレーザ出力を
得ることのできるパルスレーザ発振装置を提供すること
にある。
で、その目的は、放電空間の初期電子密度を大きくする
ことにより、主放電を安定化し、安定したレーザ出力を
得ることのできるパルスレーザ発振装置を提供すること
にある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ媒質中に対向して配設された２つの主
電極と、予備電離を行うためのコロナ発生源を備え、前
記主電極の表面に沿ってレーザガスを循環させるパルス
レーザ発振装置において、前記コロナ発生源と並列に、
単数または複数個のギャップを設けたことを特徴とする
ものである。
電極と、予備電離を行うためのコロナ発生源を備え、前
記主電極の表面に沿ってレーザガスを循環させるパルス
レーザ発振装置において、前記コロナ発生源と並列に、
単数または複数個のギャップを設けたことを特徴とする
ものである。
（作用）
本発明のパルスレーザ発振装置によれば、予備電離を行
うだめのコロナ発生用の誘電体に、並列にギャップが配
設されているため、誘電体に立ち上がりの速いパルス電
圧を印加することができ、大きな充電電流を流すことが
できる。
うだめのコロナ発生用の誘電体に、並列にギャップが配
設されているため、誘電体に立ち上がりの速いパルス電
圧を印加することができ、大きな充電電流を流すことが
できる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体向に説
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一め符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一め符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、パルス電源
６には電極４と分流用リアクトル１０が接続され、この
分流用リアクトル１０は、単数または複数個のギャップ
１１を介して、第１の主電極１と接続されている。
６には電極４と分流用リアクトル１０が接続され、この
分流用リアクトル１０は、単数または複数個のギャップ
１１を介して、第１の主電極１と接続されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装置
においては、以下に述べる様にして予備電離放電が行わ
れる。
においては、以下に述べる様にして予備電離放電が行わ
れる。
即ち、誘電体３のキャパシタンスをピーキングコンデン
サ５の１／１００にした場合には、パルス電源６よりパ
ルス電圧が印加されると、その電圧はほとんど誘電体３
にかかる。一方、パルス電源６のキャパシタンスは通常
ピーキングコンデンサとほぼ等しいので、誘電体３にか
かる電圧の変化率ｄ ｖ ／”ｄ ｔは、約ｆ丁σ丁７
７倍になる。また、誘電体３の充電電流はｄ ｖ ／
ｄ ｔに比例するので、同様にｆ丁ず丁７７倍になり、
放電空間の初期電子密度を大きくすることができる。そ
して、誘電体３の電圧がギャップ１１の放電開始電圧に
達すると、ギャップ１１を通してピーキングコンデンサ
５の充電が始まる。
サ５の１／１００にした場合には、パルス電源６よりパ
ルス電圧が印加されると、その電圧はほとんど誘電体３
にかかる。一方、パルス電源６のキャパシタンスは通常
ピーキングコンデンサとほぼ等しいので、誘電体３にか
かる電圧の変化率ｄ ｖ ／”ｄ ｔは、約ｆ丁σ丁７
７倍になる。また、誘電体３の充電電流はｄ ｖ ／
ｄ ｔに比例するので、同様にｆ丁ず丁７７倍になり、
放電空間の初期電子密度を大きくすることができる。そ
して、誘電体３の電圧がギャップ１１の放電開始電圧に
達すると、ギャップ１１を通してピーキングコンデンサ
５の充電が始まる。
この様に本実施例によれば、コロナ発生用の誘電体と並
列に単数または複数個のギャップを配設することによっ
て、誘電体に立ち上がりの速いパルス電圧を印加するこ
とができ、誘電体の充電電流を大きくすることができる
。その結果、放電空間の初期電子密度を大きくすること
ができるので、安定した主放電を点弧することができる
。
列に単数または複数個のギャップを配設することによっ
て、誘電体に立ち上がりの速いパルス電圧を印加するこ
とができ、誘電体の充電電流を大きくすることができる
。その結果、放電空間の初期電子密度を大きくすること
ができるので、安定した主放電を点弧することができる
。
［発明の効果］
以」−述べた様に、本発明によれば、予備電離を行うた
めのコロナ発生源と並列に、単数または複数個のギャッ
プを設けるという簡単な手段によって、放電空間の初期
電子密度を大きくすることができ、主放電を安定化し、
安定したレーザ出力を得ることのできるパルスレーザ発
振装置を提供することができる。
めのコロナ発生源と並列に、単数または複数個のギャッ
プを設けるという簡単な手段によって、放電空間の初期
電子密度を大きくすることができ、主放電を安定化し、
安定したレーザ出力を得ることのできるパルスレーザ発
振装置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す構成図、第２図は従来のパルスレーザ発振装置の一例
を示す構成図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・誘電体、４・・・電極、５・・・ピーキングコンデン
サ、６・・・パルス電源、７・・・光共振器、８・・・
レーザ光、１−０・・・分流用リアクトル、１１・・・
ギヤ・ンプ。
す構成図、第２図は従来のパルスレーザ発振装置の一例
を示す構成図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・誘電体、４・・・電極、５・・・ピーキングコンデン
サ、６・・・パルス電源、７・・・光共振器、８・・・
レーザ光、１−０・・・分流用リアクトル、１１・・・
ギヤ・ンプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ媒質中に対向して配設された２つの主電極と、予
備電離を行うためのコロナ発生源を備え、前記主電極の
表面に沿ってレーザガスを循環させるパルスレーザ発振
装置において、 前記コロナ発生源と並列に、単数または複数個のギャッ
プを設けたことを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190789A JPH02222183A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190789A JPH02222183A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222183A true JPH02222183A (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=12621354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4190789A Pending JPH02222183A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02222183A (ja) |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP4190789A patent/JPH02222183A/ja active Pending
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